JP2010169871A - 樹脂組成物溶液の製造方法、及びタンク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部に収容された液に非接触で液の液面を測定する非接触タイプの液面計40を備えるタンク10を用いて樹脂組成物溶液を製造する。液面計40は、非接触で液面位置を検出する検出手段として、液の重量の測定、マイクロ波の使用、レーザーの使用、超音波の使用、及び放射線の使用のいずれかを用いたものである。
【選択図】図1
Description
(1)単量体溶液を調製する調製工程
(2)単量体成分を重合する重合工程
(3)重合溶液を貧溶媒に添加して沈殿させる精製工程
(4)重合溶液に溶媒を添加して2層分離させる精製工程
(5)重合体を前記タンク内で良溶媒に溶解させて重合体溶液を得る工程
(6)前記タンク内の重合体溶液から残存する貧溶媒を除去し、さらに重合体溶液を濃縮する工程
(7)重合体溶液に添加剤などを加えて調製する調製工程
(2)単量体成分を重合する重合工程
(3)重合溶液を貧溶媒に添加して沈殿させる精製工程
(4)重合溶液に溶媒を添加して2層分離させる精製工程
(5)重合体をタンク内で良溶媒に溶解させて重合体溶液を得る工程
(6)タンク内の重合体溶液から残存する貧溶媒を除去し、さらに重合体溶液を濃縮する工程
(7)重合体溶液に添加剤などを加えて調製する調製工程
フォトリソグラフィー用組成物溶液の重合方法については特に限定されず、溶液重合等の公知の方法を採用することができる。例えばフォトレジスト用組成物溶液については具体的には、重合開始剤を使用し、単量体を適当な溶媒中で溶解させる調整工程を持ち、その単量体溶液と開始剤溶液を重合溶媒へ滴下させることにより、反応溶液として得ることができる。
フォトリソグラフィー用組成物溶液の重合方法については特に限定されず、上記同様溶液重合等の公知の方法を採用することができる。重合工程の例として、上記のようなフォトレジスト用組成物溶液については単量体を重合溶媒に滴下することで反応溶液を得るほか、液浸露光用上層膜形成用組成物溶液については異なる単量体を順次滴下する2段階で行うことで反応溶液を得る。また加工用下層膜用組成物溶液は単量体をタンク10において重合溶媒に溶解後、開始剤もしくは触媒を投入し、反応溶液を得る。
フォトリソグラフィー用組成物溶液の精製工程では、重合体を含有する反応溶液と貧溶媒を混合して、重合体を含有する沈殿物を調製する方法(沈殿操作)については、特に限定されず、公知の手法に従って行うことができる。この沈殿操作により、反応溶液から、残存モノマー、ダイマー、トリマー、オリゴマー等の低分子成分をはじめとする不純物の大半を除去することができ、重合体の精製を行うことができる。
精製方法としては上記貧溶媒を用いた沈殿操作の他に、溶媒を添加して2層分離させる方法も挙げられる。重合溶液の溶媒に対して溶解度の低い溶媒を添加し、残モノマー、ダイマー等の低分子量体を含む層と重合溶液層とを分離させることで低分子量体を除去して精製することができる。例えば、液浸上層膜形成用組成物溶液や加工用下層膜用組成物溶液の精製工程では2層分離により、低分子量体の除去を実施している。
(3)のフォトリソグラフィー用組成物溶液の精製工程後、沈殿物を濾過し、再度溶剤に溶解させる。これは沈殿物には貧溶媒が含まれているので、最終製品のリソグラフィー用組成物溶液の塗膜形成用の溶媒(b)単独では溶解できない場合もあるためである。このため、沈殿物を再溶解させるには、溶媒(b)に比してフォトリソグラフィー用重合体を溶解させる速度が速い(溶解力が高い)良溶媒(a)を、溶媒(b)とともに用いることが好ましい。なお、良溶媒(a)は、最終製品前の段階で除去する必要がある。このため、良溶媒(a)の常圧における沸点は、溶媒(b)の常圧における沸点以下であることが好ましい。
上記貧溶媒及び良溶媒(a)を除去し重合体溶液を濃縮する方法としては、加熱用ジャケットによる蒸留が挙げられる。加熱用ジャケットに導入する熱媒としては、温水や加圧蒸気等を用いることができる。蒸留缶内の温度は、30〜150℃に制御することが好ましく、50〜120℃に制御することが更に好ましい。この蒸留は、常圧下又は減圧下で実施することが好ましい。これにより、上記貧溶媒及び良溶媒(a)を除去されたフォトリソグラフィー用組成物溶液を得ることができる。
上記重合体溶液に添加剤などを加えて調製する方法としては、例えばフォトレジスト用組成物溶液の製造方法であって、図1に示すような装置を用いて、上記重合体溶液に酸発生剤等の添加物を加えて調整する方法が挙げられる。酸発生剤は、放射線照射(露光)により酸発生剤から酸が発生し、その発生した酸の作用によって、樹脂の酸性基(例えば、カルボキシル基)を保護していた酸解離性基が解離して、酸性基が露出するものである。このような酸発生剤としては、例えば、トリフェニルスルホニウム・ノナフルオロ−n−ブタンスルホネート、4−シクロヘキシルフェニル・ジフェニルスルホニウム・ノナフルオロ−n−ブタンスルホネート等を挙げることができる。なお、これらの酸発生剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
まず、図1に示すように、溶液調製タンク(タンク10)、フィルタ(ろ過装置20内)、及び送液ポンプ13を備える循環ろ過装置を組み立てた。タンク10(容量100L)にはマイクロ波液面計(横河電機製、周波数26GHz:液面計40)及びシャワーリング19を取り付けた。上記タンク10に、原料としてフォトレジスト用樹脂含有溶液〔ヒドロキシスチレンとtert−ブトキシカルボニルヒドリキシスチレンとの共重合体(Mw:13000)を30質量%含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液〕を30kgと、酸発生剤(トリフェニルスルホニウムトリフレートを20質量%含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)10kgを仕込んだ。また、ろ過装置のろ材としてはHDPE(高密度ポリエチレン)フィルター(孔径;0.02μm)を用いた。
図3に示すように、溶液調製タンク(タンク10)に差圧式液面計40sを取り付けた以外は、実施例1と同様の装置を用いた。差圧式液面計40sは、液に接する、金属で構成されたダイアフラムを備えている。前記タンク10内に実施例1と同様のフォトレジスト用樹脂含有溶液と酸発生剤を投入し、実施例1と同様に循環ろ過、回収を行った。その後、タンクを洗浄したところ、上記タンク10内の残液中の固形分濃度は、0.15%であった。
Claims (4)
- 内部に収容された液に非接触で前記液の液面位置を測定する非接触タイプの液面計を備えるタンクを用いて樹脂組成物溶液を製造する樹脂組成物溶液の製造方法。
- 下記(1)〜(7)の工程のうち1工程以上を有し、下記工程で前記非接触タイプの前記液面計を備える前記タンクを用いる請求項1に記載の樹脂組成物溶液の製造方法。
(1)単量体溶液を調製する調製工程
(2)単量体成分を重合する重合工程
(3)重合溶液を貧溶媒に添加して沈殿させる精製工程
(4)重合溶液に溶媒を添加して2層分離させる精製工程
(5)重合体を前記タンク内で良溶媒に溶解させて重合体溶液を得る工程
(6)前記タンク内の重合体溶液から残存する貧溶媒を除去し、さらに重合体溶液を濃縮する工程
(7)重合体溶液に添加剤などを加えて調製する調製工程 - 前記液面計は、非接触で液面位置を検出する検出手段として、前記液の重量の測定、マイクロ波の使用、レーザーの使用、超音波の使用、及び放射線の使用のいずれかを用いたものである請求項1または2に記載の樹脂組成物溶液の製造方法。
- 樹脂組成物溶液の製造に用いられ、内部に収容された液の液面位置を測定する、前記液に非接触タイプの液面計を備えるタンク。
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