JPH0363087B2 - - Google Patents
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- JPH0363087B2 JPH0363087B2 JP27911784A JP27911784A JPH0363087B2 JP H0363087 B2 JPH0363087 B2 JP H0363087B2 JP 27911784 A JP27911784 A JP 27911784A JP 27911784 A JP27911784 A JP 27911784A JP H0363087 B2 JPH0363087 B2 JP H0363087B2
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- gas
- flow rate
- mass flow
- signal
- temperature signal
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は、サーマルセンサにより取り出され
る信号を増幅して流量データを得るタイプの質量
流量制御装置の改良に関するものである。 〔従来の技術〕 従来の斯種質量流量制御装置においては、サー
マルセンサにより取り出される温度信号を、特定
のガス専用の増幅率を有するように設計された増
幅器により増幅して当該ガスの流量データを得て
いた。かかるサーマルセンサを用いると、センサ
管内を流れるガス（一般的には、数c.c.／分〜数十
c.c.／分）の質量流量に比例した出力が得られる
が、異なるガス間では、ガスの密度や比熱が異な
るため、上記センサ管内を流れるガスの質量流量
が同じであるにもかかわらず、得られる出力に差
が生じる。 そこで、一般的には、N2を基準とし、N2を流
した場合に得られる出力と同じ出力を得るために
必要な、あるガスの質量流量をN2に対する比で
表わしたコンバーシヨンフイルター（CF）とい
う定数が用いられる。例えばHeのCFは1.44であ
る。これは、N2で１の出力を得ているとき、He
ではこのN2の質量流量の1.44倍を流さなければ、
同じ１の出力を得られないことを意味する。従つ
て、サーマルセンサによつて取り出される温度信
号を1.44倍する利得を有する増幅器を用いなけれ
ば、正しい流量データを得ることはできない。 〔発明が解決しようとする問題点〕 このため、生産時に、一つのガスに応じて増幅
器の増幅率を調整する作業が必要であり、煩らわ
しく、作業工数が多くなるという欠点があつた。
また、このように調整のなされた増幅器を含む質
量流量制御装置は、特定のガスに対してだけ使用
できることになつた。従つて、ユーザは数種のガ
スの流量制御を行ないたいときには、制御対象の
ガス種に応じた台数の質量流量制御装置が必要と
なるという欠点があつた。 本発明は、このような従来の質量流量制御装置
の欠点に鑑みなされたもので、その目的は、簡単
な操作によつて任意のガスの流量制御を可能とす
る質量流量制御装置を提供することである。 〔問題点を解決するための手段〕 そこで本発明では、流路におけるガスの温度信
号を取り出すように設けられたサーマルセンサ
と、このサーマルセンサにより取り出される前記
温度信号をガスの種類に対応して与えられる補正
データに基づいて増幅出力する増幅手段とを具備
するとともに、この増幅手段から出力される流量
データと設定された設定流量データとを比較し、
この比較結果に基づくバルブ駆動信号により、バ
ルブの開度調整を行ないガスの質量流量を制御す
るようにしたものである。 〔作用〕 流路におけるガスの温度信号を取り出すように
設けられたサーマルセンサにより取り出される温
度信号は、前述のようにガスの質量流路データと
するためにはCFで補正しなければならない。増
幅手段では、ガスの種類に対応して与えられる補
正データにより、温度信号を対応する増幅率で増
幅して出力する。例えば、増幅手段１０はHeの
質量制御時に、1.44という補正データが与えら
れ、温度信号をN2の流量制御時に比して1.44倍
した流量データとなるように増幅して出力する。
従つて、各ガス毎に温度信号は適切な補正を受け
て出力される。 〔実施例〕 以下、図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。第１図は本発明の実施例のブロツク図であ
る。同図に示された質量流量制御装置において、
２はガスの入口部を示し、３はガスの出口部を示
す。ガスは入口部２を入ると、バイパス部４とセ
ンサ管５とに分岐される。センサ管５には、ガス
流の上流側と下流側とに一対の抵抗発熱体（サー
マルセンサ）６Ａ，６Ｂが巻回されている。抵抗
発熱体６Ａ，６Ｂはブリツヂ回路７に接続されて
いる。ガスがセンサ管５を通過するときに、抵抗
発熱体６Ａ，６Ｂが熱を奪われる。このとき、抵
抗発熱体６Ａが抵抗発熱体６Ｂより温度低下し、
これによつて生じる温度差をブリツヂ回路７にお
いて抵抗値変化として取出す。この抵抗値変化に
基づき、センサ管５を流れるガスの質量流量を検
出できる。一方、センサ管５とバイパス部４との
分流比率が所定となつているため、センサ管５を
流れるガスの質量流量が、流れるガス全体の質量
流量を反映した値となる。 具体的には、ブリツヂ回路７によつて抵抗変化
が生じると、その抵抗変化に対応する信号（抵抗
変化は温度差によるから、温度信号）が増幅手段
１０へ出力される。増幅手段１０は与えられた信
号を、BCDスイツチを含む操作部１９から与え
られるガスの種類に対応する補正データに基づ
き、増幅して出力する。 ここで、増幅手段１０の一実施例を第２図に示
す。同図において、２０は増幅器であり、オペア
ンプ２１と入力抵抗２２と帰還抵抗２３とによつ
て反転増幅器とされている。この増幅器２０の入
力は入力端子２４を介してブリツヂ回路７から与
えられ、またその出力は、可変利得増幅部１００
を介して出力端子１０１から出力される。可変利
得増幅部１００には、増幅器を構成するオペアン
プ１０２と帰還抵抗１０３と入力抵抗部１０４と
が含まれている。入力抵抗部１０４には、抵抗１
０５を入力抵抗に組み込むか組み込まぬかを選択
する半導体スイツチS1が設けられ、この半導体ス
イツチS1は、１の桁を制御する（１か０かにす
る）BCDスイツチにより切換えられる。抵抗１
０５に並列に、４段の第１の2R−Ｒラダー抵抗
１０６が接続され得るように構成されている。半
導体スイツチS2〜S3は10-2の桁を制御するBCD
スイツチにより切換えられる。同図の１，２，
４，８はBCDスイツチの桁を示す。また、抵抗
１０５と第１の2R−Ｒラダー抵抗１０６とには、
抵抗１０７を介して４段の第２の2R−Ｒラダー
抵抗１０８が並列に接続され得るようになつてい
る。半導体スイツチS6〜S9は10-2の桁を制御する
BCDスイツチにより切換えられる。更に、抵抗
１０５と、第１の2R−Ｒラダー抵抗１０６及び、
抵抗１０７と第２の2R−Ｒラダー抵抗１０８と
に、抵抗１０９を介して第３の2R−Ｒラダー抵
抗１１０が接続され得るようになつている。半導
体スイツチS10〜S13は10-3の桁を制御するBCDス
イツチにより切換えられる。また、抵抗１０７と
グランドとの間、抵抗１０９とグランドとの間に
は、夫々、抵抗１１１，１１２が接続されてい
る。このような構成の可変利得増幅部１００は、
反転増幅器であり、その入力抵抗がBCDスイツ
チにより変化させられ、その利得が変るのであ
る。尚、各抵抗値が図の括弧内に示されている。 かかる構成の質量流量制御装置１の外観の斜視
図を、第３図に示す。同図において、操作部１９
には１、10-1、10-2、10-3のBCDスイツチ１５１
と、対応する４桁の表示器１５２とが設けられて
いる。そこで、例えば、Heの流量制御を行なう
場合には、BCDスイツチ１５１を操作し、表示
器１５２にHeのCFである1.440が表示されるよう
にする。すると、これにより、半導体スイツチS1
〜S13の切換が適宜行なわれ、可変利得増幅部１
００の反転増幅器の利得は1.440となり、増幅器
２０の出力を1.44倍して出力することになる。 再び、第１図に戻つて説明する。８は、バイパ
ス部４に介装された金属メツシユを示し、このメ
ツシユ８により、バイパス部４とセンサ管５とを
流れるガスの分流比を所定に保つている。また、
９はセンサ部のケーシングであり、このケーシン
グ９により抵抗発熱体６Ａ，６Ｂが外部から影響
されぬようにし、精度の良い質量流量の検出を可
能にしている。ブリツヂ回路７の出力信号は、上
述の増幅手段１０により増幅され、センサ出力端
子１１から外部の図示せぬ表示器等へ出力される
と共に、比較回路１２へ出力される。比較回路１
２には、外部から所望の質量流量の所定値に対応
した設定信号が設定信号入力端子１３を介して与
えらる。比較回路１２は、増幅手段１０の出力信
号と設定信号とを比較して、その差に応じた信号
を出力する。この信号は、バルブ駆動回路１４に
与えられ、バルブ駆動回路１４は上記信号に基づ
きバルブヒータ１５へ駆動電圧を与える。１６は
バルブを示す。このバルブ１６はノーマリーオー
プンタイプ（電圧無印加時に弁が（開）状態であ
り、電圧印加時に弁が（閉）状態となる）であ
る。金属ピン１７内にバルブヒータ１５が入れら
れており、バルブヒータ１５の発熱による金属ピ
ン１７の膨脹によつて、金属ピンの先端に固着さ
れた球状弁体１８が上下し、ガスの通路部に対す
るオリフイスを調整する。 このように構成された質量流量制御装置１によ
れば、センサ管５の部分で検出される質量流量に
対応する信号が、ガス全体の質量流量を反映して
いるから、この信号と設定信号との差が無くなる
ようにバルブ１６を制御することにより、適切な
質量流量の制御が可能である。しかも、増幅手段
１０内の可変利得増幅部１００によつて、抵抗発
熱体６Ａ，６Ｂにより取り出された温度信号がガ
スの種類に応じたCFに基づく増幅率の増幅を受
け、任意のガスに１台の質量流量制御装置で対応
できる。 第４図に増幅手段１０の他の例を示す。同図に
おいて、２０１は入力端子を示し、この入力端子
からは第２図に示された増幅器２０の出力信号が
与えられる。この出力信号は、図示しないＡ／Ｄ
コンバータによりデイジタル化されCPU２０２
に取り込まれる。CPU２０２にはガスの種類を
選択するキー２０３が接続され、CPU２０２は
キー２０３の操作に基づいてガスの種別データを
受け取る。CPU２０２には、表示器２０４が接
続されていて、ガスの種別データに基づき、ガス
の名称を例えば「He」の如き表示可能となつて
いる。更に、CPU２０２はボート２０５から第
３図に示した半導体スイツチS1〜S13の切換デイ
ジタル信号を出力する。CPU２０２には各ガス
に対応して補正データのメモリテーブルが格納さ
れた記憶部２０６が接続されている。メモリテー
ブルの補正データは、ガスの名称をインデツクス
として引き出し得るようにされ、各電圧に対応し
て補正されるべき電圧の対応表となつている。こ
のような対応表は、第２図に示した増幅手段１０
では、一つのガスには一つのCFが対応するもの
と考えた。つまり、CFの表は、実験的に次の第
１表のようである。
る信号を増幅して流量データを得るタイプの質量
流量制御装置の改良に関するものである。 〔従来の技術〕 従来の斯種質量流量制御装置においては、サー
マルセンサにより取り出される温度信号を、特定
のガス専用の増幅率を有するように設計された増
幅器により増幅して当該ガスの流量データを得て
いた。かかるサーマルセンサを用いると、センサ
管内を流れるガス（一般的には、数c.c.／分〜数十
c.c.／分）の質量流量に比例した出力が得られる
が、異なるガス間では、ガスの密度や比熱が異な
るため、上記センサ管内を流れるガスの質量流量
が同じであるにもかかわらず、得られる出力に差
が生じる。 そこで、一般的には、N2を基準とし、N2を流
した場合に得られる出力と同じ出力を得るために
必要な、あるガスの質量流量をN2に対する比で
表わしたコンバーシヨンフイルター（CF）とい
う定数が用いられる。例えばHeのCFは1.44であ
る。これは、N2で１の出力を得ているとき、He
ではこのN2の質量流量の1.44倍を流さなければ、
同じ１の出力を得られないことを意味する。従つ
て、サーマルセンサによつて取り出される温度信
号を1.44倍する利得を有する増幅器を用いなけれ
ば、正しい流量データを得ることはできない。 〔発明が解決しようとする問題点〕 このため、生産時に、一つのガスに応じて増幅
器の増幅率を調整する作業が必要であり、煩らわ
しく、作業工数が多くなるという欠点があつた。
また、このように調整のなされた増幅器を含む質
量流量制御装置は、特定のガスに対してだけ使用
できることになつた。従つて、ユーザは数種のガ
スの流量制御を行ないたいときには、制御対象の
ガス種に応じた台数の質量流量制御装置が必要と
なるという欠点があつた。 本発明は、このような従来の質量流量制御装置
の欠点に鑑みなされたもので、その目的は、簡単
な操作によつて任意のガスの流量制御を可能とす
る質量流量制御装置を提供することである。 〔問題点を解決するための手段〕 そこで本発明では、流路におけるガスの温度信
号を取り出すように設けられたサーマルセンサ
と、このサーマルセンサにより取り出される前記
温度信号をガスの種類に対応して与えられる補正
データに基づいて増幅出力する増幅手段とを具備
するとともに、この増幅手段から出力される流量
データと設定された設定流量データとを比較し、
この比較結果に基づくバルブ駆動信号により、バ
ルブの開度調整を行ないガスの質量流量を制御す
るようにしたものである。 〔作用〕 流路におけるガスの温度信号を取り出すように
設けられたサーマルセンサにより取り出される温
度信号は、前述のようにガスの質量流路データと
するためにはCFで補正しなければならない。増
幅手段では、ガスの種類に対応して与えられる補
正データにより、温度信号を対応する増幅率で増
幅して出力する。例えば、増幅手段１０はHeの
質量制御時に、1.44という補正データが与えら
れ、温度信号をN2の流量制御時に比して1.44倍
した流量データとなるように増幅して出力する。
従つて、各ガス毎に温度信号は適切な補正を受け
て出力される。 〔実施例〕 以下、図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。第１図は本発明の実施例のブロツク図であ
る。同図に示された質量流量制御装置において、
２はガスの入口部を示し、３はガスの出口部を示
す。ガスは入口部２を入ると、バイパス部４とセ
ンサ管５とに分岐される。センサ管５には、ガス
流の上流側と下流側とに一対の抵抗発熱体（サー
マルセンサ）６Ａ，６Ｂが巻回されている。抵抗
発熱体６Ａ，６Ｂはブリツヂ回路７に接続されて
いる。ガスがセンサ管５を通過するときに、抵抗
発熱体６Ａ，６Ｂが熱を奪われる。このとき、抵
抗発熱体６Ａが抵抗発熱体６Ｂより温度低下し、
これによつて生じる温度差をブリツヂ回路７にお
いて抵抗値変化として取出す。この抵抗値変化に
基づき、センサ管５を流れるガスの質量流量を検
出できる。一方、センサ管５とバイパス部４との
分流比率が所定となつているため、センサ管５を
流れるガスの質量流量が、流れるガス全体の質量
流量を反映した値となる。 具体的には、ブリツヂ回路７によつて抵抗変化
が生じると、その抵抗変化に対応する信号（抵抗
変化は温度差によるから、温度信号）が増幅手段
１０へ出力される。増幅手段１０は与えられた信
号を、BCDスイツチを含む操作部１９から与え
られるガスの種類に対応する補正データに基づ
き、増幅して出力する。 ここで、増幅手段１０の一実施例を第２図に示
す。同図において、２０は増幅器であり、オペア
ンプ２１と入力抵抗２２と帰還抵抗２３とによつ
て反転増幅器とされている。この増幅器２０の入
力は入力端子２４を介してブリツヂ回路７から与
えられ、またその出力は、可変利得増幅部１００
を介して出力端子１０１から出力される。可変利
得増幅部１００には、増幅器を構成するオペアン
プ１０２と帰還抵抗１０３と入力抵抗部１０４と
が含まれている。入力抵抗部１０４には、抵抗１
０５を入力抵抗に組み込むか組み込まぬかを選択
する半導体スイツチS1が設けられ、この半導体ス
イツチS1は、１の桁を制御する（１か０かにす
る）BCDスイツチにより切換えられる。抵抗１
０５に並列に、４段の第１の2R−Ｒラダー抵抗
１０６が接続され得るように構成されている。半
導体スイツチS2〜S3は10-2の桁を制御するBCD
スイツチにより切換えられる。同図の１，２，
４，８はBCDスイツチの桁を示す。また、抵抗
１０５と第１の2R−Ｒラダー抵抗１０６とには、
抵抗１０７を介して４段の第２の2R−Ｒラダー
抵抗１０８が並列に接続され得るようになつてい
る。半導体スイツチS6〜S9は10-2の桁を制御する
BCDスイツチにより切換えられる。更に、抵抗
１０５と、第１の2R−Ｒラダー抵抗１０６及び、
抵抗１０７と第２の2R−Ｒラダー抵抗１０８と
に、抵抗１０９を介して第３の2R−Ｒラダー抵
抗１１０が接続され得るようになつている。半導
体スイツチS10〜S13は10-3の桁を制御するBCDス
イツチにより切換えられる。また、抵抗１０７と
グランドとの間、抵抗１０９とグランドとの間に
は、夫々、抵抗１１１，１１２が接続されてい
る。このような構成の可変利得増幅部１００は、
反転増幅器であり、その入力抵抗がBCDスイツ
チにより変化させられ、その利得が変るのであ
る。尚、各抵抗値が図の括弧内に示されている。 かかる構成の質量流量制御装置１の外観の斜視
図を、第３図に示す。同図において、操作部１９
には１、10-1、10-2、10-3のBCDスイツチ１５１
と、対応する４桁の表示器１５２とが設けられて
いる。そこで、例えば、Heの流量制御を行なう
場合には、BCDスイツチ１５１を操作し、表示
器１５２にHeのCFである1.440が表示されるよう
にする。すると、これにより、半導体スイツチS1
〜S13の切換が適宜行なわれ、可変利得増幅部１
００の反転増幅器の利得は1.440となり、増幅器
２０の出力を1.44倍して出力することになる。 再び、第１図に戻つて説明する。８は、バイパ
ス部４に介装された金属メツシユを示し、このメ
ツシユ８により、バイパス部４とセンサ管５とを
流れるガスの分流比を所定に保つている。また、
９はセンサ部のケーシングであり、このケーシン
グ９により抵抗発熱体６Ａ，６Ｂが外部から影響
されぬようにし、精度の良い質量流量の検出を可
能にしている。ブリツヂ回路７の出力信号は、上
述の増幅手段１０により増幅され、センサ出力端
子１１から外部の図示せぬ表示器等へ出力される
と共に、比較回路１２へ出力される。比較回路１
２には、外部から所望の質量流量の所定値に対応
した設定信号が設定信号入力端子１３を介して与
えらる。比較回路１２は、増幅手段１０の出力信
号と設定信号とを比較して、その差に応じた信号
を出力する。この信号は、バルブ駆動回路１４に
与えられ、バルブ駆動回路１４は上記信号に基づ
きバルブヒータ１５へ駆動電圧を与える。１６は
バルブを示す。このバルブ１６はノーマリーオー
プンタイプ（電圧無印加時に弁が（開）状態であ
り、電圧印加時に弁が（閉）状態となる）であ
る。金属ピン１７内にバルブヒータ１５が入れら
れており、バルブヒータ１５の発熱による金属ピ
ン１７の膨脹によつて、金属ピンの先端に固着さ
れた球状弁体１８が上下し、ガスの通路部に対す
るオリフイスを調整する。 このように構成された質量流量制御装置１によ
れば、センサ管５の部分で検出される質量流量に
対応する信号が、ガス全体の質量流量を反映して
いるから、この信号と設定信号との差が無くなる
ようにバルブ１６を制御することにより、適切な
質量流量の制御が可能である。しかも、増幅手段
１０内の可変利得増幅部１００によつて、抵抗発
熱体６Ａ，６Ｂにより取り出された温度信号がガ
スの種類に応じたCFに基づく増幅率の増幅を受
け、任意のガスに１台の質量流量制御装置で対応
できる。 第４図に増幅手段１０の他の例を示す。同図に
おいて、２０１は入力端子を示し、この入力端子
からは第２図に示された増幅器２０の出力信号が
与えられる。この出力信号は、図示しないＡ／Ｄ
コンバータによりデイジタル化されCPU２０２
に取り込まれる。CPU２０２にはガスの種類を
選択するキー２０３が接続され、CPU２０２は
キー２０３の操作に基づいてガスの種別データを
受け取る。CPU２０２には、表示器２０４が接
続されていて、ガスの種別データに基づき、ガス
の名称を例えば「He」の如き表示可能となつて
いる。更に、CPU２０２はボート２０５から第
３図に示した半導体スイツチS1〜S13の切換デイ
ジタル信号を出力する。CPU２０２には各ガス
に対応して補正データのメモリテーブルが格納さ
れた記憶部２０６が接続されている。メモリテー
ブルの補正データは、ガスの名称をインデツクス
として引き出し得るようにされ、各電圧に対応し
て補正されるべき電圧の対応表となつている。こ
のような対応表は、第２図に示した増幅手段１０
では、一つのガスには一つのCFが対応するもの
と考えた。つまり、CFの表は、実験的に次の第
１表のようである。
【表】
以上説明したように本発明によれば、一台の質
量流量制御装置を、簡単な操作で任意のガスの流
量制御に用いることが可能である。このため、生
産時に煩しい作業を要せず作業工数を少なくでき
る。しかもユーザーは、必要なときに調整を行な
つて希望するガスの専用の質量流量制御装置を得
ることができ、極めて便利である。
量流量制御装置を、簡単な操作で任意のガスの流
量制御に用いることが可能である。このため、生
産時に煩しい作業を要せず作業工数を少なくでき
る。しかもユーザーは、必要なときに調整を行な
つて希望するガスの専用の質量流量制御装置を得
ることができ、極めて便利である。
第１図は本発明の一実施例のブロツク図、第２
図は本発明の一実施例の要部ブロツク図、第３図
は本発明の一実施例の外観の斜視図、第４図は本
発明の他の実施例の要部ブロツク図である。 １……質量流量制御装置、５……センサ管、６
Ａ，６Ｂ……抵抗発熱体、１０……増幅手段、１
９……操作部、２０……増幅器、１００……可変
利得増幅部、１０４……入力抵抗部、１５１……
BCDスイツチ、１５２，２０４……表示器、２
０３……キー、２０２……CPU、２０５……ボ
ート、２０６……記憶部。
図は本発明の一実施例の要部ブロツク図、第３図
は本発明の一実施例の外観の斜視図、第４図は本
発明の他の実施例の要部ブロツク図である。 １……質量流量制御装置、５……センサ管、６
Ａ，６Ｂ……抵抗発熱体、１０……増幅手段、１
９……操作部、２０……増幅器、１００……可変
利得増幅部、１０４……入力抵抗部、１５１……
BCDスイツチ、１５２，２０４……表示器、２
０３……キー、２０２……CPU、２０５……ボ
ート、２０６……記憶部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 流路におけるガスの温度信号を取り出すよう
に設けられたサーマルセンサと、このサーマルセ
ンサにより取り出される前記温度信号をガスの種
類に対応して与えられる補正データに基づいて増
幅出力する増幅手段とを具備するとともに、この
増幅手段から出力される流量データと設定された
流量データとを比較し、この比較結果に基づくバ
ルブ駆動信号によりバルブの開度調整を行ないガ
スの質量流量を制御することを特徴とする質量流
量制御装置。 ２ 増幅手段は、複数のガス毎に、サーマルセン
サにより取り出される温度信号に基づく信号が、
予め求められている値の信号となるように増幅す
る補正データを有することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の質量流量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27911784A JPS61157912A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 質量流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27911784A JPS61157912A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 質量流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61157912A JPS61157912A (ja) | 1986-07-17 |
| JPH0363087B2 true JPH0363087B2 (ja) | 1991-09-30 |
Family
ID=17606657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27911784A Granted JPS61157912A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 質量流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61157912A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63139609U (ja) * | 1987-03-02 | 1988-09-14 | ||
| JPH04133110A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-05-07 | Tokimec Inc | 電磁式流体機器の機差補正システム |
| JP2786733B2 (ja) * | 1990-09-26 | 1998-08-13 | 株式会社トキメック | 電磁式流体機器の機差補正システム |
| JP4864280B2 (ja) * | 2001-04-24 | 2012-02-01 | ブルックス・インストルメント・エルエルシー | 質量流量コントローラのシステムおよび方法 |
-
1984
- 1984-12-29 JP JP27911784A patent/JPS61157912A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61157912A (ja) | 1986-07-17 |
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