JP2022073411A5 - - Google Patents

Description

そして、常時、圧力降下率を監視するとともに第２バルブＶ２の開度調節をし続けることで、所望流量に対応する圧力降下率を達成できる開度に第２バルブＶ２が開かれる。第２バルブＶ２は、その後は、おおむね一定の開度に維持される。

Claims (8)

1. ガス供給源に接続された流路に設けられた上流開閉バルブと、
   前記上流開閉バルブの下流側に設けられた開度調整可能な第１バルブと、
   前記第１バルブの下流側に設けられた開度調整可能な第２バルブと、
   前記上流開閉バルブの下流側かつ前記第１バルブの上流側の供給圧力を測定する第１圧力センサと、
   前記第１バルブの下流側かつ前記第２バルブの上流側の保持圧力を測定する第２圧力センサと、
   制御回路と
   を備える流量制御装置であって、
   前記制御回路は、前記第２バルブの下流側に所定制御流量でガスを流すとき、
   前記上流開閉バルブをパルス的に複数回は開閉させ、
   前記所定制御流量に対応する所定圧力に前記保持圧力を維持するために前記第２圧力センサの出力に基づいて前記第１バルブをフィードバック制御し続ける一方で、
   前記上流開閉バルブを閉じている期間において、前記第１圧力センサを用いて測定した前記供給圧力の圧力降下特性と前記所定制御流量に対応する基準圧力降下特性との比較結果に基づいて、前記第２バルブの開度を調整するように構成されている、流量制御装置。
2. 前記第２バルブの下流側に所定制御流量でガスを流すとき、前記上流開閉バルブを閉じている期間とパルス的に１回開放する期間とが繰り返されるように構成されている、請求項１に記載の流量制御装置。
3. 前記第２バルブは開度センサを備え、前記上流開閉バルブを閉じている期間に測定された前記供給圧力の圧力降下特性と、前記所定制御流量に対応する基準圧力降下特性との比較結果に基づいて決定された前記開度センサの目標値となるように前記第２バルブの開度が調整される、請求項１または２に記載の流量制御装置。
4. 前記上流開閉バルブと前記第１バルブとの間の容積をＶｓ１とし、ΔＰ／Δｔを所定期間Δｔにおける前記供給圧力の圧力降下の大きさΔＰを示す圧力降下率とし、Ｃ１を比例定数としたとき、Ｑ＝Ｃ１・Ｖｓ１・（ΔＰ／Δｔ）で規定される流量Ｑが前記所定制御流量となるように、前記圧力降下率（ΔＰ／Δｔ）に基づく前記第２バルブの開度の調整が行われる、請求項１から３のいずれかに記載の流量制御装置。
5. 流量ゼロから前記所定制御流量に立ち上げるとき、前記制御回路は、
   前記上流開閉バルブおよび前記第１バルブを開くとともに前記第２バルブを閉じて前記供給圧力と前記保持圧力とが同等に維持されている状態から、前記上流開閉バルブのみを閉じ、
   前記上流開閉バルブのみを閉じた後に測定した前記供給圧力または前記保持圧力の圧力降下率に基づいて決定された演算流量が前記所定制御流量に近づくように前記第２バルブの開度がフィードバック制御される、請求項１から４のいずれかに記載の流量制御装置。
6. 前記上流開閉バルブが閉じられたまま、前記第２バルブをフィードバック制御により開き前記所定制御流量でガスが流れる状態を維持しながら前記供給圧力または前記保持圧力が所定値まで低下した時点で、前記上流開閉バルブをパルス的に開放する動作を開始するとともに前記第１バルブを前記第２圧力センサの出力に基づいてフィードバック制御する動作を開始する、請求項５に記載の流量制御装置。
7. 流量ゼロから前記所定制御流量に立ち上げるとき、前記上流開閉バルブと前記第１バルブとの間の容積をＶｓ１とし、前記第１バルブと前記第２バルブと間の容積をＶｓ２とし、ΔＰ／Δｔを所定期間Δｔにおける前記供給圧力または前記保持圧力の圧力降下の大きさΔＰを示す圧力降下率とし、Ｃ２を比例定数としたとき、Ｑ＝Ｃ２・（Ｖｓ１＋Ｖｓ２）・（ΔＰ／Δｔ）で規定される流量Ｑが前記所定制御流量となるように、前記第２バルブの開度のフィードバック制御が行われる、請求項５または６に記載の流量制御装置。
8. 前記所定制御流量を、第１の流量から第２の流量に切り替えるとき、前記上流開閉バルブを閉じている期間において、測定した前記供給圧力の圧力降下特性と比較するための基準圧力降下特性を、第１の流量に対応する基準圧力降下特性から第２の流量に対応する基準圧力降下特性に切り替え、更新された基準圧力降下特性に基づいて前記第２バルブの開度を調整することによって流量の切り替えを行うように構成されている、請求項１から７のいずれかに記載の流量制御装置。