JP7422569B2 - 流体制御装置、流体制御システム、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム - Google Patents
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Description
100・・・流体制御装置
FM ・・・流体機器モジュール
COM・・・制御機構
1 ・・・流体制御器
11 ・・・第1圧力フィードバック制御部
12 ・・・第2圧力フィードバック制御部
13 ・・・流量フィードバック制御部
14 ・・・制御切替部
2 ・・・開閉バルブ制御器
L1 ・・・第1流路
V1 ・・・第1バルブ
R ・・・流体抵抗
P1 ・・・第1圧力センサ
P2 ・・・第2圧力センサ
L2 ・・・第2流路
V2 ・・・第2バルブ
Claims (11)
- 下流側が供給対象と連通する第1流路と、
前記第1流路と並行に設けられ、下流側が前記第1流路と同一の前記供給対象と連通する第2流路と、
前記第1流路上に設けられた流体抵抗と、
前記第1流路上において前記流体抵抗よりも上流側に設けられた第1圧力センサと、
前記第1流路上において前記第1圧力センサよりも上流側に設けられた第1制御バルブと、
前記第2流路上に設けられた第2制御バルブと、
前記第1制御バルブ及び前記第2制御バルブを制御する制御機構と、を備え、
前記制御機構が、
前記第1流路上にある前記第1圧力センサで測定される第1圧力に基づいて、第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第2流路上にある前記第2制御バルブを制御した後、前記第1制御バルブによる流量フィードバック制御に切り替えることを特徴とする流体制御装置。 - 前記制御機構が、
第1圧力が目標バースト圧力となった以降で前記供給対象から流体が流出している状態において、目標一定流量となるように前記第1流路上にある前記第1制御バルブを制御する請求項1記載の流体制御装置。 - 前記第1流路上において前記流体抵抗よりも下流側に設けられた第2圧力センサをさらに備え、
前記制御機構が、
前記第1圧力センサで測定される第1圧力と前記第2圧力センサで測定される第2圧力とに基づいて前記第1流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と、
前記第1圧力センサで測定される第1圧力と、前記目標バースト圧力の偏差が小さくなるように前記第2制御バルブを制御する第1圧力フィードバック制御部と、
前記流量算出部で算出される測定流量と、目標一定流量との偏差が小さくなるように前記第1制御バルブを制御する流量フィードバック制御部と、を具備し、
前記流量フィードバック制御部が、第1圧力が目標バースト圧力となってから動作するように構成されている請求項1又は2記載の流体制御装置。 - 前記第1圧力フィードバック制御部が、前記第2制御バルブを制御している間、前記第1制御バルブが全閉状態に保たれており、
前記流量フィードバック制御部が、前記第1制御バルブを制御している間、前記第2制御バルブが全閉状態に保たれている請求項3記載の流体制御装置。 - 前記第1圧力フィードバック制御部が、第1圧力が目標バースト圧力となった以降で前記供給対象から流体が流出していない状態において、第1圧力が目標バースト圧力よりも低く、目標一定流量に相当する目標維持圧力となるように前記第2制御バルブを制御する請求項3又は4記載の流体制御装置。
- 前記制御機構が、
前記第1圧力フィードバック制御部による前記第2制御バルブの制御が行われる前において、前記第2圧力センサで測定される第2圧力に基づいて、前記第2制御バルブを制御する第2圧力フィードバック制御部をさらに備え、
前記第2圧力フィードバック制御部による前記第2制御バルブの制御によって第1圧力が目標バースト圧力よりも高い圧力になった以降において、前記第1圧力フィードバック制御部が、第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第2制御バルブを制御する請求項3乃至5いずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1圧力フィードバック制御部が、第1圧力、及び、第2圧力に基づいて算出される前記第1制御バルブ及び前記第2制御バルブよりも下流側の流路と前記供給対象を含むチャージ容積に流入した流体の質量が、目標バースト圧力に基づいて算出される目標質量となった場合に、第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第2制御バルブの制御を開始する請求項6記載の流体制御装置。
- 前記第1流路と前記第2流路が規格化された大きさを有する1つのブロック内に形成された請求項1乃至7いずれかに記載の流体制御装置。
- 請求項1乃至8いずれかに記載の流体制御装置と、
前記供給対象の下流側に設けられた開閉バルブと、
前記開閉バルブを制御する開閉バルブ制御器と、を備え、
前記制御機構は、
前記第1圧力センサで測定される第1圧力と、前記目標バースト圧力の偏差が小さくなるように前記第2制御バルブを制御する第1圧力フィードバック制御部を備え、
前記開閉バルブ制御器が、前記第1圧力フィードバック制御部による前記第2制御バルブの制御によって第1圧力が目標バースト圧力となった以降に前記開閉バルブを開放するように構成されている流体制御システム。 - 下流側が供給対象と連通する第1流路と、前記第1流路と並行に設けられ、下流側が前記第1流路と同一の前記供給対象と連通する第2流路と、前記第1流路上に設けられた流体抵抗と、前記第1流路上において前記流体抵抗よりも上流側に設けられた第1圧力センサと、前記第1流路上において前記第1圧力センサよりも上流側に設けられた第1制御バルブと、前記第2流路上に設けられた第2制御バルブと、を備えた流体制御装置を用いた流体制御方法であって、
前記第1流路上にある前記第1圧力センサで測定される第1圧力に基づいて、第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第2流路上にある前記第2制御バルブを制御した後、前記第1制御バルブによる流量フィードバック制御に切り替えることを特徴とする流体制御方法。 - 下流側が供給対象と連通する第1流路と、前記第1流路と並行に設けられ、下流側が前記第1流路と同一の前記供給対象と連通する第2流路と、前記第1流路上に設けられた流体抵抗と、前記第1流路上において前記流体抵抗よりも上流側に設けられた第1圧力センサと、前記第1流路上において前記第1圧力センサよりも上流側に設けられた第1制御バルブと、前記第2流路上に設けられた第2制御バルブと、を備えた流体制御装置に用いられるプログラムであって、
前記第1流路上にある前記第1圧力センサで測定される第1圧力に基づいて、第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第2流路上にある前記第2制御バルブを制御した後、前記第1制御バルブによる流量フィードバック制御に切り替える制御機構としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする流体制御装置用プログラム。
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