CN114764256A - 压力控制系统、压力控制方法及存储介质 - Google Patents

压力控制系统、压力控制方法及存储介质 Download PDF

Info

Publication number
CN114764256A
CN114764256A CN202111654794.XA CN202111654794A CN114764256A CN 114764256 A CN114764256 A CN 114764256A CN 202111654794 A CN202111654794 A CN 202111654794A CN 114764256 A CN114764256 A CN 114764256A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure
valve
upstream
fluid resistance
convergence
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111654794.XA
Other languages
English (en)
Inventor
德永和弥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Stec Co Ltd
Original Assignee
Horiba Stec Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Stec Co Ltd filed Critical Horiba Stec Co Ltd
Publication of CN114764256A publication Critical patent/CN114764256A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
    • G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
    • G05D16/2026—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means
    • G05D16/2033—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged in series
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
    • G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/001—Means for regulating or setting the meter for a predetermined quantity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/005—Valves
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K47/00—Means in valves for absorbing fluid energy
    • F16K47/08—Means in valves for absorbing fluid energy for decreasing pressure or noise level and having a throttling member separate from the closure member, e.g. screens, slots, labyrinths

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)
  • Stored Programmes (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)

Abstract

本发明提供一种压力控制系统，对设置有流体阻力的封闭空间的收敛压力以设置在流体阻力的上游侧的上游侧阀边抑制过冲边高速地进行控制，压力控制系统(100)在构成封闭空间的流道(200)上设置有流体阻力(10d)，通过控制设置在流体阻力(10d)的上游侧的上游侧阀(10b)来控制封闭空间的压力，具备：收敛压力计算部(40)，使用流道(200)中的流体阻力(10d)的上游侧压力(P1)和下游侧压力(P2)的至少一方，计算将上游侧阀(10b)完全关闭的情况下的封闭空间的收敛压力(PCONV)；以及阀控制部(30)，对计算出的收敛压力(PCONV)与规定的目标收敛压力(PT_CONV)进行比较，根据其比较结果，将上游侧阀(10b)完全关闭。

Description

压力控制系统、压力控制方法及存储介质
技术领域
本发明涉及压力控制系统、压力控制方法以及存储介质。
背景技术
以往，如专利文献1所示，可以考虑一种流体控制装置，在设置在流体流过的流道上的流体阻力的上游侧设置有上游侧阀、以及在流体阻力的下游侧设置有下游侧阀的构成中，通过控制上游侧阀以及下游侧阀，控制流过流道的流体的流量。
在该流体控制装置中，在切断流道时，使上游侧阀以及下游侧阀双方完全关闭。在此，在开始此后的流量控制的情况下，如果上游侧阀以及下游侧阀之间(包括流体阻力的封闭空间)的压力每次都波动，则无法鉴定并开始流量控制。因此，在稳定地开始流量控制的情况下，优选使上游侧阀以及下游侧阀之间(包括流体阻力的封闭空间)的压力成为规定的收敛压力。
因此，在以往，在将上游侧阀以及下游侧阀双方完全关闭之后，打开上游侧阀，使流体流入，在流体阻力的上游侧压力达到规定的目标压力的时点关闭上游侧阀。
但是，在当流体阻力的上游侧压力达到规定的目标压力的时点关闭上游侧阀的构成中，由于在流体阻力的下游侧，流体流动的流道闭塞，所以导致包括流体阻力的封闭空间的压力超过规定的收敛压力(参照图4的(a))。另外，如果在超过了规定的收敛压力的状态下开始流量控制，则流量测量的精度变差，其结果，流量控制的控制性变差。另外，虽然也可以考虑以使上游侧压力不超过规定的收敛压力的方式对上游侧阀进行开闭控制，但是如果这样做，则到上游侧压力收敛于收敛压力为止的时间变长(参照图4的(b))。
现有技术文献
专利文献1：日本专利公开公报特开2004-280688号
发明内容
于是，本发明是为了解决上述的问题点而做出的发明，本发明的主要目的在于对设置有流体阻力的封闭空间的收敛压力以设置在流体阻力的上游侧的上游侧阀边抑制过冲(overshoot)边高速地进行控制。
即，本发明的压力控制系统，其在构成封闭空间的流道上设置有流体阻力，通过控制设置在所述流体阻力的上游侧的上游侧阀来控制所述封闭空间的压力，所述压力控制系统具备：收敛压力计算部，使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力和下游侧压力的至少一方，计算将所述上游侧阀完全关闭的情况下的所述封闭空间的收敛压力；以及阀控制部，对计算出的收敛压力与规定的目标收敛压力进行比较，根据其比较结果，将所述上游侧阀完全关闭。
如果是这样的压力控制系统，则使用流体阻力的上游侧压力和下游侧压力的至少一方，计算将上游侧阀完全关闭的情况下的封闭空间的收敛压力，对计算出的收敛压力与规定的目标收敛压力进行比较，根据其比较结果，将上游侧阀完全关闭，因此能够对封闭空间的收敛压力边抑制过冲边高速地进行控制。在此，根据刚打开阀并开始流量控制后能够流过满量程(100％)的设定流量的压力，设定规定的目标收敛压力。
优选的是，当计算出的收敛压力成为规定的目标收敛压力以上时，所述阀控制部将所述上游侧阀完全关闭。
可以考虑本发明的压力控制系统还具备在所述流道上设置在所述流体阻力的下游侧的下游侧阀，通过将所述下游侧阀完全关闭，在所述流体阻力的下游侧形成封闭空间。
在该构成中优选的是，所述收敛压力计算部使用所述流体阻力的上游侧压力、所述流体阻力的下游侧压力、所述流体阻力与所述上游侧阀之间的流道容积、以及所述流体阻力与所述下游侧阀之间的流道容积，计算所述收敛压力。
优选的是，所述收敛压力计算部使用以下的式子计算所述收敛压力。
[数学式1]
Figure BDA0003445484880000031
其中，PCONV是所述收敛压力，P1是所述流体阻力的上游侧压力，P2是所述流体阻力的下游侧压力，V1是所述流体阻力与所述上游侧阀之间的流道容积，V2是所述流体阻力与所述下游侧阀之间的流道容积。
另外，本发明的压力控制系统可以通过在所述流道上在所述流体阻力的下游侧连接密闭容器，在所述流体阻力的下游侧形成封闭空间，所述收敛压力计算部使用所述流体阻力的上游侧压力、所述流体阻力的下游侧压力、所述流体阻力与所述上游侧阀之间的流道容积、以及所述流体阻力的下游侧的流道和所述密闭容器的容积，计算所述收敛压力。
优选的是，所述收敛压力计算部使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力以及下游侧压力的至少一方，实时地计算所述收敛压力。
优选的是，所述收敛压力计算部修正所述封闭空间或所述流道的容积的经时变化并计算所述收敛压力。
优选的是，在所述上游侧阀设置有位置传感器，所述位置传感器检测阀体相对于阀座的位置。另外，在具有下游侧阀的构成的情况下，优选的是，在所述下游侧阀设置有位置传感器，所述位置传感器检测阀体相对于阀座的位置。
另外，本发明的压力控制方法，在构成封闭空间的流道上设置有流体阻力，通过控制设置在所述流体阻力的上游侧的上游侧阀来控制所述封闭空间的压力，所述压力控制方法包括：收敛压力计算步骤，使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力和下游侧压力的至少一方，计算将所述上游侧阀完全关闭的情况下的所述封闭空间的收敛压力；以及阀控制步骤，对计算出的收敛压力与规定的目标收敛压力进行比较，根据其比较结果，将所述上游侧阀完全关闭。
此外，本发明的存储介质，存储有压力控制程序，用于压力控制系统，所述压力控制系统在构成封闭空间的流道上设置有流体阻力，通过控制设置在所述流体阻力的上游侧的上游侧阀来控制所述封闭空间的压力，计算机通过执行所述压力控制程序而发挥作为收敛压力计算部以及阀控制部的功能，所述收敛压力计算部使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力和下游侧压力的至少一方，计算将所述上游侧阀完全关闭的情况下的所述封闭空间的收敛压力，所述阀控制部对计算出的收敛压力与规定的目标收敛压力进行比较，根据其比较结果，将所述上游侧阀完全关闭。
按照以上所述的本发明，能够对设置有流体阻力的封闭空间的收敛压力以设置在流体阻力的上游侧的上游侧阀边抑制过冲边高速地进行控制。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的流体控制装置(压力控制系统)的示意图。
图2是表示同实施方式的收敛压力的控制方法的图。
图3是表示变形实施方式的流体控制装置(压力控制系统)的示意图。
图4是表示以往的收敛压力的控制方法的图。
附图标记说明
100···流体控制装置(压力控制系统)
200···流道
10b···上游侧阀
10c···上游侧压力传感器
10d···流体阻力
10e···下游侧压力传感器
10f···下游侧阀
101···位置传感器
30···阀控制部
40···收敛压力计算部
P1···上游侧压力
P2···下游侧压力
PCONV···收敛压力
PT_CONV···目标收敛压力
V1···上游侧容积
V2···下游侧容积
具体实施方式
以下参照附图对具有本发明的压力控制系统的流体控制装置进行说明。
＜装置构成＞
本实施方式的流体控制装置100例如用于在半导体制造工序中以设定流量向腔室300供给作为流体的气体。在此，设定流量是从某个流量值向另外的流量值台阶状地上升或下降的阶跃信号(step signal)。流体控制装置100实现的流量在规定时间内追随这样的设定流量，并且使稳定状态下的噪声的大小成为容许范围内。
具体地说，如图1所示，流体控制装置100具备：设置在气体流动的流道200上的传感器以及阀等流体设备10a～10f；以及掌管该流体设备10a～10f的控制的控制机构COM。
本实施方式的流体设备10a～10f是供给压力传感器10a、上游侧阀10b、上游侧压力传感器10c、流体阻力10d、下游侧压力传感器10e、以及下游侧阀10f，它们相对于流道200从上游侧开始依次设置。在此，流体阻力10d例如是层流元件，在其前后产生与流过的气体流量对应的压差。
供给压力传感器10a用于监测从上游侧供给的气体的压力。另外，关于供给压力传感器10a，在保证供给压力稳定的情况等时，也可以省略。
上游侧压力传感器10c测量流道200中的流体阻力10d的上游侧压力P1。具体地说，上游侧压力传感器10c测量上游侧压力P1，所述上游侧压力P1是在流道200上填充在上游侧阀10b与流体阻力10d之间的容积亦即上游侧容积V1内的气体的压力。
下游侧压力传感器10e测量流道200中的流体阻力10d的下游侧压力P2。具体地说，下游侧压力传感器10e测量下游侧压力P2，所述下游侧压力P2是在流道200上填充在流体阻力10d与下游侧阀10f之间的容积亦即下游侧容积V2内的气体的压力。
上游侧阀10b以及下游侧阀10f在本实施方式中是同型的阀，例如是通过压电元件等致动器以使阀体能够相对于阀座接触或分离的方式被驱动的压电阀。上游侧阀10b以及下游侧阀10f分别根据作为操作量输入的电压而变更阀开度。另外，在上游侧阀10b以及下游侧阀10f设置有检测阀体相对于阀座的位置的位置传感器101。通过使用该位置传感器101的检测位置，能够以上游侧阀10b和下游侧阀10f高精度地进行流量控制。
控制机构COM例如是具备CPU、存储器、A/D转换器、D/A转换器、输入输出设备等的所谓的计算机，通过执行存储在存储器内的流量控制程序使各种设备协作，至少发挥作为流量计算部20、阀控制部30的功能。
流量计算部20根据上游侧压力P1以及下游侧压力P2，计算流量值。在此，流量计算部20使用已有的计算式根据上游侧压力P1以及下游侧压力P2计算流过流体阻力10d的气体流量亦即阻力流量。此外，流量计算部20也可以基于阻力流量以及上游侧压力P1计算流过上游侧阀10b的气体流量亦即上游侧阀流量，还可以基于阻力流量以及下游侧压力P2计算流过下游侧阀10f的气体流量亦即下游侧阀流量。
阀控制部30以使由流量计算部20计算出的流量值接近预定的流量目标值的方式对上游侧阀10b和下游侧阀10f的至少一方进行反馈控制。此外，阀控制部30也可以不对上游侧阀10b进行流量控制，而是以使通过上游侧压力传感器10c得到的上游侧压力P1接近预定的压力目标值的方式对上游侧阀10b进行反馈控制。另外，阀控制部30也可以不对下游侧阀10f进行流量控制，而是以使通过下游侧压力传感器10e得到的下游侧压力P2接近预定的压力目标值的方式对下游侧阀10f进行反馈控制。
＜封闭空间的收敛压力控制＞
而且，本实施方式的流体控制装置100的控制设备COM具有对在将上游侧阀10b以及下游侧阀10f完全关闭的情况下形成的封闭空间的收敛压力进行控制的功能。在此，封闭空间的收敛压力是在关闭上游侧阀10b以及下游侧阀10f后经过规定时间后稳定的压力。
具体地说，控制设备COM还具备收敛压力计算部40，所述收敛压力计算部40使用流道200中的流体阻力10d的上游侧压力P1以及下游侧压力P2的至少一方，计算将上游侧阀10b完全关闭的情况下的封闭空间的收敛压力PCONV。而且，阀控制部30对计算出的收敛压力PCONV与规定的目标收敛压力PT_CONV进行比较，根据其比较结果，将上游侧阀10b完全关闭。
收敛压力计算部40使用流道200中的流体阻力10d的上游侧压力P1以及下游侧压力P2的至少一方，在过程控制中依次(实时)地计算收敛压力PCONV。具体地说，收敛压力计算部40使用流体阻力10d的上游侧压力P1、流体阻力10d的下游侧压力P2、流体阻力10d与上游侧阀10b之间的流道容积(上游侧容积)V1、以及流体阻力10d与下游侧阀10f之间的流道容积(下游侧容积)V2，计算收敛压力PCONV。
本实施方式的收敛压力计算部40使用以下的式子，计算形成在上游侧阀10b与下游侧阀10f之间的封闭空间的收敛压力PCONV。另外，收敛压力计算部40进行的收敛压力PCONV的计算不限于使用以下的计算式，也可以使用查找表。在此，在使用查找表的情况下，可以考虑使用将上游侧压力P1、下游侧压力P2、封闭空间的收敛压力PCONV三个参数作为各轴的查找表。
[数学式1]
Figure BDA0003445484880000071
其中，PCONV是封闭空间的收敛压力，P1是流体阻力10d的上游侧压力，P2是流体阻力10d的下游侧压力，V1是流体阻力10d与上游侧阀10b之间的流道容积，V2是流体阻力10d与下游侧阀10f之间的流道容积。
如图2所示，在计算出的收敛压力PCONV成为规定的目标收敛压力PT_CONV以上时，阀控制部30将上游侧阀10b完全关闭。在此，根据刚打开上游侧阀10b以及下游侧阀10f后能够流过满量程(100％)的设定流量的压力，设定规定的目标收敛压力PT_CONV。
接着，对将上游侧阀10b以及下游侧阀10f之间的封闭空间控制成目标收敛压力PT_CONV的一系列的动作进行说明。
首先，通过将上游侧阀10b以及下游侧阀10f完全关闭，从气体流过流道200的通常的气体供给状态，切断气体的流动。在此，在将上游侧阀10b完全关闭后，将下游侧阀10f完全关闭。
而且，在将上游侧阀10b以及下游侧阀10f完全关闭而切断流道200后，打开上游侧阀10b，使气体流入上游侧阀10b与下游侧阀10f之间的空间。此时，上游侧压力传感器10c检测上游侧压力P1，下游侧压力传感器10e检测下游侧压力P2。
取得了这些上游侧压力P1以及下游侧压力P2的收敛压力计算部40在气体流入上游侧阀10b与下游侧阀10f之间的空间的期间实时地计算收敛压力PCONV。阀控制部30依次取得由收敛压力计算部40计算出的收敛压力PCONV，并与规定的目标收敛压力PT_CONV进行比较。而且，当计算出的收敛压力PCONV成为规定的目标收敛压力PT_CONV时，阀控制部30使上游侧阀10b完全关闭(参照图2)。由此，上游侧阀10b与下游侧阀10f之间的封闭空间的压力在经过规定时间后收敛于规定的目标收敛压力PT_CONV。另外，其后，在开始向腔室供给气体的情况下，根据规定的设定流量，开始上游侧阀10b以及下游侧阀10f的控制。
＜本实施方式的效果＞
按照这样构成的本实施方式的流体控制装置100，使用流体阻力10d的上游侧压力P1以及下游侧压力P2的至少一方，计算将上游侧阀10b完全关闭的情况下的封闭空间的收敛压力PCONV，对计算出的收敛压力PCONV与规定的目标收敛压力PT_CONV进行比较，根据其比较结果，将上游侧阀10b完全关闭，因此能够对封闭空间的收敛压力PCONV边抑制过冲边高速地进行控制。
＜其它实施方式＞
例如，在所述实施方式中，使用流体阻力10d的上游侧压力P1、流体阻力10d的下游侧压力P2、流体阻力10d与上游侧阀10b之间的流道容积V1、以及流体阻力10d与下游侧阀10f之间的流道容积V2，计算收敛压力PCONV，但是也可以仅使用流体阻力10d的上游侧压力P1和流体阻力10d的下游侧压力P2的一方，计算收敛压力PCONV。在该情况下，预先求出流体阻力10d的上游侧压力P1和流体阻力10d的下游侧压力P2的一方与收敛压力PCONV的关系，根据该关系计算收敛压力PCONV。
另外，所述实施方式构成为，当控制收敛压力时，在计算出的收敛压力PCONV与规定的目标收敛压力PT_CONV一致了的情况下，将上游侧阀10b完全关闭，但是也可以构成为，在计算出的收敛压力PCONV超过了目标收敛压力PT_CONV的情况下、或者预先设定将规定的目标收敛压力PT_CONV作为基准的判断范围且在计算出的收敛压力PCONV进入了判断范围的情况下，将上游侧阀10b完全关闭。
此外，在所述实施方式中，通过将下游侧阀10f完全关闭而从上游侧阀10b开始向下游侧形成封闭空间，但是也可以不将下游侧阀10f完全关闭，而在上游侧阀10b的下游侧形成封闭空间。例如，如图3所示，可以是如下的构成：设置有流体阻力10d的流道200与密闭容器400连接，由此在流体阻力10d的下游侧形成封闭空间。在该构成的情况下，收敛压力计算部40可以使用流体阻力10d的上游侧压力、流体阻力10d的下游侧压力、流体阻力10d与上游侧阀10b之间的流道容积、以及流体阻力10d的下游侧的流道以及密闭容器400的容积，计算收敛压力PCONV。
所述实施方式的收敛压力计算部40也可以修正封闭空间或流道200的容积的经时变化并计算收敛压力PCONV。另外，也可以考虑封闭空间或流道200的容积的经时变化，变更目标收敛压力。此外也可以具备警报输出部，根据计算出的收敛压力控制收敛压力的结果，在封闭空间的收敛压力相对于目标收敛压力具有规定值以上的差的情况下，所述警报输出部输出警报信号。
另外，存在如下的情况：由于流体阻力(层流元件)的加工精度，流体阻力的端部的位置精度发生变化，其结果，上游侧容积V1以及下游侧容积V2发生变动。在该情况下，收敛压力计算部40可以构成为对由流体阻力(层流元件)的加工精度导致的前后的容积变化进行修正。
而且，在所述实施方式中，是具有上游侧阀10b以及下游侧阀10f的双阀方式的构成，但是也可以是仅具有上游侧阀10b的单阀方式的构成。
而且，在所述实施方式中，对组装有压力控制系统的流体控制装置进行了说明，但是也可以是未组装于流体控制装置的压力控制系统单体。
而且，所述实施方式的流体阻力10d是层流元件，但是只要是使流道产生压差的阻力体即可，例如也可以是节流孔。
此外，只要不违反本发明的宗旨，可以进行各种各样的实施方式的变形、组合。

Claims (11)

1.一种压力控制系统，其特征在于，所述压力控制系统在构成封闭空间的流道上设置有流体阻力，通过控制设置在所述流体阻力的上游侧的上游侧阀来控制所述封闭空间的压力，
所述压力控制系统具备：
收敛压力计算部，使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力和下游侧压力的至少一方，计算将所述上游侧阀完全关闭的情况下的所述封闭空间的收敛压力；以及
阀控制部，对计算出的收敛压力与规定的目标收敛压力进行比较，根据其比较结果，将所述上游侧阀完全关闭。
2.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，当计算出的收敛压力成为规定的目标收敛压力以上时，所述阀控制部将所述上游侧阀完全关闭。
3.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，
所述压力控制系统还具备在所述流道上设置在所述流体阻力的下游侧的下游侧阀，通过将所述下游侧阀完全关闭，在所述流体阻力的下游侧形成封闭空间，
所述收敛压力计算部使用所述流体阻力的上游侧压力、所述流体阻力的下游侧压力、所述流体阻力与所述上游侧阀之间的流道容积、以及所述流体阻力与所述下游侧阀之间的流道容积，计算所述收敛压力。
4.根据权利要求3所述的压力控制系统，其特征在于，所述收敛压力计算部使用以下的式子计算所述收敛压力，
Figure FDA0003445484870000011
其中，PCONV是所述收敛压力，P1是所述流体阻力的上游侧压力，P2是所述流体阻力的下游侧压力，V1是所述流体阻力与所述上游侧阀之间的流道容积，V2是所述流体阻力与所述下游侧阀之间的流道容积。
5.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，
通过在所述流道上在所述流体阻力的下游侧连接密闭容器，在所述流体阻力的下游侧形成封闭空间，
所述收敛压力计算部使用所述流体阻力的上游侧压力、所述流体阻力的下游侧压力、所述流体阻力与所述上游侧阀之间的流道容积、以及所述流体阻力的下游侧的流道和所述密闭容器的容积，计算所述收敛压力。
6.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，所述收敛压力计算部使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力以及下游侧压力的至少一方，实时地计算所述收敛压力。
7.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，所述收敛压力计算部修正所述封闭空间或所述流道的容积的经时变化并计算所述收敛压力。
8.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，在所述上游侧阀设置有位置传感器，所述位置传感器检测阀体相对于阀座的位置。
9.根据权利要求3所述的压力控制系统，其特征在于，在所述下游侧阀设置有位置传感器，所述位置传感器检测阀体相对于阀座的位置。
10.一种压力控制方法，其特征在于，在构成封闭空间的流道上设置有流体阻力，通过控制设置在所述流体阻力的上游侧的上游侧阀来控制所述封闭空间的压力，
所述压力控制方法包括：
收敛压力计算步骤，使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力和下游侧压力的至少一方，计算将所述上游侧阀完全关闭的情况下的所述封闭空间的收敛压力；以及
阀控制步骤，对计算出的收敛压力与规定的目标收敛压力进行比较，根据其比较结果，将所述上游侧阀完全关闭。
11.一种存储介质，存储有压力控制程序，其特征在于，所述压力控制程序用于压力控制系统，所述压力控制系统在构成封闭空间的流道上设置有流体阻力，通过控制设置在所述流体阻力的上游侧的上游侧阀来控制所述封闭空间的压力，
计算机通过执行所述压力控制程序而发挥作为收敛压力计算部以及阀控制部的功能，
所述收敛压力计算部使用所述流道中的所述流体阻力的上游侧压力和下游侧压力的至少一方，计算将所述上游侧阀完全关闭的情况下的所述封闭空间的收敛压力，
所述阀控制部对计算出的收敛压力与规定的目标收敛压力进行比较，根据其比较结果，将所述上游侧阀完全关闭。
CN202111654794.XA 2021-01-15 2021-12-30 压力控制系统、压力控制方法及存储介质 Pending CN114764256A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021-005110 2021-01-15
JP2021005110A JP2022109675A (ja) 2021-01-15 2021-01-15 圧力制御システム、圧力制御方法、及び、圧力制御プログラム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114764256A true CN114764256A (zh) 2022-07-19

Family

ID=82365319

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111654794.XA Pending CN114764256A (zh) 2021-01-15 2021-12-30 压力控制系统、压力控制方法及存储介质

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20220228896A1 (zh)
JP (1) JP2022109675A (zh)
KR (1) KR20220103623A (zh)
CN (1) CN114764256A (zh)
TW (1) TW202230067A (zh)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4146746B2 (ja) 2003-03-18 2008-09-10 株式会社堀場エステック マスフローコントローラ

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220103623A (ko) 2022-07-22
JP2022109675A (ja) 2022-07-28
US20220228896A1 (en) 2022-07-21
TW202230067A (zh) 2022-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102404591B1 (ko) 유량 제어 장치, 및 유량 제어 장치용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체
KR102250967B1 (ko) 압력식 유량 제어 장치 및 유량 제어 방법
JP5174032B2 (ja) 質量流量コントローラのコントローラ利得スケジューリング
CN112272809A (zh) 流量控制方法以及流量控制装置
US10705545B2 (en) Fluid control device and flow rate ratio control device
US11269362B2 (en) Flow rate control method and flow rate control device
KR102412788B1 (ko) 유량 제어 장치 및 유량 제어 방법
KR20160042129A (ko) 압력식 유량 제어 장치
KR20190142721A (ko) 유체 제어 장치, 및 유량 비율 제어 장치
US11531359B2 (en) Fluid control apparatus, fluid control method, and program recording medium in which program for fluid control apparatus is recorded
US11454993B2 (en) Flow rate control apparatus, flow rate control method, and program recording medium recording flow rate control program
KR102673741B1 (ko) 유량 제어 장치, 유량 제어 방법, 및 유량 제어 장치용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체
JP7197897B2 (ja) コントロール弁のシートリーク検知方法
CN110892357A (zh) 流体控制系统以及流量测定方法
CN114764256A (zh) 压力控制系统、压力控制方法及存储介质
JP2021096823A (ja) 流量制御装置、流体制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム
JP2021189514A (ja) マスフローコントローラおよびハンチング抑制方法
US20220129020A1 (en) Flow rate ratio control device, control program for a flow rate ratio control device and control method for a flow rate ratio control device
JP7194421B2 (ja) 流量制御装置および流量制御方法
US20210355583A1 (en) Flow rate ratio control system, film forming system, abnormality diagnosis method, and abnormality diagnosis program medium
JP2022115176A (ja) 流量制御装置および流量制御方法
JP2023080611A (ja) 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム
JP2004013249A (ja) ガス供給システム
KR101889379B1 (ko) 유량제어시스템
CN116449879A (zh) 流体控制装置、流体控制方法及记录介质

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination