JP2522337Y2 - 熱抵抗素子を備えた流量計 - Google Patents
熱抵抗素子を備えた流量計Info
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- JP2522337Y2 JP2522337Y2 JP1994002433U JP243394U JP2522337Y2 JP 2522337 Y2 JP2522337 Y2 JP 2522337Y2 JP 1994002433 U JP1994002433 U JP 1994002433U JP 243394 U JP243394 U JP 243394U JP 2522337 Y2 JP2522337 Y2 JP 2522337Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal resistance
- amplifier
- input
- variable gain
- value
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/6965—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【考案の属する技術分野】本考案は、熱抵抗素子を備え
た流量計に関するものである。
た流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】肺活量の測定においては、一般に一定温
度に維持された熱線から成る熱抵抗素子を備えた流量計
が使用されている。この型式の公知の流量計において
は、熱抵抗線はホイ―トストンブリッジの一分枝部を構
成し、そしてこの熱抵抗線の温度を一定に保つため、ブ
リッジは制御装置によって平衡状態に維持される。熱抵
抗線の特性が同じで同一径である場合には、流量計の応
答は単に熱抵抗線の温度に依存するだけであることが認
められ得る。さらに、流れがなく熱抵抗線を空間内の所
与方向に配置した場合には、熱抵抗線の温度は単にそれ
を流れる電流の大きさに依存する。従って、流量計の校
正すなわちある特定の入力値に対して出力が仕様で決め
られた範囲内になるように流量計を調整することは、一
般に次のようにして行なわれる。すなわち、空間に流量
計を正しい方向に配置した後、それの少なくとも一端を
閉じて流れのない状態を確保し、熱抵抗線の配置された
分枝部に対向したホイ―トストンブリッジの分枝部に接
続された抵抗の値を変えて熱抵抗線における電流の値を
基準値に等しくさせ、そして熱抵抗線の温度を所望の一
定値に調節することにより行なわれる。
度に維持された熱線から成る熱抵抗素子を備えた流量計
が使用されている。この型式の公知の流量計において
は、熱抵抗線はホイ―トストンブリッジの一分枝部を構
成し、そしてこの熱抵抗線の温度を一定に保つため、ブ
リッジは制御装置によって平衡状態に維持される。熱抵
抗線の特性が同じで同一径である場合には、流量計の応
答は単に熱抵抗線の温度に依存するだけであることが認
められ得る。さらに、流れがなく熱抵抗線を空間内の所
与方向に配置した場合には、熱抵抗線の温度は単にそれ
を流れる電流の大きさに依存する。従って、流量計の校
正すなわちある特定の入力値に対して出力が仕様で決め
られた範囲内になるように流量計を調整することは、一
般に次のようにして行なわれる。すなわち、空間に流量
計を正しい方向に配置した後、それの少なくとも一端を
閉じて流れのない状態を確保し、熱抵抗線の配置された
分枝部に対向したホイ―トストンブリッジの分枝部に接
続された抵抗の値を変えて熱抵抗線における電流の値を
基準値に等しくさせ、そして熱抵抗線の温度を所望の一
定値に調節することにより行なわれる。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな流量計はその使用する回路や校正に関して欠点があ
る。実際、熱抵抗線の温度を一定に維持するためにホイ
―トストンブリッジと共に用いられる制御ル―プの良好
な安定性を得るためには非常に精密で従って高価な校正
要素を用いなければならない。さらに、ホイ―トストン
ブリッジはその二つの入力分枝部の一方に電位差計から
成り得る可変抵抗を備え、それの調整は手動で行なわ
れ、このような操作は本来避けたい動作である。そこで
このような手動調整を避けるために、可変抵抗として電
子回路で制御される電界効果形トランジスタを用いて自
動調整を行なうようにすることができるが、そのような
構成要素の熱ドリフトが大きいという問題に直面する。
公知の流量計では、決められた位置に流量計をあらかじ
め位置決めする必要がある。その結果、装置は特にその
操作に十分に精通した者（常にそうとは限らない）によ
って利用されることを意味している。そこで、本考案の
目的は、これらの欠点を解消するために、校正を自動的
に行なうことのできる特に簡単な設計の流量計を提供す
ることにある。
うな流量計はその使用する回路や校正に関して欠点があ
る。実際、熱抵抗線の温度を一定に維持するためにホイ
―トストンブリッジと共に用いられる制御ル―プの良好
な安定性を得るためには非常に精密で従って高価な校正
要素を用いなければならない。さらに、ホイ―トストン
ブリッジはその二つの入力分枝部の一方に電位差計から
成り得る可変抵抗を備え、それの調整は手動で行なわ
れ、このような操作は本来避けたい動作である。そこで
このような手動調整を避けるために、可変抵抗として電
子回路で制御される電界効果形トランジスタを用いて自
動調整を行なうようにすることができるが、そのような
構成要素の熱ドリフトが大きいという問題に直面する。
公知の流量計では、決められた位置に流量計をあらかじ
め位置決めする必要がある。その結果、装置は特にその
操作に十分に精通した者（常にそうとは限らない）によ
って利用されることを意味している。そこで、本考案の
目的は、これらの欠点を解消するために、校正を自動的
に行なうことのできる特に簡単な設計の流量計を提供す
ることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】従って、本考案によれ
ば、入出力端子をもち、一定温度で熱い熱抵抗素子と、
入力と出力との間に上記熱抵抗素子を接続した可変利得
増幅器と、可変利得増幅器の入力と接地との間に接続さ
れ、一定でしかも上記可変利得増幅器の入力インピ―ダ
ンスに対して低い値の抵抗値をもつ定抵抗と、上記可変
利得増幅器の利得の値を調整して、得ようとする一定温
度に相応した所望の値の電流を上記熱抵抗素子に発生さ
せる利得制御装置とを有し、上記利得制御装置が、上記
可変利得増幅器が周囲温度で電流を供給し始める可変利
得増幅器の利得Gaを決め、そして可変利得増幅器の利得
の値を各瞬時に測定して調整するマイクロプロセッサか
ら成っていることを特徴とする熱抵抗素子を備えた流量
計が提供される。本考案による流量計では、校正操作を
相当簡単化できまた高レベルの科学的な訓練を受けてな
い者でも容易に行なうことができるという効果がもたら
される。
ば、入出力端子をもち、一定温度で熱い熱抵抗素子と、
入力と出力との間に上記熱抵抗素子を接続した可変利得
増幅器と、可変利得増幅器の入力と接地との間に接続さ
れ、一定でしかも上記可変利得増幅器の入力インピ―ダ
ンスに対して低い値の抵抗値をもつ定抵抗と、上記可変
利得増幅器の利得の値を調整して、得ようとする一定温
度に相応した所望の値の電流を上記熱抵抗素子に発生さ
せる利得制御装置とを有し、上記利得制御装置が、上記
可変利得増幅器が周囲温度で電流を供給し始める可変利
得増幅器の利得Gaを決め、そして可変利得増幅器の利得
の値を各瞬時に測定して調整するマイクロプロセッサか
ら成っていることを特徴とする熱抵抗素子を備えた流量
計が提供される。本考案による流量計では、校正操作を
相当簡単化できまた高レベルの科学的な訓練を受けてな
い者でも容易に行なうことができるという効果がもたら
される。
【０００５】
【考案の実施の形態】以下、図面を参照して本考案を限
定しない例として本考案の種々の実施例に基づき本考案
の実施の形態について説明する。図１に示す一定温度で
熱い熱抵抗素子を備えた流量計は、可変利得増幅器１を
有し、この可変利得増幅器１の利得は利得制御装置２に
よって電子的に制御され得る。熱抵抗素子３（この例で
は温度が一定に保たれなければならない抵抗値Rfをもつ
線）はその一端Ａを増幅器１の出力にまた他端Ｂを増幅
器１の入力にそれぞれ接続されている。他端Ｂはさらに
可変利得増幅器１の入力インピ―ダンスに対して低い値
R1の定抵抗４を介して接地されている。電圧計５によっ
て他端Ｂと接地Ｃとの間で測定された電圧は被測定流量
を表示する。熱抵抗線３の抵抗値Rfすなわちその温度は
増幅器１の利得Ｇの値に依存する。実際、Vac ＝(Rf+R
1)I、（ここでＩは熱抵抗線３を流れる電流の大きさ）
であるので、 (Rf+R1)I＝ＧR1Ｉ すなわち、Ｇ＝１＋Rf／R1 が得られる。その結果、利得Ｇの値が一定に維持されれ
ば、熱抵抗線３の抵抗値Rfも一定に維持される。本考案
による流量計においては、密閉されしかも適当に方向決
めされた検出器を用いることにより、利得Ｇの値は、熱
抵抗線３において所望の電流値が得られるように調整さ
れ得るが、しかしその場合には、常に検出器を正しく方
向決めする必要がある。そこで本考案では、校正は次の
ようにして行なわれ得る。雰囲気温度Taにおいて、熱抵
抗線３は、Rfa ＝Ro（１＋αTa）であるような抵抗値Rf
a をもち、ここで、Roは０℃における線の抵抗値であ
り、αは熱係数である。その結果、図１の回路がル―プ
できる最小利得Gaが存在し、すなわち、可変利得増幅器
１は電流を供給する。これにより、 Ga＝１＋Rfa ／R1＝１＋Ro／R1・（１＋αTa） が得られる。熱抵抗線３がそれの動作温度になり、その
抵抗値が Ｇ＝１＋Rf／Rl＝１＋Ro／Rl（１＋αＴ）となると、 次の関係が得られる。 Ｇ＝１＋（Ga−１）［（１＋αＴ）／（１＋αTa）］ （１）ここで、（１＋αＴ）／（１＋αTa）はＴの変動
範囲内の定数項である。Gaの値を測定することにより、
加えられるこになる利得の値Ｇを決めることができるこ
とが認められ得る。言い換えれば、式（１）により、熱
抵抗線３の到達されなければならない動作温度 (Ｔ) お
よび最小利得 (Ga) から、熱抵抗線３においてこの熱抵
抗線の所望の温度Ｔをもたらす電流Ｉを得るように可変
利得増幅器１を調整しなければならない利得の値 (Ｇ)
を決めることができる。従って、本考案による流量計
は、回路がル―プされたかどうか、すなわち増幅器１が
電流を供給するかどうかを測定する装置を有する。これ
らの装置は、加えられた利得の値Ｇを各瞬時に測定する
マイクロプロセッサにより形成される利得制御回路２に
作用する。従って、校正指令が例えばボタンを押すこと
によりマイクロプロセッサ２に与えられると、マイクロ
プロセッサは利得Ｇ＝０を可変利得増幅器１に加え、可
変利得増幅器１は、回路がル―プするまでこの利得Ｇを
徐々に増大していく。この時、マイクロプロセッサ２
は、回路がル―プされたことを検出し、そして利得の値
Gaにおいてル―ピングが得られたことを測定する。その
後、マイクロプロセッサ２はあらかじめ決められた値Ga
を用いて式 (１) により値Ｇを計算し、この利得を可変
利得増幅器１に加える。その結果、熱抵抗線３は電流Ｉ
を搬送し、温度Ｔを所望の値に維持する。流量計の校正
について以下説明する。熱抵抗線３は校正動作中には加
熱されず、その結果空間における熱抵抗線３の方向決め
はこの校正の精度に影響を及ぼさないことが認められ得
る。
定しない例として本考案の種々の実施例に基づき本考案
の実施の形態について説明する。図１に示す一定温度で
熱い熱抵抗素子を備えた流量計は、可変利得増幅器１を
有し、この可変利得増幅器１の利得は利得制御装置２に
よって電子的に制御され得る。熱抵抗素子３（この例で
は温度が一定に保たれなければならない抵抗値Rfをもつ
線）はその一端Ａを増幅器１の出力にまた他端Ｂを増幅
器１の入力にそれぞれ接続されている。他端Ｂはさらに
可変利得増幅器１の入力インピ―ダンスに対して低い値
R1の定抵抗４を介して接地されている。電圧計５によっ
て他端Ｂと接地Ｃとの間で測定された電圧は被測定流量
を表示する。熱抵抗線３の抵抗値Rfすなわちその温度は
増幅器１の利得Ｇの値に依存する。実際、Vac ＝(Rf+R
1)I、（ここでＩは熱抵抗線３を流れる電流の大きさ）
であるので、 (Rf+R1)I＝ＧR1Ｉ すなわち、Ｇ＝１＋Rf／R1 が得られる。その結果、利得Ｇの値が一定に維持されれ
ば、熱抵抗線３の抵抗値Rfも一定に維持される。本考案
による流量計においては、密閉されしかも適当に方向決
めされた検出器を用いることにより、利得Ｇの値は、熱
抵抗線３において所望の電流値が得られるように調整さ
れ得るが、しかしその場合には、常に検出器を正しく方
向決めする必要がある。そこで本考案では、校正は次の
ようにして行なわれ得る。雰囲気温度Taにおいて、熱抵
抗線３は、Rfa ＝Ro（１＋αTa）であるような抵抗値Rf
a をもち、ここで、Roは０℃における線の抵抗値であ
り、αは熱係数である。その結果、図１の回路がル―プ
できる最小利得Gaが存在し、すなわち、可変利得増幅器
１は電流を供給する。これにより、 Ga＝１＋Rfa ／R1＝１＋Ro／R1・（１＋αTa） が得られる。熱抵抗線３がそれの動作温度になり、その
抵抗値が Ｇ＝１＋Rf／Rl＝１＋Ro／Rl（１＋αＴ）となると、 次の関係が得られる。 Ｇ＝１＋（Ga−１）［（１＋αＴ）／（１＋αTa）］ （１）ここで、（１＋αＴ）／（１＋αTa）はＴの変動
範囲内の定数項である。Gaの値を測定することにより、
加えられるこになる利得の値Ｇを決めることができるこ
とが認められ得る。言い換えれば、式（１）により、熱
抵抗線３の到達されなければならない動作温度 (Ｔ) お
よび最小利得 (Ga) から、熱抵抗線３においてこの熱抵
抗線の所望の温度Ｔをもたらす電流Ｉを得るように可変
利得増幅器１を調整しなければならない利得の値 (Ｇ)
を決めることができる。従って、本考案による流量計
は、回路がル―プされたかどうか、すなわち増幅器１が
電流を供給するかどうかを測定する装置を有する。これ
らの装置は、加えられた利得の値Ｇを各瞬時に測定する
マイクロプロセッサにより形成される利得制御回路２に
作用する。従って、校正指令が例えばボタンを押すこと
によりマイクロプロセッサ２に与えられると、マイクロ
プロセッサは利得Ｇ＝０を可変利得増幅器１に加え、可
変利得増幅器１は、回路がル―プするまでこの利得Ｇを
徐々に増大していく。この時、マイクロプロセッサ２
は、回路がル―プされたことを検出し、そして利得の値
Gaにおいてル―ピングが得られたことを測定する。その
後、マイクロプロセッサ２はあらかじめ決められた値Ga
を用いて式 (１) により値Ｇを計算し、この利得を可変
利得増幅器１に加える。その結果、熱抵抗線３は電流Ｉ
を搬送し、温度Ｔを所望の値に維持する。流量計の校正
について以下説明する。熱抵抗線３は校正動作中には加
熱されず、その結果空間における熱抵抗線３の方向決め
はこの校正の精度に影響を及ぼさないことが認められ得
る。
【０００６】図２に示す本考案の実施例（本考案の範囲
はこの実施例に限定されるものではない）において、可
変利得増幅器１は実際二つの増幅器７、８の組立体によ
って構成され、これらの増幅器の間にはマイクロプロセ
ッサ２により制御されるデジタル−アナログ変換器９が
接続される。増幅器７は正の入力と負の入力とを備え、
正の入力は８ＫΩの値の抵抗10を介して接地され、それ
の負の入力は10ＫΩの値の抵抗11を介して接続点Ｂに接
続される。接続点Ｂと接地Ｃとの間に接続された抵抗４
は20Ωの非常に低い値をもつ。40ＫΩの抵抗12及びコン
デンサ13は増幅器７の負の入力と電圧Vdの現れる出力と
の間に並列に接続される。この電圧Vdは電圧Vbに相応
し、電圧Vbは−４に等しい利得をもつ増幅器７により増
幅され反転される。コンデンサ13を通してフィルタされ
た電圧Vdはデジタル−アナログ変換器９の基準電圧入力
に印加され、従ってデジタル−アナログ変換器９はマル
チプライヤとして用いられる。デジタル−アナログ変換
器９の二つの出力は増幅器８の負の入力および正の入力
にそれぞれ接続される。増幅器８の出力電流は縦続接続
された二つのトランジスタ14、15によって増幅され、出
力電圧Vaは熱抵抗線３の接続されるトランジスタ15のエ
ミッタに現れる。マイクロプロセッサ２は、その結果増
幅器７の出力電圧Vdに０と−１との間の係数を掛けるこ
とができ、xVb(Vbは接続点Ｂにおける電圧であり、x は
０〜４の間の係数である) に等しい電圧Vaが接続点Ａに
得られる。コンデンサ６は出力電圧Vaをフイルタするた
め増幅器８の負の入力とトランジスタ15のエミッタとの
間に接続されている。
はこの実施例に限定されるものではない）において、可
変利得増幅器１は実際二つの増幅器７、８の組立体によ
って構成され、これらの増幅器の間にはマイクロプロセ
ッサ２により制御されるデジタル−アナログ変換器９が
接続される。増幅器７は正の入力と負の入力とを備え、
正の入力は８ＫΩの値の抵抗10を介して接地され、それ
の負の入力は10ＫΩの値の抵抗11を介して接続点Ｂに接
続される。接続点Ｂと接地Ｃとの間に接続された抵抗４
は20Ωの非常に低い値をもつ。40ＫΩの抵抗12及びコン
デンサ13は増幅器７の負の入力と電圧Vdの現れる出力と
の間に並列に接続される。この電圧Vdは電圧Vbに相応
し、電圧Vbは−４に等しい利得をもつ増幅器７により増
幅され反転される。コンデンサ13を通してフィルタされ
た電圧Vdはデジタル−アナログ変換器９の基準電圧入力
に印加され、従ってデジタル−アナログ変換器９はマル
チプライヤとして用いられる。デジタル−アナログ変換
器９の二つの出力は増幅器８の負の入力および正の入力
にそれぞれ接続される。増幅器８の出力電流は縦続接続
された二つのトランジスタ14、15によって増幅され、出
力電圧Vaは熱抵抗線３の接続されるトランジスタ15のエ
ミッタに現れる。マイクロプロセッサ２は、その結果増
幅器７の出力電圧Vdに０と−１との間の係数を掛けるこ
とができ、xVb(Vbは接続点Ｂにおける電圧であり、x は
０〜４の間の係数である) に等しい電圧Vaが接続点Ａに
得られる。コンデンサ６は出力電圧Vaをフイルタするた
め増幅器８の負の入力とトランジスタ15のエミッタとの
間に接続されている。
【図１】 本考案による一定温度で熱い熱抵抗素子を備
えた流量計の電気的配線図。
えた流量計の電気的配線図。
【図２】 は流量計の一実施例を示す配線図。
１：可変利得増幅器、２：利得制御装置、３：熱抵抗素
子、４：定抵抗、５：電圧計。
子、４：定抵抗、５：電圧計。
Claims (1)
- 【請求項１】 入出力端子をもち、一定温度で熱い熱抵
抗素子と、入力と出力との間に上記熱抵抗素子を接続し
た可変利得増幅器と、可変利得増幅器の入力と接地との
間に接続され、一定でしかも上記可変利得増幅器の入力
インピ―ダンスに対して低い値の抵抗値をもつ定抵抗
と、上記可変利得増幅器の利得の値を調整して、得よう
とする一定温度に相応した所望の値の電流を上記熱抵抗
素子に発生させる利得制御装置とを有し、上記利得制御
装置は、上記可変利得増幅器が周囲温度で電流を供給し
始める可変利得増幅器の利得Gaを決め、そして可変利得
増幅器の利得の値を各瞬時に測定して調整するマイクロ
プロセッサから成っていることを特徴とする熱抵抗素子
を備えた流量計。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8418702 | 1984-12-07 | ||
| FR8418702A FR2574538B1 (fr) | 1984-12-07 | 1984-12-07 | Montage electronique et methode d'etalonnage pour debitmetre a fil chaud |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0744568U JPH0744568U (ja) | 1995-11-21 |
| JP2522337Y2 true JP2522337Y2 (ja) | 1997-01-16 |
Family
ID=9310349
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60273559A Pending JPS61139724A (ja) | 1984-12-07 | 1985-12-06 | 熱抵抗素子を備えた流量計およびその較正方法 |
| JP1994002433U Expired - Lifetime JP2522337Y2 (ja) | 1984-12-07 | 1994-03-22 | 熱抵抗素子を備えた流量計 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60273559A Pending JPS61139724A (ja) | 1984-12-07 | 1985-12-06 | 熱抵抗素子を備えた流量計およびその較正方法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4685324A (ja) |
| EP (1) | EP0187562B1 (ja) |
| JP (2) | JPS61139724A (ja) |
| AT (1) | ATE42635T1 (ja) |
| CA (1) | CA1247240A (ja) |
| DE (1) | DE3569821D1 (ja) |
| ES (1) | ES8701982A1 (ja) |
| FR (1) | FR2574538B1 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4779458A (en) * | 1986-12-29 | 1988-10-25 | Mawardi Osman K | Flow sensor |
| US4926678A (en) * | 1988-10-11 | 1990-05-22 | Gas Research Institute | Method and apparatus for proving electronic gas meters at low flow rates |
| US4953386A (en) * | 1988-10-11 | 1990-09-04 | Gas Research Institute | Method and apparatus for proving electronic gas meters |
| US4965756A (en) * | 1988-10-11 | 1990-10-23 | Gas Research Institute | Method and apparatus for calibration of electronic gas meters |
| US5207088A (en) * | 1991-04-11 | 1993-05-04 | Dresser Industries, Inc. | Expansion chamber method and apparatus for eliminating accuracy errors when testing gaseous flowmeters |
| US5263369A (en) * | 1992-07-24 | 1993-11-23 | Bear Medical Systems, Inc. | Flow sensor system and method |
| EP0590448B1 (de) * | 1992-10-02 | 1996-12-11 | Kobold, Klaus | Verfahren zum Kalibrieren eines kalorimetrischen Strömungswächters |
| US5390528A (en) * | 1993-05-03 | 1995-02-21 | Ford Motor Company | Method and apparatus for calibrating a mass air flow sensor using an oscillating air flow |
| US6182509B1 (en) | 1996-06-26 | 2001-02-06 | Simon Fraser University | Accelerometer without proof mass |
| WO1997049998A1 (en) | 1996-06-26 | 1997-12-31 | Simon Fraser University | Accelerometer without proof mass |
| US6589433B2 (en) | 1996-06-26 | 2003-07-08 | Simon Fraser University | Accelerometer without proof mass |
| JP3323745B2 (ja) * | 1996-07-25 | 2002-09-09 | 株式会社日立製作所 | 物理量検出装置の特性調整手段および発熱抵抗式空気流量装置 |
| US5753803A (en) * | 1996-11-21 | 1998-05-19 | International Business Machines Corporation | Apparatus and methods for maintaining a substantially constant temperature in a thermal proximity sensor |
| US10151772B2 (en) * | 2015-01-23 | 2018-12-11 | Embry-Riddle Aeronautical Univeristy, Inc. | Hot wire anemometer |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS5722563A (en) * | 1980-07-15 | 1982-02-05 | Hitachi Ltd | Sucked air flowmeter for internal combustion engine |
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| US4523462A (en) * | 1983-05-16 | 1985-06-18 | Tsi Incorporated | Constant temperature anemometer having an enhanced frequency response |
-
1984
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1985
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- 1985-11-25 DE DE8585402296T patent/DE3569821D1/de not_active Expired
- 1985-11-25 EP EP85402296A patent/EP0187562B1/fr not_active Expired
- 1985-11-28 CA CA000496449A patent/CA1247240A/fr not_active Expired
- 1985-12-05 US US06/805,446 patent/US4685324A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-06 JP JP60273559A patent/JPS61139724A/ja active Pending
- 1985-12-06 ES ES549659A patent/ES8701982A1/es not_active Expired
-
1994
- 1994-03-22 JP JP1994002433U patent/JP2522337Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| DE3569821D1 (en) | 1989-06-01 |
| JPH0744568U (ja) | 1995-11-21 |
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| EP0187562A1 (fr) | 1986-07-16 |
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