JP2003208979A

JP2003208979A - Ｅｌパネル製造方法、ｅｌディスプレイ及び液滴噴射装置

Info

Publication number: JP2003208979A
Application number: JP2002006153A
Authority: JP
Inventors: Satoru Shimoda; 悟下田; Minoru Kumagai; 稔熊谷
Original assignee: Casio Computer Co Ltd
Current assignee: Casio Computer Co Ltd
Priority date: 2002-01-15
Filing date: 2002-01-15
Publication date: 2003-07-25
Anticipated expiration: 2022-01-15
Also published as: JP4217820B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明の課題は、安定した膜厚の有機ＥＬ層の
形成を行うことである。【解決手段】ガラス等の透明基板１４上にＩＴＯ等の透
明な導電体からなるアノード電極１５を形成し、アノー
ド電極１５をそれぞれ有する画素を複数連結するセル１
３Ｒを区分する絶縁材料からなる隔壁１２を形成し、セ
ル１３Ｒへの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射により有機
ＥＬ層１１Ｒを形成し、有機ＥＬ層１１Ｒ及び隔壁１２
上にカソード電極を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＥＬ（Electrolum
inescence）パネルを用いたＥＬディスプレイ及びＥＬ
パネルを製造するＥＬパネル製造方法、並びにＥＬパネ
ルの製造に用いる液滴噴射装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＣＲＴに代わる新しい表示技術と
して、蛍光物質であるＥＬ（Electroluminescence）材
料を用いてＥＬ発光を得る技術が研究されている。

【０００３】蛍光物質であるＥＬ材料としては、まず無
機ＥＬ材料を用いる研究がされていたが、その後、無機
ＥＬにはない長所を有する有機ＥＬ材料について注目さ
れてきている。有機ＥＬ材料は、無機ＥＬ材料に比べ
て、カラー化が容易なことと、はるかに低い電圧の電流
で動作すること等の長所を有する。有機ＥＬ材料を用い
た有機ＥＬ層薄膜を金属電極で挟み込み直流電流印加に
よる電荷注入を行う素子は有機薄膜ＥＬダイオードと呼
ばれ、その応用によるフラットパネルディスプレイの実
現を目指し多くの研究が為されてきた。

【０００４】有機ＥＬ素子によるフルカラーディスプレ
イのＲＧＢ（赤色、緑色、青色）画素構造としては、
有機ＥＬ素子の白色発光とＲＧＢカラーフィルタを用い
る方法、有機ＥＬ素子の青色発光とＧ，Ｒの色波長変
換層を用いる方法、ＲＧＢの各有機ＥＬ素子を各画素
に形成する方法、等が提案されている。この中では、
カラーフィルタや色波長変換層のような光出射量／光入
射量が低い部材を設けることなく、各ＲＧＢの有機ＥＬ
素子の各色の光を直接表示しているので、所定輝度に対
して最も低消費電力が実現できるものとして期待されて
いる。の構造を高解像度で実現させるためには、ＥＬ
発光を行う有機ＥＬ層薄膜の微細パターン形成を行わな
ければならない。有機ＥＬ層薄膜は、ダメージを受け易
く、一般に有機薄膜のエッチングは困難であり、そのパ
ターン形成は有機ＥＬ素子を用いたＥＬパネルディスプ
レイ実現の技術問題となっている。

【０００５】有機ＥＬ素子の製膜方法は材料等の条件に
応じて湿式コーティング法と抵抗加熱蒸着によるドライ
蒸着加熱法に大別され、それぞれの製膜技術に対応した
パターン形成方法として湿式コーティング法はジェット
プリンティング法が、ドライ蒸着加熱法はシャドウマス
ク法が提案されている。

【０００６】図１１〜図１３を参照して、従来のジェッ
トプリンティング式の有機ＥＬ層形成方式を説明する。
図１１は、従来のＥＬパネル８０の構造と液滴噴射ヘッ
ド９１の位置を示す上面図であり、図１２は、従来のＥ
Ｌパネル８０の構造を示す概略断面図であり、図１３
は、従来の液滴噴射装置９０の概略図である。

【０００７】ＥＬパネル８０上に、赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）の有機ＥＬ層８１Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂ
を形成するために、液滴噴射装置９０の液滴噴射ヘッド
９１の赤、緑、青の有機ＥＬ材料の溶液を、赤、緑、青
の溶液を噴射するノズル９１ｒ，９１ｇ，９１ｂを介し
て、それぞれ隔壁８２で区分された各セル８３Ｒ，８３
Ｇ，８３Ｂに噴射する。

【０００８】図１２に示すように、ＥＬパネル８０は、
ガラス等の透明基板８４上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）等の透明な導電体であるアノード電極８５を形成
し、赤の各セル８３Ｒ（及び緑、青のセル８３Ｇ，８３
Ｂ）を区分するＳｉＮ（窒化シリコン）等の隔壁８２を
形成し、正孔輸送層８６を形成し、各セル８３Ｒ（及び
緑、青のセル８３Ｇ，８３Ｂ）への発光材料の液滴噴射
により有機ＥＬ層８１Ｒ（及び緑、青の有機ＥＬ層８１
Ｇ，８１Ｂ）を形成する。アノード電極８５をそれぞれ
備える１セルを１画素とする。

【０００９】実際には、この後、各画素共通の電極であ
るカソード電極を形成し、封止材、封止ガラスを順に形
成して、ＥＬパネル８０となる。また、各有機ＥＬ層の
発光のスイッチングを行うＴＦＴ（Thin Film Transist
or）は図面上省略されている。

【００１０】図１３に示すように、有機ＥＬ材料を各セ
ル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂに液滴噴射する液滴噴射装置
９０は、有機ＥＬ材料を各セル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂ
に液滴噴射し上下方向及びＥＬパネル８０の平面のＸＹ
方向移動自在に可動する液滴噴射ヘッド９１と、有機Ｅ
Ｌ材料の溶液を貯める溶液タンク９２と、溶液タンク９
２の溶液を液滴噴射ヘッド９１へ供給する長い溶液供給
ライン９３と、溶液タンク９２と溶液供給ライン９３と
の間に設ける接続口である溶液供給口９４と、溶液タン
ク９２へ大気を通す大気通用口９５とを設ける。実際に
は、有機ＥＬ材料として、赤、緑、青の発光材料、正孔
輸送材料、電子輸送材料、それぞれに溶液タンク９２、
溶液供給ライン９３、溶液供給口９４、大気通用口９５
を設ける。

【００１１】溶液タンク９２中の有機ＥＬ材料の溶液
は、有機ＥＬ材料を溶媒に溶かした液体であり、溶液滴
噴射ヘッド９１と溶液供給口９４との間の上下方向の水
頭差を調整することにより、液滴噴射ヘッド９１のノズ
ル９１ｒ，９１ｇ，９１ｂ内の溶液の圧力を変化させ、
大気通用口９５からの大気圧と平衡させて、液滴の噴射
量を安定させる。

【００１２】透明基板８４上にアノード電極８５及び隔
壁８２を形成したＥＬパネル８０のＸＹ平面上に、液滴
噴射ヘッド９１を移動させ、目的のセルに液滴を噴射さ
せ、噴射された有機ＥＬ材料の溶媒を蒸発させて乾燥さ
せ、有機ＥＬ層８１Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂを形成してい
た。各セル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂは、ＥＬパネル８０
を用いたディスプレイの画素毎に形成される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のジェッ
トプリンティング式の有機ＥＬ層形成方式によれば、液
滴噴射ヘッド９１のノズル９１ｒ，９１ｇ，９１ｂから
の吐出量は通常数十〜数［ｐｌ］であり、濃度を１〜９
９［ｗｔ％］程度の溶液を滴下する場合、有機ＥＬ層の
仕上がり膜厚が数十［ｎｍ］であることを考慮すると、
セルあたりの滴下量は数滴となる。よって、一つのセル
内での溶液一滴のミスファイアにより、つまり一滴分溶
液の増減によりセル内のＥＬ層の仕上がり膜厚に数十％
の変化が生じ、その結果輝点不良や上下ショート等の画
素不良を生じていた。

【００１４】従来のジェットプリンティング式の有機Ｅ
Ｌ層形成方式を用いて、例えば６４０＊４８０＊３（Ｒ
ＧＢ）のディスプレイを製造する場合を考えると、その
画素数は９２１，６００となる。一セル当り３滴を滴下
するとすれば、ディスプレイあたりの総滴下数は約３０
０万滴に達する。即ちもし、当該ジェットプリンティン
グ式の有機ＥＬ層形成方式で１０万回に１回の過滴下又
は滴下不足のミスファイアを生じた場合、その画素不良
は最大約３０箇所にも及ぶ。即ち、隔壁８２を用いたセ
ル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂを画素単位で形成する従来の
方法では、ディスプレイ製造時に著しく高い不良率が生
ずる可能性があった。

【００１５】これを回避する方法として、十分に希釈し
た溶液において乾燥後の再塗布を繰り返し、適正な膜厚
とする方法も考えられるが、一旦乾燥した膜上への再吐
出は、既に形成されている膜の再溶解を生じる事で不均
一な膜を形成してしまっていた。

【００１６】また、従来の液滴噴射装置９０についても
問題があった。有機ＥＬ層８１Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂは、
数十ｎｍ〜百数十ｎｍの超薄膜から構成されており、径
がこの薄膜と同程度以上の導電性の微粒子等の不溶物が
薄膜中に混入すると導電パスとなり、アノード−カソー
ド間でショートすることによりダークスポットの要因と
なる。

【００１７】また有機ＥＬ材料は、非局在化したπ電子
平面を持つものが多く、一般に溶媒への溶解性は低いの
で、溶液中で分子鎖が会合して微粒子を形成しやすい構
造となっている。このまま微粒子状を含んだ状態で成膜
すると厚さが均一にならないために発光特性にバラツキ
が生じる。そのため、従来のジェットプリンティング式
の有機ＥＬ層形成方式を用いる場合、製膜直前に有機Ｅ
Ｌ溶液をメンブランフィルタ等でフィルタリングを行
い、微粒子を除去させるのが一般的である。そこで、溶
液供給ライン９３中にメンブランフィルタ等のフィルタ
を設けると、当該フィルタを通過させるために溶液に圧
力をかけることが必要となる。

【００１８】この時、吐出に必要な負圧条件を妨げてし
まい、安定な溶液の吐出が困難となってしまっていた。
また、高価な有機ＥＬ材料の利用率を上げるためには、
溶液供給ライン９３を短くすることが望ましく、溶液タ
ンク９２の溶液供給口９４を液滴噴射ヘッド９１の近傍
下方に設けるのが理想的である。このとき、溶液タンク
９２内の溶液の液面の高さ（残溶液の重量）によって、
液滴噴射ヘッド９１内の溶液の圧力が変化してしまい、
安定した溶液の吐出が困難となってしまっていた。

【００１９】本発明の課題は、安定した膜厚の有機ＥＬ
層の形成を行うことである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、有機ＥＬ層となる有機ＥＬ材料の溶液を液滴噴射す
るＥＬパネル製造方法であって、連続してなる複数の画
素で構成され、周囲を隔壁で区切られたセルに、液滴噴
射装置の液滴噴射ヘッドのノズルから前記溶液を液滴噴
射する、ことを特徴とする。

【００２１】請求項１の発明によれば、複数の画素を定
義するセルに液滴噴射装置の液滴噴射ヘッドのノズルか
ら前記溶液を液滴噴射することができるので、仮にある
画素で有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射でのミスファイア
が発生しても、ミスファイアした画素の溶液量と同一セ
ル内の他の画素の溶液量とが均一になるように同一セル
内で溶液が移動するので、ミスファイアによる有機ＥＬ
層の膜厚への変化の影響を減少させ、安定した膜厚の有
機ＥＬ層を形成し、輝点不良等の画像不良を無くすこと
ができる。

【００２２】請求項２に記載の発明は、前記セルは複数
であり、その配列は前記画素を一列に連結して同色の有
機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べる
ストライプ状であり、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は
前記セルの長手方向であり、前記有機ＥＬ材料の溶液を
前記セル中に液滴噴射する場合、前記ノズルから前記各
セルの画素に連続して液滴噴射する、ことを特徴とす
る。

【００２３】請求項２の発明によれば、セルの長手方向
と液滴噴射ヘッドの走査方向を同一にして、液滴噴射ヘ
ッドのノズルから同一セル内への有機ＥＬ材料の溶液を
連続して液滴噴射する。

【００２４】従って、請求項２の発明によれば、溶液の
液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥
する前に、次に噴射した溶液が先に噴射した溶液と部分
的に重なるように吐出されるので、乾きむらによる膜の
不均一を抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成する
ことができる。

【００２５】請求項３に記載の発明は、前記セルは複数
であり、その配列は前記画素を一列に連結して同色の有
機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べる
ストライプ状であり、前記ノズルは複数であり、且つ各
色毎に、前記各ノズルは前記各セル内の少なくとも各画
素に対応して配列され、前記液滴噴射ヘッドの移動方向
は、前記セルの長手方向に垂直な方向であり、前記有機
ＥＬ材料の溶液を前記セル中に液滴噴射する場合、前記
ノズルから前記各セルの全画素に一斉に液滴噴射する、
ことを特徴とする。

【００２６】請求項３の発明によれば、液滴噴射ヘッド
のノズルから各セル毎の全画素に一度に有機ＥＬ材料の
溶液を液滴噴射する。

【００２７】従って、請求項３の発明によれば、液滴噴
射ヘッドの移動による時間差によって、先に噴射した溶
液が乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜
厚の有機ＥＬ層を形成することができる。

【００２８】請求項４に記載の発明は、前記セルは複数
であり、その配列は、前記画素を対角に連結して同色の
有機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べ
るモザイク状であり、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は
前記セルの長手方向に沿った方向であり、前記ノズルは
複数であり、前記溶液を前記セル中に液滴噴射する場
合、前記各ノズルは前記各セル内の複数の画素に順に連
続して液滴噴射する、ことを特徴とする。

【００２９】請求項４の発明によれば、各色を対角方向
に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形成に
おいて、液滴噴射ヘッドのノズルをセルの長手方向、つ
まり対角方向に走査して有機ＥＬ材料の溶液を連続して
液滴噴射する。

【００３０】従って、請求項４の発明によれば、溶液の
液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥
することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機
ＥＬ層を形成することができる。

【００３１】請求項５に記載の発明は、前記セルは複数
であり、その配列は、前記画素を対角に連結して同色の
有機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べ
るモザイク状であり、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は
前記セルの長手方向と異なり、前記ノズルは各色毎に複
数であり、前記溶液を前記セル中に液滴噴射する場合、
前記液滴噴射ヘッドの移動にともない前記画素の色に対
応する前記ノズルを選択して対応する画素に液滴噴射す
る、ことを特徴とする。

【００３２】請求項５の発明によれば、各色を対角方向
に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形成に
おいて、液滴噴射ヘッドのノズルから発光材料の溶液を
連続して液滴噴射する。

【００３３】従って、請求項５の発明によれば、溶液の
液滴噴射の時間間隔により先に噴射した溶液が先に乾燥
することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機
ＥＬ層を形成することができる。

【００３４】請求項６に記載の発明は、前記溶液の液滴
噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を
前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノ
ズルから当該溶液を液滴噴射して行い、前記溶液タンク
内の溶液の液面の位置又は溶液の重量を検出し、前記液
滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定にするように、前記検
出したデータにしたがって前記溶液タンク内に圧力を制
御する、ことを特徴とする。

【００３５】請求項７に記載の発明は、前記溶液の液滴
噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を
前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノ
ズルから当該溶液を液滴噴射して行い、前記噴射ヘッド
内の溶液の自重による圧力を検出し、前記液滴噴射ヘッ
ドにかかる圧力を一定するように、前記検出したデータ
にしたがって、前記溶液タンク内に圧力を制御する、こ
とを特徴とする。

【００３６】請求項８に記載の発明は、前記溶液の液滴
噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を
前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノ
ズルから当該溶液を液滴噴射して行い、前記ノズルのノ
ズル口の溶液の液面の形状を検出し、前記液滴噴射ヘッ
ドにかかる圧力を一定するように、前記検出したデータ
にしたがって、前記溶液タンク内に圧力を制御する、こ
とを特徴とする。

【００３７】請求項１１に記載の発明は、有機ＥＬ材料
の溶液をＥＬパネル基板の有機ＥＬ層を形成する位置へ
液滴噴射する液滴噴射装置であって、前記溶液を液滴噴
射する液滴噴射ヘッドと、前記溶液を貯める溶液タンク
と、前記溶液溶液タンク内の溶液の液面の位置を検出す
る液面位置検出手段、前記溶液溶液タンク内の溶液の重
量を検出する重量検出手段、及び前記液滴噴射ヘッド内
の溶液の圧力を検出する圧力検出手段のうちの少なくと
も何れかと、前記溶液タンク内に所定の圧力を出力する
圧力源と、前記液滴噴射ヘッド内の溶液の圧力が一定と
なるように、前記液面位置検出手段、前記重量検出手
段、及び圧力検出手段のうちの少なくとも何れかの検出
データにしたがって前記圧力源から前記溶液タンク内に
出力される圧力を制御する制御手段と、を具備してなる
ことを特徴とする。

【００３８】請求項６又は１１記載の発明によれば、液
滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴
噴射において、溶液タンク内の残溶液の液面の位置又は
重量を検出して、溶液の残量の減少に伴い発生する、当
該液面の位置又は重量に対応する揚力を打消す負圧を溶
液に加えるフィードバック制御を行う。

【００３９】従って、請求項６又は１１記載の発明によ
れば、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した
膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、更に、適切な
負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要と
しないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げること
ができる。

【００４０】請求項７又は１１の発明によれば、液滴噴
射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射
において、液滴噴射ヘッド中の溶液の圧力を検出して、
溶液の残量の減少に伴い発生する揚力を打消す負圧を溶
液に加えるフィードバック制御を行う。

【００４１】従って、請求項７又は１１の発明によれ
ば、密度、粘度のうち少なくとも１つが異なる溶液別に
圧力の算出を行うことなく、安定した量の溶液の液滴を
噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成すること
ができ、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶
液供給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液
の利用率を上げることができる。

【００４２】請求項８の発明によれば、液滴噴射ヘッド
のノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射におい
て、液滴噴射ヘッドのノズルのノズル口での溶液の液面
の形状を検出して、最適な液面の形状を保つ負圧を溶液
に加えるフィードバック制御を行うので、液滴噴射ヘッ
ドを選ぶことなく、安定した量の溶液の液滴を噴射させ
て、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、
更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラ
インを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率
を上げることができる。

【００４３】請求項９記載の発明は、前記溶液タンクか
ら前記液滴噴射ヘッドへの前記溶液の供給は、当該溶液
中の不溶物を取除くフィルタを介して行う、ことを特徴
とする。

【００４４】請求項１２記載の発明は、前記液滴噴射ヘ
ッドと前記溶液タンクとの間に設けられ、前記溶液タン
クからの溶液内に含まれる不溶物を除去するフィルタを
更に具備してなる、ことを特徴とする。

【００４５】請求項９又は１２の発明によれば、フィル
タを介して溶液の不要物を取除いてダークスポット及び
リーク電流の発生を防ぎ、安定した量の溶液の液滴を噴
射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することが
できる。

【００４６】請求項１０に記載の発明は、請求項１、
２、３、４、５、６、７、８又は９記載のＥＬパネル製
造方法により製造されたＥＬパネルを備えて画像を表示
するＥＬディスプレイ、であることを特徴とする。

【００４７】請求項１０記載の発明によれば、安定した
膜圧の有機ＥＬ層を形成されたＥＬパネルを用いるの
で、画素毎に安定した発光を行う画像を表示することが
できる。

【００４８】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の第１〜第６の実施の形態を順に説明する。

【００４９】（第１の実施の形態）本実施の形態を図１
〜図５を参照して説明する。図１は、本実施の形態のＥ
Ｌパネル１０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ａの位置を示
す上面図であり、図２は、ＥＬパネル１０のセル構造を
示す概略断面図であり、図３は、ＥＬパネル１０の電極
構造を示す概略断面図であり、図４は、液滴噴射装置２
０の概略図であり、図５は、ＸＹ位置決め制御装置Ｃの
上面図である。

【００５０】図１に示すように、ＥＬパネル１０上に、
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の有機ＥＬ層１１Ｒ，１
１Ｇ，１１Ｂを形成するために、液滴噴射装置２０の液
滴噴射ヘッド２１Ａの赤、緑、青の有機ＥＬの発光材料
の溶液を、赤、緑、青のノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２
１Ａｂを介して、それぞれ隔壁１２で区分された各セル
１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂに噴射する。以下、各符号にお
いて、Ｒ，ｒは赤色を意味し、Ｇ，ｇは緑色を意味し、
Ｂ，ｂは青色を意味するものとする。

【００５１】ここで、ＥＬパネル１０の構造を説明す
る。図２は、図１の液滴噴射ヘッド２１Ａの走査方向に
沿った断面図であり、四方を隔壁１２で区分された一つ
のセル１３Ｒを示している。図２及び図３には、赤のセ
ル１３Ｒ、有機ＥＬ層１１Ｒを示すが、緑、青のセル１
３Ｇ，１３Ｂ、有機ＥＬ層１１Ｇ，１１Ｂについても同
様である。ＥＬパネル１０は、ガラス等の透明基板１４
と、透明基板１４上に形成する、ＩＴＯ、ＳｎＯ₂等の
透明な導電体からなる走査方向と直行する方向に延在す
るアノード電極１５、及び、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３
Ｂを区分するＳｉＮ等の絶縁材料からなる隔壁１２と、
セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂへの有機ＥＬ材料の溶液の
液滴噴射により形成される有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，
１１Ｂとを有する。

【００５２】ＥＬパネル１０の各アノード電極１５と後
述するカソード電極１６とがそれぞれ重なり合う有機Ｅ
Ｌ層の発光区域が１画素であり、１セル内に１０画素
（１０個のアノード電極１５）を有する構成となる。Ｅ
Ｌパネル１０は、赤、緑、青のセル１３Ｒ，１３Ｇ，１
３Ｂについて、１つセルに１０個の画素を液滴噴射ヘッ
ド２１Ａの走査方向に平行に連結させ、各色のセルをス
トライプ状に配列した構成である。

【００５３】ＥＬパネル１０は、完成時には、図３に示
すように、有機ＥＬ層１１Ｒの形成の後、有機ＥＬ層１
１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ及び隔壁１３Ｒ上に形成する、各
共通の電極であるカソード電極１６と、カソード電極１
６上の封止材１７、封止材１７上の封止ガラス１８も有
する。また、各画素の有機ＥＬ層の発光のスイッチング
を行うＴＦＴ等は図面上省略されている。ＴＦＴは、例
えば隔壁１２の下に形成される。

【００５４】有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂは、例
えば、アノード電極１５から順に正孔輸送層、発光層、
電子輸送層となる三層構造であっても良いし、アノード
電極１５から順に正孔輸送層、電子輸送層を兼ねた発光
層となる二層構造であっても良いし、発光層からなる一
層構造であっても良いし、その他の層構造であっても良
い。

【００５５】つまり、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１
Ｂは、正孔及び電子を注入する機能、正孔及び電子を輸
送する機能、正孔と電子の再結合により励起子を生成し
て発光する機能を有する。有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，
１１Ｂは、電子的に中立な有機化合物であることが望ま
しく、これにより正孔と電子が有機ＥＬ層１１Ｒ，１１
Ｇ，１１Ｂでバランス良く注入及び輸送される。

【００５６】なお、電子輸送性の物質が発光層に適宜混
合されていても良いし、正孔輸送性の物質が発光層に適
宜混合されても良いし、電子輸送性の物質及び正孔輸送
性の物質が発光層に適宜混合されていても良い。

【００５７】また、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ
の発光層には、発光材料が含有されている。発光材料と
しては、高分子系材料が用いられることになる。高分子
系材料としては、ポリカルバゾール、ポリパラフェニレ
ン、ポリアリーレンビニレン、ポリチオフェン、ポリフ
ルオレン、ポリシラン、ポリアセチレン、ポリアニリ
ン、ポリピリジン、ポリピリジンビニレン、ポリピロー
ルが挙げられる。また、その他の高分子材料としては、
上記高分子材料（ポリマー）を形成しているモノマーま
たはオリゴマーの共重合体、或いはモノマーまたはオリ
ゴマーの誘導物の重合体及び共重合体と、オキサゾール
（オキサンジアゾール、トリアゾール、ジアゾール）又
はトリフェニルアミン骨格を有するモノマーを重合した
重合体及び共重合体を挙げることができる。また、これ
らポリマーのモノマーとしては、熱、圧、ＵＶ、電子線
などを与える事で上述の化合物を形成するモノマー及び
プレカーサポリマーを含むものである。また、これらモ
ノマー間を結合する非共役系ユニットを導入しても構わ
ない。

【００５８】高分子材料の具体的なものとしては、ポリ
ピニルカルバゾール、ポリトデシルチオフェン、ポリエ
チレンジオキシチオフェン、ポリスチレンスルフォン酸
分散体変性物、ポリ９，９−ジアルキルフルオレン、ポ
リ（チエニレン−９，９−ジアルキルフルオレン）、ポ
リ（２，５−ジアルキルパラフェニレン−チエニレ
ン）、（ジアルキル：R=C1〜C20）、ポリパラフェニレ
ンビニレン、ポリ（２−メトキシ−５−（２’−エチル
−ヘキシロキシ）−パラフェニレンビニレン）、ポリ
（２−メトキシ−５−（２’−エチル−ペンチロキシ）
−パラフェニレンビニレン）、ポリ（２，５−ジメチル
−パラフェニレンビニレン）、ポリ（２，５−チエニレ
ンビニレン）、ポリ（２，５−ジメトキシパラフェニレ
ンビニレン）、ポリ（１，４−パラフェニレンシアノビ
ニレン）などが挙げられる。

【００５９】また、高分子系材料に限られるものではな
く、低分子材料をポリマー分散して用いるものとしても
良い。また、低分子材料の性質によっては、低分子材料
を溶媒に溶かした状態で塗布して使用するものとしても
良い。そして、低分子材料をポリマー分散する際のポリ
マーとしては、周知の汎用ポリマーを含む各種ポリマー
を状況に応じて使用することができる。

【００６０】低分子の発光材料（発光物質またはドーパ
ント）としては、アントラセン、ナフタレン、フェナン
トレン、ピレン、テトラセン、コロネン、クリセン、フ
ルオレセイン、ペリレン、フタロペリレン、ナフタロペ
リレン、ペリノン、フタロペリノン、ナフタロペリノ
ン、ジフェニルブタジエン、テトラフェニルブタジエ
ン、クマリン、オキサジアゾール、アルダジン、ビスベ
ンゾキゾリン、ビススチリル、ピラジン、オキシン、ア
ミノキノリン、イミン、ジフェニルエチレン、ビニルア
ントラセン、ジアミノカルバゾール、ピラン、チオピラ
ン、ポリメチン、メロシアニン、イミダゾールキレート
化オキシノイド化合物等、４−ジシアノメチレン−４Ｈ
−ピラン及び４−ジシアノメチレン−４Ｈ−チオピラ
ン、ジケトン、クロリン系化合物やこれらの誘導体が挙
げられる。低分子発光材料の具体的なものとしては、Ａ
ｌｑ３、キナクリドンなどが挙げられる。

【００６１】また、発光材料は、次式に示すポリフルオ
レン系材料も用いられる。

【化１】当該ポリフルオレン系材料は、５未満の多分散度を有す
る化合物である。

【００６２】但し、上式中、Ｅは各々独立に、水素、ハ
ロゲン、アリール又は連鎖延長もしくは架橋することの
できる反応性基で置換されたアリール、又はトリアルキ
ルシロキシ部分であり、Ｒ1は、各々独立に、Ｃ1-20ヒ
ドロカルビル又はＳ、Ｎ、Ｏ、ＰもしくはＳｉのヘテロ
原子を１以上含むＣ1-20ヒドロカルビルであり、又は２
つのＲ1はフルオレン環の９位の炭素と共に、Ｃ5-20環
構造又はＳ、ＮもしくはＯのヘテロ原子を１以上含むＣ
4-20環構造を形成してもよく、Ｒ2は、各々独立に、Ｃ1
-20ヒドロカルビル、Ｃ1-20ヒドロカルビルオキシ、Ｃ1
-20チオエーテル、Ｃ1-20ヒドロカルビルオキシカルボ
ニル、Ｃ1-20ヒドロカルビルカルボニルオキシ、又はシ
アノである。ａは、各々独立に、０〜１の数であり、そ
してｍは負でない数である。なお、発光材料は、上述の
ものに限定されるものではない。

【００６３】発光層或いは電子輸送層に含有する電子輸
送性物質としては、トリス（８−キノリノラト）アルミ
ニウム（Ａｌｑ３）等の８−キノリノール又はその誘導
体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、
オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘
導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェ
ニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体などが
挙げられる。

【００６４】発光層或いは正孔輸送層に含有する正孔輸
送性物質としては、テトラアリールベンジシン化合物
（トリアリールジアミンないしトリフェニルジアミン：
ＴＰＤ）、芳香族三級アミン、フタロシアニン系化合物
（phthalocyanines）、ナタフタロシアニン系化合物（n
aphthalocyanines）、ポルフィリン系化合物（porphyri
ns）、トリアゾール（triazole）、イミダゾール（imid
azole）、イミダゾロン（imidazolon）、イミダゾール
チオン（imidazolethione）、ピラゾリン（pyrazolin
e）、ピラゾロン（pyrazoline）、テトラヒドロイミダ
ゾール（tetrahydroimidazole）、オキサゾール(oxazol
e)、オキサジアゾール(oxadiazole)、ヒドラゾン(hydra
zone)、アシルヒドラゾン(acylhydrazone)、ポリアリー
ルアルカン(polyarylalkane)スチルベン(stilbene)、ブ
タジエン(butadiene)、ベンジジン型トリフェニルアミ
ン(benzidine-triphenylamine)、スチリルアミン型トリ
フェニルアミン(styrylamine-triphenylamine)、ジアミ
ン型トリフェニルアミン(diamine-triphenylamine)やこ
れ等の誘導体(derivative)、ポリビニルカルバゾール(p
olyvinylcarbazole)、ポリシラン(polysilane)、ポリエ
チレンジオキシチオフェン(polyethylenedioxythiophop
hen：ＰＥＤＯＴ)、ポリスチレンスルホン酸(polysthyr
enesulfonate：ＰＰＳ)、ポリアニリン（polyaniline）
等の導電性の高分子材料の中から少なくとも１種類以上
選択された材料であり、より好ましくは、次式

【化２】（式中、ｎ，ｌは負でない整数である。）で表されるＰ
ＥＤＯＴをＰＳＳ等の保護コロイド(protective colloi
d)により分散重合してなる重合体を適用する材料も挙げ
られる。

【００６５】カソード電極１６は、隔壁１２上にも形成
されている。つまりカソード電極１６は、ＥＬパネル１
０に設けられる画素全てに共通する層である。カソード
電極１６の具体的なものとして、金、銀、銅、アルミニ
ウム、インジウム、マグネシウム、カルシウム若しくは
バリウム若しくはこれらの合金又はこれら金属若しくは
合金にリチウム、マグネシウム若しくはインジウムを含
む化合物若しくは混合物等が挙げられる。また、カソー
ド電極１６は、以上の各種材料の層が積層された積層構
造となっていても良く、具体的には、例えば、有機ＥＬ
層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ上にマグネシウムを銀を共蒸
着させたマグネシウム／銀電極層等の通常の電極層が使
用できるが、特にアルミニウム／リチウム電極層は他の
材料の電極に比べて、有機ＥＬ層への電子の注入効率が
よいため、ＥＬ素子の発光効率、発光輝度を高めること
ができ、異常な発熱の発生によるＥＬ素子の発光寿命、
安定性も更に向上する。また、高純度のバリウム層、高
純度アルミニウム層を順に形成する積層構造も挙げられ
る。

【００６６】以上のように積層構造となるＥＬパネル１
０の発光動作時には、図示しないＴＦＴのスイッチング
により、アノード電極１５とカソード電極１７との間に
電界が生じると、アノード電極１５から正孔が有機ＥＬ
層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光層に注入され、カソー
ド電極１６から有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発
光層に電子が注入される。

【００６７】そして、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１
Ｂの発光層へ正孔及び電子が輸送されて、発光層にて正
孔及び電子が再結合することによって励起子が生成さ
れ、励起子が消滅するときに光子が発生して発光する。
発生した光子は、アノード電極１５、透明基板１４を順
に透過して出力される。

【００６８】有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光
材料の各色の色分けは、赤、緑、青の各色を発光する各
発光材料を用いる、又は、白色発光する発光材料に前記
各色の蛍光塗料を混ぜることにより行われる。

【００６９】有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの形成
は、以上説明した有機ＥＬ材料をエチレン等の溶媒に溶
解させて、発光材料の溶液を生成し、当該溶液を液滴噴
射装置２０で液滴噴射させる。

【００７０】ここで、図４に示す液滴噴射装置２０を説
明する。液滴噴射装置２０は、有機ＥＬ材料の溶液を各
セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇに液滴噴射しＥＬパネル８
０の平面のＸＹ方向移動自在に可動する液滴噴射ヘッド
２１Ａと、有機ＥＬ材料の溶液を貯める溶液タンク２２
と、溶液タンク２２の溶液を液滴噴射ヘッド２１Ａへ供
給する短い溶液供給ライン２３と、溶液タンク２２と溶
液供給ライン２３との間の接続口である溶液供給口２４
と、溶液供給ライン２３上に設けたメンブランフィルタ
等のフィルタ２５と、溶液タンク２２に負の気圧（負
圧）を供給する圧力源２６と、溶液タンク２２の液面の
位置を検出して内部の溶液の残量を検出する液面センサ
（液面位置検出手段）２７と、液面センサ２７で検出し
た液面の位置に基づき圧力源７６を制御するコントロー
ラ（制御手段）２８とを有する。

【００７１】液滴噴射ヘッド２１Ａは、赤、緑、青の有
機ＥＬ材料の発光材料の溶液を噴射するノズル２１Ａ
ｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂをそれぞれ隣同士が異なる色と
なるよう、各色３個ずつ、全１２個を設ける。実際に
は、液滴噴射装置２０は、それぞれのノズル２１Ａｒ，
２１Ａｇ，２１Ａｂに対応して、溶液タンク２２、溶液
供給ライン２３、溶液供給口２４、フィルタ２５、圧力
源２６、液面センサ２７、コントローラ２８とをそれぞ
れ設ける。

【００７２】更に、正孔輸送層、電子輸送層を形成する
場合、それぞれの材料の溶液に対応して、溶液タンク２
２、溶液供給ライン２３、溶液供給口２４、フィルタ２
５、圧力源２６、液面センサ２７、コントローラ２８と
をそれぞれ設け、発光層以外の正孔輸送材料、電子輸送
材料の液滴噴射においては、全色同じ材料を用いてもよ
い。

【００７３】液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液を噴射する
ために、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂは、サー
マルジェット式、ピエゾ式又は静電式等の液滴噴射機構
を有する。

【００７４】サーマルジェット式液滴噴射機構は、ノズ
ル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液に接した図示
しない発熱体を発熱させることにより、当該発熱体の周
りに溶液の気泡を発生させて、ノズル２１Ａｒ，２１Ａ
ｇ，２１Ａｂ内の圧力を変化させることにより、液滴を
吐出させる構成である。

【００７５】ピエゾ式液滴噴射機構は、ノズル２１Ａ
ｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液に接した図示しない圧
電体であるピエゾ素子に通電することにより、当該ピエ
ゾ素子内の容積を変化させて、ノズル２１Ａｒ，２１Ａ
ｇ，２１Ａｂ内の溶液に加わる圧力を変化させることに
より、液滴を吐出させる構成である。

【００７６】静電式液滴噴射機構は、ノズル２１Ａｒ，
２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液に接した図示しない第１の
電極と、第１の電極とギャップを有して平行に設けられ
溶液に接しない図示しない第２の電極とを設けてコンデ
ンサとし、第１の電極と第２の電極との間に電圧を印加
することによって、第２の電極に対する第１の電極のク
ーロン力による引力又は斥力を変化させて、ノズル２１
Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液の圧力を変化させる
ことにより、液滴を吐出させる構成である。

【００７７】溶液タンク２２中の溶液の残量の重量によ
り、溶液供給口２４、短い溶液供給ライン２３を介し、
また溶液中の微粒子等の不溶物除去用のフィルタ２５を
介して、液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液に圧力がかか
る。当該重量による圧力は、溶液タンク２２中の溶液の
残量の体積（液面の値）に対応する。コントローラ２８
は、プログラム制御により、溶液タンク２２中の液面の
位置情報を液面センサ２７により検出させ、液面センサ
２７で検出した液面の位置情報を用いて、溶液の重量に
よる圧力を打消すような最適な負圧を算出し、算出した
負圧を圧力源２６から供給させてフィードバック制御す
る。

【００７８】手順としては、先ず、溶液タンク２２中の
溶液の残量の重量により、溶液タンク２２中の溶液は、
溶液供給口２４、溶液供給ライン２３を介し、フィルタ
２５を通過することができる。そして、液滴噴射ヘッド
２１Ａ中に溶液が充填し、コントローラ２８は、圧力源
２６から液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液にかかる重量に
よる圧力を打消す最適な負圧を算出して供給させる。溶
液タンク２２中の液面が下がった場合、溶液の体積も減
少して、液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液の重量による圧
力が減少するので、減少した重量による圧力に対応して
圧力源２６から供給する負圧も減少させる。

【００７９】コントローラ２８には予め液滴噴射ヘッド
２１Ａ中の溶液の種類に応じた溶液の密度、粘性、濃度
や初期状態での残量、必要な噴射量が入力されている。
コントローラ２８における、液滴噴射ヘッド２１Ａ中の
溶液にかかる重量による圧力を打消す負圧の算出方法
は、先ず、液面センサ２７で検出した溶液タンク２２中
の液面の位置情報から、溶液の残量の自重によってフィ
ルタ２５或いは液滴噴射ヘッド２１Ａに加わる圧力を計
算する。フィルタ２５或いは液滴噴射ヘッド２１Ａに掛
かる圧力が一定となるように、噴射により減少する溶液
自体の圧力の変化を算出し、この算出データにしたがっ
て圧力源２６が圧力を加える。つまり溶液タンク２２中
の溶液が初期状態で満たされているときでも、噴射して
残量が減っているときでも、液滴噴射ヘッド２１Ａは同
じ動作で常に一定量の溶液を噴射することができる。こ
のように、液滴噴射ヘッド２１Ａでの噴射機構を複雑に
することなく、容易に噴射量を制御することができる。
溶液の噴射量は成膜時の有機ＥＬ層の厚さ、溶液タンク
２２中の溶液の濃度に依存しているが、有機ＥＬ層１１
Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの種類毎に適宜噴射量を変えること
により発光色のバランスを最適化してもよい。このと
き、液滴噴射装置２０は、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，
１１Ｂ毎に別体とすることが望ましい。

【００８０】次に、図５に示す液滴噴射ヘッド２１Ａを
移動するＸＹ位置決め制御装置Ｃについて説明する。Ｘ
Ｙ位置決め制御装置Ｃは、ＥＬパネル１０を搬送する図
示しないＥＬパネル搬送装置に対して直角に、かつ、当
該ＥＬパネル搬送装置を跨ぐようにして設けられる二本
の支持梁Ｃ１，Ｃ２と、Ｙ軸方向へ移動自在となるよう
に二本の支持梁Ｃ１，Ｃ２間に架け渡されるビームＣ３
と、ビームＣ３の長手方向に移動自在に取付けられるヘ
ッドＣ４と、ビームＣ３の各端で支持梁Ｃ１，Ｃ２それ
ぞれの長手方向の移動の駆動力を供給するＹ軸リニアモ
ータＣ５，Ｃ６と、ヘッドＣ４に対してビームＣ３の長
手方向の移動の駆動力を供給するＸ軸リニアモータＣ７
と、ビームＣ３のＹ軸位置を検出するための位置検出手
段であり、支持梁Ｃ１，Ｃ２にそれぞれ設けられたＹ軸
リニアエンコーダＣ８，Ｃ９と、ヘッドＣ４のＸ軸位置
を検出するための位置検出手段であるＸ軸リニアエンコ
ーダＣ１０と、各部を制御する図示しない位置決め制御
部とを有する。

【００８１】支持梁Ｃ１の長手方向をＹ１軸方向とし、
支持梁Ｃ２の長手方向をＹ２軸方向とし、ビームＣ３の
長手方向をＸ軸方向とする。そして、ヘッドＣ４に液滴
噴射ヘッド２１Ａを搭載する構成であるとする。

【００８２】ＸＹ位置決め制御装置Ｃは、位置決め制御
部が、位置指令（ビームＣ３及びヘッドＣ４の位置、Ｅ
Ｌパネル１０のセル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ位置等に関
する情報）と、Ｙ軸リニアエンコーダＣ８，Ｃ９から出
力されたビームＣ３のＹ１軸、Ｙ２軸の位置フィードバ
ック情報と、Ｘ軸リニアエンコーダＣ１０から出力され
たヘッドＣ４のＸ軸の位置フィードバック情報とを用い
て、それぞれ駆動手段であるＹ軸リニアモータＣ５，Ｃ
６、Ｘ軸リニアモータＣ７の駆動を制御することで、ヘ
ッドＣ４をＥＬパネル１０上の所定位置に移動させる構
成である。

【００８３】ＸＹ位置決め制御装置Ｃは、Ｙ軸の位置決
め制御において、Ｙ１軸側のＹ軸リニアモータＣ５に
は、共通な位置指令と、Ｙ軸リニアエンコーダＣ８から
出力されたビームＣ３のＹ１軸の位置フィードバック情
報とを用いて位置決め制御し、Ｙ２軸側のＹ軸リニアモ
ータＣ６には、共通な位置指令と、Ｙ軸リニアエンコー
ダＣ９から出力されたビームＣ３のＹ２軸の位置フィー
ドバック情報とを用いて位置決め制御し、Ｙ１軸側とＹ
２軸側で別々に制御する全軸式位置決め制御方式を採用
している。

【００８４】また、Ｙ１軸側をマスタ側、Ｙ２軸側をス
レーブ側として、Ｙ２軸側のＹ軸リニアエンコーダＣ９
を設けずに、Ｙ軸リニアモータＣ５，Ｃ６の両方に、位
置指令及びＹ軸リニアエンコーダＣ８から出力されたビ
ームＣ３のＹ１軸の位置フィードバック情報とを用いて
Ｙ１軸方向及びＹ２軸方向を共通に位置決め制御するマ
スタスレーブ式位置決め制御方式を採用する構成でもよ
い。この場合、マスタ側とスレーブ側を代えた構成でも
よい。

【００８５】次に、ＥＬパネル１０製造方法を説明す
る。先ず、透明基板１４上にアノード電極１５、隔壁１
２を形成し、ＸＹ位置決め制御装置Ｃにおいて、ＥＬパ
ネル搬送装置によって搬送されたＥＬパネル１０上の各
セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇの所定位置に、ヘッドＣ４
に搭載された液滴噴射ヘッド２１ＡをＸ軸方向及びＹ軸
方向移動自在に位置決め制御し、セル１３Ｒ，１３Ｇ，
１３Ｇの長手方向に走査しつつ、液滴噴射装置２０にお
いて、コントローラ２８は、液面センサ２７に溶液タン
ク２２内の発光材料の溶液の液面の位置を検出して、検
出した液面の位置に対応する適切な負圧を圧力源２６か
ら出力させて、ヘッドＣ４に搭載された液滴噴射ヘッド
２１Ａ内の溶液の圧力を最適な圧力に保ち、上記の液滴
噴射機構により、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ
内の発光材料の溶液の圧力を微調整して、溶液の液滴を
各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの画素に連続して噴射し
て、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光層を形成
する。

【００８６】上記の製造方法の説明は、有機ＥＬ層１１
Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂが、発光層のみによる１層構造の場
合であるが、２層構造の場合、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１
３Ｂ内に、正孔輸送材料、発光材料の溶液を順に液滴噴
射して、正孔輸送層、発光層の順に形成し、３層構造の
場合、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ内に、正孔輸送材
料、発光材料、電子輸送材料の溶液を順に液滴噴射し
て、正孔輸送層、発光層、電子輸送層を順に形成して、
有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂを形成する。但し、
有機ＥＬ材料の発光層以外の正孔輸送材料、電子輸送材
料の液滴噴射を行う場合、赤、青、緑で同じ材料を用い
てもよい。

【００８７】有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂを形成
した後、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ及び隔壁１
２上に、カソード電極１６を形成し、カソード電極１６
上に封止材１７を、封止材１７上に封止ガラス１８を順
に形成して、ＥＬパネル１０を製造する。

【００８８】例えば、画素毎の適正な有機ＥＬ層の膜厚
形成に必要な溶液の滴下量が４滴であるとすると、従来
の１セルあたり１画素の構成では、１画素に１つのミス
ファイアが生じれば、溶液の滴下量は１セル全体の１／
４、つまり２５％減或いは２５％増を生じてしまってい
た。本実施の形態のように１セルあたり１０画素を有す
る構成においては、１セル内では４０滴が必要となる。
ミスファイアの発生確率が１０万分の１であるとする
と、１セル内の１０画素中で連続したミスファイアの生
じる確率は、著しく低くなり、有機ＥＬ層の膜厚の不安
定による画像不良を防ぐことができる。例えば、１セル
（１０画素）に１つの滴下不足のミスファイアが生じれ
ば、１セル全体の１／４０、つまり２．５％減或いは
２．５％増を生じるに過ぎない。これは、実質的に輝点
不良となる程度に至らない。

【００８９】よって、ＥＬパネル１０の有機ＥＬ層形成
において、有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射でのミスファ
イアの発生による有機ＥＬ層の膜厚への変化の影響を減
少させ、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成し、輝点不良
等の画像不良を無くすことができる。

【００９０】また、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの長手
方向と液滴噴射ヘッド２１Ａの走査方向を同一にして、
液滴噴射ヘッド２１Ｅから有機ＥＬ材料の溶液を連続し
て噴射し、溶液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴
射した溶液が乾燥することによる乾きむらを抑制し、安
定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。

【００９１】また、液滴噴射ヘッド２１Ａのノズルから
の有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、溶液タンク
２２内の液面の位置を液面センサ２７で検出して、検出
した液面の位置（溶液の残量）に対応する圧力を打消す
負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、フ
ィルタ２５を介して不溶物を取除いてダークスポット及
びリーク電流の発生を防ぎ、安定した量の液滴を噴射さ
せることができる。

【００９２】更に、適切な負圧を加えることにより、長
い溶液供給ラインを必要とせず、短い溶液供給ライン２
３を設けるので、高価な有機ＥＬ材料の溶液の利用率を
上げることができる。

【００９３】なお、本実施の形態では、１セルあたりの
画素数は１０個としたが、これに限定されるものではな
く、これ以外の複数の画素数で形成される構成でもよ
い。

【００９４】また、本実施の形態では、液滴噴射装置２
０において、溶液タンク２２内の溶液の残量を求めるの
に、液面センサ２７で検出した液面の位置を検出して用
いたが、溶液タンク２２の重量を計測する重量秤等の他
の計測機器やセンサで計測する構成でもよい。

【００９５】（第２の実施の形態）本実施の形態を図６
を参照して説明する。図６は、本実施の形態のＥＬパネ
ル３０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｄの位置を示す上面
図である。本実施の形態は、第１の実施の形態のＥＬパ
ネル１０をＥＬパネル３０に代え、液滴噴射装置２０の
液滴噴射ヘッド２１Ａを液滴噴射ヘッド２１Ｄに代えた
構成であり、同様な部分の説明は省略する。

【００９６】ＥＬパネル３０は、赤、緑、青のセル３３
Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂについて、１つのセルに２９個の画
素を液滴噴射ヘッド２１Ｄの走査方向に垂直に連結さ
せ、各色のセルをストライプ状に配列するように、赤、
緑、青の有機ＥＬ層３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂ及び隔壁３
２を形成した構成である。

【００９７】液滴噴射ヘッド２１Ｄは、赤、緑、青それ
ぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液を噴射する液滴噴
射ヘッド２１ＤＲ，２１ＤＧ，２１ＤＢを有し、液滴噴
射ヘッド２１ＤＲ，２１ＤＧ，２１ＤＢそれぞれに、各
２９個の同色の発光材料の溶液を噴射するノズル２１Ｄ
ｒ，２１Ｄｇ，２１Ｄｂを設ける。つまり一つの画素に
一つのヘッドが対応して配置されている。

【００９８】ＥＬパネル３０と、液滴噴射ヘッド２１Ｄ
の構成によれば、ＥＬパネル３０の有機ＥＬ層形成方法
において、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光材
料の溶液の液滴を、ノズル２１Ｄｒ，２１Ｄｇ，２１Ｄ
ｂから、各セル毎の全画素に一度に噴射することができ
る。有機ＥＬ材料の発光層以外の正孔輸送材料、電子輸
送材料の溶液の液滴噴射を行う場合は、全色同じ材料を
用いてもよい。このように２９個の画素、つまり複数の
画素をまとめてその周囲を隔壁３２で囲むことにより画
素１個に対して仮にミスファイアがあったとしても、セ
ル内で溶液の高さが均等になるように溶液が移動するの
で、一画素でのミスファイアの影響を低減することがで
きる。

【００９９】よって、液滴噴射ヘッド２１Ｄのノズルか
ら各セル毎の全画素に一度に有機ＥＬ材料の溶液を噴射
することができるので、液滴噴射ヘッド２１Ｄの移動に
よる時間差によって、先に噴射した溶液が先に乾燥する
ことによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ
層を形成することができる。

【０１００】なお、１セルあたりの画素数は２９個とし
たが、これに限定されるものではなく、これ以外の複数
の画素数で形成される構成でもよい。

【０１０１】（第３の実施の形態）本実施の形態を図７
を参照して説明する。図７は、本実施の形態のＥＬパネ
ル４０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｅの位置を示す上面
図である。本実施の形態は、第１の実施の形態のＥＬパ
ネル１０をＥＬパネル４０に代え、液滴噴射装置２０の
液滴噴射ヘッド２１Ａを液滴噴射ヘッド２１Ｅに代えた
構成であり、同様な部分の説明は省略する。

【０１０２】ＥＬパネル４０は、赤、緑、青のセル４３
Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂについて、１つのセルに１０個の画
素を対角に連結させ、各色のセルをモザイク状に配列す
るように、赤、緑、青の有機ＥＬ層４１Ｒ，４１Ｇ，４
１Ｂ及び隔壁４２を形成した構成である。なお、ＥＬパ
ネル４０の端では、その形状に合せて、１セル内の画素
数を増減させる。

【０１０３】液滴噴射ヘッド２１Ｅは、赤、緑、青それ
ぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液を隣同士が異色と
なるように噴射するよう配置された各色３個ずつ、全１
２個のノズル２１Ｅｒ，２１Ｅｇ，２１Ｅｂを設ける。

【０１０４】ＥＬパネル４０と、液滴噴射ヘッド２１Ｅ
の構成によれば、ＥＬパネル４０の有機ＥＬ層形成方法
において、液滴噴射ヘッド２１Ｅを対角の走査方向に移
動させつつ、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光
材料の溶液の液滴を、ノズル２１Ｅｒ，２１Ｅｇ，２１
Ｅｂから、乾燥以前に連続して噴射する。有機ＥＬ材料
の発光層以外の正孔輸送材料、電子輸送材料の溶液の液
滴噴射を行う際は、全色同じ材料を用いてもよい。この
ように複数の画素をまとめてその周囲を隔壁３２で囲ん
でいるので画素１個に対して仮にミスファイアがあった
としても、溶液の高さが均等になるように隔壁４２での
くびれ部から溶液が移動するので、一画素でのミスファ
イアでの膜厚のバラツキを低減することができる。

【０１０５】よって、各色を対角方向に配列したモザイ
ク状のＥＬパネル４０における有機ＥＬ層形成におい
て、液滴噴射ヘッド２１Ｅのノズルを対角方向に走査し
て有機ＥＬ材料の溶液を連続して液滴噴射するので、溶
液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が
乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の
有機ＥＬ層を形成することができる。

【０１０６】なお、１セルあたりの画素数は１０個とし
たが、これに限定されるものではなく、これ以外の複数
の画素数で形成される構成でもよい。

【０１０７】（第４の実施の形態）本実施の形態を図８
を参照して説明する。図８は、本実施の形態のＥＬパネ
ル５０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｆの位置を示す上面
図である。本実施の形態は、第１の実施の形態のＥＬパ
ネル１０をＥＬパネル５０に代え、液滴噴射装置２０の
液滴噴射ヘッド２１Ａを液滴噴射ヘッド２１Ｆに代えた
構成であり、同様な部分の説明は省略する。

【０１０８】ＥＬパネル５０は、赤、緑、青のセル５３
Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂについて、１つのセルに１２個の画
素を対角方向に連結させ、更に液滴噴射ヘッド２１Ｆの
走査方向に対して垂直方向に１２個の画素毎に区切り、
各色のセルをモザイク配列するように、赤、緑、青の有
機ＥＬ層５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂ及び隔壁５２を形成し
た構成である。なお、ＥＬパネル５０の端では、その形
状に合せて、１セル内の画素数を増減させる。

【０１０９】液滴噴射ヘッド２１Ｆは、赤、緑、青それ
ぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液を噴射する液滴噴
射ヘッド２１ＦＲ，２１ＦＧ，２１ＦＢを有し、液滴噴
射ヘッド２１ＦＲ，２１ＦＧ，２１ＦＢそれぞれに、溶
液を噴射する各１２個の同色のノズル２１Ｆｒ，２１Ｆ
ｇ，２１Ｆｂを設ける。

【０１１０】ＥＬパネル５０と、液滴噴射ヘッド２１Ｆ
の構成によれば、ＥＬパネル５０の有機ＥＬ層形成方法
において、液滴噴射ヘッド２１Ｆを走査方向に移動させ
つつ、プログラム制御等により、液滴噴射ヘッド２１Ｆ
の現在の位置に対応する色の溶液のノズルをノズル２１
Ｆｒ，２１Ｆｇ，２１Ｆｂから選択し、赤、緑、青それ
ぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液の液滴を、前記選
択したノズルから、乾燥以前に連続して噴射する。発光
層以外の有機ＥＬ材料の正孔輸送材料、電子輸送材料の
溶液の液滴噴射を行う際は、全色同じ材料を用いてもよ
い。

【０１１１】よって、各色を対角方向に配列したモザイ
ク状のＥＬパネル５０において、液滴噴射ヘッド２１Ｆ
のノズルから有機ＥＬ材料の溶液を連続して噴射し、溶
液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が
乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の
発光層を形成するので、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形
成することができる。

【０１１２】なお、１セルあたりの画素数は１２個とし
たが、これに限定されるものではなく、これ以外の複数
の画素数で形成される構成でもよい。

【０１１３】（第５の実施の形態）本実施の形態を図９
を参照して説明する。図９は、本実施の形態の液滴噴射
装置６０を示す概略図である。本実施の形態は、第１の
実施の形態の液滴噴射装置２０を液滴噴射装置６０に代
えた構成であり、同様な部分の説明は省略する。

【０１１４】液滴噴射装置６０は、有機ＥＬ材料の溶液
を各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇに液滴噴射しＥＬパネ
ル１０の平面のＸＹ方向移動自在に可動する液滴噴射ヘ
ッド６１と、有機ＥＬ材料の溶液を貯める溶液タンク６
２と、溶液タンク６２の溶液を液滴噴射ヘッド６１へ供
給する短い溶液供給ライン６３と、溶液タンク６２と溶
液供給ライン６３との間の接続口である溶液供給口６４
と、溶液供給ライン６３上に設けたメンブランフィルタ
等のフィルタ６５と、溶液タンク６２に負圧を供給する
圧力源６６と、液滴噴射ヘッド６１に設けられ液滴噴射
ヘッド６１内の溶液の圧力を検出する圧力センサ（圧力
検出手段）６７と、圧力センサ６７で検出した圧力に基
づき圧力源７６を制御するコントローラ（制御手段）６
８とを有する。

【０１１５】液滴噴射ヘッド６１は、第１の実施の形態
の液滴噴射ヘッド２１Ａに圧力センサ６７を設ける構成
である。

【０１１６】溶液タンク６２中の溶液の残量の重量によ
り、溶液供給口６４及び短い溶液供給ライン６３を介
し、また溶液中の微粒子等の不溶物除去用のフィルタ６
５を介して、液滴噴射ヘッド６１中の溶液に圧力がかか
る。コントローラ６８は、プログラム制御により、液滴
噴射ヘッド６１中の溶液の圧力を圧力センサ６７により
検出させ、圧力センサ６７で検出した溶液の圧力の値を
用いて、残溶液の重量による圧力を打消すような最適な
負圧を圧力源６６から供給させてフィードバック制御す
る。

【０１１７】手順としては、先ず、溶液タンク６２中の
溶液の残量の重量により、溶液タンク６２中の溶液は、
溶液供給口６４、溶液供給ライン６３を介し、フィルタ
６５を通過することができる。そして、液滴噴射ヘッド
６１中に溶液が充填し、コントローラ６８は、圧力源６
２から液滴噴射ヘッド６１中の溶液にかかる重量による
圧力を打消す最適な負圧を供給させる。

【０１１８】第１の実施の形態で述べたように、液滴噴
射装置２０は、コントローラ２８において、液面センサ
２７から検出された液面の位置を用いて、圧力源２６か
ら供給する負圧を算出していたため、密度、粘度のうち
少なくとも１つが異なる溶液を用いた場合、残溶液の重
量による圧力の算出式も異なり、コントローラ２８で実
行するプログラムを変更しなければならない。

【０１１９】本実施の形態では、コントローラ６８にお
いて、圧力センサ６７から検出された溶液の圧力を液滴
噴射ヘッド６１中の溶液の圧力とするため、密度、粘度
のうち少なくとも１つが異なる溶液を用いた場合でも、
コントローラ６８で実行する制御プログラムの変更は不
要である。

【０１２０】よって、液滴噴射ヘッド６１のノズルから
の有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘ
ッド６１中の溶液の圧力情報を圧力センサ２７で検出し
て、検出した圧力に対応する揚力を打消す負圧を溶液に
加えるフィードバック制御を行うので、密度、粘度のう
ち少なくとも１つが異なる溶液に対しても別々に圧力の
算出をすることなく、フィルタ６５を介して不溶物を取
除いてダークスポット及びリーク電流の発生を防ぎ、安
定した量の液滴を噴射させ、安定した膜厚の有機ＥＬ層
を形成することができる。

【０１２１】なお、本実施の形態を第２、第３又は第４
の実施の形態に適用する場合は、液滴噴射ヘッド６１
は、それぞれ液滴噴射ヘッド２１Ｄ，２１Ｅ，２１Ｆに
圧力センサ６７を設ける構成となる。

【０１２２】（第６の実施の形態）本実施の形態を図１
０を参照して説明する。図１０は、本実施の形態の液滴
噴射装置７０を示す概略図である。本実施の形態は、第
１の実施の形態の液滴噴射装置２０を液滴噴射装置７０
に代えた構成であり、同様な部分の説明は省略する。

【０１２３】液滴噴射装置７０は、有機ＥＬ材料の溶液
を各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇに液滴噴射しＥＬパネ
ル１０の平面のＸＹ方向移動自在に可動する液滴噴射ヘ
ッド７１と、有機ＥＬ材料の溶液を貯める溶液タンク７
２と、溶液タンク７２の溶液を液滴噴射ヘッド７１へ供
給する短い溶液供給ライン７３と、溶液タンク７２と溶
液供給ライン７３との間の接続口である溶液供給口７４
と、溶液供給ライン７３上に設けたメンブランフィルタ
等のフィルタ７５と、溶液タンク７２に負圧を供給する
圧力源７６と、液滴噴射ヘッド６１のノズルのノズル口
から噴射する溶液のメニスカス（液面の形状）を検出す
るＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ（液面形状
検出手段）７７と、ＣＣＤカメラ７７で検出したメニス
カス情報に基づき圧力源７６を制御するコントローラ
（制御手段）７８とを有する。液滴噴射ヘッド７１は、
第１の実施の形態の液滴噴射ヘッド２１Ａと同様の構成
である。

【０１２４】溶液タンク７２中の溶液の残量の重量によ
り、溶液供給口７４、短い溶液供給ライン７３を介し、
また溶液中の微粒子等の不溶物除去用のフィルタ７５を
介して、液滴噴射ヘッド７１中の溶液に圧力がかかる。
コントローラ７８は、プログラム制御により、液滴噴射
ヘッド７１内のノズルのノズル口での溶液のメニスカス
をＣＣＤカメラ７７により検出させ、ＣＣＤカメラ７７
で検出したメニスカスを用いて、残溶液の重量による圧
力を打消し溶液のメニスカス状態を最適に保つような負
圧を圧力源７６から供給させてフィードバック制御す
る。

【０１２５】手順としては、先ず、溶液タンク７２中の
溶液の残量の重量により、溶液タンク７２中の溶液は、
溶液供給口７４、溶液供給ライン７３を介し、フィルタ
７５を通過することができる。そして、液滴噴射ヘッド
７１中に溶液が充填し、コントローラ７８は、圧力源７
２から液滴噴射ヘッド７１中の溶液にかかる圧力を打消
す最適な負圧を供給させる。

【０１２６】第５の実施の形態で述べたように、液滴噴
射装置６０は、液滴噴射ヘッド６１に圧力センサ６７を
設けるため、液滴噴射ヘッド６１の製造段階で予め圧力
センサ６７を組込む必要があるが、本実施の形態の液滴
噴射装置７０は、液滴噴射ヘッド７１にＣＣＤカメラ７
７を設ける必要がないため、あらゆる液滴噴射ヘッドに
後付けが可能で、液滴噴射ヘッドを選ばずにフィードバ
ック制御を行うことができる。例えば、本実施の形態を
第２、第３又は第４の実施の形態に適用する場合、それ
ぞれ液滴噴射ヘッド２１Ｄ，２１Ｅ，２１Ｆにも後付け
可能である。

【０１２７】よって、液滴噴射ヘッド７１のノズルから
の有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘ
ッド７１のノズルのノズル口での溶液のメニスカスをＣ
ＣＤカメラ６７で検出して、最適なメニスカスを保つ負
圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、液滴
噴射ヘッドを選ぶことなく、フィルタ７５を介して不溶
物を取除いてダークスポット及びリーク電流の発生を防
ぎ、安定した量の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有
機ＥＬ層を形成することができる。

【０１２８】なお、本実施の形態では、溶液のメニスカ
スを検出する手段として、ＣＣＤカメラ７７を用いた
が、その他の画像センサ、レーザ変位形等の計測装置を
用いる構成でもよい。

【０１２９】なお、上記各実施の形態では、安定した膜
圧の有機ＥＬ層を形成されたＥＬパネルを製造している
が、当該製造されたＥＬパネルに、アクティブマトリッ
クス方式で各画素の発光を制御するドライバ、コントロ
ーラ等を設けて画像を表示するＥＬディスプレイは、画
素毎に安定した発光を行う画像を表示することができ
る。また、上記各実施の形態では、各画素の形状は略四
辺形であったが、これに限らず、三角形やその他の多角
形や円形等であってもよい。このとき、このとき上記実
施の形態の対角方向は、各画素の略４５゜斜め方向に相
当する。

【０１３０】以上、本発明の実施の形態につき説明した
が、本発明は、必ずしも上述した手段及び手法にのみ限
定されるものではなく、本発明にいう目的を達成し、本
発明にいう効果を有する範囲内において適宜に変更実施
が可能なものである。

【０１３１】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、複数の画
素を定義するセルに液滴噴射装置の液滴噴射ヘッドのノ
ズルから前記溶液を液滴噴射することができるので、仮
にある画素で有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射でのミスフ
ァイアが発生しても、ミスファイアした画素の溶液量と
同一セル内の他の画素の溶液量とが均一になるように同
一セル内で溶液が移動するので、ミスファイアによる有
機ＥＬ層の膜厚への変化の影響を減少させ、安定した膜
厚の有機ＥＬ層を形成し、輝点不良等の画像不良を無く
すことができる。

【０１３２】請求項２記載の発明によれば、セルの長手
方向と液滴噴射ヘッドの走査方向を同一にして、液滴噴
射ヘッドのノズルから同一セル内への有機ＥＬ材料の溶
液を連続して液滴噴射するので、溶液の液滴噴射の時間
間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥する前に、次に
噴射した溶液が先に噴射した溶液と部分的に重なるよう
に吐出されるので、乾きむらによる膜の不均一を抑制
し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ
る。

【０１３３】請求項３記載の発明によれば、液滴噴射ヘ
ッドのノズルから各セル毎の全画素に一度に有機ＥＬ材
料の溶液を液滴噴射するので、液滴噴射ヘッドの移動に
よる時間差によって、先に噴射した溶液が先に乾燥する
ことによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ
層を形成することができる。

【０１３４】請求項４記載の発明によれば、各色を対角
方向に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形
成において、液滴噴射ヘッドのノズルをセルの長手方
向、つまり対角方向に走査して有機ＥＬ材料の溶液を連
続して液滴噴射するので、溶液の液滴噴射の時間間隔に
よって、先に噴射した溶液が乾燥することによる乾きむ
らを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成すること
ができる。

【０１３５】請求項５記載の発明によれば、各色を対角
方向に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形
成において、液滴噴射ヘッドのノズルから発光材料の溶
液を連続して液滴噴射するので、溶液の液滴噴射の時間
間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥することによる
乾きむらを抑制するので、安定した膜厚の有機ＥＬ層を
形成することができる。

【０１３６】請求項６又は１１記載の発明によれば、液
滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴
噴射において、溶液タンク内の残溶液の液面の位置又は
重量を検出して、溶液の残量の減少に伴い発生する、当
該液面の位置又は重量に対応する揚力を打消す負圧を溶
液に加えるフィードバック制御を行うので、安定した量
の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層
を形成することができ、更に、適切な負圧を加えること
により、長い溶液供給ラインを必要としないので、有機
ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。

【０１３７】請求項７又は１１記載の発明によれば、液
滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴
噴射において、液滴噴射ヘッド中の溶液の圧力を検出し
て、溶液の残量の減少に伴い発生する揚力を打消す負圧
を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、密度、
粘度のうち少なくとも１つが異なる溶液別に圧力の算出
を行うことなく、安定した量の溶液の液滴を噴射させ
て、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、
更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラ
インを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率
を上げることができる。

【０１３８】請求項８記載の発明によれば、液滴噴射ヘ
ッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射にお
いて、液滴噴射ヘッドのノズルのノズル口での溶液の液
面の形状を検出して、最適な液面の形状を保つ負圧を溶
液に加えるフィードバック制御を行うので、液滴噴射ヘ
ッドを選ぶことなく、安定した量の溶液の液滴を噴射さ
せて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することがで
き、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供
給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利
用率を上げることができる。

【０１３９】請求項９又は１２記載の発明によれば、フ
ィルタを介して溶液の不溶物を取除いてダークスポット
及びリーク電流の発生を防ぎ、安定した量の溶液の液滴
を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成するこ
とができる。

【０１４０】請求項１０記載の発明によれば、安定した
膜圧の有機ＥＬ層を形成されたＥＬパネルを用いるの
で、画素毎に安定した発光を行う画像を表示することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態のＥＬパネル１０の
構造と液滴噴射ヘッド２１Ａの位置を示す上面図であ
る。

【図２】ＥＬパネル１０のセル構造を示す概略断面図で
ある。

【図３】ＥＬパネル１０の電極構造を示す概略断面図で
ある。

【図４】液滴噴射装置２０の概略図である。

【図５】ＸＹ位置決め制御装置Ｃの上面図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態のＥＬパネル３０の
構造と液滴噴射ヘッド２１Ｄの位置を示す上面図であ
る。

【図７】本発明の第３の実施の形態のＥＬパネル４０の
構造と液滴噴射ヘッド２１Ｅの位置を示す上面図であ
る。

【図８】本発明の第４の実施の形態のＥＬパネル５０の
構造と液滴噴射ヘッド２１Ｆの位置を示す上面図であ
る。

【図９】本発明の第５の実施の形態の液滴噴射装置６０
を示す概略図である。

【図１０】本発明の第６の実施の形態の液滴噴射装置７
０を示す概略図である。

【図１１】従来のＥＬパネル８０の構造と液滴噴射ヘッ
ド９１の位置を示す上面図である。

【図１２】従来のＥＬパネル８０の構造を示す概略断面
図である。

【図１３】従来の液滴噴射装置９０の概略図である。

【符号の説明】

１０，３０，４０，５０，８０…ＥＬパネル１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ，３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂ，４
１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ，５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂ，８１
Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂ…有機ＥＬ層１２，３２，４２，５２，８２…隔壁１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ，３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂ，４
３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂ，５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂ，８３
Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂ…セル１４，８４…透明基板１５，８５…アノード電極１６…カソード電極１７…封止材１８…封止ガラス２０，６０，７０，９０…液滴噴射装置２１Ａ，２１Ｄ，２１ＤＲ，２１ＤＧ，２１ＤＢ，２１
Ｅ，２１Ｆ，２１ＦＲ，２１ＦＧ，２１ＦＢ，６１，７
１，９１…液滴噴射ヘッド２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ，２１Ｄｒ，２１Ｄｇ，
２１Ｄｂ，２１Ｅｒ，２１Ｅｇ，２１Ｅｂ，２１Ｆｒ，
２１Ｆｇ，２１Ｆｂ，９１ｒ，９１ｇ，９１ｂ…ノズル２２，６２，７２，９２…溶液タンク２３，６３，７３，９３…溶液供給ライン２４，６４，７４，９４…溶液供給口２５，６５，７５…フィルタ２６，６６，７６…圧力源２７…液面センサ２８，６８，７８…コントローラ６７…圧力センサ７７…ＣＣＤカメラＣ…ＸＹ位置決め装置Ｃ１，Ｃ２…支持梁Ｃ３…ビームＣ４…ヘッドＣ５，Ｃ６…Ｙ軸リニアモータＣ７…Ｘ軸リニアモータＣ８，Ｃ９…Ｙ軸リニアエンコーダＣ１０…Ｘ軸リニアエンコーダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】有機ＥＬ層となる有機ＥＬ材料の溶液を液
滴噴射するＥＬパネル製造方法であって、連続してなる複数の画素で構成され、周囲を隔壁で区切
られたセルに、液滴噴射装置の液滴噴射ヘッドのノズル
から前記溶液を液滴噴射する、ことを特徴とするＥＬパネル製造方法。
【請求項２】前記セルは複数であり、その配列は前記画
素を一列に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセル
を、隣同士異なる色に並べるストライプ状であり、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は前記セルの長手方向で
あり、前記有機ＥＬ材料の溶液を前記セル中に液滴噴射する場
合、前記ノズルから前記各セルの画素に連続して液滴噴
射する、ことを特徴とする請求項１記載のＥＬパネル製
造方法。
【請求項３】前記セルは複数であり、その配列は前記画
素を一列に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセル
を、隣同士異なる色に並べるストライプ状であり、前記ノズルは複数であり、且つ各色毎に、前記各ノズル
は前記各セル内の少なくとも各画素に対応して配列さ
れ、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は、前記セルの長手方向
に垂直な方向であり、前記有機ＥＬ材料の溶液を前記セル中に液滴噴射する場
合、前記ノズルから前記各セルの全画素に一斉に液滴噴
射する、ことを特徴とする請求項１記載のＥＬパネル製
造方法。
【請求項４】前記セルは複数であり、その配列は、前記
画素を対角に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセ
ルを、隣同士異なる色に並べるモザイク状であり、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は前記セルの長手方向に
沿った方向であり、前記ノズルは複数であり、前記溶液を前記セル中に液滴
噴射する場合、前記各ノズルは前記各セル内の複数の画
素に順に連続して液滴噴射する、ことを特徴とする請求
項１記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項５】前記セルは複数であり、その配列は、前記
画素を対角に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセ
ルを、隣同士異なる色に並べるモザイク状であり、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は前記セルの長手方向と
異なり、前記ノズルは各色毎に複数であり、前記溶液を前記セル
中に液滴噴射する場合、前記液滴噴射ヘッドの移動にと
もない前記画素の色に対応する前記ノズルを選択して対
応する画素に液滴噴射する、ことを特徴とする請求項１
記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項６】前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める
溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給
し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴
射して行い、前記溶液タンク内の溶液の液面の位置又は溶液の重量を
検出し、前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定にするように、
前記検出したデータにしたがって前記溶液タンク内に圧
力を制御する、ことを特徴とする請求項１、２、３、４
又は５記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項７】前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める
溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給
し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴
射して行い、前記噴射ヘッド内の溶液の自重による圧力を検出し、前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定するように、前
記検出したデータにしたがって、前記溶液タンク内に圧
力を制御する、ことを特徴とする請求項１、２、３、４
又は５記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項８】前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める
溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給
し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴
射して行い、前記ノズルのノズル口の溶液の液面の形状を検出し、前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定するように、前
記検出したデータにしたがって、前記溶液タンク内に圧
力を制御する、ことを特徴とする請求項１、２、３、４
又は５記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項９】前記溶液タンクから前記液滴噴射ヘッドへ
の前記溶液の供給は、当該溶液中の不溶物を取除くフィ
ルタを介して行う、ことを特徴とする請求項６、７又は
８記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項１０】請求項１、２、３、４、５、６、７、８
又は９記載のＥＬパネル製造方法により製造されたＥＬ
パネルを備えて画像を表示することを特徴とするＥＬデ
ィスプレイ。
【請求項１１】有機ＥＬ材料の溶液をＥＬパネル基板の
有機ＥＬ層を形成する位置へ液滴噴射する液滴噴射装置
であって、前記溶液を液滴噴射する液滴噴射ヘッドと、前記溶液を貯める溶液タンクと、前記溶液溶液タンク内の溶液の液面の位置を検出する液
面位置検出手段、前記溶液溶液タンク内の溶液の重量を
検出する重量検出手段、及び前記液滴噴射ヘッド内の溶
液の圧力を検出する圧力検出手段のうちの少なくとも何
れかと、前記溶液タンク内に所定の圧力を出力する圧力源と、前記液滴噴射ヘッド内の溶液の圧力が一定となるよう
に、前記液面位置検出手段、前記重量検出手段、及び圧
力検出手段のうちの少なくとも何れかの検出データにし
たがって前記圧力源から前記溶液タンク内に出力される
圧力を制御する制御手段と、を具備してなることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項１２】前記液滴噴射ヘッドと前記溶液タンクと
の間に設けられ、前記溶液タンクからの溶液内に含まれ
る不溶物を除去するフィルタを更に具備してなる、こと
を特徴とする請求項１１記載の液滴噴射装置。