JP2010056736A - 電子部品及び電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電体20の平坦な表面20aからイオンを注入して、圧電体20内において表面20aから所定の深さの領域にイオン注入層22を形成する。圧電体20の表面20aの一部の上に犠牲層30を形成した後、圧電体20の表面20a及び犠牲層30に絶縁体34を形成して圧電構造体10sを形成する。圧電体20を加熱して圧電体20をイオン注入層22で分離して、圧電体20から分離された圧電体膜24と絶縁体34とが接合された圧電体膜構造体10tを形成する。圧電体膜構造体10tの圧電体膜24のイオン注入層22に沿って形成された分割面24aのうち少なくとも犠牲層30に対向する部分に電極を含む素子パターン16を形成した後、圧電体膜構造体10tから犠牲層30を除去する。
【選択図】図3
Description
溶射膜の粒界及び空孔に含浸させて硬化する。これにより、溶射膜の剛性を高めることができるとともに、溶射膜に洗浄液などの不要物が侵入することを防止できる。
10s 圧電構造体
10t 圧電体膜構造体
20 圧電体
20a 表面
22 イオン注入層
24 圧電体膜
24s 第2部分
24t 第1部分
30 犠牲層
32 接着層
34 支持部材(絶縁体)
Claims (13)
- 平坦な表面を有する圧電体を用意する、第1の工程と、
前記圧電体の前記表面からイオンを注入して、前記圧電体内において前記表面から所定の深さの領域にイオン注入層を形成する、第2の工程と、
前記圧電体の前記表面の一部の上に犠牲層を形成する、第3の工程と、
前記圧電体の前記表面及び前記犠牲層に絶縁体を形成して圧電構造体を形成する、第4の工程と、
前記圧電体を加熱して前記圧電体を前記イオン注入層で分離して、前記圧電体から分離された前記圧電体の前記表面と前記イオン注入層との間の圧電体膜と前記絶縁体とが結合された圧電体膜構造体を形成する、第5の工程と、
前記圧電体膜構造体の前記圧電体膜の前記イオン注入層に沿って形成された分割面のうち少なくとも前記犠牲層に対向する部分に電極を形成する、第6の工程と、
前記圧電体膜構造体から前記犠牲層を除去する、第7の工程と、
を備えたことを特徴とする、電子部品の製造方法。 - 前記第4の工程において、
前記圧電体の前記表面及び前記犠牲層の上に、前記圧電体とは反対側に前記圧電体の前記表面よりも粗い表面を有する接着層を形成した後、前記接着層の前記圧電体の前記表面よりも粗い前記表面に前記絶縁体を形成することにより、前記圧電体の前記表面及び前記犠牲層に前記接着層を介して前記絶縁体が形成され前記圧電構造体を形成することを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記接着層がスパッタリング又はCVDにより形成されることを特徴とする、請求項2に記載の電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、金属酸化膜及び金属窒化膜から選択された少なくとも1種からなることを特徴とする、請求項2又は3に記載の電子部品の製造方法。
- 前記第4の工程において、前記圧電体の前記表面及び前記犠牲層の上に、前記接着層を形成した後に、前記接着層の前記圧電体とは反対側の表面を粗面処理して、前記接着層の前記圧電体の前記表面よりも粗い前記表面を形成することを特徴とする、請求項2乃至4いずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記絶縁体が溶射法により形成されることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
- 溶射法により形成された前記絶縁体の粒界及び空孔を充填する工程をさらに有することを特徴とする、請求項6に記載の電子部品の製造方法。
- 前記絶縁体がCVDにより形成されることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記絶縁体がスピン塗布により形成されることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記絶縁体が、SOGをスピン塗布することにより形成されることを特徴とする、請求項9に記載の電子部品の製造方法。
- 支持部材と、
互いに平行な一対の主面を有し、前記支持部材に支持されていない第1部分と前記支持部材に支持された第2部分とを含む圧電体膜と、
前記支持部材と前記圧電体膜の前記第2部分との間に配置され、前記支持部材と前記圧電体膜の前記第2部分とに接している接着層と、
前記圧電体膜の前記第1部分の少なくとも一方の前記主面に形成された電極と、
を備え、
前記接着層は、前記支持部材に接している面の表面粗さが、前記前記圧電体膜の前記第2部分に接している面の表面粗さよりも大きくされていることを特徴とする、電子部品。 - 前記圧電体膜は、一対の前記主面がいずれも鏡面であることを特徴とする、請求項11に記載の電子部品。
- 前記電極により、前記圧電体膜を伝搬する板波が励振されることを特徴とする、請求項11又は12に記載の電子部品。
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