JP2010048999A - ワイヤグリッド偏光子及びそれを用いた表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のワイヤグリッド偏光子は、基材上に吸収型偏光成分を格子状に配置した吸収型ワイヤグリッド偏光子1と、基材上に反射型偏光成分を格子状に配置した反射型ワイヤグリッド偏光子2と、を積層してなる複合型ワイヤグリッド偏光子であって、少なくとも前記吸収型ワイヤグリッド偏光子1は、格子状に凸部を有する基材1bと、前記基材1bの凸部上に形成された吸収型偏光成分で構成された層1aと、を具備し、吸収型偏光成分は、可視光の波長領域において、消衰係数k及び屈折率nが所定の関係を満たす材料であり、かつ、吸収型偏光成分で構成された層が所定の厚さを有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
日本女子大学紀要 理学部 第14号(2006) FPDの光学材料 月刊ディスプレイ10月号別冊(2007) テクノタイムズ社
0.1092n4−1.348n3+6.247n2−13.18n+11.91<k<−0.0022n4+0.2036n3−1.967n2+6.918n−3.597
…(1)式
図1は、本発明の実施の形態に係るワイヤグリッド偏光子の一例を示す概略断面斜視図である。偏光子3は、入射光4を吸収する吸収型ワイヤグリッド偏光子1と、基板1b、基板2bとを挟んで配設された反射型ワイヤグリッド偏光子2とから主に構成されており、反射型ワイヤグリッド偏光子2は前記した入射光4と偏光子3をはさんで180度逆側からの入射光5を反射して偏光する。
0.1092n4−1.348n3+6.247n2−13.18n+11.91<k<−0.0022n4+0.2036n3−1.967n2+6.918n−3.597
…(1)式
図4は図1の反射型ワイヤグリッド偏光子2を拡大図示した概略断面斜視図である。図4に示す反射型ワイヤグリッド型偏光子は、表面に格子状凸部2cを有する基材2bと、格子状凸部2cを被覆し、格子状凸部2cを含む基材2b上の領域に立設された、反射型偏光成分で構成された金属ワイヤ2aとから主に構成されている。
図8は、本発明の実施の形態にかかる偏光子を用いた液晶表示装置を示す断面外略図である。
(格子状凸部を有する基材の作成)
・微細凹凸格子形状の作成
ガラス上にフォトレジストを塗布した基板に、電子線ビーム描画法を用いて、微細凹凸格子を形成した。このレジストパターンの表面と断面を、電界放出形走査電子顕微鏡(STEM)で観察したところ、微細凹凸格子のピッチと高さがそれぞれ、145nm/130nm(ピッチ/高さ)であり、その断面形状がほぼ台形形状で、上面からの形状が縞状格子状となっており凸部の幅が45nmで谷部の幅が70nmであることがわかった。
得られた145nmピッチのレジストパターン表面に、導電化処理として金をスパッタ法により30nm被覆した後、ニッケルを電気メッキし、厚さ0.3mmの微細凹凸格子を表面に有するニッケルスタンパを作成した。
厚さ0.1mmのポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム(以下、PETフィルム)に紫外線硬化樹脂(東洋合成株式会社製PAK01)を約0.03mm塗布し、塗布面を下にして前記145nmピッチの微細凹凸格子を表面に有するニッケルスタンパ上に、それぞれ端部からニッケルスタンパとPETフィルムとの間に空気が入らないように載せ、PETフィルム側から中心波長365nmの紫外線ランプを用いて紫外線を1000mJ/cm2照射し、ニッケルスタンパの微細凹凸格子を転写した。得られた格子状凸部転写フィルムをSTEMにより観察し、その断面形状がほぼ台形形状で、上面からの形状が縞状格子状となっていることを確認した。
前記した紫外線硬化性樹脂を用いて作成した格子状凸部転写フィルムに、スパッタ法を用いて誘電体を被覆した。本実施例では、誘電体として窒化ケイ素を用いた場合について、説明する。Arガス圧力0.67Pa、スパッタパワー4W/cm2、被覆速度0.22nm/秒にて誘電体の被覆を行なった。層厚み比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を格子状凸部転写フィルムと同時に装置に挿入し、平滑ガラス基板への誘電体積層厚みが5nmとなるように製膜を行った。
前記と同様に窒化ケイ素が表面に形成された格子状凸部転写フィルムにスパッタ法を用いて不定比酸化アルミニウムワイヤを形成した。本実施例では、アルミニウム(Al)を用いて、Arガス圧力0.245Pa、酸素ガス圧力0.026Pa、スパッタパワー4W/cm2とし、製膜速度47nm/分で蒸着した。層厚み比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を誘電体積層格子状凸部転写フィルムと同時に装置に挿入し、平滑基板への酸化アルミニウム蒸着厚みが10nmとなるように蒸着を行った。なお、格子の長手方向と垂直に交わる平面内において基材面の法線と蒸着源とのなす角度は50度とした。得られた不定比酸化アルミニウムの550nmにおける屈折率nは2.71、消衰係数kは1.41であった。したがって、図3における斜線領域内である、すなわち上記(1)式を満たすものであった。
前記した方法で、得られた吸収型、反射型ワイヤグリッド偏光子の周囲4辺のうち1辺について、既存偏光子を基準として偏光軸を合わせた。つづいて偏光軸をあわせた1辺を機械的に合わせながら、互いのワイヤグリッドの基板側を光学的に透明な粘着材を用いて接着、積層した。なお、接着には、日東電工(株)製透明両面接着テープCS9621を使用した。
・吸収型ワイヤグリッド偏光子の作成
実施例1と同様に窒化ケイ素が表面に形成された格子状凸部転写フィルムを用い、スパッタ法により酸素分圧を変えて種々のn、kを有する不定比酸化アルミニウムを得た。STEMで観察したところ、いずれも14nmの膜厚であった。
実施例1に用いた反射型ワイヤグリッド偏光子を用いて、実施例1と同様の方法で接着積層した。得られた偏光子について、分光光度計を用い、直線偏光に対する透過光強度、反射光強度を測定した。その結果を表1に示す。
・吸収型ワイヤグリッド偏光子の作成
実施例1と同様に窒化ケイ素が表面に形成された格子状凸部転写フィルムにスパッタ法を用いてタングステンワイヤを形成した。本実施例では、タンスグステン(W)を用いて、Arガス圧力0.21Pa、スパッタパワー4.4W/cm2とし、製膜速度20nm/分で蒸着した。層厚み比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を誘電体積層格子状凸部転写フィルムと同時に装置に挿入し、平滑基板へのW蒸着厚みが10nmとなるように蒸着を行った。なお、格子の長手方向と垂直に交わる平面内において基材面の法線と蒸着源とのなす角度は50度とした。なお、タングステンも図3における斜線領域内である、すなわち上記(1)式を満たすものであった。
実施例1に用いた反射型ワイヤグリッド偏光子を用いて、実施例1と同様の方法で接着積層した。得られた偏光子について、分光光度計を用い、直線偏光に対する透過光強度、反射光強度を測定した。TE波透過率79.25%、TM波透過率0.012%、吸収型ワイヤグリッド側の全光反射率10.7%。反射型ワイヤグリッド偏光子側の全光反射率41.4%、偏光度99.97%であった。
・吸収型ワイヤグリッド偏光子の作成
実施例6と同様に窒化ケイ素が表面に形成された格子状凸部転写フィルムを用い、スパッタ法により種々の金属薄膜によるワイヤグリッド偏光子を得た。各々の膜厚は、STEMで観察、測定した。なお、実施例7〜実施例17で使用した材料も図3における斜線領域内である、すなわち上記(1)式を満たすものであった。
実施例1に用いた反射型ワイヤグリッド偏光子を用いて、実施例1と同様の方法で接着積層した。得られた偏光子について、分光光度計を用い、直線偏光に対する透過光強度、反射光強度を測定した。その結果を表2にまとめて示す。
1a 吸収型偏光成分ワイヤ
1b,2b,8 基材
1c,2c 格子状凸部
2,21a,22a 反射型ワイヤグリッド偏光子
2a 金属ワイヤ
3,21,22 低反射ワイヤグリッド偏光子
4,5 入射光
7 接着層
10 偏光軸
11a 変更軸と一致した辺
12 偏光子
20 照明装置
23 液晶セル
30 バックライト入射光
31 外光入射光
Claims (4)
- 基材上に吸収型偏光成分を格子状に配置した吸収型ワイヤグリッド偏光子と、基材上に反射型偏光成分を格子状に配置した反射型ワイヤグリッド偏光子と、を積層してなる複合型ワイヤグリッド偏光子であって、少なくとも前記吸収型ワイヤグリッド偏光子は、格子状に凸部を有する基材と、前記基材の凸部上に形成された吸収型偏光成分で構成された層と、を具備し、前記吸収型偏光成分は、可視光の波長領域において、消衰係数k及び屈折率nが下記(1)式を満たす材料であり、前記層の厚さが5nm以上30nm以下であることを特徴とするワイヤグリッド偏光子。
0.1092n4−1.348n3+6.247n2−13.18n+11.91<k<−0.0022n4+0.2036n3−1.967n2+6.918n−3.597
…(1)式 - 前記吸収型ワイヤグリッド偏光子において、前記基材の格子状凸部の断面斜面部の片側にのみ吸収型偏光成分が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のワイヤグリッド偏光子。
- 前記反射型ワイヤグリッド偏光子は、格子状に凸部を有する基材と、前記基材の凸部上に形成された反射型偏光成分で構成された層と、を具備することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のワイヤグリッド偏光子。
- 表示デバイスと、前記表示デバイスに光を照射する照明手段と、請求項1から請求項3のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光子と、を具備し、前記反射型ワイヤグリッド偏光子が前記照明手段側に配置されることを特徴とする表示装置。
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