JPWO2011132649A1 - ワイヤグリッド型偏光子の製造方法および液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ワイヤグリッド型偏光子は、光透過性基板上に複数の金属細線が互いに平行に配列した構造を有する。金属細線のピッチが入射光の波長よりも充分に短い場合、入射光のうち、金属細線に直交する電場ベクトルを有する成分(すなわちp偏光)は透過し、金属細線と平行な電場ベクトルを有する成分(すなわちs偏光)は反射される。
しかし、酸化アルミニウム(Al2O3)は、透明な材料、すなわち透過率が極めて高い材料であり、光をほとんど吸収しないため、液晶パネル側におけるs偏光の反射を充分に抑えることはできない。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
また、前記工程(1R1)を、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行い、前記工程(1R2)を、蒸着量が25〜70nmとなる条件で行うことがより好ましい。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)、
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)、
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
また、前記工程(2R1)および前記工程(2L1)を、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行い、前記工程(2R2)および前記工程(2L2)を、蒸着量が10〜25nmとなる条件で行うことがより好ましい。
3≦T≦90 ・・・(j)、
5≦R≦90 ・・・(k)、
50≦T+R≦97 ・・・(l)、
90≦T+2R ・・・(m)。
前記凸条の長さ方向に直交する断面形状は、三角形または台形であることがより好ましい。
前記凸条は、光硬化樹脂または熱可塑性樹脂からなり、インプリント法で形成されることが好ましい。
また、前記ワイヤグリッド型偏光子は、前記バックライトユニット側の前記液晶パネルの表面に配置され、前記吸収型偏光子が、前記バックライトユニット側とは反対側の前記液晶パネルの表面に配置されていることがより好ましい。
また、前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記バックライトユニット側の前記液晶パネルの前記基板と一体化され、前記吸収型偏光子が、前記バックライトユニット側とは反対側の前記液晶パネルの表面に配置されていることがより好ましい。
また、前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記液晶パネルの前記一対の基板のうちの前記バックライトユニット側の基板の液晶層側に配置され、前記吸収型偏光子が、前記バックライトユニット側とは反対側の前記液晶パネルの表面に配置されていることがより好ましい。
本発明の液晶表示装置は、輝度が高く、コントラストの低下が抑えられる。
本明細書における光透過性とは、光を透過することを意味する。
本明細書における「θ±10」は、(θ−10)以上(θ+10)以下の範囲を示す。その他同様の記載においても同じである。
本明細書における「略直交」とは、方向Lと方向V1(または方向V2)のなす角度が85〜95度の範囲にあることを意味する。
本明細書における「蒸着量」とは、凸条に金属層または金属酸化物層を形成する際に、光透過性基板において凸条が形成されていない平坦な部分にアルミニウムを蒸着して形成される金属層または金属酸化物層の厚さ;または蒸着条件の条件出しの際に平坦な基板(ガラス基板等)の平坦な部分にアルミニウムを蒸着して形成される金属層または金属酸化物層の厚さを意味する。
本明細書における透過率、反射率、および吸収率は、特に指定のない限り、測定波長550nmでの値とする。
本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子は、複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチで表面に形成された光透過性基板と、凸条の少なくとも一方の側面を被覆する、金属層および金属酸化物層からなる被覆層を有し、該被覆層において、凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さくされたものである。
光透過性基板は、ワイヤグリッド型偏光子の使用波長範囲において光透過性を有する基板である。光透過性とは、光を透過することを意味し、使用波長範囲は、具体的には、400nm〜800nmの範囲である。400nm〜800nmの範囲における平均光透過率が、好ましくは80%以上、より好ましくは85%以上の光透過性基板である。
凸条を被覆する被覆層は、金属層および金属酸化物層からなる。金属層および金属酸化物層は、通常、積層された状態とされるが、後述する実施形態のように、凸条の表面の一部において金属層または金属酸化物層が単層の状態で存在していてもよいし、同種の層が積層されていてもよい。
被覆層は、凸条の長さ方向に延びる線状をなしており、ワイヤグリッド型偏光子を構成する金属細線に相当する。
被覆層は、凸条の少なくとも一方の側面を被覆し、凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さい。凸条の高さの半分の位置から頂部までを被覆する被覆層が表面s偏光反射率の向上に寄与し、凸条の高さの半分の位置から底部までを被覆する被覆層が裏面s偏光反射率の低下に寄与すると考えられる。
被覆層は、s偏光の透過率が抑制され、偏光度を向上できる点から、凸条の2つの側面を被覆し、かつ2つの側面において凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さいことが好ましい。
被覆層の一部を構成する金属層は、該金属層に酸化物が形成されないようにアルミニウムを蒸着して形成される層である。ここで「金属層に酸化物が形成されないように」とは、真空蒸着装置等においてアルミニウムを蒸着する際に、金属層に酸化物が形成されない条件とすることを意味するのであって、真空蒸着装置等からワイヤグリッド型偏光子を取り出した後、金属層が空気に触れることによって自然酸化して金属層の表面に薄い酸化皮膜が形成されるのを抑制することを意味するものではない。
金属層は、表面s偏光反射率がより高くなる点から、金属酸化物層よりも表面側に形成されることが好ましく、凸条の高さの半分の位置よりも頂部側に選択的に形成されることがより好ましい。
被覆層の一部を構成する金属酸化物層は、該金属酸化物層に酸素欠陥が生じるように、酸素の存在下にアルミニウムを蒸着して形成される層である。
金属酸化物層は、酸素欠陥を有するアルミニウム酸化物(Al2O3−x、0<x<3)からなる層であり、アルミニウム(Al)よりも透過率(T)が高い。また、従来の吸収層を構成する酸素欠陥のない酸化アルミニウム(Al2O3)よりも透過率(T)は低く、吸収率(A)は高い。
金属酸化物層は、裏面s偏光反射率がより低くなる点から、金属層よりも裏面側に形成されることが好ましく、凸条の少なくとも一方の側面の全部を被覆することがより好ましい。
本発明におけるワイヤグリッド型偏光子は、表面に複数の凸条が互いに平行にかつ所定のピッチで形成された光透過性基板を作製した後、凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さい被覆層を形成することによって製造される。
光透過性基板の作製方法としては、インプリント法(光インプリント法または熱インプリント法)、リソグラフィ法等が挙げられ、凸条を生産性よく形成できる点および光透過性基板を大面積化できる点から、インプリント法が好ましく、凸条をより生産性よく形成できる点およびモールドの溝を精度よく転写できる点から、光インプリント法が特に好ましい。
被覆層は、蒸着法で形成されることが好ましい。蒸着法としては、物理蒸着法(PVD)または化学蒸着法(CVD)が挙げられ、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法が好ましく、真空蒸着法が特に好ましい。真空蒸着法は、付着させる微粒子の光透過性基板に対する入射方向を制御することが容易であり、後述の斜方蒸着法を行うことが容易である。被覆層の形成は、凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さくなるように選択的にアルミニウムを蒸着して形成する必要があるため、蒸着法としては、真空蒸着法による斜方蒸着法が最も好ましい。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)、
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)、
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
本発明のワイヤグリッド型偏光子の製造方法においては、金属層にアルミニウム酸化物が形成されないように、凸条、金属酸化物層、または他の金属層にアルミニウムを蒸着して、被覆層の一部を構成する金属層を形成する。ここで「金属層に酸化物が形成されないように」とは、真空蒸着装置等においてアルミニウムを蒸着する際に、金属層に酸化物が形成されない条件とすることを意味するのであって、真空蒸着装置等からワイヤグリッド型偏光子を取り出した後、金属層が空気に触れることによって自然酸化して金属層の表面に薄い酸化皮膜が形成されるのを抑制することを意味するのではない。
具体的には、真空蒸着装置に酸素を導入することなく、比較的速い蒸着速度(好ましくは1.3nm/sec以上、より好ましくは1.5nm/sec以上、さらに好ましくは1.8nm/sec以上。また、膜厚を精度良く制御するという観点から蒸着速度は、20nm/sec以下が好ましい。)にてアルミニウムをすばやく蒸着して金属層を形成する。
本発明のワイヤグリッド型偏光子の製造方法においては、金属酸化物層に酸素欠陥が生じるように、酸素の存在下、凸条、金属層、または他の金属酸化物層にアルミニウムを蒸着して、被覆層の一部を構成する金属酸化物層を形成する。
本発明のワイヤグリッド型偏光子の製造方法においては、蒸着量が20nmとなるように平坦な部分にアルミニウムを蒸着させた際に透過率T(%)および反射率R(%)が下式(j)〜(m)を満足するアルミニウム酸化物からなる薄膜が形成されるような蒸着条件にて、金属酸化物層を形成することが好ましい。
3≦T≦90 ・・・(j)、
5≦R≦90 ・・・(k)、
50≦T+R≦97 ・・・(l)、
90≦T+2R ・・・(m)。
さらに、透過率(T)が90%以下であり、かつ透過率(T)と反射率(R)との合計が97%以下(すなわち、吸収率(A)が3%以上)であれば、たとえば、後述する実施例における図13に示すように、酸素欠陥のない酸化アルミニウム(Al2O3)ではなく、酸素欠陥を有するアルミニウム酸化物(Al2O3−x)が形成されたことになる。
ちなみに、T+2Rが90%よりも小さくなるような(すなわち、A=R+10で表わされる図13中の破線よりも下側の領域を満足するような)透過率(T)および反射率(R)を有するアルミニウム酸化物は、本発明者らの実験において形成することは非常に困難であったため、本発明においては除外する。
このように、式(j)〜(m)を満足する金属酸化物からなる薄膜が形成されるような蒸着条件によれば、現実的な、酸素欠陥を有するアルミニウム酸化物(Al2O3−x)からなる金属酸化物層が形成されることになる。
反射率(R)は、10%以上がより好ましく、15%以上がさらに好ましい。
透過率(T)と反射率(R)との合計は、95%以下がより好ましく、90%以下がさらに好ましい。また、55%以上がより好ましく、60%以上がさらに好ましい。
式(j)〜(m)を満足する金属酸化物からなる薄膜が形成されるような蒸着条件は、蒸着速度および酸素導入量を振って、蒸着量が20nmとなるように平坦な部分にアルミニウムを蒸着させて、アルミニウム酸化物からなる薄膜を繰り返し形成し、それぞれの透過率(T)および反射率(R)を測定し、後述する実施例にて示す図10〜図13のようにグラフ化することによって、当業者であれば適宜決定できる。
(i)真空蒸着装置内において、特定の加熱条件にて蒸着源(アルミニウム)を加熱することによって、平坦な基板(ガラス基板等)に、適当な蒸着時間にてアルミニウムを蒸着して薄膜を形成する。
(ii)薄膜の厚さを測定し、これを蒸着時間で除して蒸着速度を算出する。
(iii)真空蒸着装置内において、手順(i)と同じ加熱条件にて蒸着源(アルミニウム)を加熱することによって、平坦な基板(ガラス基板等)に、蒸着量が20nmとなるような蒸着時間にてアルミニウムを蒸着して薄膜を形成する。
(iv)薄膜の透過率(T)および反射率(R)を、紫外可視分光光度計を用いて測定する。
(v)酸素導入量を変更しながら、手順(iii)〜(iv)を繰り返し行う。
(vi)蒸着源(アルミニウム)の加熱条件を変更しながら、手順(i)〜(v)を繰り返し行う。
以下、本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子の実施形態を、図を用いて説明する。以下の図は模式図であり、実際のワイヤグリッド型偏光子は、図示したような理論的かつ理想的形状を有するものではない。たとえば、実際のワイヤグリッド型偏光子においては、凸条等の形状の崩れが多少あり、被覆層の厚さの不均一も少なからず生じている。なお、本発明における凸条および被覆層の各寸法は、ワイヤグリッド型偏光子の断面の透過型電子顕微鏡像において、5つ凸条および該凸条上の被覆層における各寸法を測定し、5つの値を平均したものとする。
図1は、本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子の第1の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16の全部を被覆する金属酸化物層21と、凸条12の高さの半分の位置よりも頂部19側の金属酸化物層21の表面および凸条12の頂部19に形成された金属層22とを有する。
第1の被覆層20は、金属酸化物層21および金属層22からなり、凸条12の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条12の高さの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値よりも小さい。
被覆層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
Ppは、凸条12の底部の幅Dpbと、凸条12間に形成される平坦部13の幅との合計である。Ppは、300nm以下が好ましく、50〜250nmがより好ましい。Ppが300nm以下であれば、高い表面s偏光反射率を示し、かつ400nm程度の短波長領域においても高い偏光度を示す。また、回折による着色現象が抑えられる。また、Ppが50〜200nmであれば、蒸着によって各層を形成しやすい。
第1の被覆層20の、凸条12の高さの半分の位置から頂部19まで(凸条の上半分)の被覆厚さ(凸条の幅方向の厚さ)の最大値Dr1は、80nm以下が好ましい。20〜75nmが好ましく、35〜55nmがより好ましく、40〜50nmが特に好ましい。Dr1が20nm以上であれば、表面s偏光反射率が充分に高くなる。Dr1が80nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
0.2×(Pp−Dpb)≦Dr1≦0.95×(Pp−Dpb) ・・・(i)。
Dr1が0.2×(Pp−Dpb)以上であれば、s偏光透過率が低くなって偏光分離能が充分に高くなり、かつ波長分散が小さい。Dr1が0.95×(Pp−Dpb)以下であれば、高いp偏光透過率を示す。
図2は、本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子の第2の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16の全部を被覆する金属層22と、凸条12の高さの半分の位置よりも頂部19側の金属酸化物層21の表面および凸条12の頂部19に形成された金属酸化物層21とを有する。
第1の被覆層20は、金属層22および金属酸化物層21からなり、凸条12の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条12の高さの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値よりも小さい。
被覆層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第2の実施形態において、第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
図3は、本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子の第3の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16の全部を被覆する金属酸化物層21と、凸条12の高さの半分の位置よりも頂部19側の金属酸化物層21の表面および凸条12の頂部19に形成された金属層22と、凸条12の第2の側面18の全部を被覆する金属酸化物層26と、凸条12の高さの半分の位置よりも頂部19側の金属酸化物層26の表面および凸条12の頂部19に形成された金属層27を有する。
第1の被覆層20は、金属酸化物層21および金属層22からなり、凸条12の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条12の高さの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値よりも小さい。
第2の被覆層25は、金属酸化物層26および金属層27からなり、凸条12の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条12の高さの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値よりも小さい。
被覆層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第3の実施形態は、第1、2および4〜6の実施形態よりも、裏面s偏光反射率が低くなる。第3の実施形態において、第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
第1の被覆層20の、凸条12の高さの半分の位置から頂部19まで(凸条の上半分)の被覆厚さ(凸条の幅方向の厚さ)の最大値Dr1は、50nm以下が好ましい。10〜45nmが好ましく、15〜35nmがより好ましい。Dr1が10nm以上であれば、表面s偏光反射率が充分に高くなる。Dr1が50nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
図4は、本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子の第4の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16の全部を被覆する金属酸化物層21と、凸条12の高さの半分の位置よりも頂部19側の金属酸化物層21の表面および凸条12の頂部19に形成された金属層22と、凸条12の第2の側面18の全部を被覆する金属層27を有する。
第1の被覆層20は、金属酸化物層21および金属層22からなり、凸条12の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条12の高さの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値よりも小さい。
第2の被覆層25は、金属層27のみからなる。
被覆層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第4の実施形態は第1、および2の実施形態よりも、裏面s偏光反射率が低くなる。
第4の実施形態において、第1、および3の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
第2の被覆層25の、凸条12の幅方向の厚さの最大値Da2は、4〜25nmが好ましく、5〜22nmがより好ましい。Da2が4nm以上であれば、裏面s偏光反射率が充分に低くなる。Da2が25nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
図5は、本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子の第5の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16の全部を被覆する金属層22と、凸条12の高さの半分の位置よりも頂部19側の金属層22の表面および凸条12の頂部に形成された金属層22と、凸条12の第2の側面18の全部を被覆する金属酸化物層26を有する。
第1の被覆層20は、2つの金属層22からなり、凸条12の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条12の高さの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値よりも小さい。
第2の被覆層25は、金属酸化物層26のみからなる。
被覆層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第5の実施形態は第1、および2の実施形態よりも、裏面s偏光反射率が低くなる。
第5の実施形態において、第1、および4の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
図6は、本発明の製造方法で得られるワイヤグリッド型偏光子の第6の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16の全部を被覆する金属酸化物層21と、凸条12の高さの半分の位置よりも頂部19側の金属酸化物層21の表面および凸条12の頂部19に形成された金属層22と、凸条12の第2の側面18の全部を被覆する金属酸化物層26を有する。
第1の被覆層20は、金属酸化物層21および金属層22からなり、凸条12の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条12の高さの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値よりも小さい。
第2の被覆層25は、金属酸化物層26のみからなる。
被覆層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第6の実施形態は第1、および2の実施形態よりも、裏面s偏光反射率が低くなる。
第6の実施形態において、第1、および4の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
〔第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子の製造方法〕
第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、光透過性基板14の凸条12の第1の側面16の表面に金属酸化物層21を形成する工程(1R1)と、工程(1R1)の後、金属酸化物層21の表面に金属層22を形成する工程(1R2)とを実施することによって製造できる。
金属酸化物層21は、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(a)を満たす角度θR 1(°)をなす方向V1からアルミニウムを蒸着する工程(1R1)を実施することにより形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)。
角度θR 1(°)は、tan(θR 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θR 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
金属層22は、工程(1R1)の後、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(b)を満たす角度θR 2(°)をなす方向V1からアルミニウムを、工程(1R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(1R2)を実施することにより形成できる。
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
角度θR 2(°)は、θR 1+6≦θR 2≦θR 1+25を満たすことが好ましく、θR 1+10≦θR 2≦θR 1+20を満たすことがより好ましい。
第2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、第1の実施形態の製造方法において、工程(1R1)で形成される金属酸化物層21を金属層22に変更し、工程(1R2)で形成される金属層22を金属酸化物層21に変更する以外は、第1の実施形態の製造方法と同様にして製造できる。
第3の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、光透過性基板14の凸条12の第1の側面16の表面に金属酸化物層21を形成する工程(2R1)と、光透過性基板14の凸条12の第2の側面18の表面に金属酸化物層26を形成する工程(2L1)と、工程(2R1)の後、金属酸化物層21の表面に金属層22を形成する工程(2R2)と、工程(2L1)の後、金属酸化物層26の表面に金属層27を形成する工程(2L2)とを実施することによって製造できる。工程(2R1)、工程(2L1)、工程(2R2)、工程(2L2)の順に行うのが好ましく、工程(2R1)、工程(2R2)、工程(2L1)、工程(2L2)の順に行ってもよく、工程(2R1)、工程(2L1)、工程(2L2)、工程(2R2)の順に行ってもよい。第3の実施形態の製造方法において、第1の実施形態の製造方法と同じ内容については、説明を省略する。
金属酸化物層21は、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(c)を満たす角度θR 1(°)をなす方向V1からアルミニウムを蒸着する工程(2R1)を実施することにより形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)。
角度θR 1(°)は、tan(θR 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θR 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
金属酸化物層26は、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(d)を満たす角度θL 1(°)をなす方向V2からアルミニウムを蒸着する工程(2L1)を実施することにより形成できる。
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)。
角度θL 1(°)は、tan(θL 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θL 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
金属層22は、工程(2R1)の後、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下記式(e)を満たす角度θR 2(°)をなす方向V1からアルミニウムを、工程(2R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(2R2)を実施することにより形成できる。
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)。
角度θR 2(°)は、θR 1+8≦θR 2≦θR 1+18を満たすことが好ましく、θR 1+10≦θR 2≦θR 1+15を満たすことがより好ましい。
金属層27は、工程(2L1)の後、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(f)を満たす角度θL 2(°)をなす方向V2からアルミニウムを、工程(2L1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(2L2)を実施することにより形成できる。
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
角度θL 2(°)は、θL 1+3≦θL 2≦θL 1+18を満たすことが好ましく、θL 1+5≦θL 2≦θL 1+15を満たすことがより好ましい。
第4の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、第1の実施形態の製造方法に、下記の工程を加えることによって製造できる。任意の段階で、光透過性基板14の凸条12の第2の側面18の表面に金属層27を形成する工程(1L1)である。
第4の実施形態の製造方法において、第1の実施形態の製造方法と同じ内容については、説明を省略する。
金属層27は、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(g)を満たす角度θL 1(°)をなす方向V2からアルミニウムを蒸着する工程(1L1)を実施することにより形成するのが好ましい。
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(g)。
角度θL 1(°)は、tan(θL 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましい。
第5の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、第4の実施形態の製造方法において、工程(1R1)で形成される金属酸化物層21を金属層22に変更し、工程(1L1)で形成される金属層27を金属酸化物層26に変更する以外は、第4の実施形態の製造方法と同様にして製造できる。
第6の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、第1の実施形態の製造方法に、下記の工程を加えることによって製造できる。任意の段階で、光透過性基板14の凸条12の第2の側面18の表面に金属酸化物層26を形成する工程(1L1)である。
第6の実施形態の製造方法において、第1の実施形態の製造方法と同じ内容については、説明を省略する。
金属酸化物層26は、図7に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(h)を満たす角度θL 1(°)をなす方向V2からアルミニウムを蒸着する工程(1L1)を実施することにより形成するのが好ましい。
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(h)。
角度θL 1(°)は、tan(θL 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましい。
以上説明した本発明のワイヤグリッド型偏光子の製造方法にあっては、複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチで表面に形成された光透過性基板の、凸条の少なくとも一方の側面を被覆するように、金属層および金属酸化物層からなる被覆層を形成しているため、偏光度およびp偏光透過率が高いワイヤグリッド型偏光子を製造できる。
また、本発明のワイヤグリッド型偏光子の製造方法にあっては、凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さくなるように被覆層を形成し、かつ被覆層の一部を構成する金属酸化物層を、該金属酸化物層に酸素欠陥が生じるように、酸素の存在下にアルミニウムを蒸着して形成しているため、一方の面(凸条が形成された側の面、すなわち表面)のs偏光反射率が高く、かつ他方の面(凸条が形成されていない側の面、すなわち裏面)のs偏光反射率が低いワイヤグリッド型偏光子を製造できる。
本発明の液晶表示装置は、一対の基板間に液晶層を挟持した液晶パネルと、バックライトユニットと、凸条が形成された側の面がバックライトユニット側となり、凸条が形成されていない側の面が液晶表示装置の視認側となるように配置された、本発明の製造方法で得られたワイヤグリッド型偏光子とを有するものである。
また、ワイヤグリッド型偏光子は、特開2006−139283号公報の図15等に記載されているように、液晶パネルの一対の基板のうちの一方の基板と、一体化された状態で配置されていてもよく、バックライトユニット側の液晶パネルの前記基板と一体化されていることが好ましい。
また、ワイヤグリッド型偏光子は、特許第4412388号公報の図14等に記載されているように、液晶パネルの一対の基板のうちの一方の基板の液晶層側、すなわち液晶パネルの内部に配置されていてもよく、液晶パネルの一対の基板のうちのバックライトユニット側の基板の液晶層側に配置されていることが好ましい。
吸収型偏光子は、バックライトユニット側とは反対側の液晶パネルの表面に配置されていることがより好ましい。
また、本発明の液晶表示装置にあっては、本発明の製造方法で得られた、一方の面(凸条が形成された側の面、すなわち表面)のs偏光反射率が高く、かつ他方の面(凸条が形成されていない側の面、すなわち裏面)のs偏光反射率が低いワイヤグリッド型偏光子が、凸条が形成された側の面がバックライトユニット側となり、凸条が形成されていない側の面が液晶表示装置の視認側となるように配置されているため、コントラストの低下が抑えられる。
凸条および各層の各寸法は、ワイヤグリッド型偏光子の断面の透過型電子顕微鏡像において、5つの凸条および該凸条上の各層における各寸法を測定し、5つの値を平均して求めた。
p偏光透過率は、紫外可視分光光度計(JASCO社製、V−7200)を用いて測定した。測定は、付属の偏光子を、光源とワイヤグリッド型偏光子との間に、ワイヤグリッド型偏光子の金属細線の長軸に吸収軸が平行な向きにセットし、ワイヤグリッド型偏光子の表面側(凸条が形成された側)または裏面側(凸条が形成されていない側)から偏光を入射して行った。測定波長は、450nm、550nm、および700nmとした。
p偏光透過率が、70%以上をSとし、60%以上70%未満をAとし、50%以上65%未満をBとし、50%未満をXとした。
s偏光反射率は、紫外可視分光光度計(JASCO社製、V−7200)を用いて測定した。測定は、付属の偏光子を、光源とワイヤグリッド型偏光子との間に、ワイヤグリッド型偏光子の金属細線の長軸に吸収軸が直行する向きにセットし、ワイヤグリッド型偏光子の表面または裏面に対し、5度の角度で偏光を入射して行った。測定波長は、450nm、550nm、および700nmとした。表面s偏光反射率が、80%以上をSとし、70%以上80%未満をAとした。また、裏面s偏光反射率が、20%未満をSとし、20%以上40%未満をAとし、40%以上50%未満をBとし、50%以上をXとした。
偏光度は、下式(n)から計算した。
偏光度=((Tp−Ts)/(Tp+Ts))0.5 ×100・・・(n)。
ただし、Tpは、表面p偏光透過率であり、Tsは、表面s偏光透過率である。
偏光度が99.5%以上をSとし、99.0%以上99.5%未満をAとし、98.0%以上99.0%未満をBとし、98.0%未満をXとした。
輝度は、下記の方法で測定した。
2インチサイズのLEDサイドライト型バックライトユニット上に、ワイヤグリッド型偏光子、および液晶パネルを順に重ねた。ワイヤグリッド型偏光子は、裏面側(凸条が形成されていない側)が液晶パネル側になるように設置した。液晶パネルとしては、上側にのみヨウ素系偏光板を備えたものを用いた。暗室内でバックライトユニットおよび液晶パネルを立ち上げた。液晶パネルの全面の表示を白色表示とし、点灯10分後の中心輝度B31を、色彩輝度計(トプコン社製、BM−5AS)を用いて視野角0.1°で測定した。次いで、液晶パネルの全面の表示を黒表示とし、そのときの輝度B32を測定した。
輝度向上率=(B31−B21)/B21×100 ・・・(o)。
輝度向上率が25%以上をSとし、20%以上25%未満をAとし、15%以上20%未満をBとし、15%未満をXとした。
上記測定で得られた値を用いて、下式(p)からコントラストを求めた。
コントラスト=B31/B32 ・・・(p)。
コントラストが500以上をSとし、300以上500未満をAとし、100以上300未満をBとし、100未満をXとした。
撹拌機および冷却管を装着した1000mLの4つ口フラスコに、
単量体1(新中村化学工業社製、NK エステル A−DPH、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)の60g、単量体2(新中村化学工業社製、NK エステル A−NPG、ネオペンチルグリコールジアクリレート)の40g、光重合開始剤(チバスペシャリティーケミカルズ社製、IRGACURE907)の4.0g、含フッ素界面活性剤(旭硝子社製、フルオロアクリレート(CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)8F)とブチルアクリレートとのコオリゴマー、フッ素含有量:約30質量%、質量平均分子量:約3000)の0.1g、重合禁止剤(和光純薬社製、Q1301)の1.0g、およびシクロヘキサノンの65.0gを入れた。
厚さ100μmの高透過ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(帝人デュポン社製、帝人テトロンO3、100mm×100mm)の表面に、光硬化性組成物1をスピンコート法により塗布し、厚さ5μmの光硬化性組成物1の塗膜を形成した。複数の溝が、該溝間に形成される平坦部を介して互いに平行にかつ所定のピッチで形成された石英製モールド(面積:150mm×150mm、パターン面積:100mm×100mm、溝のピッチPp:140nm、溝の上部の幅Dpb:60nm、溝の底部の幅Dpt:20nm、溝の深さHp:200nm、溝の長さ:100mm、溝の断面形状:略台形)を、溝が光硬化性組成物1の塗膜に接するように、25℃にて0.5MPa(ゲージ圧)で光硬化性組成物1の塗膜に押しつけた。
(i)真空蒸着装置(昭和真空社製、SEC−16CM)内において、蒸着源(アルミニウム)を加熱することによって、平坦な無アルカリガラス基板に、アルミニウムを20秒間蒸着して薄膜を形成した。
(ii)水晶振動子を膜厚センサとする膜厚モニタによって薄膜の厚さを測定し、これを蒸着時間で除して蒸着速度を算出したところ1.8nm/secであった。
(iii)手順(i)と同じ真空蒸着装置内において、酸素導入量:0sccmの条件にて、手順(i)と同じ加熱条件にて蒸着源(アルミニウム)を加熱することによって、平坦な無アルカリガラス基板に、蒸着量が20nmとなるような蒸着時間にてアルミニウムを蒸着して薄膜を形成した。
(iv)薄膜の透過率(T)および反射率(R)を、紫外可視分光光度計を用いて測定した。T:2.9%、R:86%のアルミニウム(Al)の薄膜が形成されていることが確認された。結果を表1に示す。
(v)酸素導入量を表1に示す値に変更しながら、手順(iii)〜(iv)を繰り返し行った。式(j)〜(m)を満足する酸素欠陥を有するアルミニウム酸化物(Al2O3−x)からなる薄膜が形成されていることが確認された。
(vi)蒸着源(アルミニウム)の加熱条件を変更しながら、手順(i)〜(v)を繰り返し行った。蒸着速度:1.0nm/secならびに0.3nm/secのそれぞれについて、酸素導入量が表1に示す値のときの結果を表1に示す。蒸着速度:0.3nm/sec、および酸素導入量:10sccmのとき、T:91%であり、R:8%の酸素欠陥のない酸化アルミニウム(Al2O3)の薄膜が形成されていることが確認された。また、これ以外のとき、式(j)〜(m)を満足する酸素欠陥を有するアルミニウム酸化物(Al2O3−x)からなる薄膜が形成されていることが確認された。
蒸着速度ごとの酸素導入量と反射率(R)との関係を図11のグラフに示す。
蒸着速度ごとの酸素導入量と吸収率(A)との関係を図12のグラフに示す。
蒸着速度ごとの透過率(T)と反射率(R)と吸収率(A)との関係を図13の三角図に示す。
(被覆層の形成)
蒸着源に対向する光透過性基板1の傾きを変更可能な真空蒸着装置(昭和真空社製、SEC−16CM)を用い、光透過性基板の凸条に斜方蒸着法にてアルミニウムを蒸着させて被覆層を形成し、裏面にPETフィルムが貼着された、第1の実施形態(図1)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。なお、1回目の蒸着は、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tとで行い、2回目の蒸着は、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tとで行なった。蒸着量tは、蒸着により凸条が形成されていない平坦な部分に形成される金属層または金属酸化物層の厚さであり、水晶振動子を膜厚センサとする膜厚モニタによって測定した。
1回目の蒸着および2回目の蒸着を、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tに変更した以外は、例1と同様にして、第2の実施形態(図2)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。
1回目の蒸着および2回目の蒸着を、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tに変更した以外は、例1と同様にして、第1の実施形態(図1)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。
蒸着の回数を表2に示す回数に変更し、各回の蒸着における蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)、方向V、角度θR(L)、および蒸着量tを表2に示すように変更した以外は、例1と同様にして、第3の実施形態(図3)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。
蒸着の回数を表2に示す回数に変更し、各回の蒸着を、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tに変更した以外は、例1と同様にして、第4の実施形態(図4)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。
蒸着の回数を表2に示す回数に変更し、各回の蒸着を、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tに変更した以外は、例1と同様にして、第5の実施形態(図5)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。
蒸着の回数を表2に示す回数に変更し、各回の蒸着を、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tに変更した以外は、例1と同様にして、第6の実施形態(図6)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。
各回の蒸着を、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tに変更した以外は、例11と同様にして、第3の実施形態(図3)に示すようなワイヤグリッド型偏光子を得た。
蒸着の回数を表2に示す回数に変更し、各回の蒸着を、表1に示す蒸着条件(蒸着速度と酸素供給量)と、表2に示す方向V、角度θR(L)、および蒸着量tに変更した以外は、例1と同様にして、第3の実施形態(図3)に示すようなワイヤグリッド型偏光子(ただし、金属酸化物層は式(j)を満足しない。)を得た。
例1〜20のワイヤグリッド型偏光子について、被覆層の各寸法を測定した。結果を表3に示す。また、例1〜20のワイヤグリッド型偏光子について、透過率、反射率、偏光度、輝度、およびコントラストを測定した。結果を表4に示す。
なお、2010年4月19日に出願された日本特許出願2010−095847号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
12 凸条
13 平坦部
14 光透過性基板
16 第1の側面
18 第2の側面
19 頂部
20 第1の被覆層
21 金属酸化物層
22 金属層
25 第2の被覆層
26 金属酸化物層
27 金属層
30 液晶表示装置
31 基板
32 基板
33 液晶層
34 液晶パネル
35 バックライトユニット
36 吸収型偏光子
Claims (17)
- 複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチで表面に形成された光透過性基板と、
前記凸条の少なくとも一方の側面を被覆する、金属層および金属酸化物層からなる被覆層とを有し、
前記被覆層において、前記凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が前記凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さい、
ワイヤグリッド型偏光子を製造する方法であって、
前記金属層を、該金属層に酸化物が形成されないようにアルミニウムを蒸着して形成し、
前記金属酸化物層を、該金属酸化物層に酸素欠陥が生じるように、酸素の存在下にアルミニウムを蒸着して形成する、ワイヤグリッド型偏光子の製造方法。 - 前記凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ前記凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(a)を満たす角度θR 1(°)をなす方向からアルミニウムを蒸着して、前記金属酸化物層または前記金属層を形成する工程(1R1)と、
前記工程(1R1)の後、前記凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ前記凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(b)を満たす角度θR 2(°)をなす方向からアルミニウムを、工程(1R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着して、前記金属層または前記金属酸化物層を形成する工程(1R2)とを有する、請求項1に記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。 - 前記工程(1R1)を、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行い、
前記工程(1R2)を、蒸着量が25〜70nmとなる条件で行う、請求項2に記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。 - 前記被覆層が、前記凸条の2つの側面を被覆し、かつ2つの側面において前記凸条の高さの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値が前記凸条の高さの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値よりも小さい、請求項1に記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。
- 前記凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ前記凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(c)を満たす角度θR 1(°)をなす方向からアルミニウムを蒸着して、前記金属酸化物層または前記金属層を形成する工程(2R1)と、
前記凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ前記凸条の高さ方向に対して第2の側面の側に下式(d)を満たす角度θL 1(°)をなす方向からアルミニウムを蒸着して、前記金属酸化物層または前記金属層を形成する工程(2L1)と、
前記工程(2R1)の後、前記凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ前記凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(e)を満たす角度θR 2(°)をなす方向からアルミニウムを、工程(2R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着して、前記金属層または前記金属酸化物層を形成する工程(2R2)と、
前記工程(2L1)の後、前記凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ前記凸条の高さ方向に対して第2の側面の側に下式(f)を満たす角度θL 2(°)をなす方向からアルミニウムを、工程(2L1)より多い蒸着量となる条件で蒸着して、前記金属層または前記金属酸化物層を形成する工程(2L2)とを有する、請求項4に記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)、
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)、
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。 - 前記工程(2R1)および前記工程(2L1)を、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行い、
前記工程(2R2)および前記工程(2L2)を、蒸着量が10〜25nmとなる条件で行う、請求項5に記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。 - 蒸着量が20nmとなるように平坦な部分にアルミニウムを蒸着させた際に透過率T(%)および反射率R(%)が下式(j)〜(m)を満足する薄膜が形成されるような蒸着条件にて、前記金属酸化物層を形成する、請求項1〜6のいずれかに記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。
3≦T≦90 ・・・(j)、
5≦R≦90 ・・・(k)、
50≦T+R≦97 ・・・(l)、
90≦T+2R ・・・(m)。 - 前記凸条の長さ方向に直交する断面形状が、底部から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる形状である、請求項1〜7のいずれかに記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。
- 前記凸条の長さ方向に直交する断面形状が、三角形または台形である、請求項8に記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。
- 前記凸条が、光硬化樹脂または熱可塑性樹脂からなり、インプリント法で形成される、請求項1〜9のいずれかに記載のワイヤグリッド型偏光子の製造方法。
- 一対の基板間に液晶層を挟持した液晶パネルと、
バックライトユニットと、
凸条が形成された側の面が前記バックライトユニット側となり、凸条が形成されていない側の面が液晶表示装置の視認側となるように配置された、請求項1〜10のいずれかに記載の製造方法で得られたワイヤグリッド型偏光子と、
を有する液晶表示装置。 - 吸収型偏光子をさらに有し、
前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記液晶パネルの一方の表面に配置され、
前記吸収型偏光子が、前記ワイヤグリッド型偏光子が配置された側とは反対側の前記液晶パネルの表面に配置されている、請求項11に記載の液晶表示装置。 - 前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記バックライトユニット側の前記液晶パネルの表面に配置され、
前記吸収型偏光子が、前記バックライトユニット側とは反対側の前記液晶パネルの表面に配置されている、請求項12に記載の液晶表示装置。 - 吸収型偏光子をさらに有し、
前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記液晶パネルの前記一対の基板のうちの一方の基板と一体化され、
前記吸収型偏光子が、前記ワイヤグリッド型偏光子が一体化された側とは反対側の前記液晶パネルの基板の表面に配置されている、請求項11に記載の液晶表示装置。 - 前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記バックライトユニット側の前記液晶パネルの前記基板と一体化され、
前記吸収型偏光子が、前記バックライトユニット側とは反対側の前記液晶パネルの表面に配置されている、請求項14に記載の液晶表示装置。 - 吸収型偏光子をさらに有し、
前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記液晶パネルの前記一対の基板のうちの一方の基板の液晶層側に配置され、
前記吸収型偏光子が、前記ワイヤグリッド型偏光子が配置された側とは反対側の前記液晶パネルの基板の表面に配置されている、請求項11に記載の液晶表示装置。 - 前記ワイヤグリッド型偏光子が、前記液晶パネルの前記一対の基板のうちの前記バックライトユニット側の基板の液晶層側に配置され、
前記吸収型偏光子が、前記バックライトユニット側とは反対側の前記液晶パネルの表面に配置されている、請求項16に記載の液晶表示装置。
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