CN114489160A - 流量比率控制装置及其控制方法、存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供流量比率控制装置及其控制方法、存储介质，该装置具备：从主流道分支的至少两个分支流道；分别设置于两个分支流道并具有位置传感器的第一和第二流体控制阀；存储部，存储将流过主流道的流量以规定的流量比率分配给第一和第二分支流道的阀体的基准位置；流量比率控制部，对第一流体控制阀进行位置控制使其阀体成为基准位置，对第二流体控制阀进行流量控制使流量成为目标流量，控制至少两个分支流道的流量比率，若进行流量控制的第二流体控制阀的阀体的位置到达基准位置，则流量比率控制部切换各流体控制阀的位置控制和流量控制，对第二流体控制阀进行位置控制使其阀体成为基准位置，对第一流体控制阀进行流量控制使流量成为目标流量。

Description

流量比率控制装置及其控制方法、存储介质

技术领域

本发明涉及控制流过从主流道分支的多个分支流道的流体的流量比率的流量比率控制装置、用于该流量比率控制装置的控制程序以及流量比率控制装置的控制方法。

背景技术

作为以往的流量比率控制装置(也称为分流器)，例如如专利文献1所示，可以考虑如下的装置：在从主流道分支的多个分支流道上分别设置流体控制阀，对流量最大的分支流道的流体控制阀进行流速控制，对其它的分支流道的流体控制阀进行流量控制，从而控制流过多个分支流道的流体的流量比率。

现有技术文献

专利文献1：国际公开公报第2018/047644号

在上述的流量比率控制装置中，可以考虑使流量最大的分支流道的流体控制阀(以下为流体控制阀A)成为全开状态，对其它的分支流道的流体控制阀(以下为流体控制阀B)进行流量控制，从而控制流过多个分支流道的流体的流量比率。在该构成中，只要使流体控制阀A成为全开状态即可，因此其控制变得容易。

在此，在切换流量最大的分支流道的情况下，可以考虑逐渐加大流体控制阀B的流量，在流体控制阀B变成全开状态后，将流体控制阀A切换为流量控制，将流体控制阀B维持全开状态。即，在切换流量最大的分支流道的时点(timing)，流体控制阀A、B双方成为全开状态。

但是，由于多个分支流道各自的流导的不同，即使流体控制阀A、B双方为全开状态，流量也不能均等地分配给多个分支流道。因此，存在如下问题：对流量最大的分支流道进行切换的点(切换点)无法在多个分支流道的流量均等的状态下进行。另外，设置在多个分支流道上的流体控制阀存在个体差异等，因此即使输入用于使这些流体控制阀成为全开状态的驱动信号(电压信号)，也不限于流过相同的流量。这样的话，存在如下问题：当将流量最大的分支流道切换为其他的时，流过分支流道的流量产生急剧的变化(尖峰)，因此分支流道的切换无法顺畅地进行。其结果，在例如半导体制造处理中使用进行上述控制的流量比率控制装置的情况等下会发生不利情况。

发明内容

本发明是鉴于上述这样的问题而做出的，本发明的主要目的在于在流量比率控制装置中在切换流量最大的分支流道时能够在多个分支流道的流量为均等的状态下进行切换，能够使流过分支流道的流量不产生急剧的变化(尖峰)，从而顺畅地切换分支流道。

即，本发明的流量比率控制装置的特征在于，其具备：从主流道分支的至少第一分支流道以及第二分支流道；第一流体控制阀，设置在所述第一分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；第二流体控制阀，设置在所述第二分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；存储部，存储各所述流体控制阀中用于将流过所述主流道的流量以规定的流量比率分配给所述第一分支流道以及所述第二分支流道的所述阀体的基准位置；以及流量比率控制部，通过对所述第一流体控制阀以使其阀体的位置成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第二流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制，控制所述至少第一分支流道以及第二分支流道的流量比率，若进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制。

如果是这样的流量比率控制装置，则预先存储在各流体控制阀中流过规定的基准流量的阀体的基准位置，基于该基准位置切换第一流体控制阀以及第二流体控制阀，所以在流量比率控制装置中当切换流量最大的分支流道时能够在多个分支流道的流量为均等的状态下进行切换，能够使流过分支流道的流量不产生急剧的变化(尖峰)，从而顺畅地切换分支流道。

详细地说，基于设置在多个分支流道中的成为最低的流导的分支流道上的流体控制阀的阀体的基准位置，对分别设置在多个分支流道上的流体控制阀的阀体的基准位置进行标准化，由此在流量比率控制装置中当切换流量最大的分支流道时，能够在多个分支流道的流量为均等的状态下进行切换。另外，通过这样进行标准化，在系统整体中能够维持尽可能低的压差，从而能够缩短从流量比率控制装置向例如处理室的气体供给的到达时间。此外，按照本发明，由于能够在多个分支流道中将从流体控制阀到例如处理室的流道的流导标准化，所以能够消除例如在设置在流道上的过滤器、设置在腔室的喷头等的下游的部件发生的系统变动。

作为具体的流量比率控制装置的动作的一个例子，可以考虑使流过主流道的流体的流量不变而将流体流动的分支流道从第一分支流道连续地切换为第二分支流道。在该情况下，优选的是，若使进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体从全闭位置变成所述基准位置的方式逐渐地位移从而所述阀体的位置到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量逐渐地变成零的方式进行流量控制。

具体地说，可以考虑所述规定的流量比率是将流过所述主流道的流量等分配给所述第一分支流道与所述第二分支流道的流量比率。在该情况下优选所述基准位置是作为所述流体控制阀的全开位置而设定的位置。

优选的是，所述第一流体控制阀与设置在所述第一分支流道上的流量传感器一起构成第一流体控制装置，所述第二流体控制阀与设置在所述第二分支流道上的流量传感器一起构成第二流体控制装置。

另外，本发明的存储有流量比率控制装置用控制程序的存储介质的特征在于，所述流量比率控制装置具备：从主流道分支的至少第一分支流道以及第二分支流道；第一流体控制阀，设置在所述第一分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；以及第二流体控制阀，设置在所述第二分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器，计算机通过执行所述流量比率控制装置用控制程序具备作为存储部以及流量比率控制部的功能，所述存储部存储各所述流体控制阀中用于将流过所述主流道的流量以规定的流量比率分配给所述第一分支流道以及所述第二分支流道的所述阀体的基准位置，所述流量比率控制部通过对所述第一流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第二流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制，控制所述至少第一分支流道以及第二分支流道的流量比率，若进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制。将这样的控制程序安装到已有的流量比率控制装置上，能够发挥与上述的本发明的流量比率控制装置同样的功能。

另外，本发明的流量比率控制装置的控制方法的特征在于，所述流量比率控制装置具备：从主流道分支的至少第一分支流道以及第二分支流道；第一流体控制阀，设置在所述第一分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；以及第二流体控制阀，设置在所述第二分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器，所述流量比率控制装置的控制方法包括：存储工序，存储各所述流体控制阀中用于将流过所述主流道的流量以规定的流量比率分配给所述第一分支流道以及所述第二分支流道的所述阀体的基准位置；以及流量比率控制工序，通过对所述第一流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第二流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制，控制所述至少第一分支流道以及第二分支流道的流量比率，若进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制。

按照以上叙述的本发明，在流量比率控制装置中当切换流量最大的分支流道时，能够在多个分支流道的流量为均等的状态下进行切换，能够使流过分支流道的流量不产生急剧的变化(尖峰)，从而顺畅地切换分支流道。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的流量比率控制装置的整体示意图。

图2是表示同实施方式的流量控制装置的示意图。

图3是表示同实施方式的流量标准化的步骤的图。

图4是表示同实施方式的流体控制阀的控制内容以及分支流道的流量的示意图。

附图标记说明

100···流量比率控制装置

ML···主流道

BL1～BL4···分支流道

3···流体控制阀

32···阀体

6···位置传感器

7···存储部

8···流量比率控制部

具体实施方式

在以下，参照附图对本发明的一个实施方式的流量比率控制装置进行说明。

＜1.装置构成＞

如图1所示，本实施方式的流量比率控制装置100例如用于半导体制造工序，用于从真空室200的多个导入口将半导体处理用的气体分别以预定的流量比率导入收容晶片的真空室200内。

具体地说，流量比率控制装置100构成为具备：主流道ML；从该主流道ML分支的多个分支流道BL1～BL4；分别设置在多个分支流道BL1～BL4上的多个流体控制装置MFC1～MFC4；以及总括控制多个流体控制装置MFC1～MFC4的主控制器COM，以使流过各分支流道BL1～BL4的气体的流量比率成为目标流量比率的方式进行控制。

主流道ML的上游侧的始端与供给半导体处理用的气体的气体源300连接，下游侧的终端与多个分支流道BL1～BL4连接。在图1中，表示了连接有四个分支流道BL1～BL4的例子，但是只要是两个以上的分支流道BL，则没有特别的限定。

各流体控制装置MFC1～MFC4是被称为所谓的质量流量控制器的装置，如图2所示，具备：块2，形成有与分支流道BL1～BL4连通的内部流道；流体控制阀3，用于控制设置在该块2的内部流道的流量；流量传感器4，设置于块2，在内部流道上设置在流体控制阀3的上游侧或下游侧；以及阀控制部5，控制流体控制阀3。另外，在以下，在区别各流体控制装置MFC1～MFC4的构成部件的情况下，称为第一流体控制阀3－1、第二流体控制阀3－2等。

流体控制阀3具有：阀座31，设置在内部流道的中途；阀体32，相对于该阀座31离合；以及致动器33，由使该阀体32移动的例如压电元件构成。另外，流体控制阀3可以是在不驱动致动器33的状态下成为全开状态的常开型的阀，也可以是在不驱动致动器33的状态下成为全闭状态的常闭型的阀。

另外，流体控制阀3还具有位置传感器6，所述位置传感器6检测阀体32相对于阀座31的位置。位置传感器6例如是电涡流式的非接触型的位移传感器。通过该位置传感器6得到的检测位置输出到阀控制部5。

流量传感器4例如是压力式的，具有：层流元件41，设置在内部流道上；上游侧压力传感器42，检测该层流元件41的上游侧的压力；下游侧压力传感器43，检测层流元件41的下游侧的压力；以及流量输出电路44，基于由各压力传感器42、43检测出的检测压力，输出流量。而且，流量输出电路44根据上游侧压力传感器42的检测压力与下游侧压力传感器43的检测压力的压差，计算流体的流量，向阀控制部5输出。另外，流量传感器4也可以使用热式的。

阀控制部5基于主控制器COM的指令，对流体控制阀3进行流量控制或位置控制。另外，阀控制部5与主控制器COM一起发挥作为后述的流量比率控制部8的功能。

在阀控制部5对流体控制阀3进行流量控制的情况下，基于用于成为预先设定的目标流量的目标位置与由位置传感器6检测出的检测位置的偏差，以使该偏差变小的方式进行流量反馈控制(流量控制模式)。在该情况下，阀控制部5基于目标位置与检测位置的偏差，以使位置传感器6的测量位置成为检测位置的方式控制对流体控制阀3施加的施加电压。另外，阀控制部5也可以基于预先设定的目标流量与由流量传感器4测量出的测量流量的偏差，以使该偏差变小的方式进行流量反馈控制。在该情况下，基于目标流量与测量流量的偏差，计算目标开度，以使位置传感器6表示的开度成为目标开度的方式控制对流体控制阀3施加的施加电压。

另外，在阀控制部5对流体控制阀3进行位置控制的情况下，基于预先设定的目标位置与由位置传感器6检测出的检测位置的偏差，以使该偏差变小的方式进行位置反馈控制(位置控制模式)。即，阀控制部5在对流体控制阀3进行位置控制的情况下，不进行使用由流量传感器4测量的测量流量的反馈控制。

在本实施方式中，设置在目标流量比率最大的分支流道(在此为第一分支流道BL1)亦即主管道上的流体控制装置MFC1的阀控制部5以位置控制模式进行动作。另一方面，设置在上述主管道以外的分支流道BL2～BL4亦即从属管道上的流体控制装置MFC2～MFC4的阀控制部5以流量控制模式进行动作。

在此，对位置控制模式下的目标位置进行说明。

本实施方式的流量比率控制装置100具有存储部7，所述存储部7存储各流体控制阀3中用于将流过主流道ML的流量以规定的流量比率分配给多个分支流道BL1～BL4的阀体32的基准位置。另外，如图2所示，存储部7可以个别地设置在各流体控制装置MFC1～MFC4的存储器，也可以汇总设置在主控制器COM的存储器。

而且，在存储部7中存储有各流体控制阀3中用于将流过主流道ML的流量以规定的流量比率分配给多个分支流道BL1～BL4的阀体32的基准位置。在此，针对每个流体控制阀3设定的阀体32的基准位置是作为流体控制阀3的全开位置而设定的位置。而且，该基准位置成为位置控制模式下的目标位置。

本实施方式的规定的流量比率是将流过主流道ML的流量(例如4L)等分配给多个分支流道BL1～BL4(各分支流道BL1～BL4的流量为1L)的流量比率。

＜2.基准位置的设定方法＞

在此，如图3所示，基准位置例如通过以下的流量标准化步骤预先求出，并按照每个流体控制阀3存储在存储部7中。

向设置在第一分支流道～第四分支流道BL1～BL4上的多个流体控制阀3分别输入用于成为物理性全开状态的驱动信号(电压信号)，并取得此时由位置传感器6检测的阀体32的位置(全开位置)(步骤S1)。

另外，向设置在第一分支流道～第四分支流道BL1～BL4上的多个流体控制阀3分别输入用于成为物理性全闭状态的驱动信号(电压信号)，并取得此时由位置传感器6检测的阀体32的位置(全闭位置)(步骤S2)。

而且，以使流过第一分支流道～第四分支流道BL1～BL4的流体的分流比率成为规定的分流比率(在此分流比率相同(各25％))的方式使流体控制阀3成为全开状态，求出此时的流过第一分支流道～第四分支流道BL1～BL4的流体的分流比率(步骤S3)。

对通过步骤S3求出的分流比率与所述规定的分流比率进行比较(步骤S4)，在它们的差比规定的阈值大的情况下，变更设置在第一分支流道～第四分支流道BL1～BL4上的多个流体控制阀3中的任意一个流体控制阀3的全开位置(步骤S5)。例如，变更设置在差为最大的分支流道上的流体控制阀3的全开位置。

而且，使用变更后的全开位置，返回上述的步骤S3，直到流过第一分支流道～第四分支流道BL1～BL4的流体的分流比率与所述规定的分流比率的差变成小于所述规定的阈值为止反复进行流体控制阀3的全开位置的变更。将由此求出的各流体控制阀3的全开位置作为基准位置存储到存储部7中(步骤S6)。

主控制器COM基于从用户接收到的流过各分支流道BL1～BL4的气体的目标流量比率，向各流体控制装置MFC1～MFC4输入指令，使设置在成为主管道的分支流道BL1上的流体控制装置MFC1执行用于进行位置控制的位置控制模式，向设置在其它的分支流道BL2～BL4上的流体控制装置MFC2～MFC4输入根据目标流量比率计算出的个别的目标流量使其执行流量控制模式。另外，该主控制器COM与各流量控制装置MFC1～MFC4的阀控制部5通过协作，发挥作为以下所示的流量比率控制部8的功能。

此时，流量比率控制部8对设置在成为主管道的分支流道BL1上的流体控制装置MFC1的流体控制阀3以使其阀体32的位置成为基准位置的方式基于由位置传感器6检测出的检测位置进行位置控制，对设置在成为从属管道的分支流道BL2～BL4上的流体控制装置MFC2～MFC4的流体控制阀3以使流量成为目标流量的方式进行流量控制，从而控制多个分支流道BL1～BL4的流量比率。

＜3.主管道的切换动作＞

而且可以考虑，流量比率控制部8不使流过主流道ML的流体的流量变化，而将目标流量比率最大的分支流道(主管道)从第一分支流道BL1连续地切换为第二分支流道BL2。另外，在此，对在第一分支流道BL1与第二分支流道BL2之间进行切换的情况进行例示，但是在其它的分支流道之间进行切换的情况也是相同的。

在该情况下，如图4所示，流量比率控制部8使设置在第二分支流道BL2上的第二流体控制阀3通过流量控制模式使其阀体32从全闭位置逐渐位移至基准位置。在此以流过第二分支流道BL2的流量直线增大的方式使阀体32逐渐位移。

而且，若设置在第二分支流道BL2上的第二流体控制阀3的阀体32的位置到达基准位置，则将第二流体控制阀3从流量控制切换为位置控制，对第二流体控制阀3以使其阀体32成为基准位置的方式进行位置控制，对设置在第一分支流道BL1上的第一流体控制阀3以使第一分支流道BL1的流量逐渐减少并变成零的方式进行流量控制。在此，以使流过第一分支流道BL1的流量直线减少的方式使阀体32逐渐位移。另外，在从第一分支流道BL1连续切换为第二分支流道BL2的一系列的动作中，流过第一分支流道BL1的流量直线减少，流过第二分支流道BL2的流量直线增加。由此，目标流量比率最大的分支流道(主管道)从第一分支流道BL1连续切换为第二分支流道BL2。另外，在图4中例示了在将主管道从“第一分支流道BL1”切换为“第二分支流道BL2”后，再次将主管道从“第二分支流道BL2”切换为“第一分支流道BL1”的情况。

另外，通过进行图4一样的切换动作，也能够进行对流量比率控制装置100的分支流道BL1、BL2进行切换的动作的性能评价。即，通过判断在第一分支流道BL1与第二分支流道BL2的相互的切换点，流过分支流道BL1、BL2的流量是否产生了急剧的变化(尖峰)，能够进行流量比率控制装置100的性能评价。

＜4.本实施方式的效果＞

按照这样构成的本实施方式的流量比率控制装置100，预先存储用于使在各流体控制阀3中流过规定的基准流量的阀体的基准位置，基于该基准位置对第一流体控制阀3以及第二流体控制阀3进行切换，因此当在流量比率控制装置100中切换流量最大的分支流道时，能够在多个分支流道BL1～BL4的流量为均等的状态下进行切换，能够不使流过分支流道BL1、BL2的流量产生急剧的变化(尖峰)，从而能够顺畅地切换分支流道。

详细地说，通过基于设置在多个分支流道BL1～BL4中的成为最低的流导的分支流道上的流体控制阀3的阀体32的基准位置，对分别设置在多个分支流道BL1～BL4上的流体控制阀3的阀体32的基准位置进行标准化，由此当在流量比率控制装置100中切换流量最大的分支流道时，能够在多个分支流道BL1～BL4的流量为均等的状态下进行切换。另外，通过这样进行标准化，在系统整体中能够维持尽可能低的压差，能够缩短从流量比率控制装置100向例如处理室的气体供给的到达时间。此外，按照本实施方式，由于在多个分支流道BL1～BL4中能够对从流体控制阀3到例如处理室的流道的流导进行标准化，所以能够消除例如在设置在流道上的过滤器、设置在腔室的喷头等的下游的部件发生的系统变动。

在与例如用于半导体处理的真空室200连接的多个分支流道BL1～BL4中，在对连接于真空室200的中央部的分支流道与连接于真空室200的外周部的分支流道的主从关系(主-从属关系)进行切换的情况下，能够顺畅地进行该切换，因此能够提高半导体制造工序的质量。另外，例如从朝真空室200的外周部的流量多的处理控制时向朝真空室200的中央部的流量多的净化(purge)控制时转移的情况符合上述的切换主从关系的情况。

＜5.其它实施方式＞

另外，本发明不限于所述实施方式。

所述实施方式的基准位置是用于使分流比率相同的流量(等分配后的流量)流过的阀体32的位置，但是也可以是使分流比率彼此不同的流量流过的阀体32的位置。即，如果在图4的例子中说的话，也可以是不是使第一分支流道BL1与第二分支流道BL2的分流比率相同(50：50)而是使第一分支流道BL1与第二分支流道BL2的分流比率例如为49：51或52：48等的流量流过的阀体32的位置。另外，也可以以规定的基准流量进入流体控制阀3的分辨率(例如满量程的0.2％)的范围内的程度使规定的基准流量具有范围，通过使所述实施方式的基准位置为成为具有该范围的基准流量的阀体32的位置，使基准位置具有范围。即，也可以使流体控制阀3的位置控制与流量控制的切换的时机不是在一点而是使切换的时机具有范围。

另外，如果在图4的例子中说的话，可以使切换第一分支流道BL1与第二分支流道BL2的控制的时机具有范围。在该情况下，当将主管道从第一分支流道BL1切换为第二分支流道BL2时，第一流体控制阀3以及第二流体控制阀3双方经过了位置控制(或流量控制)的期间后，第一流体控制阀3成为流量控制，第二流体控制阀成为位置控制。

另外，在所述实施方式中，流体控制装置MFC是集成化了的质量流量控制器，但是也可以在各分支流道上设置其它的流体控制装置。例如也可以将未像质量流量控制器一样集成化的流体控制阀以及流量传感器作为流体控制装置来对待。

在所述实施方式中，基于目标流量比率，对设置在流体的流量最多的分支流道上的流体控制阀进行位置控制，但是例如也可以将流体的流量第二多或第三多的分支流道作为主管道，将其以外的分支流道作为从属管道，对设置在主管道上的流体控制阀进行位置控制。

此外，在所述实施方式中，表示了将流量比率控制装置用于半导体制造工序的例子，但是也可以用于其它的用途。

此外，只要不违反本发明的主旨，还可以进行各种各样的实施方式的变形、组合。

Claims (6)

1.一种流量比率控制装置，其特征在于，

所述流量比率控制装置具备：

从主流道分支的至少第一分支流道以及第二分支流道；

第一流体控制阀，设置在所述第一分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；

第二流体控制阀，设置在所述第二分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；

存储部，存储各所述流体控制阀中用于将流过所述主流道的流量以规定的流量比率分配给所述第一分支流道以及所述第二分支流道的所述阀体的基准位置；以及

流量比率控制部，通过对所述第一流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第二流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制，控制所述至少第一分支流道以及第二分支流道的流量比率，

若进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体的位置到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制。

2.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，

若使进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体从全闭位置变成所述基准位置的方式逐渐地位移从而所述阀体的位置到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量逐渐地变成零的方式进行流量控制。

3.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，

所述规定的流量比率是将流过所述主流道的流量等分配给所述第一分支流道与所述第二分支流道的流量比率，

所述基准位置是作为所述流体控制阀的全开位置而设定的位置。

4.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，

所述第一流体控制阀与设置在所述第一分支流道上的流量传感器一起构成第一流体控制装置，

所述第二流体控制阀与设置在所述第二分支流道上的流量传感器一起构成第二流体控制装置。

5.一种存储介质，存储有流量比率控制装置用控制程序，其特征在于，

所述流量比率控制装置具备：从主流道分支的至少第一分支流道以及第二分支流道；第一流体控制阀，设置在所述第一分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；以及第二流体控制阀，设置在所述第二分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器，

计算机通过执行所述流量比率控制装置用控制程序具备作为存储部以及流量比率控制部的功能，

所述存储部存储各所述流体控制阀中用于将流过所述主流道的流量以规定的流量比率分配给所述第一分支流道以及所述第二分支流道的所述阀体的基准位置，

所述流量比率控制部通过对所述第一流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第二流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制，控制所述至少第一分支流道以及第二分支流道的流量比率，

若进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体的位置成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制。

6.一种流量比率控制装置的控制方法，其特征在于，

所述流量比率控制装置具备：从主流道分支的至少第一分支流道以及第二分支流道；第一流体控制阀，设置在所述第一分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器；以及第二流体控制阀，设置在所述第二分支流道上，具有检测阀体的位置的位置传感器，

所述流量比率控制装置的控制方法包括：

存储工序，存储各所述流体控制阀中用于将流过所述主流道的流量以规定的流量比率分配给所述第一分支流道以及所述第二分支流道的所述阀体的基准位置；以及

流量比率控制工序，通过对所述第一流体控制阀以使其阀体成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第二流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制，控制所述至少第一分支流道以及第二分支流道的流量比率，

若进行流量控制的所述第二流体控制阀的阀体到达所述基准位置，则所述流量比率控制部对各所述流体控制阀的位置控制以及流量控制进行切换，对所述第二流体控制阀以使其阀体的位置成为所述基准位置的方式进行位置控制，对所述第一流体控制阀以使流量成为目标流量的方式进行流量控制。

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