JP2010086652A - フィルム貼付装置およびフィルム貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このフィルム貼付装置は、内部に気密空間を有する真空容器20と、気密空間を、下方に位置する真空室90と上方に位置する第1バッファ空間32に仕切るフィルム(第1基板12に相当)と、基板14を保持する保持台24と、基板14が真空室90内に配置されかつ保持台24に保持された状態で保持台24を上方に移動させる昇降手段120と、真空室90内および第1バッファ空間32内をそれぞれ排気しおよび気体を供給する第1および第2の給排気手段と、を備え、第1および第2の給排気手段によって真空室90内および第1バッファ空間32内の気体を排気し、真空室90内が大気圧より圧力が低い真空雰囲気下となった状態で、昇降手段120によって基板14をフィルム12側に移動させ、フィルム12に接触させた後、第1バッファ空間32内に真空室90の圧力よりも高い圧力の気体を供給し、フィルム12を下側に押圧し基板14に貼り付けている。
【選択図】図1
Description
12 第1基板
14 第2基板
16 蓋体(第1容器部)
18 基体(第2容器部)
20 真空容器
22 第1保持台
24 第2保持台
30 第1多孔体
46 蓋固定体(当接手段)
60 第1突起部
62 第2突起部
64 給気管(給気手段の一部)
66 給気開閉バルブ(給気手段の一部)
68 加圧装置(給気手段の一部)
70 第2排気管(第2排気手段の一部)
72 第2開閉バルブ(第2排気手段の一部)
74 第2排気ポンプ(第2排気手段の一部)
96 第2多孔体
100 第3排気管(第3排気手段の一部)
102 第3開閉バルブ(第3排気手段の一部)
104 第3排気ポンプ(第3排気手段の一部)
110 第1排気管(第1排気手段の一部)
112 第1開閉バルブ(第1排気手段の一部)
114 第1排気ポンプ(第1排気手段の一部)
120 エアシリンダ(駆動手段の一部)
130 接着層
134 給気装置(駆動手段の一部)
Claims (2)
- 第1基板の片方の面を第1保持台に接触させて、上記第1基板を上記第1保持台に保持させる工程と、
一方の面に接着層を有する第2基板の上記一方の面とは反対の面を第2保持台に接触させて、上記第2基板を上記第2保持台に保持させる工程と、
大気圧より圧力が低い真空雰囲気下で、上記第1保持台または上記第2保持台の少なくとも一方を駆動して、上記第1基板の上記片方の面とは反対の面と、上記第2基板の上記一方の面とを、上記接着層を介して接触させる工程と、
上記第1基板と上記第2基板とが接触している状態で、上記第1保持台から上記第1基板の上記片方の面に向けて大気圧よりも高い圧力の気体を噴出させて、上記第1基板と上記第2基板とを貼り合わせる工程と、
を有することを特徴とする基板接合方法。 - 2つの基板を接合して記録ディスクを製造する記録ディスク製造方法において、
第1基板の片方の面を第1保持台に接触させて、上記第1基板を上記第1保持台に保持させる工程と、
一方の面に接着層を有する第2基板の上記一方の面とは反対の面を第2保持台に接触させて、上記第2基板を上記第2保持台に保持させる工程と、
大気圧より圧力が低い真空雰囲気下で、上記第1保持台または上記第2保持台の少なくとも一方を駆動して、上記第1基板の上記片方の面とは反対の面と、上記第2基板の上記一方の面とを、上記接着層を介して接触させる工程と、
上記第1基板と上記第2基板とが接触している状態で、上記第1保持台から上記第1基板の上記片方の面に向けて大気圧よりも高い圧力の気体を噴出させて、上記第1基板と上記第2基板とを貼り合わせる工程と、
を有することを特徴とする記録ディスク製造方法。
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