CN116449879A - 流体控制装置、流体控制方法及记录介质 - Google Patents

流体控制装置、流体控制方法及记录介质 Download PDF

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CN116449879A CN202310005822.8A CN202310005822A CN116449879A CN 116449879 A CN116449879 A CN 116449879A CN 202310005822 A CN202310005822 A CN 202310005822A CN 116449879 A CN116449879 A CN 116449879A
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松浦和宏
宫田芳树
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Abstract

本发明提供流体控制装置、流体控制方法及记录介质，在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度，流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据上游侧压力以及下游侧压力，计算流过流道的流量；阀，设置在上游侧压力传感器的上游侧或下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由流量计算部计算出的流量，控制阀，当阀处于完全关闭的状态时，流量计算部从在阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算流量。

Description

流体控制装置、流体控制方法及记录介质
技术领域
本发明涉及流体控制装置、流体控制方法及记录介质。
背景技术
以往，如专利文献1所示，在流体控制装置中可以考虑如下的装置：其具备：控制阀，设置在节流部的上游侧；第一压力传感器，设置在节流部的上游侧且控制阀的下游侧；第二压力传感器，设置在节流部的下游侧；流入压力传感器，设置在控制阀的上游侧；以及控制电路，控制控制阀。在该流体控制装置中，在使控制阀完全关闭的状态下，根据由第一压力传感器检测到的上游压力与由第二压力传感器检测到的下游压力达到平衡压力后的由流入压力传感器检测到的流入压力、上游压力或下游压力的时间变化，检测到控制阀的泄出(阀座泄漏)。
现有技术文献
专利文献1：日本专利公开公报特开2020-87164号
在以往的流体控制装置中如果发生阀座泄漏，则滞留在一次侧(控制阀的上游侧)的气体向二次侧(控制阀的下游侧)流入，作为结果，二次侧的压力变高。具体地说，作为二次侧的压力的上游压力以及下游压力的双方上升。
在此，在以往的流体控制装置中，利用使用了上游压力的幂与下游压力的幂的差(具体地说，“上游压力的平方”-“下游压力的平方”)的流量计算式，所以由于阀座泄漏造成的上游压力以及下游压力的上升，即使它们的压差相同，上游压力的平方与下游压力的平方的差也变大。其结果，如图4所示，利用上述的流量计算式计算出的流量变大，从而引起零点偏移(shift)。
发明内容
因此，本发明是鉴于上述这样的问题而做出的发明，本发明的主要目的在于在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度。
即，本发明的流体控制装置，其特征在于，具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部从在所述阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与所述第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算所述流量。
如果是这样的流体控制装置，则在阀处于完全关闭状态的情况下，从在阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与该第一流量计算式不同的第二流量计算式，因此即使由于阀的泄出(阀座泄漏)而发生压力变动，也能够高精度地计算流量。
作为流量计算部的具体的实施方式，优选的是，当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部从使用了所述上游侧压力的幂(在此，幂数大于1)与所述下游侧压力的幂(在此，幂数大于1)的差的所述第一流量计算式切换为使用了所述上游侧压力与所述下游侧压力的差的第二流量计算式，计算所述流量。
作为切换流量计算式的具体的实施方式，优选的是，当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差小于规定的切换阈值时，所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式，计算所述流量。
作为切换流量计算式的进一步的具体的实施方式，优选的是，当用所述第一流量计算式计算出的流量处于稳定状态时，所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式，计算所述流量。如果是该构成，则能够防止频繁地进行第一流量计算式与第二流量计算式的切换。
另外，如果单纯地通过与规定的切换阈值的比较来进行第一流量计算式与第二流量计算式的切换，则存在频繁进行这些流量计算式的切换、流量不正常地变化的情况。为了适当地解决该问题，优选的是，针对规定的切换阈值设置滞后。具体地说，优选的是，当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差小于从所述规定的切换阈值减去滞后而得到的值时，所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式，计算所述流量。
作为从第二流量计算式切换为第一流量计算式的具体的实施方式，优选的是，当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差成为规定的切换阈值以上时，所述流量计算部从所述第二流量计算式切换为所述第一流量计算式，计算所述流量。
另外，在将以往的流体控制装置用于半导体制造装置的情况下，为了提高拆下流体控制装置等维护性，或为了避免阀的泄出(阀座泄漏)对晶片的损伤，在流体控制装置的上游侧以及下游侧设置有空压阀。
该空压阀大多设计成与流体控制装置的流量设定为0％(完全关闭的状态)时同时关闭，成为如下的状态：在关闭空压阀之前流动的气体残留在流体控制装置的内部、流体控制装置的内部的压力保持在某种程度的高压的状态。
在该状态下，在进行流体控制装置的流量的零点调整的情况下，与半导体制造工序所需要的程序(sequence)相区别，为了零点调整，需要进行使流体控制装置的内部流道成为真空的特别的程序。
因此，本发明的流体控制装置，其特征在于，具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。
如果是该构成，则自动地检测由上游侧压力传感器检测到的上游侧压力与由下游侧压力传感器检测到的下游侧压力的差(由于漂移(drift)
产生的偏差)，使上游侧压力以及下游侧压力与相同的值一致，因此不5进行流量的零点调整用的特别的程序就能够降低流量精度的经时变化。
作为流量计算部的修正的具体的实施方式，优选的是，当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差的标准偏差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修0正。
由于上游侧压力为高压，下游侧压力为低压(真空)，所以在使用了上游侧压力的幂(在此，幂数大于1)与下游侧压力的幂(在此，幂数大于1)的差的流量计算式中，如果进行使上游侧压力与下游侧压力一致的修正，则存在流量计算的误差变大的问题。因此优选的是，所述流量5计算部以使所述下游侧压力与所述上游侧压力一致的方式进行修正。
此外，本发明的流量控制方法，其使用了：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，
根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；0阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，当所述阀处于完全关闭的状态时，通过所述流量计算部从在所述阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与所述第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算所述流量。
5此外，本发明的记录介质，记录有流量控制程序，所述流量控制程序用于流体控制装置，所述流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，所述流量控制程序使所述流量计算部发挥如下的功能：当所述阀处于完全关闭的状态时，从在所述阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与所述第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算所述流量。
而且，本发明的流量控制方法，其使用了：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，当所述阀处于完全关闭的状态时，通过所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。
而且，本发明的记录介质，记录有流量控制程序，所述流量控制程序用于流体控制装置，所述流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，所述流量控制程序使所述流量计算部发挥如下的功能：当所述阀处于完全关闭的状态时，检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。
按照以上所述的本发明，能够在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度。
附图说明
图1是示意性地表示本发明的一个实施方式的流体控制装置的构成的图。
图2是表示同实施方式的流量计算式的切换的示意图。
图3是表示变形实施方式的流体控制装置的偏差修正的图。
图4是表示伴随泄出(阀座泄漏)的测量流量的变化的示意图。
附图标记说明
100···流体控制装置
2R···流道
31a···上游侧压力传感器
31b···下游侧压力传感器
32···流体控制阀
33···流体阻力元件
4a···流量计算部
4b···阀控制部
具体实施方式
在以下参照附图对本发明的一个实施方式的流体控制装置进行说明。另外，对于以下所示的任意的图，为了容易明白，都适当省略或夸张地示意性地进行了描绘。对同一构成部件附加同一附图标记并适当地省略说明。
＜装置构成＞
本实施方式的流体控制装置100例如用于半导体制造工序，设置在一个或多个气体供给管道上，对流过各气体供给管道的处理气体的流量进行控制。
具体地说，流体控制装置100是所谓的压差式质量流量控制器(压差式MFC)，如图1所示，具备：流道块2，形成有多个内部流道2R；以及流体控制设备3，搭载在该流道块2上。
在流道块2设置有将流体导入内部流道2R的导入口21以及将流体从内部流道2R导出的导出口22。上游侧配管H1与导入口21连接，在该上游侧配管H1上设置有上游侧空压阀V1。另外，下游侧配管H2与导出口22连接，在该下游侧配管H2上设置有下游侧空压阀V2。
流体控制设备3控制内部流道2R的流体，具备测量流过内部流道2R的流体的流量的流量传感器31、以及设置在流量传感器31的上游侧的流体控制阀32。另外，通过后述的控制部4对流体控制阀32的阀开度进行反馈控制。
流量传感器31是压差式流量传感器，具备：上游侧压力传感器31a，设置在设于内部流道2R的限流器或节流孔等流体阻力元件33的上游侧；以及下游侧压力传感器31b，设置在流体阻力元件33的下游侧。而且，由后述的控制部4的流量计算部4a使用由上游侧压力传感器31a检测到的流体阻力元件33的上游侧压力P1、以及由下游侧压力传感器31b检测到的流体阻力元件33的下游侧压力P2，计算流过内部流道2R的流量Q。
流体控制阀32设置在压差式流量传感器31的上游侧。具体地说，流体控制阀32通过利用压电致动器使阀体相对于阀座进退移动，由此控制流量。另外，流体控制阀32由控制部4的阀控制部4b控制。
控制部4具备：流量计算部4a，根据上游侧压力P1以及下游侧压力P2，计算流过内部流道2R的流量Q；以及阀控制部4b，根据由流量计算部4a计算出的流量Q，控制流体控制阀32。另外，控制部4例如是具备CPU、存储器、A/D·D/A转换器、输入输出装置的所谓的计算机，通过执行存储于存储器的流量控制程序使各种设备协作，由此发挥作为流量计算部4a以及阀控制部4b等的功能。
而且，当流体控制阀32处于完全关闭的状态时，本实施方式的流量计算部4a从在流体控制阀32处于打开状态时使用的第一流量计算式Eq1切换为与第一流量计算式Eq1不同的第二流量计算式Eq2，计算流量Q。
在此，在流体控制阀32处于打开状态时使用的第一流量计算式Eq1可以使用上游侧压力P1的幂(在此，幂数为2)以及下游侧压力P2的幂(在此，幂数为2)，简易地用以下的式子表示。
Eq1＝k1×(P12－P22)
其中，k1是由流体的温度、粘度及压缩率、以及流体阻力元件33的形状等决定的值。另外，上述的幂数不限于2，可以在比1大的值中变更。
另外，第二流量计算式Eq2可以使用上游侧压力P1与下游侧压力P2的差(|P1－P2|)，简易地用以下的式子表示。
Eq2＝k2×|P1－P2|
其中，k2是由流体的温度、粘度及压缩率、以及流体阻力元件33的形状等决定的值。
更详细地说，第二流量计算式Eq2可以利用使用处于稳定状态的第一流量计算式Eq1得到的流量Qstable用以下的式子表示。
Eq2＝Qstable×(P1－P2/ΔPstable)
其中，ΔPstable是稳定状态时的上游侧压力P1与下游侧压力P2的差。
而且，当流体控制阀32处于完全关闭的状态时，流量计算部4a从第一流量计算式Eq1切换为第二流量计算式Eq2，计算流量Q。在此，在使流体控制阀32成为完全关闭的状态时，使设置在上游侧配管H1上的上游侧空压阀V1以及设置在下游侧配管H2上的下游侧空压阀V2都成为关闭的状态。
当上游侧压力P1与下游侧压力P2的差小于规定的切换阈值时，流量计算部4a从第一流量计算式Eq1切换为第二流量计算式Eq2，计算流量Q。在本实施方式中，当上游侧压力P1与下游侧压力P2的差小于从规定的切换阈值减去滞后(hysteresis)而得到的值时，流量计算部4a从第一流量计算式Eq1切换为第二流量计算式Eq2。在此，当用第一流量计算式Eq1计算出的流量Q处于稳定状态时，流量计算部4a从第一流量计算式Eq1切换为第二流量计算式Eq2，计算流量Q。
另一方面，在上游侧压力P1与下游侧压力P2的差成为规定的切换阈值以上时，流量计算部4a从第二流量计算式Eq2切换为第一流量计算式Eq1，计算流量Q。
如上所述地，通过改变从第一流量计算式Eq1切换为第二流量计算式Eq2的阈值(“切换阈值”－“滞后”)、以及从第二流量计算式Eq2切换为第一流量计算式Eq1的阈值(“切换阈值”)，使得在切换为第二流量计算式Eq2后难以再返回第一流量计算式Eq1，防止频繁地发生流量计算式的切换。
在以下对流量计算部4a的第一流量计算式Eq1与第二流量计算式Eq2的切换的条件式进行说明。在此，在图2中示出了使用了以下的条件式的各流量计算式Eq1、Eq2的切换。另外，切换第一流量计算式Eq1与第二流量计算式Eq2的功能可以进行ON/OFF切换。
(1)从第一流量计算式Eq1向第二流量计算式Eq2的切换(用第一流量计算式Eq1计算了上次的流量的情况)
(切换阈值－滞后)＞|P1－P2|且稳定状态的情况
在此，切换阈值是预先确定的值。另外，滞后例如是1Torr，滞后是为了防止频繁地发生流量计算式的切换而设置。此外，稳定状态是用第一流量计算式Eq1计算出的流量Q相对于目标流量(例如流量设定0％)持续规定时间包含在规定范围内(在此为±0.1％)的状态。
(2)从第二流量计算式Eq2向第一流量计算式Eq1的切换(用第二流量计算式Eq2计算了上次的流量的情况)
(切换阈值)＜|P1－P2|
在此，切换阈值与上述(1)的条件式中的切换阈值相同。
＜本实施方式的效果＞
如果是这样构成的本实施方式的流体控制装置100，则当流体控制阀32处于完全关闭的状态时，从在流体控制阀32处于打开状态时使用的第一流量计算式Eq1切换为与该第一流量计算式Eq1不同的第二流量计算式Eq2，因此即使由于流体控制阀的泄出(阀座泄漏)而发生了压力变动，也能够高精度地计算流量。
＜其它实施方式＞
例如，除了如所述实施方式所示地切换流量计算式的构成以外，也可以是以下的构成。
具体地说，如图3所示，当流体控制阀32处于完全关闭的状态时，流量计算部4a检测出上游侧压力P1与下游侧压力P2的差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使上游侧压力P1或下游侧压力P2的一方与另一方一致的方式进行修正。
具体地说，当流体控制阀32处于完全关闭的状态时，流量计算部4a检测出上游侧压力P1与下游侧压力P2的差的标准偏差进入一定范围内(例如小于±0.5)的状态持续了规定时间(例如30分钟)，以使上游侧压力P1或下游侧压力P2的一方与另一方一致的方式进行修正。
在此，由于上游侧压力P1为高压，下游侧压力P2为低压(真空)，所以在使用了上游侧压力P1的幂(在此，幂数大于1)与下游侧压力P2的幂(在此，幂数大于1)的差的流量计算式中，如果进行使上游侧压力P1与下游侧压力P2一致的修正，则存在流量计算的误差变大的问题。因此，流量计算部4a以使下游侧压力P2与上游侧压力P1一致的方式进行修正。这样，由于使下游侧压力P2与上游侧压力P1一致，所以在使用了上游侧压力P1的幂(在此，幂数大于1)与下游侧压力P2的幂(在此，幂数大于1)的差的流量计算中，能够减小流量计算的误差。
此外，也可以使上游侧压力P1与下游侧压力P2一致，也可以使上游侧压力P1以及下游侧压力P2与它们之间的压力(例如中央值)一致。
另外，在所述实施方式中，为流体控制阀32设置在流量传感器31的上游侧的构成，但是也可以是设置在流量传感器31的下游侧的构成。
此外，在所述实施方式中，在用于从第一流量计算式切换为第二流量计算式的条件式中，设置了滞后，但是也可以不设置滞后，仅使用切换阈值。另外，在用于从第一流量计算式切换为第二流量计算式的条件式中，也可以不包括使用第一流量计算式得到的流量的稳定状态。
此外，只要不违反本发明的宗旨，则可以进行各种各样的实施方式的变形、组合。

Claims (13)

1.一种流体控制装置，其特征在于，
所述流体控制装置具备：
流体阻力元件，设置在流道上；
上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；
下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；
流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；
阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及
阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，
当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部从在所述阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与所述第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算所述流量。
2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，
当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部从使用了所述上游侧压力的幂与所述下游侧压力的幂的差的所述第一流量计算式切换为使用了所述上游侧压力与所述下游侧压力的差的第二流量计算式，计算所述流量，在此，幂数大于1。
3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置，其特征在于，
当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差小于规定的切换阈值时，所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式，计算所述流量。
4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，
当用所述第一流量计算式计算出的流量处于稳定状态时，所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式，计算所述流量。
5.根据权利要求3或4所述的流体控制装置，其特征在于，
当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差小于从所述规定的切换阈值减去滞后而得到的值时，所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式，计算所述流量。
6.根据权利要求3至5中任意一项所述的流体控制装置，其特征在于，
当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差成为规定的切换阈值以上时，所述流量计算部从所述第二流量计算式切换为所述第一流量计算式，计算所述流量。
7.一种流体控制装置，其特征在于，
所述流体控制装置具备：
流体阻力元件，设置在流道上；
上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；
下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；
流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；
阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及
阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，
当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。
8.根据权利要求7所述的流体控制装置，其特征在于，
当所述阀处于完全关闭的状态时，所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差的标准偏差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。
9.根据权利要求7或8所述的流体控制装置，其特征在于，
所述流量计算部以使所述下游侧压力与所述上游侧压力一致的方式进行修正。
10.一种流量控制方法，其特征在于，
所述流量控制方法使用了：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，
当所述阀处于完全关闭的状态时，通过所述流量计算部从在所述阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与所述第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算所述流量。
11.一种记录介质，记录有流量控制程序，其特征在于，
所述流量控制程序用于流体控制装置，所述流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，
所述流量控制程序使所述流量计算部发挥如下的功能：当所述阀处于完全关闭的状态时，从在所述阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与所述第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算所述流量。
12.一种流量控制方法，其特征在于，
所述流量控制方法使用了：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，
当所述阀处于完全关闭的状态时，通过所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。
13.一种记录介质，记录有流量控制程序，其特征在于，
所述流量控制程序用于流体控制装置，所述流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测所述流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力，计算流过所述流道的流量；阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由所述流量计算部计算出的流量，控制所述阀，
所述流量控制程序使所述流量计算部发挥如下的功能：当所述阀处于完全关闭的状态时，检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差进入一定范围内的状态持续了规定时间，以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。
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