JP2019020781A - 流体制御装置、流体制御システム、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
100・・・流体制御装置
FM ・・・流体機器モジュール
COM・・・制御機構
1 ・・・第1バルブ制御部
11 ・・・第1圧力フィードバック制御部
12 ・・・第2圧力フィードバック制御部
13 ・・・流量フィードバック制御部
14 ・・・制御切替部
2 ・・・第2バルブ制御部
V1 ・・・第1バルブ
V2 ・・・第2バルブ
R ・・・流体抵抗
P1 ・・・第1圧力センサ
P2 ・・・第2圧力センサ
Claims (9)
- 流路に設けられた第2バルブよりも上流側に設けられた流体機器モジュールと、少なくとも前記流体機器モジュールの一部を制御する制御機構とを備えた流体制御装置であって、
前記流体機器モジュールが、
前記第2バルブよりも上流側に設けられた流体抵抗と、
前記流体抵抗よりも上流側に設けられた第1圧力センサと、
前記第1圧力センサよりも上流側に設けられた第1バルブと、を備え、
前記制御機構が、
前記第1圧力センサで測定される第1圧力に基づいて、前記第1バルブを制御する第1圧力フィードバック制御部を備え、
前記第1圧力フィードバック制御部が、前記第2バルブが閉鎖している状態において、前記第1圧力センサで測定される第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第1バルブを制御し、
前記制御機構が、第1圧力が目標バースト圧力となり、前記第2バルブが開放された以降において、前記流路に流れる流体の流量が目標一定流量となるように前記第1バルブを制御するように構成されていることを特徴とする流体制御装置。 - 前記流体機器モジュールが、
前記流体抵抗よりも下流側、かつ、前記第2バルブよりも上流側に設けられた第2圧力センサをさらに備え、
前記制御機構が、
前記第1圧力センサで測定される第1圧力と前記第2圧力センサで測定される第2圧力に基づいて前記流路に流れる流体の流量を算出する流量算出部と、
前記流量算出部で算出される測定流量に基づいて、前記第1バルブを制御する流量フィードバック制御部と、をさらに備え、
前記流量フィードバック制御部が、第1圧力が目標バースト圧力となり、前記第2バルブが開放された以降において、測定流量が目標一定流量となるように前記第1バルブを制御する請求項1記載の流体制御装置。 - 前記第1圧力フィードバック制御部が、前記第2バルブが閉鎖しており、第1圧力が目標バースト圧力となった以降において、第1圧力が目標一定流量に相当し、目標バースト圧力よりも低い目標維持圧力となるように前記第1バルブを制御する請求項1記載の流体制御装置。
- 前記制御機構が、
前記第1圧力フィードバック制御部による前記第1バルブの制御が行われる前において、前記第2圧力センサで測定される第2圧力に基づいて、前記第1バルブを制御する第2圧力フィードバック制御部をさらに備え、
前記第1圧力フィードバック制御部が、第1圧力が目標バースト圧力よりも高い圧力になった以降において、第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第1バルブを制御する請求項2記載の流体制御装置。 - 前記第1圧力フィードバック制御部が、第1圧力、及び、第2圧力に基づいて算出される前記第1バルブから前記第2バルブまでのチャージ容積に流入した流体の質量が、目標バースト圧力に基づいて算出される目標質量となった場合に、第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第1バルブの制御を開始する請求項4記載の流体制御装置。
- 前記制御機構が、
前記第2バルブを制御する第2バルブ制御部をさらに備え、
前記第2バルブ制御部が、前記第1圧力フィードバック制御部による前記第1バルブの制御によって第1圧力が目標バースト圧力となった以降に前記第2バルブを開放するように構成された請求項1記載の流体制御装置。 - 請求項1乃至6いずれかに記載の流体制御装置と、
前記第2バルブと、を備えた流体制御システム。 - 流路に設けられた第2バルブよりも上流側に設けられた流体機器モジュールと、少なくとも前記流体機器モジュールの一部を制御する制御機構とを備え、前記流体機器モジュールが、前記第2バルブよりも上流側に設けられた流体抵抗と、前記流体抵抗よりも上流側に設けられた第1圧力センサと、前記第1圧力センサよりも上流側に設けられた第1バルブと、を備えた流体制御装置を用いた流体制御方法であって、
前記第2バルブが閉鎖している状態において、前記第1圧力センサで測定される第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第1バルブを制御し、
第1圧力が目標バースト圧力となり、前記第2バルブが開放された以降において、前記流路に流れる流体の流量が目標一定流量となるように前記第1バルブを制御することを特徴とする流体制御方法。 - 流路に設けられた第2バルブよりも上流側に設けられた流体機器モジュールと、少なくとも前記流体機器モジュールの一部を制御する制御機構とを備えた流体制御装置であり、前記流体機器モジュールが、前記第2バルブよりも上流側に設けられた流体抵抗と、前記流体抵抗よりも上流側に設けられた第1圧力センサと、前記第1圧力センサよりも上流側に設けられた第1バルブと、を備えた流体制御装置に用いられるプログラムであって、
前記第1バルブを制御する第1バルブ制御部としての機能をコンピュータに発揮させるものであり、
前記第1バルブ制御部が、
前記第1圧力センサで測定される第1圧力に基づいて、前記第1バルブを制御する第1圧力フィードバック制御部を備え、
前記第1圧力フィードバック制御部が、前記第2バルブが閉鎖している状態において、前記第1圧力センサで測定される第1圧力が目標バースト圧力となるように前記第1バルブを制御し、
前記第1バルブ制御部が、第1圧力が目標バースト圧力となり、前記第2バルブが開放された以降において、測定流量が目標一定流量となるように前記第1バルブを制御することを特徴とする流体制御装置用プログラム。
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