JP2004213601A - コントロールパージ用質流量制御機及び動作方法 - Google Patents
コントロールパージ用質流量制御機及び動作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004213601A JP2004213601A JP2003129980A JP2003129980A JP2004213601A JP 2004213601 A JP2004213601 A JP 2004213601A JP 2003129980 A JP2003129980 A JP 2003129980A JP 2003129980 A JP2003129980 A JP 2003129980A JP 2004213601 A JP2004213601 A JP 2004213601A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- purge
- control
- input
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
【課題】一つの質量流量制御機で一般制御及びパージ二つの機能を同時に具現できるようにするコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法を提供する。
【解決手段】パージ機能を行う時、最大流量を一定に維持するため最大流量を制御するコントロールパージモードに設定すると、制御回路部で入力される流量の設定値と予め設定された敷居値を比較し、パージ用ゲイン抵抗にスイッチングし、最大流量を一定に維持するようバルブを制御するか、または一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングし、低い流量を精密に制御するようバルブを制御し、パージ機能モードに設定した後、最大流量となるようバルブオブンパージモードに設定すると、制御回路部から使用者が入力する流量の設定値と予め設定された敷居値とを比較し、最大流量が流れるようバルブを最大に開けるか、または流量を精密に制御するようバルブを制御する。
【選択図】 図３
【解決手段】パージ機能を行う時、最大流量を一定に維持するため最大流量を制御するコントロールパージモードに設定すると、制御回路部で入力される流量の設定値と予め設定された敷居値を比較し、パージ用ゲイン抵抗にスイッチングし、最大流量を一定に維持するようバルブを制御するか、または一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングし、低い流量を精密に制御するようバルブを制御し、パージ機能モードに設定した後、最大流量となるようバルブオブンパージモードに設定すると、制御回路部から使用者が入力する流量の設定値と予め設定された敷居値とを比較し、最大流量が流れるようバルブを最大に開けるか、または流量を精密に制御するようバルブを制御する。
【選択図】 図３
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量流量制御機及び動作方法に関する。
更に詳しくは、作業者が入力するガス流量の設定値（ｓｅｔ−ｐｏｉｎｔ）を基礎に低い流量または高い流量に適したゲインを自動に調整することによって、一つの質量流量制御機で一般制御及びパージ（ｐｕｒｇｅ）二つの機能を同時に具現できるようにするコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に質量流量制御機（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）は半導体製造用として使用される各種ガスを使用者が所望する流量分だけ流れるように精密で正確に調節する役割をする機器である。
【０００３】
この時、前述した制御機の殆どは、圧力や温度を修正することなく直接流量計測が可能であることはもちろん、高いレベルの電気出力が可能で、小さい流量変化を良く感知できる高い敏感度と小さい圧力損失とをもっており、さらに広い圧力範囲にも適用可能な長所を持っている熱伝導方式（熱伝達方式）のセンサーを採用し使用している。
【０００４】
図１は、前述した通りの一般的な質量流量制御機の構成を概略的に示した図面である。
【０００５】
図示された通り、質量流量制御機（１００）は熱伝導方式のセンサー（１１０）、バイパス（１２０）、バルブ（１３０）、制御回路部（１４０）から構成される。
【０００６】
センサー（１１０）は金属製等から構成されたチューブに感知コイルが巻かれており、電圧が印加されると感温抵抗体によって加熱され、チューブを介して流れるガスの流れに沿って感知コイルの両側から発生する温度差を感知しその値を制御回路部（１４０）に出力する。
【０００７】
バイパス（１２０）は外部により入力されるガスの一部分を、センサー（１１０）が設置されたチューブに流れるようにする部分であり、センサー（１１０）と並列構造に連結された別途のラインを通してガスの流れを分配し、分けられたセンサー流路と主流路との比率を調整する役割をする。
【０００８】
バルブ（１３０）は、センサー（１１０）により入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に、質量流量制御機（１００）を介してガスの実際の質量流量を測定、制御する制御回路部（１３０）の制御によってガスの流量を調節する。
【０００９】
制御回路部（１４０）は、使用者が予め入力した設定値と熱感知センサー（１１０）により入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に検出した質量流量を比較し、設定値と現在の質量流量の比較結果を基礎にガス流量を減らしたり増やしたりするようバルブ（１３０）を制御する。
【００１０】
このように構成された質量流量制御機（１００）の動作過程を説明すると、半導体の製造時に使用される特定ガスが質量流量制御機（１００）に流入されると、ガスの流れはバイパス（１２０）に流入される前に分離されセンサー（１１０）を直接通れるようになって、センサー（１１０）ではチューブを介して流れるガスの流れによって感知コイルの両側の温度変化を感知した後、温度差の値を制御回路部（１４０）に出力する。
【００１１】
そうすると、制御回路部（１４０）ではセンサー（１１０）により入力される温度差の値を基礎に現在の質量流量を検出し、使用者が予め入力した設定値と検出された質量流量値を比較してバルブ（１３０）の開閉を調節する。
【００１２】
即ち検出された質量流量が、使用者が予め入力した設定値よりも小さい場合にはバルブ（１３０）を更に開放するよう制御し、検出された質量流量が使用者が予め入力した設定値よりも大き場合には、バルブ（１３０）を閉めるよう制御することによってバイパス（１２０）を介して流入されるガスの流れを調整して所望するガス量が出力できるようにするものである。
【００１３】
例えば、前述した質量流量制御機を半導体のエーチング工程などに使用する場合には、通常、一般的な流量を精密に制御する質量流量制御機とパージ機能（掃除やその他の目的でバルブを開けて多くの流量を流す機能）を行う質量流量制御機等、二つの質量流量制御機を同時に使用する。
【００１４】
しかし、前述したような質量流量制御機を半導体のエーチング工程などに使用する時、一般制御用とパージ用の質量流量制御機を一緒に使用しなければならない不便さがあり、これにより装備構成に伴う費用が多くかかる問題点があった。
【００１５】
【発明が解決しようとしている課題】
本発明の目的は、前述した問題点を解決できるように、作業者が入力するガス流量の設定値を基礎に一般制御用である低い流量またはパージ用である高い流量に適したゲインを自動に調整することによって、一つの質量流量制御機で一般制御及びパージ二つの機能を同時に具現できるようにするコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、使用者が入力する流量の設定値が予め設定された敷居（ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）値以上である場合には、パージ用と判断し高い流量に適したゲインに調整され、使用者が入力する流量の設定値が予め設定された敷居値以下の場合には、一般制御用と判断し低い流量に適したゲインに調整されるようにするコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
こうした目的を達成するため、本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機は、チューブを介して流れるガスの流れによって感知コイルの両側から発生する温度差を感知してその値を回路部に出力するセンサーと；外部から入力されるガスの一部分を、センサーが設置されたチューブに流れるようにし、ガスの流れを分配して出力するバイパスと；制御回路部の一般制御用ゲイン調整またはパージ用ゲイン調整によってバイパスを介して流入されるガス流量を調節して出力するバルブと；パージ機能モードが設定された状態で、質量流量制御機を使用する使用者が入力する流量の設定値が予め敷居値以上であれば、パージ用と判断しパージ機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、使用者が入力する流量の設定値が敷居値以下であれば、一般制御用と判断し一般制御機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、パージ用または一般制御用にゲイン調整をした状態で、センサーにより入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算した後、使用者が設定した流量と比較して外部により流入されるガス流量を減らしたり増やしたりするようバルブを制御する制御回路部、とを含めて構成されたことを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法は、（１）質量流量制御機を使用する前に、使用者が当該質量流量制御機の使用用途に合せてパージ機能モードに設定するか、それとも一般モードに設定するかを判断する過程と；（２）判断結果、使用者が質量流量制御機をパージ機能モードに設定したならば、当該使用者がパージ機能の使用時、最大流量を一定に維持するため最大流量を制御するコントロールパージモードに設定するか、それともバルブを完全に開けて最大流量になるようにするバルブオプンパージモードに設定するかを判断する過程と；（３）前記過程（２）の判断結果、コントロールパージモードに設定された場合、制御回路部で使用者の選択に応じて入力される流量の設定値と予め設定された敷居値とを比較し、パージ機能を行うゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗にスイッチングして最大流量を一定に維持するようバルブを制御するか、または一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングして低い流量を精密に制御するようバルブを制御する過程と；（４）前記過程（２）の判断結果、バルブオプンパージモードに設定された場合、制御回路部で使用者が入力する流量の設定値と予め設定された敷居値とを比較し、最大流量が流れるようバブルを最大に開けるかまたは低い流量を精密に制御するようバルブを制御する過程を含めて構成されることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施形態】
以下、添付された図面を参照し本発明のコントロールパージ用質量流量制御機を詳細に説明する。
【００１９】
図２は、本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の構成を概略的に示した図面として、ここでは前述した図１の図面符号をそのまま使用することにする。
【００２０】
図示された通り、センサー（１１０）はチューブを介してガスの流れによって感知コイルの両側に発生する温度差を感知し、その値を制御回路部（１４０）に出力する。
【００２１】
バイパス（１２０）は、外部により入力されるガスの一部分を、センサー（１１０）が備えられたチューブに流れるようにし、ガスの流れを分配して出力する。
【００２２】
バルブ（１３０）は、制御回路部（１４０）から出力される一般制御用ゲイン調整またはパージ用ゲイン調整によるガス流量の増減のため、制御信号に従ってバイパス（１２０）を介して流入されるガス流量を調節し、一般制御時には使用者が設定した正確なガス流量が外部に出力されるようにし、パージ時には最大流量が外部に出力されるようにする。
【００２３】
制御回路部（１４０）は、パージ機能モードが設定された状態で、質量流量制御機（１００）を使用する使用者が入力する、流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、パージ用と判断してパージ機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、使用者が入力する流量の設定値が敷居値以下であれば、一般制御値と判断して一般制御機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングする。
【００２４】
そして、制御回路部（１４０）は、パージ用または一般制御用としてゲイン調整をした状態で、センサー（１１０）により入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に現在の質量流量（質量流量の単位としては標準立方センチメートル／分（ｓｃｃｍ； ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｕｂｉｃ ｃｅｎｔｉｍｅｔｅｒ ｐｅｒ ｍｉｎｕｔｅ）、または標準リットル／分（ｓｌｍ； ｓｔａｎｄａｒｄ ｌｉｔｅｒ ｐｅｒ ｍｉｎｕｔｅ）を使用）を演算した後、使用者が設定した流量と比較して外部により流入されるガス流量を減らしたり増やしたりするようバルブ（１３０）を制御する。
【００２５】
この時、前述したパージ機能モードは、パージ機能を行う時、最大流量を一定に維持するため最大流量を制御するコントロールパージモードと、最大流量を制御せずにバルブを最大に開けて最大流量になるようにするバルブオプンパージモードのいずれかであり、制御回路部（１４０）に予め保存され使用者が入力した流量の設定値と比較対象となる敷居値は、質量流量制御機（１００）の使用用途に合せて適切に調整して設定することができる（例えば、質量流量制御機（１００）の最大流量範囲（ｆｕｌｌ ｓｃａｌｅ）の９５％に設定）。
【００２６】
前述した制御回路部（１４０）は、インターフェイス（１４１）、マイクロプロセッサー（１４２）、スイッチ（１４３）、パージ用ゲイン抵抗（１４４）、一般制御用ゲイン抵抗（１４５）、増幅部（１４６）及び抵抗（Ｒ１、Ｒ２）から構成される。
【００２７】
図示された通り、インターフェイス（１４１）は使用者が入力する流量の設定値をマイクロプロセッサー（１４２）に出力する。
【００２８】
マイクロプロセッサー（１４２）は、パージ機能モードが設定された状態で、インターフェイス部（１４１）を介して設定値が入力されると、予め設定された敷居値と比較して使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、パージ用ゲイン抵抗（１４４）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力し、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以下であれば、一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力する。
【００２９】
そしてマイクロプロセッサー（１４２）は、パージ用ゲイン抵抗（１４４）または一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングされた状態で、増幅部（１４６）により増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と使用者が設定した質量流量を比較した後、比較結果に従って外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするためバルブ制御信号をバルブ（１３０）に出力する。
【００３０】
スイッチ（１４３）は、マイクロプロセッサー（１４２）により入力されるスイッチング制御信号に従ってパージ用または一般制御用ゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗（１４４）または一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングする。
【００３１】
パージ用ゲイン抵抗（１４４）は、高い流量（例えば、１０００ｓｃｃｍ）を処理できるゲイン値を持つ抵抗である。
【００３２】
一般制御用ゲイン抵抗（１４５）は、低い流量（例えば、５から５０ｓｃｃｍまで）を処理できるゲイン値を持つ抵抗である。
【００３３】
増幅部（１４６）は、スイッチ（１４３）によってスイッチングされたパージ用ゲイン抵抗（１４４）、または一般制御用ゲイン抵抗（１４５）のゲイン値によってセンサー（１１０）で感知され入力される温度差の値を増幅してマイクロプロセッサー（１４２）に出力する。
【００３４】
次に、このように構成された本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法の一実施例を図３乃至図５を参照しながら更に詳細に説明する。
【００３５】
図３乃至図５は、本発明よるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法の過程を詳細に示した順序図である。
【００３６】
まず、質量流量制御機（１００）を使用する前に、使用者が当該質量流量制御機（１００）の使用目的に応じてパージ機能モード（掃除やその他の目的でバルブを開けて多くの流量が流れるようにする機能）に設定するか、あるいは一般モード（一般的な質量流量制御機の機能）に設定するかを判断する（Ｓ１００）。
【００３７】
判断結果、使用者が質量流量制御機（１００）をパージ機能モードに設定すると、当該使用者がパージ機能の使用時、最大流量を一定に維持するためバルブ（１３０）の最大流量を制御するコントロールパージモード（ｃｏｎｔｒｏｌ ｐｕｒｇｅ ｍｏｄｅ）に設定するか、それともバルブ（１３０）を完全に開けて最大流量になるようにするバルブオプンパージモード（ｖａｌｖｅ ｏｐｅｎ ｐｕｒｇｅ ｍｏｄｅ）に設定するかを判断する（Ｓ２００）。
【００３８】
判断結果、コントロールパージモードに設定された場合、制御回路部（１４０）では使用者の選択に応じて入力される流量の設定値と、予め設定された敷居値とを比較してパージ機能を行うゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗（１４４）にスイッチングし、最大流量を一定に維持するようバルブ（１３０）を制御するか、または一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチし、低い流量を精密に制御するようバルブ（１３０）を制御する（Ｓ３００）。
【００３９】
これを詳細に説明すれば、質量流量制御機（１００）がコントロールパージモードに設定された状態で、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）ではインターフェイス部（１４１）を介して使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されたかを判断する（Ｓ３１０）。
【００４０】
判断結果、使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されると、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）では使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であるかを判断する（Ｓ３２０）。即ち、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値である最大流量範囲の一定範囲（例えば、質量流量制御機（１００）の最大流量範囲の９５％）以上であるかを判断するのである。
【００４１】
判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、マイクロプロセッサー（１４２）ではパージ機能を行うゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗（１４４）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力し増幅部（１４６）のゲイン値を調整する（Ｓ３３０）。
【００４２】
その後、マイクロプロセッサー（１４２）では増幅部（１４６）を介して増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量とパージ機能を行うための最大流量と比較し（Ｓ３４０）、比較結果によって外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするため制御信号をバルブ（１３０）に出力し、最大流量を一定に維持するようにする（Ｓ３５０）。
【００４３】
しかしながら、前述した段階（Ｓ３２０）の判断結果、使用者が入力した設定値が予め設定された敷居値以下であれば、マイクロプロセッサー（１４２）では一般制御機能を行うゲイン値を持つ一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力し増幅部（１４６）のゲイン値を調整する（Ｓ３６０）。
【００４４】
その後、マイクロプロセッサー（１４２）では増幅部（１４６）を介して増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と一般制御機能を行うため使用者が入力した質量流量を比較し（Ｓ３７０）、比較結果によって外部により入力されるガス流量を正確に出力できるようにする（Ｓ３８０）。
【００４５】
一方、前述した過程（Ｓ２００）の判断結果、バルブオプンパージモードに設定した場合、制御回路部（１４０）では使用者が入力する流量の設定値と予め設定された敷居値を比較し、最大流量が流れるようバルブ（１３０）を最大に開けるか、あるいは低い流量を精密に制御するようバルブ（１３０）を制御する（Ｓ４００）。
【００４６】
これを詳細に説明すれば、質量流量制御機（１００） がバルブオプンパージモードに設定された状態で、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）ではインターフェイス部（１４１）を介して使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されたかを判断する（Ｓ４１０）。
【００４７】
判断結果、使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されると、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）では使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居以上であるかを判断する（Ｓ４２０）。即ち、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値である最大流量範囲の一定範囲（例えば、質量流量制御機（１００）の最大流量範囲の９５％）以上であるかを判断するのである。
【００４８】
判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、マイクロプロセッサー（１４２）ではパージ機能を行なうため、バルブ（１３０）を最大に開けるための制御信号をバルブ（１３０）に出力し最大流量が流れるようにする（Ｓ４３０）。
【００４９】
しかしながら、前述した段階（Ｓ４２０）の判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以下であれば、マイクロプロセッサー（１４２）で増幅部（１４６）を介して増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知される温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と一般制御機能を行うため使用者が入力した質量流量を比較し（Ｓ４４０）、比較結果に従って外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするため制御信号をバルブ（１３０）に出力し、低い流量範囲のガスを正確に出力できるようにする（Ｓ４５０）。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように、本発明のコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法によれば、一つの質量流量制御機を使用して一般的な精密制御機能とパージ機能を、一つの質量流量制御機で具現することにより、従来からのように、一般制御用とパージ用の質量流量制御機とを一緒に使用しなければならない不便さが解消され、かつ、装備を簡単に構成することができ、製造費用を低減し得る効果がある。
【００５１】
ここで、前述した本発明では望ましい実施例を参照しながら説明したが、当該技術分野に熟練された当業者は、前記の特許請求範囲に記載された本発明の思想及び領域を越えない範囲内において本発明を多様に修正及び変更できることを理解し得るだろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】一般的な質量流量制御機の構造を示した図面である。
【図２】本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の構成を概略的に示した図面である。
【図３】本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法の過程を詳細に示した順序図である。
【図４】図３の各サブルーチンの構成を更に詳細に示した順序図である。
【図５】図３の各サブルーチンの構成を更に詳細に示した順序図である。
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量流量制御機及び動作方法に関する。
更に詳しくは、作業者が入力するガス流量の設定値（ｓｅｔ−ｐｏｉｎｔ）を基礎に低い流量または高い流量に適したゲインを自動に調整することによって、一つの質量流量制御機で一般制御及びパージ（ｐｕｒｇｅ）二つの機能を同時に具現できるようにするコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に質量流量制御機（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）は半導体製造用として使用される各種ガスを使用者が所望する流量分だけ流れるように精密で正確に調節する役割をする機器である。
【０００３】
この時、前述した制御機の殆どは、圧力や温度を修正することなく直接流量計測が可能であることはもちろん、高いレベルの電気出力が可能で、小さい流量変化を良く感知できる高い敏感度と小さい圧力損失とをもっており、さらに広い圧力範囲にも適用可能な長所を持っている熱伝導方式（熱伝達方式）のセンサーを採用し使用している。
【０００４】
図１は、前述した通りの一般的な質量流量制御機の構成を概略的に示した図面である。
【０００５】
図示された通り、質量流量制御機（１００）は熱伝導方式のセンサー（１１０）、バイパス（１２０）、バルブ（１３０）、制御回路部（１４０）から構成される。
【０００６】
センサー（１１０）は金属製等から構成されたチューブに感知コイルが巻かれており、電圧が印加されると感温抵抗体によって加熱され、チューブを介して流れるガスの流れに沿って感知コイルの両側から発生する温度差を感知しその値を制御回路部（１４０）に出力する。
【０００７】
バイパス（１２０）は外部により入力されるガスの一部分を、センサー（１１０）が設置されたチューブに流れるようにする部分であり、センサー（１１０）と並列構造に連結された別途のラインを通してガスの流れを分配し、分けられたセンサー流路と主流路との比率を調整する役割をする。
【０００８】
バルブ（１３０）は、センサー（１１０）により入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に、質量流量制御機（１００）を介してガスの実際の質量流量を測定、制御する制御回路部（１３０）の制御によってガスの流量を調節する。
【０００９】
制御回路部（１４０）は、使用者が予め入力した設定値と熱感知センサー（１１０）により入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に検出した質量流量を比較し、設定値と現在の質量流量の比較結果を基礎にガス流量を減らしたり増やしたりするようバルブ（１３０）を制御する。
【００１０】
このように構成された質量流量制御機（１００）の動作過程を説明すると、半導体の製造時に使用される特定ガスが質量流量制御機（１００）に流入されると、ガスの流れはバイパス（１２０）に流入される前に分離されセンサー（１１０）を直接通れるようになって、センサー（１１０）ではチューブを介して流れるガスの流れによって感知コイルの両側の温度変化を感知した後、温度差の値を制御回路部（１４０）に出力する。
【００１１】
そうすると、制御回路部（１４０）ではセンサー（１１０）により入力される温度差の値を基礎に現在の質量流量を検出し、使用者が予め入力した設定値と検出された質量流量値を比較してバルブ（１３０）の開閉を調節する。
【００１２】
即ち検出された質量流量が、使用者が予め入力した設定値よりも小さい場合にはバルブ（１３０）を更に開放するよう制御し、検出された質量流量が使用者が予め入力した設定値よりも大き場合には、バルブ（１３０）を閉めるよう制御することによってバイパス（１２０）を介して流入されるガスの流れを調整して所望するガス量が出力できるようにするものである。
【００１３】
例えば、前述した質量流量制御機を半導体のエーチング工程などに使用する場合には、通常、一般的な流量を精密に制御する質量流量制御機とパージ機能（掃除やその他の目的でバルブを開けて多くの流量を流す機能）を行う質量流量制御機等、二つの質量流量制御機を同時に使用する。
【００１４】
しかし、前述したような質量流量制御機を半導体のエーチング工程などに使用する時、一般制御用とパージ用の質量流量制御機を一緒に使用しなければならない不便さがあり、これにより装備構成に伴う費用が多くかかる問題点があった。
【００１５】
【発明が解決しようとしている課題】
本発明の目的は、前述した問題点を解決できるように、作業者が入力するガス流量の設定値を基礎に一般制御用である低い流量またはパージ用である高い流量に適したゲインを自動に調整することによって、一つの質量流量制御機で一般制御及びパージ二つの機能を同時に具現できるようにするコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、使用者が入力する流量の設定値が予め設定された敷居（ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）値以上である場合には、パージ用と判断し高い流量に適したゲインに調整され、使用者が入力する流量の設定値が予め設定された敷居値以下の場合には、一般制御用と判断し低い流量に適したゲインに調整されるようにするコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
こうした目的を達成するため、本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機は、チューブを介して流れるガスの流れによって感知コイルの両側から発生する温度差を感知してその値を回路部に出力するセンサーと；外部から入力されるガスの一部分を、センサーが設置されたチューブに流れるようにし、ガスの流れを分配して出力するバイパスと；制御回路部の一般制御用ゲイン調整またはパージ用ゲイン調整によってバイパスを介して流入されるガス流量を調節して出力するバルブと；パージ機能モードが設定された状態で、質量流量制御機を使用する使用者が入力する流量の設定値が予め敷居値以上であれば、パージ用と判断しパージ機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、使用者が入力する流量の設定値が敷居値以下であれば、一般制御用と判断し一般制御機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、パージ用または一般制御用にゲイン調整をした状態で、センサーにより入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算した後、使用者が設定した流量と比較して外部により流入されるガス流量を減らしたり増やしたりするようバルブを制御する制御回路部、とを含めて構成されたことを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法は、（１）質量流量制御機を使用する前に、使用者が当該質量流量制御機の使用用途に合せてパージ機能モードに設定するか、それとも一般モードに設定するかを判断する過程と；（２）判断結果、使用者が質量流量制御機をパージ機能モードに設定したならば、当該使用者がパージ機能の使用時、最大流量を一定に維持するため最大流量を制御するコントロールパージモードに設定するか、それともバルブを完全に開けて最大流量になるようにするバルブオプンパージモードに設定するかを判断する過程と；（３）前記過程（２）の判断結果、コントロールパージモードに設定された場合、制御回路部で使用者の選択に応じて入力される流量の設定値と予め設定された敷居値とを比較し、パージ機能を行うゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗にスイッチングして最大流量を一定に維持するようバルブを制御するか、または一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングして低い流量を精密に制御するようバルブを制御する過程と；（４）前記過程（２）の判断結果、バルブオプンパージモードに設定された場合、制御回路部で使用者が入力する流量の設定値と予め設定された敷居値とを比較し、最大流量が流れるようバブルを最大に開けるかまたは低い流量を精密に制御するようバルブを制御する過程を含めて構成されることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施形態】
以下、添付された図面を参照し本発明のコントロールパージ用質量流量制御機を詳細に説明する。
【００１９】
図２は、本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の構成を概略的に示した図面として、ここでは前述した図１の図面符号をそのまま使用することにする。
【００２０】
図示された通り、センサー（１１０）はチューブを介してガスの流れによって感知コイルの両側に発生する温度差を感知し、その値を制御回路部（１４０）に出力する。
【００２１】
バイパス（１２０）は、外部により入力されるガスの一部分を、センサー（１１０）が備えられたチューブに流れるようにし、ガスの流れを分配して出力する。
【００２２】
バルブ（１３０）は、制御回路部（１４０）から出力される一般制御用ゲイン調整またはパージ用ゲイン調整によるガス流量の増減のため、制御信号に従ってバイパス（１２０）を介して流入されるガス流量を調節し、一般制御時には使用者が設定した正確なガス流量が外部に出力されるようにし、パージ時には最大流量が外部に出力されるようにする。
【００２３】
制御回路部（１４０）は、パージ機能モードが設定された状態で、質量流量制御機（１００）を使用する使用者が入力する、流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、パージ用と判断してパージ機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、使用者が入力する流量の設定値が敷居値以下であれば、一般制御値と判断して一般制御機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングする。
【００２４】
そして、制御回路部（１４０）は、パージ用または一般制御用としてゲイン調整をした状態で、センサー（１１０）により入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に現在の質量流量（質量流量の単位としては標準立方センチメートル／分（ｓｃｃｍ； ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｕｂｉｃ ｃｅｎｔｉｍｅｔｅｒ ｐｅｒ ｍｉｎｕｔｅ）、または標準リットル／分（ｓｌｍ； ｓｔａｎｄａｒｄ ｌｉｔｅｒ ｐｅｒ ｍｉｎｕｔｅ）を使用）を演算した後、使用者が設定した流量と比較して外部により流入されるガス流量を減らしたり増やしたりするようバルブ（１３０）を制御する。
【００２５】
この時、前述したパージ機能モードは、パージ機能を行う時、最大流量を一定に維持するため最大流量を制御するコントロールパージモードと、最大流量を制御せずにバルブを最大に開けて最大流量になるようにするバルブオプンパージモードのいずれかであり、制御回路部（１４０）に予め保存され使用者が入力した流量の設定値と比較対象となる敷居値は、質量流量制御機（１００）の使用用途に合せて適切に調整して設定することができる（例えば、質量流量制御機（１００）の最大流量範囲（ｆｕｌｌ ｓｃａｌｅ）の９５％に設定）。
【００２６】
前述した制御回路部（１４０）は、インターフェイス（１４１）、マイクロプロセッサー（１４２）、スイッチ（１４３）、パージ用ゲイン抵抗（１４４）、一般制御用ゲイン抵抗（１４５）、増幅部（１４６）及び抵抗（Ｒ１、Ｒ２）から構成される。
【００２７】
図示された通り、インターフェイス（１４１）は使用者が入力する流量の設定値をマイクロプロセッサー（１４２）に出力する。
【００２８】
マイクロプロセッサー（１４２）は、パージ機能モードが設定された状態で、インターフェイス部（１４１）を介して設定値が入力されると、予め設定された敷居値と比較して使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、パージ用ゲイン抵抗（１４４）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力し、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以下であれば、一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力する。
【００２９】
そしてマイクロプロセッサー（１４２）は、パージ用ゲイン抵抗（１４４）または一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングされた状態で、増幅部（１４６）により増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と使用者が設定した質量流量を比較した後、比較結果に従って外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするためバルブ制御信号をバルブ（１３０）に出力する。
【００３０】
スイッチ（１４３）は、マイクロプロセッサー（１４２）により入力されるスイッチング制御信号に従ってパージ用または一般制御用ゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗（１４４）または一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングする。
【００３１】
パージ用ゲイン抵抗（１４４）は、高い流量（例えば、１０００ｓｃｃｍ）を処理できるゲイン値を持つ抵抗である。
【００３２】
一般制御用ゲイン抵抗（１４５）は、低い流量（例えば、５から５０ｓｃｃｍまで）を処理できるゲイン値を持つ抵抗である。
【００３３】
増幅部（１４６）は、スイッチ（１４３）によってスイッチングされたパージ用ゲイン抵抗（１４４）、または一般制御用ゲイン抵抗（１４５）のゲイン値によってセンサー（１１０）で感知され入力される温度差の値を増幅してマイクロプロセッサー（１４２）に出力する。
【００３４】
次に、このように構成された本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法の一実施例を図３乃至図５を参照しながら更に詳細に説明する。
【００３５】
図３乃至図５は、本発明よるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法の過程を詳細に示した順序図である。
【００３６】
まず、質量流量制御機（１００）を使用する前に、使用者が当該質量流量制御機（１００）の使用目的に応じてパージ機能モード（掃除やその他の目的でバルブを開けて多くの流量が流れるようにする機能）に設定するか、あるいは一般モード（一般的な質量流量制御機の機能）に設定するかを判断する（Ｓ１００）。
【００３７】
判断結果、使用者が質量流量制御機（１００）をパージ機能モードに設定すると、当該使用者がパージ機能の使用時、最大流量を一定に維持するためバルブ（１３０）の最大流量を制御するコントロールパージモード（ｃｏｎｔｒｏｌ ｐｕｒｇｅ ｍｏｄｅ）に設定するか、それともバルブ（１３０）を完全に開けて最大流量になるようにするバルブオプンパージモード（ｖａｌｖｅ ｏｐｅｎ ｐｕｒｇｅ ｍｏｄｅ）に設定するかを判断する（Ｓ２００）。
【００３８】
判断結果、コントロールパージモードに設定された場合、制御回路部（１４０）では使用者の選択に応じて入力される流量の設定値と、予め設定された敷居値とを比較してパージ機能を行うゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗（１４４）にスイッチングし、最大流量を一定に維持するようバルブ（１３０）を制御するか、または一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチし、低い流量を精密に制御するようバルブ（１３０）を制御する（Ｓ３００）。
【００３９】
これを詳細に説明すれば、質量流量制御機（１００）がコントロールパージモードに設定された状態で、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）ではインターフェイス部（１４１）を介して使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されたかを判断する（Ｓ３１０）。
【００４０】
判断結果、使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されると、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）では使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であるかを判断する（Ｓ３２０）。即ち、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値である最大流量範囲の一定範囲（例えば、質量流量制御機（１００）の最大流量範囲の９５％）以上であるかを判断するのである。
【００４１】
判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、マイクロプロセッサー（１４２）ではパージ機能を行うゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗（１４４）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力し増幅部（１４６）のゲイン値を調整する（Ｓ３３０）。
【００４２】
その後、マイクロプロセッサー（１４２）では増幅部（１４６）を介して増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量とパージ機能を行うための最大流量と比較し（Ｓ３４０）、比較結果によって外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするため制御信号をバルブ（１３０）に出力し、最大流量を一定に維持するようにする（Ｓ３５０）。
【００４３】
しかしながら、前述した段階（Ｓ３２０）の判断結果、使用者が入力した設定値が予め設定された敷居値以下であれば、マイクロプロセッサー（１４２）では一般制御機能を行うゲイン値を持つ一般制御用ゲイン抵抗（１４５）にスイッチングするため制御信号をスイッチ（１４３）に出力し増幅部（１４６）のゲイン値を調整する（Ｓ３６０）。
【００４４】
その後、マイクロプロセッサー（１４２）では増幅部（１４６）を介して増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と一般制御機能を行うため使用者が入力した質量流量を比較し（Ｓ３７０）、比較結果によって外部により入力されるガス流量を正確に出力できるようにする（Ｓ３８０）。
【００４５】
一方、前述した過程（Ｓ２００）の判断結果、バルブオプンパージモードに設定した場合、制御回路部（１４０）では使用者が入力する流量の設定値と予め設定された敷居値を比較し、最大流量が流れるようバルブ（１３０）を最大に開けるか、あるいは低い流量を精密に制御するようバルブ（１３０）を制御する（Ｓ４００）。
【００４６】
これを詳細に説明すれば、質量流量制御機（１００） がバルブオプンパージモードに設定された状態で、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）ではインターフェイス部（１４１）を介して使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されたかを判断する（Ｓ４１０）。
【００４７】
判断結果、使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されると、制御回路部（１４０）のマイクロプロセッサー（１４２）では使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居以上であるかを判断する（Ｓ４２０）。即ち、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値である最大流量範囲の一定範囲（例えば、質量流量制御機（１００）の最大流量範囲の９５％）以上であるかを判断するのである。
【００４８】
判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、マイクロプロセッサー（１４２）ではパージ機能を行なうため、バルブ（１３０）を最大に開けるための制御信号をバルブ（１３０）に出力し最大流量が流れるようにする（Ｓ４３０）。
【００４９】
しかしながら、前述した段階（Ｓ４２０）の判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以下であれば、マイクロプロセッサー（１４２）で増幅部（１４６）を介して増幅され入力されるセンサー（１１０）によって感知される温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と一般制御機能を行うため使用者が入力した質量流量を比較し（Ｓ４４０）、比較結果に従って外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするため制御信号をバルブ（１３０）に出力し、低い流量範囲のガスを正確に出力できるようにする（Ｓ４５０）。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように、本発明のコントロールパージ用質量流量制御機及び動作方法によれば、一つの質量流量制御機を使用して一般的な精密制御機能とパージ機能を、一つの質量流量制御機で具現することにより、従来からのように、一般制御用とパージ用の質量流量制御機とを一緒に使用しなければならない不便さが解消され、かつ、装備を簡単に構成することができ、製造費用を低減し得る効果がある。
【００５１】
ここで、前述した本発明では望ましい実施例を参照しながら説明したが、当該技術分野に熟練された当業者は、前記の特許請求範囲に記載された本発明の思想及び領域を越えない範囲内において本発明を多様に修正及び変更できることを理解し得るだろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】一般的な質量流量制御機の構造を示した図面である。
【図２】本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の構成を概略的に示した図面である。
【図３】本発明によるコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法の過程を詳細に示した順序図である。
【図４】図３の各サブルーチンの構成を更に詳細に示した順序図である。
【図５】図３の各サブルーチンの構成を更に詳細に示した順序図である。
Claims (8)
- 半導体製造用に使用される各種ガスを使用者が所望する流量分だけ流れるように精密でかつ正確に調節する役割をする質量流量制御機において、
チューブを介して流れるガスの流れによって感知コイルの両側で発生する温度変化を感知して温度差の値を制御回路部へ出力するセンサー；
外部から入力されるガスの一部分をセンサーが設置されたチューブに流れるようにし、ガスの流れを分けて出力するバイパス；
制御回路部の一般制御用ゲイン調整またはパージ用ゲイン調整によって前記バイパスを介して流入されるガス流量を調節し出力するバルブ；及びパージ機能モードが設定された状態で、質量流量制御機を使用する使用者が入力する流量の設定値が予め設定された敷居（ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）値以上であれば、パージ用と判断されパージ機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、また使用者が入力する流量の設定値が敷居値以下であれば、一般制御用と判断され一般制御機能を行うゲイン値をもつ抵抗にスイッチングし、パージ用または一般制御用にゲイン調整をした状態で、前記センサーにより入力されるガス流れによる温度差の値を基礎に、現在の質量流量を演算した後に使用者が設定した流量と比較し、外部により流入されるガス流量を減らしたり増やしたりするよう前記バルブを制御する制御回路部、とを含めて構成されることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機。 - 第１項において、前記制御回路部は、
使用者が入力する流量の設定値をマイクロプロセッサーへ出力するインターフェイス部；
パージ機能モードが設定された状態で、前記インターフェイス部を介して流量の設定値が入力されると、予め設定された敷居値と比較して使用者が入力した設定値が予め設定された敷居値以上であれば、パージ用ゲイン抵抗にスイッチングするため制御信号をスイッチに出力し、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以下であれば、一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングするため制御信号をスイッチに出力し、パージ用または一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングされた状態で、増幅部により増幅され入力される前記センサーによって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と使用者が設定した質量流量とを比較し、その比較結果に従って外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするためバルブ制御信号を前記バルブに出力するマイクロプロセッサー；
前記マイクロプロセッサーから入力されるスイッチング制御信号によってパージ用または一般制御用ゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗または一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングするスイッチ；及び
前記スイッチによってスイッチングされたパージ用ゲイン抵抗または一般制御用ゲイン抵抗のゲイン値に従って前記センサーによって感知され入力される温度差の値を増幅して前記マイクロプロセッサーに出力する増幅部、とを含めて構成されることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機。 - 第１項において、前記パージ機能モードは、
パージ機能の使用時、最大流量を一定に維持するための最大流量を制御するコントロールパージモードと、最大流量を制御せずにバルブを完全に開けて最大流量となるようにするバルブオプンパージモードのいずれかに設定できることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機。 - 第１項または第２項において、前記制御回路部に予め保存され使用者が入力した流量の設定値と比較対象となる敷居値は、
使用用途に合せて適切に設定され得ることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機。 - 半導体製造用に使用される各種ガスを使用者が所望する流量分だけ流れるように精密でかつ正確に調整する役割をする質量流量制御機において、
（１）流量制御機を使用する前に、使用者が当該質量流量制御機の使用用途に合せてパージ機能モードに設定するか、それとも一般モードに設定するかを判断する過程；
（２）判断結果、使用者が質量流量制御機をパージ機能モードに設定した場合、当該使用者がパージ機能の使用時、最大流量を一定に維持するため最大流量を制御するコントロールパージモードに設定するか、それともバルブを完全に開けて最大流量になるようにバルブオプンパージモードに設定するかを判断する過程；
（３）前記過程（２）の判断結果、コントロールパージモードに設定された場合、制御回路部で使用者の選択に応じて入力される流量の設定値と予め設定された敷居値を比較し、パージ機能を行うゲイン値を持つパージ用ゲイン抵抗にスイッチングして最大流量を一定に維持するようバルブを制御するか、または一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングして低い流量を精密に制御するようバルブを制御する過程；及び
（４）前記過程（２）の判断結果、バルブオプンパージモードに設定された場合、制御回路部から使用者の選択に応じて入力される流量の設定値と予め設定された敷居値とを比較し、最大流量が流れるようバルブを最大に開けるか、または低い流量を精密に制御するようバルブを制御する過程を含めて構成されることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法。 - 第５項において、前記過程（３）は、
（３−１）質量流量制御機がコントロールパージモードに設定された状態で、制御回路部のマイクロプロセッサーからインターフェイスを介して使用者の選択により流量の設定値が入力されるかを判断する段階；
（３−２）制御回路部のマイクロプロセッサーで使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であることを判断する段階；
（３−３）判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、マイクロプロセッサーでパージ機能を行うゲイン値をもつパージ用ゲイン抵抗にスイッチングするため制御信号をスイッチに出力し、増幅部のゲイン値を調整する段階；
（３−４）マイクロプロセッサーで増幅部を介して増幅され入力されるセンサーによって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量とパージ機能を行うための最大流量とを比較する段階；
（３−５）比較結果によりマイクロプロセッサーで外部から入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするため制御信号をバルブに出力し、最大流量が一定に維持されるようにする段階；
（３−６）前記段階（３−２）の判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以下であれば、マイクロプロセッサーで一般制御機能を行うゲイン値をもつ一般制御用ゲイン抵抗にスイッチングするため制御信号をスイッチに出力して増幅部のゲイン値を調整する段階；
（３−７）マイクロプロセッサーで増幅部を介して増幅され入力される、センサーによって感知された温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と一般制御機能を行うため使用者が入力した質量流量、とを比較する段階；及び
（３−８）比較結果によってマイクロプロセッサーで外部から入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするための制御信号をバルブに出力し、低い流量範囲のガスを正確に出力できるようにする段階を含めてなることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法。 - 第５項において、前記過程（４）は、
（４−１）質量流量制御機がバルブオプンパージモードに設定された状態で、制御回路部のマイクロプロセッサーからインターフェイスを介して使用者の選択に応じて流量の設定値が入力されるかを判断する段階；
（４−２）制御回路部のマイクロプロセッサーから使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であることを判断する段階；
（４−３）判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以上であれば、マイクロプロセッサーからパージ機能を行うため、バルブを最大に開けるため制御信号をバルブに出力して最大流量が流れるようにする段階；
（４−４）前記段階（４−２）の判断結果、使用者が入力した流量の設定値が予め設定された敷居値以下であれば、マイクロプロセッサーから増幅部を介して増幅され入力されるセンサーによって感知される温度差の値を基礎に現在の質量流量を演算し、演算された現在の質量流量と、一般制御機能を行うため使用者が入力した質量流量を比較する段階；及び
（４−５）比較結果に従ってマイクロプロセッサーから外部により入力されるガス流量を減らしたり増やしたりするため制御信号をバルブに出力して低い流量範囲のガスを正確に出力できるようにする段階を含めてなることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法。 - 第５項乃至第７項いずれかの項において、前記制御回路部に予め保存され使用者が入力した流量の設定値と比較対象となる敷居値は、使用用途に合せて適切に設定され得ることを特徴とするコントロールパージ用質量流量制御機の動作方法。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2002-0084877A KR100502217B1 (ko) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | 컨트롤 퍼지용 질량유량 제어기 및 동작방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004213601A true JP2004213601A (ja) | 2004-07-29 |
Family
ID=32653162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003129980A Pending JP2004213601A (ja) | 2002-12-27 | 2003-05-08 | コントロールパージ用質流量制御機及び動作方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6843122B2 (ja) |
| JP (1) | JP2004213601A (ja) |
| KR (1) | KR100502217B1 (ja) |
| CN (1) | CN1238883C (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7603186B2 (en) * | 2006-04-28 | 2009-10-13 | Advanced Energy Industries, Inc. | Adaptive response time closed loop control algorithm |
| US7640078B2 (en) * | 2006-07-05 | 2009-12-29 | Advanced Energy Industries, Inc. | Multi-mode control algorithm |
| EP1959242A3 (en) * | 2007-02-19 | 2009-01-07 | Yamatake Corporation | Flowmeter and flow control device |
| US7874208B2 (en) * | 2007-10-10 | 2011-01-25 | Brooks Instrument, Llc | System for and method of providing a wide-range flow controller |
| JP2010169657A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-08-05 | Horiba Stec Co Ltd | 質量流量計及びマスフローコントローラ |
| JP5548292B1 (ja) * | 2013-05-30 | 2014-07-16 | 株式会社堀場エステック | 加熱気化システムおよび加熱気化方法 |
| US10139259B2 (en) * | 2014-12-05 | 2018-11-27 | General Electric Company | System and method for metering gas based on amplitude and/or temporal characteristics of an electrical signal |
| CN104482273B (zh) * | 2014-12-31 | 2017-06-23 | 陕西科技大学 | 一种提高阀门控制精度的控制方法 |
| CN109543988A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-03-29 | 中国银行股份有限公司 | 优化交易超时阀值的方法、装置和存储介质 |
| CN109781198B (zh) * | 2018-12-07 | 2023-10-20 | 金卡智能集团股份有限公司 | 一种用于检测计量仪表不受控流量的方法 |
| KR102068930B1 (ko) | 2019-06-07 | 2020-01-21 | 안무아 | 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계 |
| KR102171750B1 (ko) | 2019-06-07 | 2020-10-29 | 안무아 | 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조 |
| CN115372046B (zh) * | 2022-10-25 | 2023-04-07 | 佛山市顺德区美的洗涤电器制造有限公司 | 模拟油烟气的稳定释放装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4369031A (en) * | 1981-09-15 | 1983-01-18 | Thermco Products Corporation | Gas control system for chemical vapor deposition system |
-
2002
- 2002-12-27 KR KR10-2002-0084877A patent/KR100502217B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-05-07 US US10/431,129 patent/US6843122B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-08 JP JP2003129980A patent/JP2004213601A/ja active Pending
- 2003-06-11 CN CNB031371914A patent/CN1238883C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20040058569A (ko) | 2004-07-05 |
| KR100502217B1 (ko) | 2005-07-19 |
| CN1238883C (zh) | 2006-01-25 |
| US6843122B2 (en) | 2005-01-18 |
| US20040123657A1 (en) | 2004-07-01 |
| CN1512541A (zh) | 2004-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004213601A (ja) | コントロールパージ用質流量制御機及び動作方法 | |
| US20080140260A1 (en) | Controller gain scheduling for mass flow controllers | |
| TWI719513B (zh) | 流量控制方法及流量控制裝置 | |
| TWI723170B (zh) | 流量控制裝置、用於流量控制裝置的程式與流量控制方法 | |
| US11340635B2 (en) | Flow rate control apparatus, flow rate control method, and program recording medium having recorded therein program for flow rate control apparatus | |
| US20180253112A1 (en) | Fluid control unit and program storage media for fluid control unit | |
| JP2004302914A (ja) | 一次側圧力のセンサを具えたマスフローコントローラ | |
| JP4300846B2 (ja) | 流量センサ、流量測定器及び流量制御器 | |
| JP3893115B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
| JPH064139A (ja) | 流量コントローラー | |
| JP3637270B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
| KR100486641B1 (ko) | 아날로그 게인 조정을 이용한 질량유량 제어기 및 동작방법 | |
| JP2004199245A (ja) | 流量制御方法および流量制御装置 | |
| JP2718821B2 (ja) | ガス流量制御装置 | |
| JPH06257852A (ja) | 給湯器 | |
| JP4578607B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
| JPH05113825A (ja) | 流量コントローラー | |
| JPH09222344A (ja) | マスフローコントローラ | |
| JPH07271447A (ja) | マスフローコントローラ | |
| JPH0363087B2 (ja) | ||
| JP5110006B2 (ja) | 流量センサ、流量測定器及び流量制御器 | |
| KR20040043861A (ko) | 디지털 게인 조정을 이용한 질량유량 제어기 및 동작방법 | |
| JPH07261846A (ja) | マスフローコントローラ | |
| JPH01234700A (ja) | 蒸気トレーシング装置 | |
| JP2022083378A (ja) | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060214 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20060424 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20060427 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060804 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061017 |