JP2010106147A - 樹脂組成物溶液の製造方法、及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】樹脂組成物溶液を収容するタンク10に収容された樹脂組成物溶液を、送液手段及びろ過手段を有しタンク10から排出された樹脂組成物溶液をタンク10へと循環させる循環経路中に脱着可能に備えられた樹脂組成物溶液を容器に充填するための充填ノズル14内を通過させつつ循環経路を循環させることにより、循環ろ過を行う。その後に充填ノズル14を循環経路から脱状態として充填ノズル14にて容器に樹脂組成物溶液を充填する。
【選択図】図1
Description
図1の装置(タンク10、送液ポンプ13、ろ過装置20(フィルター)を有し、バルブV1を通るメイン循環経路28a(配管外径サイズ:1/2インチ)と、バルブV2と脱着可能な充填ノズル14から構成されるノズルユニット16を有し、バルブ(V3)を通るバイパス循環経路28bと、を備える装置)を用い、タンク10に保有したレジスト組成物(ヒドロキシスチレンとtert−ブトキシカルボニルヒドロキシスチレンの共重合体と酸発生剤であるトリフェニルスルホニウムトリフレートを含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)100Lを、ロータリーポンプ(ジャブスコ製)を用いて送液し、PP製フィルター(孔径:0.02μm;濾布面積:4.4m2)に通液させた後、以下に示すSTEP1〜STEP4を以下の時間行った。
図5の装置(タンク10、送液ポンプ13、ろ過装置20(フィルター)を有し、バルブV1を通る循環経路と、循環経路外に設置した充填ノズル14を有する装置)を用い、以下に示すSTEP1〜STEP2を行った。
図1の装置を用い、STEP1およびSTEP2の流量を1200L/hrにする以外は実施例1と同様に循環濾過および充填を実施した。このときレイノズル数は2354であった。異物測定結果を表1に示す。
充填ノズル14を循環ライン28に組み込んだ実施例1では、充填1本目から、レジスト組成物中の異物数が許容数の500個以下となり、端切り量を0とすることができた。一方、充填ノズル14を循環ライン28に組み込んでいない比較例1では、充填8本目にレジスト組成物中の異物数が許容数の500個以下となったため、28kgの端切りが必要であった。すなわち、異物数が許容数まで低減するまで廃棄する必要があり、生産量が減少してしまうことになった。このように、充填ノズル14を循環ライン28に組み込むことにより、端切り量が低減され、生産量の増加が達成される。また、比較例2のようにレイノズル数が大きい状況で循環濾過を実施するとフィルターから異物が抜け出るため、充填ノズル14を循環ライン28に組み込んだ装置を用いてもレジスト組成物中の異物数が許容数の500個以下とはならなかった。
Claims (4)
- 樹脂組成物溶液を収容するタンクに収容された前記樹脂組成物溶液を、送液手段及びろ過手段を有し前記タンクから排出された前記樹脂組成物溶液を前記タンクへと循環させる循環経路中に脱着可能に備えられた前記樹脂組成物溶液を容器に充填するための充填ノズル内を通過させつつ前記循環経路を循環させることにより、循環ろ過を行い、その後に前記充填ノズルを前記循環経路から脱状態として前記充填ノズルにて前記容器に前記樹脂組成物溶液を充填する樹脂組成物溶液の製造方法。
- 前記循環経路を循環中の前記樹脂組成物溶液のレイノルズ数が100〜2000である請求項1に記載の樹脂組成物溶液の製造方法。
- 樹脂組成物溶液を収容するタンクと、
前記タンクから排出された前記樹脂組成物溶液を前記タンクへと循環させる循環ラインと、
前記循環ライン中に備えられた前記樹脂組成物溶液を送液するための送液手段と、
前記循環ライン中に備えられた前記樹脂組成物溶液をろ過するためのろ過手段と、
前記循環ライン中に脱着可能に備えられた前記樹脂組成物溶液を容器に充填するための充填ノズルと、を有し、
前記樹脂組成物溶液を前記充填ノズル内を通過させつつ前記循環ラインを循環させることにより、循環ろ過を行い、前記充填ノズルを前記循環ラインから脱状態として前記充填ノズルにて前記容器に前記樹脂組成物溶液を充填する樹脂組成物溶液の製造装置。 - 前記充填ノズルの上流側の循環ラインの一部は、変形可能な変形可能部材にて構成されており、前記充填ノズルは、ホルダーに収められた状態にて前記樹脂組成物溶液を内部に通液可能とされ、前記変形可能部材を変形させることにより前記ホルダーから取り外して前記容器に充填可能とされている請求項3に記載の樹脂組成物溶液の製造装置。
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