JP2011524589A - マスフローコントローラにおける弁クラッキング電流を更新するためのシステム及び方法 - Google Patents

Abstract

流体の流量を制御するマスフローコントローラのための弁システムが開示される。弁システムは流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間を移動できる弁と、弁コントローラとを含む。弁コントローラは、流体の実際の測定された流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するように弁を通る弁電流を送る。弁コントローラは、弁電流、及び、弁が閉位置へ移動しているときの流量を監視し、流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定し、更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、次の運転のための弁クラッキング電流を更新する。
【選択図】図１

Description

本発明はマスフローコントローラにおける弁クラッキング電流を更新するためのシステム及び方法に関する。

マスフローコントローラ（ＭＦＣ）は装置を通って流れる流体の速度及び量を設定し、測定し、制御する装置である。流体は、これらに限定されないが、例としてガス、蒸気又は液体を含む、任意の形式のものとすることができる。このような装置は典型的には流量の所定の範囲内で流体の流れを極めて精確に制御するように設計され、較正される。半導体製造のようなある製造プロセスは、プロセス室又は工具に送給されている流体流れの速度及びガスや蒸気の量（質量）の精確な制御を必要とする。

ＭＦＣの用途は、これらに限定されないが、加工片上への引き続きの蒸着、材料を除去するためのドライエッチング、半導体及び製薬工業で使用されるイオン及びプラズマビーム等のための、プロセス室内へ流れる精確な量のガス及び蒸気の定量供給を含む。これらの用途の多くにおいては、流体流量及び流体質量の精度は最適な結果を保証するために重要である。

制御弁はＭＦＣにおける重要な素子である。この弁は、ＭＦＣにより設定される制御コマンドに従って弁の開度又は開き量を変更することにより、流体のマスフロー量を規制する。弁プラグの開放を生じさせる弁アクチュエータ内の最小電流は一般に弁クラッキング電流又は弁しきい電流として参照される。

弁クラッキング電流を更新するため、圧力情報を必要とする、即ち、作動状態を監視するためにＭＦＣ内に埋め込まれた圧力センサを必要とする方法が使用されてきた。しかし、すべてのＭＦＣが埋設された圧力センサを含んでいるとは限らず、このような方法を使用した場合に、このようなＭＦＣが弁クラッキング電流を更新するのを困難にする。また、このような方法は、弁がドリフトした場合、弁クラッキング電流を正確に予測できないことがある。

圧力情報を必要とすることなく弁クラッキング電流の正確な決定及び更新を許容し、異なる圧力においてＭＦＣの制御性能を改善するシステム及び方法が望ましい。

マスフローコントローラのための弁システムは圧力情報を必要とせずにマスフローコントローラの弁クラッキング電流の更新を許容するように形状づけられる。弁システムは流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間で移動できる弁を含む。

弁システムはさらに、流体の実際の測定された流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するために弁を制御するように形状づけられた弁コントローラを含む。弁コントローラは：弁が閉位置に移動している間に弁電流及び流体の流量を監視し；流体がほぼゼロの流量になったときの弁電圧の値を測定し；更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の測定された値に設定することにより、マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新するように形状づけられる。

図１はマスフローコントローラに使用されるソレノイド弁を概略的に示す。 図２は応答を迅速化するために弁クラッキング電流を使用するマスフローコントローラのためのフィードバック制御線図を概略的に示す。 図３は、この開示の１つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新するための方法を概略的に示す。 図４は、この開示の１つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新するための方法を概略的に示す。 図５は、この開示の１つの実施の形態に係る、圧力情報を必要とせずに弁クラッキング電流を更新するように形状づけられたＭＦＣを概略的に示す。

この開示においては、圧力情報を必要とせずにＭＦＣの弁クラッキング電流を更新し、それによって異なる圧力でのＭＦＣの制御性能を改善するためのシステム及び方法を説明する。

図１はＭＦＣのための制御弁の１つの例を示す。図１に示すように、ＭＦＣ内の制御弁はオリフィス１７０を備えた弁座１８０と、弁座１８０のオリフィス１７０に対してシールを行うようにバネ１５０により押されるプラグ１６０とを含むことができる。図１に示す制御弁においては、プラグ１６０と弁座１８０との間のギャップは、弁の開度を決定する。プラグは普通、弁の開度を変更するために弁アクチュエータに取り付けられる。

図１に示す図示の制御弁はソレノイドアクチュエータを使用し、ソレノイドアクチュエータは、強磁性材料で作られ、プラグ１６０に取り付けられたアーマチュア１４０と、ワイヤコイル１２０とを含む。ソレノイドアクチュエータはさらに、共に強磁性材料で作られた弁コア１１０及び弁囲いを含む。一つのソレノイドアクチュエータを図１に示すが、多くの他の形式の弁アクチュエータを使用することができる。

電流がワイヤコア１２０に適用されたとき、電磁場が弁アクチュエータ内に形成され、アーマチュア１４０は磁力により固定の弁コア１１０へ引きつけられる。アーマチュア１４０上の磁力が予め負荷されたバネ力とオリフィスを横切る圧力差により生じる力との合計よりも大きい場合、プラグ１６０は弁座１８０から離れるように移動し始め、したがって、弁の開度即ち開き量を変化させる。

弁プラグを開かせ始めるために弁アクチュエータを流れなければならない最小電流は弁クラッキング電流として参照される。換言すれば、弁電流が弁クラッキング電流に実質上等しい値に達したときに、弁プラグ１６０は弁座１８０から離れるように移動を開始し、弁が移動し始める。

多くのＭＦＣにおいては、弁クラッキング電流は図２に示す閉ループフィードバック制御システムにおける弁バイアス電流として利用される。図２に示すように、ゼロから最終値への弁電流の漸増(ramping up)及びプロセスにおける時間の消費の代わりに、ＭＦＣは、最初に弁クラッキング電流を適用し、次いで弁を最終位置へ駆動するためにフィードバック制御ループを使用することにより、弁に対する初期の開位置へのコマンドを直接行うことができる。このようにして、弁クラッキング電流は、ゼロからゼロではない値への流れ設定点の変更に対する弁の応答性を迅速化する。

しかし、弁クラッキング電流の設定が低過ぎる場合、遅鈍な応答が予期される。一方、弁クラッキング電流の設定が高過ぎる場合は、オーバーシュートが生じる。ＭＦＣにおける良好な制御性能を達成するためには、弁クラッキング電流を正確に設定することが重要である。

弁クラッキング電流は、これらに限定されないが、弁オリフィスを横切る圧力差、弁オリフィスの寸法及び予め負荷されるバネ力を含む、因子の関数である。ＭＦＣの製造においては、初期の弁クラッキング電流は、たとえば弁オリフィスを横切る圧力差のような既知の条件を使用して較正及び／又はチューニング手順中に決定することができる。エンドユーザーにより使用される圧力値が較正及び／又はチューニング中に使用される圧力値とは異なる場合、ＭＦＣは、作動状態の変化を知り、それに従って弁クラッキング電流を調整する高性能なＭＦＣであるのが望ましい。

図２は、ＭＦＣ内の弁２１０及びフィードバックコントローラ２２０、ならびに、ゼロでない流れ設定点の変化に対する弁の応答を迅速化するために弁バイアス電流としてコントローラ２２０により弁２１０へ送られる弁クラッキング電流Ｉ_emd-minを概略的に示す。図２に示すフィードバックループ２４０においては、流れ設定点Ｑ_sp（即ち流体の流量のための所望の設定点）がコントローラ１２０に対して提供される。たとえば、流れ設定点Ｑ_spはユーザーにより入力することができるが、流れ設定点Ｑ_spはまた他の方法で入力することができる。次いで、実際の出力流量ＱがＭＦＣ内の流れセンサ２３０により測定される。

弁を通る出力流量Ｑは多くのパラメータに依存する。１つのパラメータは弁の開度即ち開き量である。この開度は、弁電流即ちコントローラ２２０から出力され、弁２１０へ流れる制御電流により決定される。図２に示すように、流量Ｑはまた流体圧力Ｐ及び分子量や比熱率のような流体のガス特性により決定される。実際の応用においては、流体及び上流の圧力は予め決定される。ＭＦＣは弁の開度即ち開き量を調整することにより流量のみを変化させることができ、開度は弁電流を調整することにより達成される。

流れ設定点Ｑ_spと実際の測定された流量Ｑ_measとの間の違い即ち差に基づき、コントローラ２２０は弁コマンド電流を発生させ、この電流は、受け取った設定点Ｑ_spでの流量を維持するために、弁の開度即ち開き量を制御するように、弁２１０へ送られる。

図２における記号Ｉ_emd-minはコントローラ２２０の出力に対するバイアス又は付加的な弁電流として作用する弁クラッキング電流を表す。弁電流の大きさが増大すると、電磁力の大きさが増大する。弁電流の値が弁クラッキング電流の値に達したとき、電磁力は予め負荷されたバネ力と弁を横切る圧力差との合計に等しくなる。この時点で、弁が開き始める。

弁クラッキング電流の大きさ即ち弁を開くために必要な弁電流の最小量は、弁上の予め負荷されたバネ力に関係する。弁上にたくさんの予め負荷されたバネ力がある場合、一層小さな予め負荷されたバネ力が存在するような状況に比べて、弁を開くために一層大きな弁クラッキング電流が必要となる。弁クラッキング電流Ｉ_emd-minの値はまた弁のオリフィスを横切る圧力差に依存する。多くの応用においては、ＭＦＣの下流側の圧力は真空に近く、そのため、弁のオリフィスを横切る圧力差は弁の上流側の圧力即ち入口流体圧力Ｐに近似することができる。それゆえ、弁クラッキング電流は次のような上流側圧力Ｐの関数として表現することができる：

図２に示すように、弁クラッキング電流の値に関連するコマンド（単数又は複数）はコントローラ２２０により発される制御コマンドに付加することができる。換言すれば、弁クラッキング電流は基本的にはコントローラ２２０に対するバイアス電流即ちオフセット電流として作用する。不適切な弁クラッキング電流はオーバーシュート又は低応答のいずれかを生じさせる。オーバーシュートの場合、初期の弁クラッキング電流はかなり高く設定される。弁が高い初期破壊電流へ急激に飛躍した場合、弁は開き過ぎ、多量の流れがそこを通過し、オーバーシュートを生じさせる。一方、弁クラッキング電流があまりにも低く設定された場合、コントローラは、弁が開くまで、電流を漸増させねばならず、時間を消費させ、アンダーシュートを生じさせる。

図３はこの開示の１つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新する提案された方法を概略的に示す。基本的な着想は、弁が閉じている間に、弁電流Ｉ及び流量Ｑの双方を監視することである。弁閉鎖期間中、電流Ｉは、急激に無くなる代わりに、ゆっくり減少（又は漸減）する。電流が漸減するときに、流量Ｑが監視される。次いで、ほぼゼロの流れに対応する電流の値が習得されて、弁クラッキング電流の新たな即ち更新された値がその値に設定される。

弁が開いているとき、一層大きな弁クラッキング電流が一般に必要とされ、一方、弁が閉じているときには、一層小さな弁クラッキング電流が一般に必要とされる。この挙動は普通ソレノイドアクチュエータのヒステレシスと呼ばれ、これを図３にも示す。新たな弁クラッキング電流を控えめに選択することにより、すなわち、弁が閉じているときにほぼゼロの流れにおける電流の値を選択することにより、ゼロからゼロでない値までの受け取った流れ設定点Ｑ_spで、ＭＦＣの次の運転時におけるオーバーシュートの問題を阻止することができる。

ほぼゼロの流れは、精確なゼロ流れではなく、新たな弁クラッキング電流を習得するための時点として選択される。その理由は、数ある中でも、ＭＦＣが典型的には、弁電流がゼロの場合でさえＭＦＣが精確なゼロ流れを有することを阻止するようなゼロのドリフト又は漏洩を有するからである。この理由のため、全規模(full scale)の流れのある小さな百分率を、ほぼゼロの流れ状態のために選択することができる。たとえば、全規模の流れの約５０％は、ほんの一例として、新たな弁クラッキング電流が習得されるような状態として選択することができる。

正確な弁クラッキング電流を習得するために、ＭＦＣは、最初に、弁が閉位置に移動するように設定点が非ゼロからゼロに変化したか否かを決定しなければならず；次いで、ＭＦＣは、先のゼロでない設定点が全規模の値の所定の百分率であることを決定しなければならず；最後に、ＭＦＣは、実際の流量が先のゼロでない設定点に対して達成されたか否かを決定しなければならない。すべてのこのような状態が満たされた場合にのみ、新たな弁クラッキング電流が習得され、次の運転のために更新される。

図４は図３に示す方法に含まれる工程又は行為を設定する概略フローチャートである。図４に示すように、この開示の１つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新する方法４００は、流体の流量、及び、弁が閉位置の方へ移動している間に弁を通して弁コントローラにより送られる弁電流を監視する行為４１０を含むことができる。方法４００はさらに、流体がほぼゼロの流量を有する場合の弁電流の値を決定し、記録する行為４２０を含むことができる。方法４００はさらに、マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新する行為４３０を含むことができる。

上述の方法はコンピュータで履行することができ、この場合、方法は、その中に記憶されたコンピュータで読み取り可能なインストラクションを有するコンピュータで読み取り可能な媒体を含む処理システムを使用して、遂行される。処理システムにより読み取られて履行された場合、このようなインストラクションは、プロセッサに対して、マスフローコントローラ内の流体の流量、及び、弁が閉位置の方へ移動しているときのマスフローコントローラの弁を通る弁電流を監視させ；流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定させ；マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新させる。コンピュータで読み取り可能な媒体は、これらに限定されないが、ハードディスク、フロッピーディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、フラッシュメモリー及び光学記憶装置を含む、当業界で既知の任意の形式のものとすることができる。上述のコンピュータで読み取り可能なインストラクションはインターネットを通して配布されるソフトウエアを介して提供することができる。

図５はこの開示の１つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新するように形状づけられたＭＦＣ５００を概略的に示す。従来のＭＦＣと同様に、ＭＦＣ５００は流れ本体５１０と、マスフローセンサ５４０とを含む。ＭＦＣ５００はまた弁システムを有し、このシステムは弁５５０と、弁５５０を制御する弁コントローラ（又はマイクロコントローラ）５６０とを含む。流れ本体５１０はその入口５２０において流体を受け取り、入口５２０と出口５３０との間で流体のための流れ経路を提供する。マスフローセンサ５４０は、流体がＭＦＣ５００の入口５２０から出口５３０へ流れるときの流体の流量を測定する。弁５５０は流体の流れを所望の流量に規制する。弁５５０を開閉することにより、流れ経路を通って流れる流体のマスフロー量を所望通りに調整することができる。弁５５０は典型的には弁アクチュエータにより移動又は作動させられ、弁アクチュエータの例は、これらに限定されないが、ソレノイドアクチュエータ、圧電アクチュエータ及びステップモータアクチュエータを含む。

弁コントローラ５６０は弁５５０の作動を制御する。弁コントローラ５６０内の制御電子機器は、所望する流体のマスフロー量を表示する流れ設定点に基づいて、弁５５０の位置を制御する。マスフローセンサ５４０は流体の実際の測定されたマスフロー量を表示するフィードバック信号を送ることができる。伝統的なフィードバック制御方法がＭＦＣ内の流体の流れを制御するために使用される。このようなフィードバック制御方法においては、制御又はコマンド信号は、流れ設定点とマスフローセンサにより感知された実際のマスフロー量を表示するフィードバック信号との間の差から由来する誤差信号に基づいて、コントローラにより発生される。

従来のＭＦＣにおけるように、弁５５０は流体の流量を所望の設定点に調整するように全開位置と全閉位置との間を移動できる。上述のように、弁を通る弁電流が弁クラッキング電流に実質上等しくなったときに、弁５５０は移動し始める。弁コントローラ５６０は、流体の実際の測定された流量が所望の設定点と実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するように弁５５０を制御する。

この開示においては、弁コントローラ５６０はさらに、弁が閉位置へ移動しているときに、弁電流及び流体の流量を監視するように形状づけられる。弁コントローラ５６０はさらに、流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流を決定し、更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新するように形状づけられる。

弁コントローラ５６０はまた、所望の流れ設定点を受け取り、所望の流れ設定点を流量センサにより測定されるような流体の実際の流量と比較するように形状づけられる。実際の流量が所望の設定点に等しくない場合、弁コントローラは、実際の流量が所望の設定点と実質上等しくなるまで、弁の位置を調整する。弁コントローラ５６０はさらに、弁が閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロに変化したときにのみ、次の運転のための更新される弁クラッキング電流を適応的に習得するように形状づけられる。

要約すると、ＭＦＣ内の弁クラッキング電流を更新するためのシステム及び方法を説明した。このようなシステム及び方法は異なる入口流体圧力のような異なる作動状態でのＭＦＣの制御性能を大幅に改善する。さらに、このようなシステム及び方法は、ＭＦＣ弁の長期にわたるドリフトが自動的に修正されるのを許容する。

これらの実施の形態において暗示された構想は他の実施の形態において同様に使用できることを理解すべきである。この出願の保護は以下の特許請求の範囲にのみ限定される。
特許請求の範囲においては、単数として参照する素子は、特記しない限り「１つ及び単一」を意味する意図はなく、むしろ、「１又はそれ以上」を意味するものとする。当業者にとって既知であるか又は後に既知となるようなこの開示全体を通して説明した種々の実施の形態の素子に対する構造上及び機能上の等価物は、参照として表現的にここに組み込まれ、特許請求の範囲により包含されることを意図する。さらに、ここで開示しなかったものは、そのような開示が特許請求の範囲に明確に述べられていると否とに拘わらず、公共に献呈することを意図するものである。特許請求の範囲の素子は、その素子が「ための手段」という語法を使用して明確に述べられない限り、または、特許請求の範囲における方法の場合は、素子が「ための工程」という語法を使用して述べられない限り、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．１１２章、第６節の規定の下に解釈すべきでない。

１１０ コア
１２０ コイル
１３０ 弁囲い
１４０ アーマチュア
１５０ バネ
１６０ プラグ
１７０ オリフィス
１８０ 弁座
２１０ 弁
２２０ コントローラ
２３０ 流れセンサ
５００ ＭＦＣ
５１０ 流れ本体
５２０ 入口
５３０ 出口
５４０ マスフローセン
５５０ 弁
５６０ 弁コントローラ

Claims (14)

1. 流体の流量を制御するように形状づけられたマスフローコントローラの弁クラッキング電流の更新を許容する弁システムにおいて、
   流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間を移動することができる弁であって、同弁を通る弁電流が弁クラッキング電流に実質上等しくなったときに上記開位置への移動を開始するように形状づけられた弁と；
   流体の実際の測定された流量が所望の設定点に等しくなるまで、流体の流量を調整するように形状づけられ弁コントローラと；
   を有し、
   上記弁コントローラがさらに、
   上記弁が上記閉位置へ移動しており、かつ、弁電流及び流量が共に減少している間に、弁電流及び流体の流量を監視し；
   流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を測定し；
   更新する弁クラッキング電流をほぼゼロの流量における弁電流の値に設定することにより、上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新する；
   ように形状づけられる、
   ことを特徴とする弁システム。
2. 上記弁コントローラがさらに、所望の設定点を受け取り、上記マスフローコントローラ内の流量センサから実際の測定された流量を受け取り、所望の設定点を流体の実際の測定された流量と比較し、実際の測定された流量が所望の設定点に等しくない場合に、実際の流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、上記弁の位置を調整するように、形状づけられることを特徴とする請求項１に記載の弁システム。
3. 上記弁コントローラはさらに、上記弁が上記閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロへ変化したこと、受け取った設定点が全規模の値の所定の百分率となったこと、及び、流量が受け取った設定点を達成したことを決定した後にのみ、次の運転のための更新される弁クラッキング電流を適応的に習得するように、形状づけられることを特徴とする請求項２に記載の弁システム。
4. 上記弁アクチュエータが、ソレノイドアクチュエータ、圧電アクチュエータ、ステップモータアクチュエータ及びリニアモータアクチュエータのうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項１に記載の弁システム。
5. 流体の流量を制御し、開位置と閉位置との間で移動できる弁と、流体の流量を所望の設定点に調整するために上記弁の位置を制御するように形状づけられた弁コントローラとを有するマスフローコントローラにおける弁クラッキング電流を更新する方法において、
   流体の流量、及び、上記弁が上記閉位置の方へ移動しているときの当該弁を通る、上記弁コントローラにより送られた弁電流を監視する工程と；
   流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定する工程と；
   上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量における弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新する工程と；
   を有することを特徴とする方法。
6. 所望の設定点を受け取る行為と；
   上記弁が上記閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロへ変化したか否かを決定する行為と；
   受け取った設定点が全規模の値の所定の百分率であるか否か、及び、実際の流量が受け取った設定点を達成したか否かを決定する行為と；
   所望の設定点が非ゼロからゼロに変化し、全規模の値の所定の百分率となり、かつ達成された場合にのみ、弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新する行為と；
   をさらに有することを特徴とする請求項５に記載の方法。
7. プロセッサのためのコンピュータで使用可能なインストラクションをその中に記憶したコンピュータで使用可能な媒体において、
   上記プロセッサにより実行された場合の上記インストラクションが、当該プロセッサに対して：
   マスフローコントローラ内の流体の流量、及び、弁が閉位置の方へ移動しているときの上記マスフローコントローラの上記弁を通る弁電流を監視させ；
   流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定させ；
   上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新させる；
   ことを特徴とする媒体。
8. 圧力情報を必要とせずに弁クラッキング電流を更新するように形状づけられたマスフローコントローラにおいて、
   流体の流量を測定するように形状づけられた流量センサと；
   流体の流量を所望の設定点に調整するように作動でき、弁を通る弁電流が弁クラッキング電流に等しくなったときに、閉位置から開位置へ移動するように形状づけられた弁と；
   上記流量センサにより測定されたような実際の流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するために上記弁の位置を制御するように形状づけられた弁コントローラと；
   を有し、
   上記弁コントローラがさらに：
   上記弁が上記閉位置へ移動しているときに、弁電流及び流体の流量を監視し；
   流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流を決定し；
   更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、上記マスフローコントローラの次の運転のための電破壊電流を更新する；
   ように形状づけられる、
   ことを特徴とするマスフローコントローラ。
9. 上記弁コントローラがさらに、所望の設定点を受け取り、所望の設定点を上記流量センサにより測定されたような流体の実際の流量と比較し、実際の流量が所望の設定点に等しくない場合に、実際の流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、上記弁の位置を調整するように形状づけられることを特徴とする請求項８に記載のマスフローコントローラ。
10. 上記弁コントローラはさらに、上記弁が上記閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロへ変化し、受け取った設定点が全規模の値の所定の百分率となり、かつ、実際の流量が受け取った設定点を達成したときにのみ、次の運転のための更新される弁クラッキング電流を適応的に習得するように、形状づけられることを特徴とする請求項９に記載のマスフローコントローラ。
11. 上記弁アクチュエータが、ソレノイドアクチュエータ、圧電アクチュエータ、ステップモータアクチュエータ及びリニアモータアクチュエータのうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項８に記載のマスフローコントローラ。
12. 入口及び出口を備えた流れ本体をさらに有し、上記流れ本体が上記入口において流体を受け取り、当該入口と上記出口との間で流体のための流れ経路を提供するように形状づけられ；
    上記流量センサが上記流れ経路を通る流体の流量を測定するように形状づけられる；
    ことを特徴とする請求項８に記載のマスフローコントローラ。
13. 弁クラッキング電流を更新する前に、流体がほぼゼロの流量を有したときの弁電流の値を受け取る行為を更に有することを特徴とする請求項５に記載の方法。
14. 上記弁コントローラがフィードバック弁制御システムを有し、上記フィードバック弁制御システム内の更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新するように形状づけられることを特徴とする請求項１に記載の弁システム。

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