JP2012078651A - ワイヤグリッド型偏光子および液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】偏光度およびp偏光透過率が高く、裏面s偏光反射率が低いワイヤグリッド型偏光子、および輝度が高く、コントラストの低下が抑えられた液晶表示装置を提供する。
【解決手段】底部から頂部19に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条12が、凸条12間に形成される平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16を被覆する第1の金属層20とを有し、凸条12の高さHpが250〜1000nmであり、凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの第1の金属層20の被覆厚さの最大値Dr1と凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの第1の金属層20の被覆厚さの最大値Da1との比(Dr1/Da1)が1超2.5未満であるワイヤグリッド型偏光子10。
【選択図】図1
【解決手段】底部から頂部19に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条12が、凸条12間に形成される平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16を被覆する第1の金属層20とを有し、凸条12の高さHpが250〜1000nmであり、凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの第1の金属層20の被覆厚さの最大値Dr1と凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの第1の金属層20の被覆厚さの最大値Da1との比(Dr1/Da1)が1超2.5未満であるワイヤグリッド型偏光子10。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワイヤグリッド型偏光子および液晶表示装置に関する。
液晶表示装置等に用いられる、可視光領域で偏光分離能を示す偏光子(偏光分離素子ともいう。)としては、ワイヤグリッド型偏光子がある。
ワイヤグリッド型偏光子は、光透過性基板上に複数の金属細線が互いに平行に配列した構造を有する。金属細線のピッチが入射光の波長よりも充分に短い場合、入射光のうち、金属細線に直交する電場ベクトルを有する成分(すなわちp偏光)は透過し、金属細線と平行な電場ベクトルを有する成分(すなわちs偏光)は反射される。
ワイヤグリッド型偏光子は、光透過性基板上に複数の金属細線が互いに平行に配列した構造を有する。金属細線のピッチが入射光の波長よりも充分に短い場合、入射光のうち、金属細線に直交する電場ベクトルを有する成分(すなわちp偏光)は透過し、金属細線と平行な電場ベクトルを有する成分(すなわちs偏光)は反射される。
バックライトユニットからの入射光のうち、ワイヤグリッド型偏光子に入射せずに反射した光を、バックライトユニットにて再反射させてワイヤグリッド型偏光子に再入射させることによって、光の利用効率を上げることができるため、液晶表示装置の高輝度化を目的としてワイヤグリッド型偏光子のニーズが高まっている。
可視光領域で偏光分離能を示すワイヤグリッド型偏光子としては、下記のものが知られている。
(1)光透過性基板上に所定のピッチで金属細線が形成されたワイヤグリッド型偏光子(特許文献1)。
(2)光透過性基板の表面に所定のピッチで形成された複数の凸条の上面および側面が、金属または金属化合物からなる材料膜で被覆されて金属細線をなしているワイヤグリッド型偏光子(特許文献2)。
(3)表面に複数の凸条が所定のピッチで形成された光透過性基板の凸条に金属の板状体を形成し、金属細線としたワイヤグリッド型偏光子(特許文献4)。
(4)表面に複数の凸条が所定のピッチで形成された光透過性基板の凸条に金属層を形成し、金属細線としたワイヤグリッド型偏光子(特許文献3の図3)。
(1)光透過性基板上に所定のピッチで金属細線が形成されたワイヤグリッド型偏光子(特許文献1)。
(2)光透過性基板の表面に所定のピッチで形成された複数の凸条の上面および側面が、金属または金属化合物からなる材料膜で被覆されて金属細線をなしているワイヤグリッド型偏光子(特許文献2)。
(3)表面に複数の凸条が所定のピッチで形成された光透過性基板の凸条に金属の板状体を形成し、金属細線としたワイヤグリッド型偏光子(特許文献4)。
(4)表面に複数の凸条が所定のピッチで形成された光透過性基板の凸条に金属層を形成し、金属細線としたワイヤグリッド型偏光子(特許文献3の図3)。
しかし、(1)のワイヤグリッド型偏光子は、金属細線をリソグラフィで形成しているため生産性が低い。
(2)、(3)、(4)のワイヤグリッド型偏光子においては、金属細線が形成された面側(以下、表面側と記す。)とは反対側の面側(以下、裏面側と記す。)においてもs偏光の反射が起こる。ワイヤグリッド型偏光子の裏面側には、液晶表示装置であれば、液晶パネルが配置されるため、ワイヤグリッド型偏光子の裏面側で反射したs偏光が液晶パネルに入射すると、液晶パネルで表示される画像のコントラストが低下する。
(2)、(3)、(4)のワイヤグリッド型偏光子においては、金属細線が形成された面側(以下、表面側と記す。)とは反対側の面側(以下、裏面側と記す。)においてもs偏光の反射が起こる。ワイヤグリッド型偏光子の裏面側には、液晶表示装置であれば、液晶パネルが配置されるため、ワイヤグリッド型偏光子の裏面側で反射したs偏光が液晶パネルに入射すると、液晶パネルで表示される画像のコントラストが低下する。
本発明は、偏光度およびp偏光透過率が高く、裏面s偏光反射率が低いワイヤグリッド型偏光子、および輝度が高く、コントラストの低下が抑えられた液晶表示装置を提供する。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、底部から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板と、凸条の少なくとも一方の側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層とを有し、凸条の高さHpが、250〜1000nmであり、凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの金属層の被覆厚さの最大値Dr1と、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの金属層の被覆厚さの最大値Da1との比(Dr1/Da1)が、1超2.5未満であることを特徴とする。
凸条の長さ方向に直交する断面形状は、三角形または台形であることが好ましい。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、凸条の2つの側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層を有し、凸条の各側面における金属層のDr1/Da1が、1超1.5未満であるものであってもよい。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、凸条の2つの側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層を有し、凸条の各側面における金属層のDr1/Da1が、1超1.5未満であるものであってもよい。
本発明の液晶表示装置は、一対の基板間に液晶層を挟持した液晶パネルと、バックライトユニットと、本発明のワイヤグリッド型偏光子とを有することを特徴とする。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、偏光度およびp偏光透過率が高く、裏面s偏光反射率が低い。
本発明の液晶表示装置は、輝度が高く、コントラストの低下が抑えられる。
本発明の液晶表示装置は、輝度が高く、コントラストの低下が抑えられる。
本明細書においては、ワイヤグリッド型偏光子の凸条が形成された側の面を「表面」と記し、凸条が形成されていない側の面を「裏面」と記す。
本明細書における光透過性とは、光を透過することを意味する。
本明細書における「θ±10」は、(θ−10)以上(θ+10)以下の範囲を示す。その他同様の記載においても同じである。
本明細書における「略直交」とは、方向Lと方向V1(または方向V2)のなす角度が85〜95度の範囲にあることを意味する。
本明細書における「蒸着量」とは、凸条に金属層を形成する際に、光透過性基板において凸条が形成されていない平坦な部分に金属または金属化合物を蒸着して形成される金属層の厚さ;または蒸着条件の条件出しの際に平坦な基板(ガラス基板等)の平坦な部分に金属または金属化合物を蒸着して形成される金属層の厚さを意味する。
本明細書における「透過率」、「反射率」は、特に指定のない限り、測定波長550nmでの値とする。
本明細書における光透過性とは、光を透過することを意味する。
本明細書における「θ±10」は、(θ−10)以上(θ+10)以下の範囲を示す。その他同様の記載においても同じである。
本明細書における「略直交」とは、方向Lと方向V1(または方向V2)のなす角度が85〜95度の範囲にあることを意味する。
本明細書における「蒸着量」とは、凸条に金属層を形成する際に、光透過性基板において凸条が形成されていない平坦な部分に金属または金属化合物を蒸着して形成される金属層の厚さ;または蒸着条件の条件出しの際に平坦な基板(ガラス基板等)の平坦な部分に金属または金属化合物を蒸着して形成される金属層の厚さを意味する。
本明細書における「透過率」、「反射率」は、特に指定のない限り、測定波長550nmでの値とする。
<ワイヤグリッド型偏光子>
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、底部から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板と、凸条の少なくとも一方の側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層とを有し、金属層が、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さくされたものである。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、底部から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板と、凸条の少なくとも一方の側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層とを有し、金属層が、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さくされたものである。
(光透過性基板)
光透過性基板は、ワイヤグリッド型偏光子の使用波長範囲において光透過性を有する基板である。光透過性とは、光を透過することを意味し、使用波長範囲は、具体的には、400nm〜800nmの範囲である。
光透過性基板は、ワイヤグリッド型偏光子の使用波長範囲において光透過性を有する基板である。光透過性とは、光を透過することを意味し、使用波長範囲は、具体的には、400nm〜800nmの範囲である。
凸条は、光透過性基板の主表面(平坦部)から立ち上がり、かつその立ち上がりが一方向に伸びている部分である。凸条は光透過性基板の主表面と一体で光透過性基板の表面部分と同じ材料からなっていてもよく、光透過性基板の主表面部分と異なる光透過性材料からなっていてもよい。凸条は光透過性基板の主表面と一体で、かつ光透過性基板の主表面部分と同じ材料からなっていることが好ましく、光透過性基板の少なくとも主表面部分を成形することにより形成された凸条であることが好ましい。
複数の凸条は、凸条毎の対応する側面が実質的に平行に形成されていればよく、完全に平行に形成されてなくてもよい。また、各凸条は、面内において光学的な異方性を最も発現しやすい直線が好ましいが、隣接する凸条が接触しない範囲で曲線または折れ線であってもよい。
凸条は、その長さ方向と光透過性基板の主表面とに直交する方向の断面の形状が長さ方向にわたってほぼ一定であり、複数の凸条においてもそれらの断面形状はすべてほぼ一定であることが好ましい。凸条の断面形状は、底部(光透過性基板の主表面)から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる形状である。凸条が矩形状である場合に比べて、金属層を形成した後の凸条の間隔を充分に確保でき、p偏光の高透過率を実現できる。具体的な断面形状としては、たとえば、三角形、台形等が挙げられる。該断面形状は、角や辺(側面)が曲線状であってもよい。
凸条の頂部は、前記断面形状の最も高い部分が長さ方向に連なった部分である。凸条の頂部は面であっても線であってもよい。たとえば、断面形状が台形の場合には頂部は面をなし、断面形状が三角形の場合には頂部は線をなす。本発明において、凸条の頂部以外の表面を凸条の側面という。なお、隣接する2つの凸条間の面(隣接する2つの凸条から形成される溝の平坦部)は凸条の表面ではなく、光透過性基板の主表面とみなす。
光透過性基板の材料としては、光硬化樹脂、熱可塑性樹脂、ガラス等が挙げられ、後述するインプリント法にて凸条を形成できる点から、光硬化樹脂または熱可塑性樹脂が好ましく、光インプリント法にて凸条を形成できる点および耐熱性および耐久性に優れる点から、光硬化樹脂が特に好ましい。光硬化樹脂としては、生産性の点から、光ラジカル重合により光硬化しうる光硬化性組成物を光硬化して得られる光硬化樹脂が好ましい。
光硬化性組成物としては、光硬化後の硬化膜の水に対する接触角が90°以上となるものが好ましい。該硬化膜の水に対する接触角が90°以上であれば、光インプリント法により凸条を形成する際、モールドとの離型性がよくなり、精度の高い転写が可能となり、得られるワイヤグリッド型偏光子が目的とする性能を充分に発揮できる。また、該接触角が高くても金属層の付着には支障がない。
(金属細線)
凸条に存在する金属層は、凸条の長さ方向に延びる線状をなしており、ワイヤグリッド型偏光子を構成する金属細線に相当する。
金属層は、凸条の少なくとも一方の側面を被覆し、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。凸条の高さHpの半分の位置から頂部までを被覆する金属層が表面s偏光反射率の向上に寄与し、凸条の高さの半分の位置から底部までを被覆する金属層が裏面s偏光反射率の低下に寄与すると考えられる。
凸条に存在する金属層は、凸条の長さ方向に延びる線状をなしており、ワイヤグリッド型偏光子を構成する金属細線に相当する。
金属層は、凸条の少なくとも一方の側面を被覆し、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。凸条の高さHpの半分の位置から頂部までを被覆する金属層が表面s偏光反射率の向上に寄与し、凸条の高さの半分の位置から底部までを被覆する金属層が裏面s偏光反射率の低下に寄与すると考えられる。
金属層は、裏面s偏光反射率がより低くなる点から、凸条の少なくとも一方の側面の全部を被覆することが好ましい。
金属層は、凸条の頂部の一部もしくは全部を被覆してもよい。また、金属層は、凸条の少なくとも一方の側面に隣接する平坦部の一部を被覆してもよい。
金属層は、s偏光の透過率が抑制され、偏光度を向上できる点から、凸条の2つの側面を被覆し、かつ2つの側面において凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さくされていることが好ましい。
金属層は、凸条の頂部の一部もしくは全部を被覆してもよい。また、金属層は、凸条の少なくとも一方の側面に隣接する平坦部の一部を被覆してもよい。
金属層は、s偏光の透過率が抑制され、偏光度を向上できる点から、凸条の2つの側面を被覆し、かつ2つの側面において凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さくされていることが好ましい。
凸条の側面を被覆する金属層は、連続しているのが通例である。凸条の少なくとも一方の側面は、金属層によって連続的に被覆されていることが好ましいが、製造上の問題等によりごく一部の側面が金属層によって被覆されない場合もある。該場合であっても、少なくとも一方の側面が金属層によってほぼ連続的に被覆されていれば、少なくとも一方の側面が金属層によって連続的に被覆されているとみなす。
金属層の材料は、充分な導電性を有する金属材料であればよく、耐蝕性等の特性も考慮された材料が好ましい。金属材料としては、金属または金属化合物が挙げられる。
金属層の材料としては、可視光に対する反射率が高く、可視光の吸収が少なく、かつ高い導電率を有する点から、アルミニウム、アルミニウム系合金、銀、クロム、マグネシウムが好ましく、アルミニウム、アルミニウム系合金が特に好ましい。
金属層の材料としては、可視光に対する反射率が高く、可視光の吸収が少なく、かつ高い導電率を有する点から、アルミニウム、アルミニウム系合金、銀、クロム、マグネシウムが好ましく、アルミニウム、アルミニウム系合金が特に好ましい。
<ワイヤグリッド型偏光子の製造方法>
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、表面に複数の凸条が互いに平行にかつ所定のピッチPpで形成された光透過性基板を作製した後、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい金属層を形成することによって製造される。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、表面に複数の凸条が互いに平行にかつ所定のピッチPpで形成された光透過性基板を作製した後、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい金属層を形成することによって製造される。
(光透過性基板の作製)
光透過性基板の作製方法としては、インプリント法(光インプリント法または熱インプリント法)、リソグラフィ法等が挙げられ、凸条を生産性よく形成できる点および光透過性基板を大面積化できる点から、インプリント法が好ましく、凸条をより生産性よく形成できる点およびモールドの溝を精度よく転写できる点から、光インプリント法が特に好ましい。
光透過性基板の作製方法としては、インプリント法(光インプリント法または熱インプリント法)、リソグラフィ法等が挙げられ、凸条を生産性よく形成できる点および光透過性基板を大面積化できる点から、インプリント法が好ましく、凸条をより生産性よく形成できる点およびモールドの溝を精度よく転写できる点から、光インプリント法が特に好ましい。
光インプリント法は、たとえば、電子線描画とエッチングとの組み合わせにより、複数の溝が互いに平行にかつ所定のピッチで形成されたモールドを作製し、該モールドの溝を、任意の基材の表面に塗布された光硬化性組成物に転写し、同時に該光硬化性組成物を光硬化させる方法である。
光インプリント法による光透過性基板の作製は、具体的には下記の工程(i)〜(iv)を経て行われることが好ましい。
(i)光硬化性組成物を基材の表面に塗布する工程。
(ii)複数の溝が互いに平行にかつ所定のピッチで形成されたモールドを、溝が光硬化性組成物に接するように、光硬化性組成物に押しつける工程。
(iii)モールドを光硬化性組成物に押しつけた状態で放射線(紫外線、電子線等)を照射して光硬化性組成物を硬化させて、モールドの溝に対応する複数の凸条を有する光透過性基板を作製する工程。
(iv)光透過性基板からモールドを分離する工程。
なお、得られた、基材上の光透過性基板は、基材と一体のまま後述の金属層の形成を行うことができる。また必要により金属層の形成後に光透過性基板と基材を分離することができる。さらに、基材上に作製された光透過性基板を基材から分離した後、後述の金属層の形成を行うことができる。
(i)光硬化性組成物を基材の表面に塗布する工程。
(ii)複数の溝が互いに平行にかつ所定のピッチで形成されたモールドを、溝が光硬化性組成物に接するように、光硬化性組成物に押しつける工程。
(iii)モールドを光硬化性組成物に押しつけた状態で放射線(紫外線、電子線等)を照射して光硬化性組成物を硬化させて、モールドの溝に対応する複数の凸条を有する光透過性基板を作製する工程。
(iv)光透過性基板からモールドを分離する工程。
なお、得られた、基材上の光透過性基板は、基材と一体のまま後述の金属層の形成を行うことができる。また必要により金属層の形成後に光透過性基板と基材を分離することができる。さらに、基材上に作製された光透過性基板を基材から分離した後、後述の金属層の形成を行うことができる。
熱インプリント法による光透過性基板の作製は、具体的には下記の工程(i)〜(iii)を経て行われることが好ましい。
(i)基材の表面に熱可塑性樹脂の被転写膜を形成する工程、または熱可塑性樹脂の被転写フィルムを作製する工程。
(ii)複数の溝が互いに平行にかつ一定のピッチで形成されたモールドを、溝が被転写膜または被転写フィルムに接するように、熱可塑性樹脂のガラス転移温度(Tg)または融点(Tm)以上に加熱した被転写膜または被転写フィルムに押しつけ、モールドの溝に対応する複数の凸条を有する光透過性基板を作製する工程。
(iii)光透過性基板をTgまたはTmより低い温度に冷却して光透過性基板からモールドを分離する工程。
なお、得られた、基材上の光透過性基板は、基材と一体のまま後述の金属層の形成を行うことができる。また必要により金属層の形成後に光透過性基板と基材を分離することができる。さらに、基材上に作製された光透過性基板を基材から分離した後、後述の金属層の形成を行うことができる。
(i)基材の表面に熱可塑性樹脂の被転写膜を形成する工程、または熱可塑性樹脂の被転写フィルムを作製する工程。
(ii)複数の溝が互いに平行にかつ一定のピッチで形成されたモールドを、溝が被転写膜または被転写フィルムに接するように、熱可塑性樹脂のガラス転移温度(Tg)または融点(Tm)以上に加熱した被転写膜または被転写フィルムに押しつけ、モールドの溝に対応する複数の凸条を有する光透過性基板を作製する工程。
(iii)光透過性基板をTgまたはTmより低い温度に冷却して光透過性基板からモールドを分離する工程。
なお、得られた、基材上の光透過性基板は、基材と一体のまま後述の金属層の形成を行うことができる。また必要により金属層の形成後に光透過性基板と基材を分離することができる。さらに、基材上に作製された光透過性基板を基材から分離した後、後述の金属層の形成を行うことができる。
インプリント法に用いられるモールドの材料としては、シリコン、ニッケル、石英、樹脂等が挙げられ、転写精度の点から、樹脂が好ましい。樹脂としては、フッ素系樹脂(エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体等)、環状オレフィン、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等が挙げられる、モールドの精度の点から、光硬化性のアクリル樹脂が好ましい。樹脂モールドは、転写の繰り返し耐久性の点から、表面に厚さ2〜10nmの無機膜を有することが好ましい。無機膜としては、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム等の酸化膜が好ましい。
(金属層の形成)
金属層は、蒸着法で形成されることが好ましい。蒸着法としては、物理蒸着法(PVD)または化学蒸着法(CVD)が挙げられ、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法が好ましく、真空蒸着法が特に好ましい。真空蒸着法は、付着させる微粒子の光透過性基板に対する入射方向を制御することが容易であり、後述の斜方蒸着法を行うことが容易である。金属層の形成は、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さくなるように選択的に金属または金属化合物を蒸着して形成する必要があるため、蒸着法としては、真空蒸着法による斜方蒸着法が最も好ましい。
金属層は、蒸着法で形成されることが好ましい。蒸着法としては、物理蒸着法(PVD)または化学蒸着法(CVD)が挙げられ、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法が好ましく、真空蒸着法が特に好ましい。真空蒸着法は、付着させる微粒子の光透過性基板に対する入射方向を制御することが容易であり、後述の斜方蒸着法を行うことが容易である。金属層の形成は、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さくなるように選択的に金属または金属化合物を蒸着して形成する必要があるため、蒸着法としては、真空蒸着法による斜方蒸着法が最も好ましい。
具体的には、凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(a)を満たす角度θR 1(°)をなす方向から金属または金属化合物を蒸着する工程(1R1)と、工程(1R1)の後、凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(b)を満たす角度θR 2(°)をなす方向から金属または金属化合物を、工程(1R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(1R2)を採用することにより、目的の金属層を形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
また、凸条の2つの側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層を形成する場合には、凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(c)を満たす角度θR 1(°)をなす方向から金属または金属化合物を蒸着する工程(2R1)と、凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ凸条の高さ方向に対して第2の側面の側に下式(d)を満たす角度θL 1(°)をなす方向から金属または金属化合物を蒸着する工程(2L1)と、工程(2R1)の後、凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ凸条の高さ方向に対して第1の側面の側に下式(e)を満たす角度θR 2(°)をなす方向から金属または金属化合物を、工程(2R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(2R2)と、工程(2L1)の後、凸条の長さ方向に対して略直交し、かつ凸条の高さ方向に対して第2の側面の側に下式(f)を満たす角度θL 2(°)をなす方向から金属または金属化合物を、工程(2L1)より多い蒸着量となる条件で蒸着して金属層を形成する工程(2L2)を採用することにより、目的の金属層を形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)、
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)、
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)、
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)、
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)、
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
ただし、Ppは凸条間のピッチであり、Dpbは凸条の底部の幅であり、Hpは凸条の高さである。
<ワイヤグリッド型偏光子の実施形態>
以下、本発明のワイヤグリッド型偏光子の実施形態を、図を用いて説明する。以下の図は模式図であり、実際のワイヤグリッド型偏光子は、図示したような理論的かつ理想的形状を有するものではない。たとえば、実際のワイヤグリッド型偏光子においては、凸条等の形状の崩れが多少あり、金属層の厚さの不均一も少なからず生じている。
なお、本発明における凸条および金属層の各寸法は、ワイヤグリッド型偏光子の断面の走査型電子顕微鏡像または透過型電子顕微鏡像において、5つ凸条および該凸条上の金属層における各寸法を測定し、5つの値を平均したものとする。
以下、本発明のワイヤグリッド型偏光子の実施形態を、図を用いて説明する。以下の図は模式図であり、実際のワイヤグリッド型偏光子は、図示したような理論的かつ理想的形状を有するものではない。たとえば、実際のワイヤグリッド型偏光子においては、凸条等の形状の崩れが多少あり、金属層の厚さの不均一も少なからず生じている。
なお、本発明における凸条および金属層の各寸法は、ワイヤグリッド型偏光子の断面の走査型電子顕微鏡像または透過型電子顕微鏡像において、5つ凸条および該凸条上の金属層における各寸法を測定し、5つの値を平均したものとする。
〔第1の実施形態〕
図1は、本発明のワイヤグリッド型偏光子の第1の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第1の金属層20とを有する。
図1は、本発明のワイヤグリッド型偏光子の第1の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第1の金属層20とを有する。
第1の金属層20は、下層21および上層22からなり、凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。
第1の金属層20は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第1の金属層20は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
(光透過性基板)
Ppは、凸条12の底部の幅Dpbと、凸条12間に形成される平坦部13の幅との合計である。Ppは、300nm以下が好ましく、50〜250nmがより好ましい。Ppが300nm以下であれば、高い表面s偏光反射率を示し、かつ400nm程度の短波長領域においても高い偏光度を示す。また、回折による着色現象が抑えられる。また、Ppが50〜200nmであれば、蒸着によって各層を形成しやすい。
Ppは、凸条12の底部の幅Dpbと、凸条12間に形成される平坦部13の幅との合計である。Ppは、300nm以下が好ましく、50〜250nmがより好ましい。Ppが300nm以下であれば、高い表面s偏光反射率を示し、かつ400nm程度の短波長領域においても高い偏光度を示す。また、回折による着色現象が抑えられる。また、Ppが50〜200nmであれば、蒸着によって各層を形成しやすい。
DpbとPpの比(Dpb/Pp)は、0.1〜0.7が好ましく、0.25〜0.55がより好ましい。Dpb/Ppが0.1以上であれば、高い偏光度を示す。Dpb/Ppを0.7以下とすることにより、干渉による透過光の着色が抑えられる。
Dpbは、蒸着によって各層を形成しやすい点から、30〜100nmが好ましい。
Dpbは、蒸着によって各層を形成しやすい点から、30〜100nmが好ましい。
凸条12の頂部19の幅Dptは、Dpbの半分以下が好ましく、40nm以下がより好ましく、20nm以下がさらに好ましい。DptがDpbの半分以下であれば、p偏光透過率がより高くなり、角度依存性が充分に低くなる。
凸条12の高さHpは、250〜1000nmであり、250〜700nmが好ましく、250〜500nmがより好ましい。Hpが250nm以上であれば、p偏光透過率を低下させることなく、偏光度を充分に高くできる。Hpが1000nm以下であれば、凸条12を形成しやすい。
第1の側面16の傾斜角θ1および第2の側面18の傾斜角θ2は、30〜80°が好ましい。θ1とθ2は、同じであってもよく、異なってもよい。
光透過性基板14の厚さHsは、0.5〜1000μmが好ましく、1〜40μmがより好ましい。
光透過性基板14の厚さHsは、0.5〜1000μmが好ましく、1〜40μmがより好ましい。
(第1の金属層)
第1の金属層20の、凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19まで(凸条12の上半分)の被覆厚さ(凸条12の幅方向の厚さ)の最大値Dr1は、20〜80nmが好ましく、20〜75nmがより好ましい。Dr1が20nm以上であれば、表面s偏光反射率が充分に高くなる。Dr1が80nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
第1の金属層20の、凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19まで(凸条12の上半分)の被覆厚さ(凸条12の幅方向の厚さ)の最大値Dr1は、20〜80nmが好ましく、20〜75nmがより好ましい。Dr1が20nm以上であれば、表面s偏光反射率が充分に高くなる。Dr1が80nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
第1の金属層20の、凸条12の高さHpの半分の位置から底部まで(凸条12の下半分)の被覆厚さ(凸条12の幅方向の厚さ)の最大値Da1は、4〜40nmが好ましく、10〜40nmがより好ましい。Da1が4nm以上であれば、裏面s偏光反射率が充分に低くなる。Da1が40nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19まで(凸条12の上半分)の被覆厚さの最大値Dr1は、下式(m)を満足することが好ましい。
0.2×(Pp−Dpb)≦Dr1≦0.5×(Pp−Dpb) ・・・(m)。
Dr1が0.2×(Pp−Dpb)以上であれば、s偏光透過率が低くなって偏光分離能が充分に高くなり、かつ波長分散が小さい。Dr1が0.5×(Pp−Dpb)以下であれば、高いp偏光透過率を示す。
0.2×(Pp−Dpb)≦Dr1≦0.5×(Pp−Dpb) ・・・(m)。
Dr1が0.2×(Pp−Dpb)以上であれば、s偏光透過率が低くなって偏光分離能が充分に高くなり、かつ波長分散が小さい。Dr1が0.5×(Pp−Dpb)以下であれば、高いp偏光透過率を示す。
凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19まで(凸条12の上半分)の被覆厚さの最大値Dr1と凸条12の高さHpの半分の位置から底部まで(凸条12の下半分)の被覆厚さの最大値Da1との比(Dr1/Da1)は、1超2.5未満であり、1超2.45以下が好ましく、1超2.4以下がより好ましい。Dr1/Da1が1超であれば、表面s偏光反射率が高くなる。Dr1/Da1が2.5未満であれば、裏面s偏光反射率が低くなり、高いp偏光透過率を示す。
凸条12の頂部19より下方(光透過性基板14側)に位置する第1の金属層20の高さH2に関して、H2/Hpは、0.8〜1が好ましく、0.9〜1がより好ましい。H2/Hpが1以下であれば、偏光分離能が向上する。H2/Hpが0.8以上であれば、裏面s偏光反射率が十分に低くなる。
凸条12の頂部19より上方(光透過性基板14と逆側)に位置する第1の金属層20の高さH1に関して、H1/Hpは、0.05〜0.7が好ましく、0.1〜0.5がより好ましい。H1/Hpが0.7以下であれば、裏面s偏光反射率が十分に低くなる。H1/Hpが0.05以上であれば、表面s偏光反射率が充分に高くなる。
〔第2の実施形態〕
図2は、本発明のワイヤグリッド型偏光子の第2の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第1の金属層20と、凸条12の第2の側面18を被覆する、金属または金属化合物からなる第2の金属層25とを有する。
図2は、本発明のワイヤグリッド型偏光子の第2の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第1の金属層20と、凸条12の第2の側面18を被覆する、金属または金属化合物からなる第2の金属層25とを有する。
金属層は、第1の金属層20および第2の金属層25からなる。
第1の金属層20は、下層21および上層22からなり、凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。
金属層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第2の実施形態は、第1の実施形態よりも裏面s偏光反射率が低くなる。
第2の実施形態において、第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
第1の金属層20は、下層21および上層22からなり、凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。
金属層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第2の実施形態は、第1の実施形態よりも裏面s偏光反射率が低くなる。
第2の実施形態において、第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
(第2の金属層)
第2の金属層25の、凸条12の幅方向の厚さの最大値Da2は、4〜25nmが好ましく、5〜22nmがより好ましい。Da2が4nm以上であれば、裏面s偏光反射率が充分に低くなる。Da2が25nm以下であれば、p偏光透過率が十分高くなる。
第2の金属層25の、凸条12の幅方向の厚さの最大値Da2は、4〜25nmが好ましく、5〜22nmがより好ましい。Da2が4nm以上であれば、裏面s偏光反射率が充分に低くなる。Da2が25nm以下であれば、p偏光透過率が十分高くなる。
凸条12の頂部19より下方に位置する第2の金属層26の高さH3に関して、H3/Hpは、0.8〜1が好ましく、0.9〜1がより好ましい。H3/Hpが1以下であれば、偏光分離能が向上する。H3/Hpが0.8以上であれば、裏面s偏光反射率が充分に低くなる。
〔第3の実施形態〕
図3は、本発明のワイヤグリッド型偏光子の第3の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第1の金属層20と、凸条12の第2の側面18および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第2の金属層25とを有する。
図3は、本発明のワイヤグリッド型偏光子の第3の実施形態を示す斜視図である。ワイヤグリッド型偏光子10は、断面形状が台形である複数の凸条12が、該凸条12間に形成される溝の平坦部13を介して互いに平行にかつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板14と、凸条12の第1の側面16および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第1の金属層20と、凸条12の第2の側面18および頂部19を被覆する、金属または金属化合物からなる第2の金属層25とを有する。
金属層は、第1の金属層20および第2の金属層25からなる。
第1の金属層20は、下層21および上層22からなり、凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。
第2の金属層25は、下層26および上層27からなり、凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。
金属層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第3の実施形態は、第1〜2の実施形態よりも裏面s偏光反射率が低くなる。
第3の実施形態においては、第1〜2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
第1の金属層20は、下層21および上層22からなり、凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。
第2の金属層25は、下層26および上層27からなり、凸条12の高さHpの半分の位置から底部までの被覆厚さの最大値Da1が凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19までの被覆厚さの最大値Dr1よりも小さい。
金属層は、凸条12の長さ方向に伸びて金属細線を構成する。
第3の実施形態は、第1〜2の実施形態よりも裏面s偏光反射率が低くなる。
第3の実施形態においては、第1〜2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
(第1の金属層)
第1の金属層20の、凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19まで(凸条12の上半分)の被覆厚さ(凸条12の幅方向の厚さ)の最大値Dr1は、50nm以下が好ましく、10〜45nmがより好ましく、15〜35nmがさらに好ましい。Dr1が10nm以上であれば、表面s偏光反射率が充分に高くなる。Dr1が50nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
第1の金属層20の、凸条12の高さHpの半分の位置から頂部19まで(凸条12の上半分)の被覆厚さ(凸条12の幅方向の厚さ)の最大値Dr1は、50nm以下が好ましく、10〜45nmがより好ましく、15〜35nmがさらに好ましい。Dr1が10nm以上であれば、表面s偏光反射率が充分に高くなる。Dr1が50nm以下であれば、p偏光透過率が充分に高くなる。
第1の金属層20の、凸条12の高さHpの半分の位置から底部まで(凸条12の下半分)の被覆厚さ(凸条12の幅方向の厚さ)の最大値Da1について好ましい態様は、第1の実施形態と同様である。
凸条12の高さの半分の位置から頂部19まで(凸条12の上半分)の被覆厚さの最大値Dr1と凸条12の高さの半分の位置から底部まで(凸条12の下半分)の被覆厚さの最大値Da1との比(Dr1/Da1)は、1超1.5未満であり、1超1.45以下が好ましく、1超1.4以下がより好ましい。Dr1/Da1が1超であれば偏光分離能が充分に高くなり、かつ波長分散が小さい。Dr1/Da1が1.5未満であれば高いp偏光透過率を示す。
(第2の金属層)
第2の金属層25の好ましい態様は、第1の金属層20の好ましい態様と同様である。
第2の金属層25の好ましい態様は、第1の金属層20の好ましい態様と同様である。
<各実施形態のワイヤグリッド型偏光子の製造方法>
〔第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子の製造方法〕
第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、光透過性基板14の凸条12の第1の側面16の表面に下層21を形成する工程(1R1)と、工程(1R1)の後、凸条12の第1の側面16の表面および/または下層21の表面に上層22を形成する工程(1R2)とを実施することによって製造できる。
〔第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子の製造方法〕
第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、光透過性基板14の凸条12の第1の側面16の表面に下層21を形成する工程(1R1)と、工程(1R1)の後、凸条12の第1の側面16の表面および/または下層21の表面に上層22を形成する工程(1R2)とを実施することによって製造できる。
蒸着源としては、金属材料(アルミニウム、銀、マグネシウム、アルミニウム系合金、銀系合金等。)が挙げられ、可視光に対する反射率が高く、可視光の吸収が少なく、かつ高い導電率を有する点から、アルミニウム、アルミニウム系合金、銀、マグネシウムが好ましく、アルミニウム、アルミニウム系合金が特に好ましい。
(下層の形成)
下層21は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(a)を満たす角度θR 1(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を蒸着する工程(1R1)を実施することにより形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)。
角度θR 1(°)は、tan(θR 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θR 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
下層21は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(a)を満たす角度θR 1(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を蒸着する工程(1R1)を実施することにより形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(a)。
角度θR 1(°)は、tan(θR 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θR 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
蒸着は、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行うのが好ましく、5〜22nmとなる条件で行うのがより好ましい。トータルの蒸着量が4〜25nmとなる条件で、式(a)を満たす範囲で角度θR 1(°)を連続的に変化させて蒸着を行ってもよい。角度θR 1(°)を連続的に変化させる場合、角度を小さくする方向に変化させることが好ましい。
蒸着量が4〜25nmとなる条件とは、凸条に金属層を形成する際に、凸条が形成されていない領域(平坦な平板部分)の表面に金属または金属化合物を蒸着して形成される金属層の厚さtが4〜25nmとなるような条件である。
蒸着量が4〜25nmとなる条件とは、凸条に金属層を形成する際に、凸条が形成されていない領域(平坦な平板部分)の表面に金属または金属化合物を蒸着して形成される金属層の厚さtが4〜25nmとなるような条件である。
(上層の形成)
上層22は、工程(1R1)の後、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(b)を満たす角度θR 2(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を、工程(1R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(1R2)を実施することにより形成できる。
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
角度θR 2(°)は、θR 1+6≦θR 2≦θR 1+25を満たすことが好ましく、θR 1+10≦θR 2≦θR 1+20を満たすことがより好ましい。
上層22は、工程(1R1)の後、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(b)を満たす角度θR 2(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を、工程(1R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(1R2)を実施することにより形成できる。
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+30 ・・・(b)。
角度θR 2(°)は、θR 1+6≦θR 2≦θR 1+25を満たすことが好ましく、θR 1+10≦θR 2≦θR 1+20を満たすことがより好ましい。
蒸着は、工程(1R1)より多い蒸着量となる条件かつ蒸着量が25〜90nmとなる条件で行うのが好ましく、30〜70nmとなる条件で行うのがより好ましい。トータルの蒸着量が25〜90nmとなる条件で、式(b)を満たす範囲で角度θR 2(°)を連続的に変化させて蒸着を行ってもよい。角度θR 2(°)を連続的に変化させる場合、角度を小さくする方向に変化させることが好ましい。
〔第2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子の製造方法〕
第2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、第1の実施形態の製造方法に、下記の工程を加えることによって製造できる。
任意の段階で、光透過性基板14の凸条12の第2の側面18の表面に第2の金属層25を形成する工程(1L1)。
該工程は、工程(1R1)と工程(1R2)の間に行うことが好ましい。
第2の実施形態の製造方法において、第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
第2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、第1の実施形態の製造方法に、下記の工程を加えることによって製造できる。
任意の段階で、光透過性基板14の凸条12の第2の側面18の表面に第2の金属層25を形成する工程(1L1)。
該工程は、工程(1R1)と工程(1R2)の間に行うことが好ましい。
第2の実施形態の製造方法において、第1の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
(第2の金属層の形成)
第2の金属層25は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(g)を満たす角度θL 1(°)をなす方向V2から金属または金属化合物を蒸着する工程(1L1)を実施することにより形成するのが好ましい。
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(g)。
角度θL 1(°)は、tan(θL 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましい。
第2の金属層25は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(g)を満たす角度θL 1(°)をなす方向V2から金属または金属化合物を蒸着する工程(1L1)を実施することにより形成するのが好ましい。
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(g)。
角度θL 1(°)は、tan(θL 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましい。
蒸着は、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行うのが好ましく、5〜22nmとなる条件で行うのがより好ましい。トータルの蒸着量が4〜25nmとなる条件で、式(g)を満たす範囲で角度θL 1(°)を連続的に変化させて蒸着を行ってもよい。
〔第3の実施形態のワイヤグリッド型偏光子の製造方法〕
第3の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、光透過性基板14の凸条12の第1の側面16の表面に下層21を形成する工程(2R1)と、光透過性基板14の凸条12の第2の側面18の表面に下層26を形成する工程(2L1)と、工程(2R1)の後、凸条12の第1の側面16の表面および/または下層21の表面に上層22を形成する工程(2R2)と、工程(2L1)の後、凸条12の第2の側面18の表面および/または下層26の表面に上層27を形成する工程(2L2)とを実施することによって製造できる。
工程(2R1)、工程(2L1)、工程(2R2)、工程(2L2)の順に行うのが好ましく、工程(2R1)、工程(2R2)、工程(2L1)、工程(2L2)の順に行ってもよく、工程(2R1)、工程(2L1)、工程(2L2)、工程(2R2)の順に行ってもよい。
第3の実施形態において、第1および第2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
第3の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10は、光透過性基板14の凸条12の第1の側面16の表面に下層21を形成する工程(2R1)と、光透過性基板14の凸条12の第2の側面18の表面に下層26を形成する工程(2L1)と、工程(2R1)の後、凸条12の第1の側面16の表面および/または下層21の表面に上層22を形成する工程(2R2)と、工程(2L1)の後、凸条12の第2の側面18の表面および/または下層26の表面に上層27を形成する工程(2L2)とを実施することによって製造できる。
工程(2R1)、工程(2L1)、工程(2R2)、工程(2L2)の順に行うのが好ましく、工程(2R1)、工程(2R2)、工程(2L1)、工程(2L2)の順に行ってもよく、工程(2R1)、工程(2L1)、工程(2L2)、工程(2R2)の順に行ってもよい。
第3の実施形態において、第1および第2の実施形態のワイヤグリッド型偏光子10と同じ構成については、説明を省略する。
(第1の金属層の下層の形成)
下層21は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(c)を満たす角度θR 1(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を蒸着する工程(2R1)を実施することにより形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)。
角度θR 1(°)は、tan(θR 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θR 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
下層21は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(c)を満たす角度θR 1(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を蒸着する工程(2R1)を実施することにより形成できる。
tan(θR 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(c)。
角度θR 1(°)は、tan(θR 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θR 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
蒸着は、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行うのが好ましく、5〜22nmとなる条件で行うのがより好ましい。トータルの蒸着量が4〜25nmとなる条件で、式(c)を満たす範囲で角度θR 1(°)を連続的に変化させて蒸着を行ってもよい。角度θR 1(°)を連続的に変化させる場合、角度を小さくする方向に変化させることが好ましい。
(第2の金属層の下層の形成)
下層26は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(d)を満たす角度θL 1(°)をなす方向V2から金属または金属化合物を蒸着する工程(2L1)を実施することにより形成できる。
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)。
角度θL 1(°)は、tan(θL 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θL 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
下層26は、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(d)を満たす角度θL 1(°)をなす方向V2から金属または金属化合物を蒸着する工程(2L1)を実施することにより形成できる。
tan(θL 1±10)=(Pp−Dpb/2)/Hp ・・・(d)。
角度θL 1(°)は、tan(θL 1±7)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことが好ましく、tan(θL 1±5)=(Pp−Dpb/2)/Hpを満たすことがより好ましい。
蒸着は、蒸着量が4〜25nmとなる条件で行うのが好ましく、5〜22nmとなる条件で行うのがより好ましい。トータルの蒸着量が4〜25nmとなる条件で、式(d)を満たす範囲で角度θL 1(°)を連続的に変化させて蒸着を行ってもよい。工程(2R1)の後に工程(2L1)を行い、かつ角度θL 1(°)を連続的に変化させる場合は、角度を大きくする方向に変化させることが好ましい。
(第1の金属層の上層の形成)
上層22は、工程(2R1)の後、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(e)を満たす角度θR 2(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を、工程(2R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(2R2)を実施することにより形成できる。
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)。
角度θR 2(°)は、θR 1+8≦θR 2≦θR 1+18を満たすことが好ましく、θR 1+10≦θR 2≦θR 1+15を満たすことが好ましい。
上層22は、工程(2R1)の後、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16の側に下式(e)を満たす角度θR 2(°)をなす方向V1から金属または金属化合物を、工程(2R1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(2R2)を実施することにより形成できる。
θR 1+3≦θR 2≦θR 1+20 ・・・(e)。
角度θR 2(°)は、θR 1+8≦θR 2≦θR 1+18を満たすことが好ましく、θR 1+10≦θR 2≦θR 1+15を満たすことが好ましい。
蒸着は、工程(2R1)より多い蒸着量となる条件かつ蒸着量が10〜25nmとなる条件で行うのが好ましく、15〜20nmとなる条件で行うのがより好ましい。トータルの蒸着量が10〜25nmとなる条件で、式(e)を満たす範囲で角度θR 2(°)を連続的に変化させて蒸着を行ってもよい。工程(2R2)の後に、後述する工程(2L2)を行い、かつ角度θR 2(°)を連続的に変化させる場合、角度を小さくする方向に変化させることが好ましい。
(第2の金属層の上層の形成)
上層27は、工程(2L1)の後、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(f)を満たす角度θL 2(°)をなす方向V2から金属または金属化合物を、工程(2L1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(2L2)を実施することにより形成できる。
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
角度θL 2(°)は、θL 1+3≦θL 2≦θL 1+18を満たすことが好ましく、θL 1+5≦θL 2≦θL 1+15を満たすことが好ましい。
上層27は、工程(2L1)の後、図4に示すように、凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第2の側面18の側に下式(f)を満たす角度θL 2(°)をなす方向V2から金属または金属化合物を、工程(2L1)より多い蒸着量となる条件で蒸着する工程(2L2)を実施することにより形成できる。
θL 1+1≦θL 2≦θL 1+20 ・・・(f)。
角度θL 2(°)は、θL 1+3≦θL 2≦θL 1+18を満たすことが好ましく、θL 1+5≦θL 2≦θL 1+15を満たすことが好ましい。
蒸着は、工程(2L1)より多い蒸着量となる条件かつ蒸着量が10〜25nmとなる条件で行うのが好ましく、15〜20nmとなる条件で行うのがより好ましい。トータルの蒸着量が10〜25nmとなる条件で、式(f)を満たす範囲で角度θL 2(°)を連続的に変化させて蒸着を行ってもよい。工程(2R2)の後に工程(2L2)を行い、角度θL 2(°)を連続的に変化させる場合は、角度を大きくする方向に変化させることが好ましい。
第1〜3の実施形態の製造方法における角度θR(θL)は、たとえば、下記の蒸着装置を用いることによって調整できる。
凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16(第2の側面18)の側に角度θR(θL)をなす方向V1(V2)の延長線上に蒸着源が位置するように、蒸着源に対向して配置された光透過性基板14の傾きを変更できる蒸着装置。
凸条12の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条12の高さ方向Hに対して第1の側面16(第2の側面18)の側に角度θR(θL)をなす方向V1(V2)の延長線上に蒸着源が位置するように、蒸着源に対向して配置された光透過性基板14の傾きを変更できる蒸着装置。
(作用効果)
以上説明した本発明のワイヤグリッド型偏光子にあっては、底部から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板の、凸条の少なくとも一方の側面を被覆するように、金属または金属化合物からなる金属層を形成しているため、偏光度およびp偏光透過率が高い。
以上説明した本発明のワイヤグリッド型偏光子にあっては、底部から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板の、凸条の少なくとも一方の側面を被覆するように、金属または金属化合物からなる金属層を形成しているため、偏光度およびp偏光透過率が高い。
また、本発明のワイヤグリッド型偏光子にあっては、凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの金属層の被覆厚さの最大値Dr1と、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの金属層の被覆厚さの最大値Da1との比(Dr1/Da1)が、1超であるため、一方の面(凸条が形成された側の面、すなわち表面)のs偏光反射率が高く、かつ他方の面(凸条が形成されていない側の面、すなわち裏面)のs偏光反射率が低い。
また、本発明のワイヤグリッド型偏光子にあっては、凸条の高さHpが250nm以上であるため、p偏光透過率を低下させることなく、偏光度を充分に高くできる。
また、本発明のワイヤグリッド型偏光子にあっては、凸条の高さHpが250nm以上であるため、p偏光透過率を低下させることなく、偏光度を充分に高くできる。
<液晶表示装置>
本発明の液晶表示装置は、一対の基板間に液晶層を挟持した液晶パネルと、バックライトユニットと、本発明のワイヤグリッド型偏光子とを有する。
本発明の液晶表示装置は、一対の基板間に液晶層を挟持した液晶パネルと、バックライトユニットと、本発明のワイヤグリッド型偏光子とを有する。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、液晶パネルとバックライトユニットとの間に配置されることが好ましく、液晶パネルの一対の基板のうちのバックライトユニット側の基板と一体化されていてもよく、液晶パネルの一対の基板のうちのバックライトユニット側の基板の液晶層側、すなわち液晶パネルの内部に配置されていてもよい。
本発明の液晶表示装置は、薄型化の点から、本発明のワイヤグリッド型偏光子が配置された側とは反対側の液晶パネルの表面に吸収型偏光子を有することが好ましい。
図5は、本発明の液晶表示装置の一例を示す断面図である。液晶表示装置40は、一対の基板41、基板42間に液晶層43を挟持した液晶パネル44と、バックライトユニット45と、凸条が形成された側の面がバックライトユニット45側となり、凸条が形成されていない側の面が液晶表示装置40の視認側となるようにバックライトユニット45側の液晶パネル44の表面に貼着された本発明のワイヤグリッド型偏光子10と、バックライトユニット45側とは反対側の液晶パネル44の表面に貼着された吸収型偏光子46とを有する。
以上説明した本発明の液晶表示装置にあっては、偏光度およびp偏光透過率が高い本発明の製造方法で得られたワイヤグリッド型偏光子を有するため、輝度が高い。
また、本発明の液晶表示装置にあっては、一方の面(凸条が形成された側の面、すなわち表面)のs偏光反射率が高く、かつ他方の面(凸条が形成されていない側の面、すなわち裏面)のs偏光反射率が低い本発明の製造方法で得られたワイヤグリッド型偏光子が、凸条が形成された側の面がバックライトユニット側となり、凸条が形成されていない側の面が液晶表示装置の視認側となるように配置されているため、コントラストの低下が抑えられる。
また、本発明の液晶表示装置にあっては、一方の面(凸条が形成された側の面、すなわち表面)のs偏光反射率が高く、かつ他方の面(凸条が形成されていない側の面、すなわち裏面)のs偏光反射率が低い本発明の製造方法で得られたワイヤグリッド型偏光子が、凸条が形成された側の面がバックライトユニット側となり、凸条が形成されていない側の面が液晶表示装置の視認側となるように配置されているため、コントラストの低下が抑えられる。
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されない。
例1、2は実施例であり、例3は比較例である。
例1、2は実施例であり、例3は比較例である。
(凸条および金属層の各寸法)
凸条および金属層の各寸法は、ワイヤグリッド型偏光子の断面の透過型電子顕微鏡像において、5つの凸条および該凸条上の金属層における各寸法を測定し、5つの値を平均して求めた。
凸条および金属層の各寸法は、ワイヤグリッド型偏光子の断面の透過型電子顕微鏡像において、5つの凸条および該凸条上の金属層における各寸法を測定し、5つの値を平均して求めた。
(p偏光透過率)
p偏光透過率は、紫外可視分光光度計(JASCO社製、V−7200)を用いて測定した。測定は、付属の偏光子を、光源とワイヤグリッド型偏光子との間に、ワイヤグリッド型偏光子の金属細線の長軸に吸収軸が並行な向きにセットし、ワイヤグリッド型偏光子の表面側(凸条が形成された側)または裏面側(凸条が形成されていない側)から偏光を入射して行った。測定波長は、450nm、550nm、700nmとした。
p偏光透過率が、70%以上をSとし、60%以上70%未満をAとし、50%以上60%未満をBとし、50%未満をXとした。
p偏光透過率は、紫外可視分光光度計(JASCO社製、V−7200)を用いて測定した。測定は、付属の偏光子を、光源とワイヤグリッド型偏光子との間に、ワイヤグリッド型偏光子の金属細線の長軸に吸収軸が並行な向きにセットし、ワイヤグリッド型偏光子の表面側(凸条が形成された側)または裏面側(凸条が形成されていない側)から偏光を入射して行った。測定波長は、450nm、550nm、700nmとした。
p偏光透過率が、70%以上をSとし、60%以上70%未満をAとし、50%以上60%未満をBとし、50%未満をXとした。
(s偏光反射率)
s偏光反射率は、紫外可視分光光度計(JASCO社製、V−7200)を用いて測定した。測定は、付属の偏光子を、光源とワイヤグリッド型偏光子との間に、ワイヤグリッド型偏光子の金属細線の長軸に吸収軸が直行する向きにセットし、ワイヤグリッド型偏光子の表面または裏面に対し、5度の角度で偏光を入射して行った。測定波長は、450nm、550nm、700nmとした。
表面s偏光反射率が、80%以上をSとし、70%以上80%未満をAとし、70%未満をBとした。
また、裏面s偏光反射率が、20%未満をSとし、20%以上40%未満をAとし、40%以上50%未満をBとし、50%以上をXとした。
s偏光反射率は、紫外可視分光光度計(JASCO社製、V−7200)を用いて測定した。測定は、付属の偏光子を、光源とワイヤグリッド型偏光子との間に、ワイヤグリッド型偏光子の金属細線の長軸に吸収軸が直行する向きにセットし、ワイヤグリッド型偏光子の表面または裏面に対し、5度の角度で偏光を入射して行った。測定波長は、450nm、550nm、700nmとした。
表面s偏光反射率が、80%以上をSとし、70%以上80%未満をAとし、70%未満をBとした。
また、裏面s偏光反射率が、20%未満をSとし、20%以上40%未満をAとし、40%以上50%未満をBとし、50%以上をXとした。
(偏光度)
偏光度は、下式から計算した。
偏光度=((Tp−Ts)/(Tp+Ts))0.5×100
ただし、Tpは、表面p偏光透過率であり、Tsは、表面s偏光透過率である。
偏光度が99.95%以上をSとし、99.9%以上99.95%未満をAとし、99.5%以上99.9%未満をBとし、99.5%未満をXとした。
偏光度は、下式から計算した。
偏光度=((Tp−Ts)/(Tp+Ts))0.5×100
ただし、Tpは、表面p偏光透過率であり、Tsは、表面s偏光透過率である。
偏光度が99.95%以上をSとし、99.9%以上99.95%未満をAとし、99.5%以上99.9%未満をBとし、99.5%未満をXとした。
(輝度)
輝度は以下の方法で測定した。
2インチサイズのLEDサイドライト型バックライトユニット上に、ワイヤグリッド型偏光子、液晶パネルを順に重ねた。ワイヤグリッド型偏光子は、裏面側(凸条が形成されていない側)が液晶パネル側になるように設置した。液晶パネルとしては、上側にのみヨウ素系偏光板を備えたものを用いた。
暗室内でバックライトユニットおよび液晶パネルを立ち上げた。液晶パネルの全面の表示を白色表示とし、点灯10分後の中心輝度B31を、色彩輝度計(トプコン社製、BM−5AS)を用いて視野角0.1°で測定した。ついで、液晶パネルの全面の表示を黒表示とし、そのときの輝度B32を測定した。
輝度は以下の方法で測定した。
2インチサイズのLEDサイドライト型バックライトユニット上に、ワイヤグリッド型偏光子、液晶パネルを順に重ねた。ワイヤグリッド型偏光子は、裏面側(凸条が形成されていない側)が液晶パネル側になるように設置した。液晶パネルとしては、上側にのみヨウ素系偏光板を備えたものを用いた。
暗室内でバックライトユニットおよび液晶パネルを立ち上げた。液晶パネルの全面の表示を白色表示とし、点灯10分後の中心輝度B31を、色彩輝度計(トプコン社製、BM−5AS)を用いて視野角0.1°で測定した。ついで、液晶パネルの全面の表示を黒表示とし、そのときの輝度B32を測定した。
同じバックライトユニットを用い、この上に上側および下側にヨウ素系偏光板を備えた液晶パネルを重ねた。暗室内でバックライトユニットおよび液晶パネルを立ち上げ、同様に液晶パネルの全面の表示を白色表示としたときの中心輝度B21を測定した。
上記測定で得られた値を用いて、下式から輝度向上率を求めた。
輝度向上率=(B31−B21)/B21×100。
輝度向上率が25%以上をSとし、20%以上25%未満をAとし、15%以上20%未満をBとし、15%未満をXとした。
上記測定で得られた値を用いて、下式から輝度向上率を求めた。
輝度向上率=(B31−B21)/B21×100。
輝度向上率が25%以上をSとし、20%以上25%未満をAとし、15%以上20%未満をBとし、15%未満をXとした。
(コントラスト)
上記測定で得られた値を用いて、下式からコントラストを求めた。
コントラスト=B31/B32。
コントラストが500以上をSとし、300以上500未満をAとし、100以上300未満をBとし、100未満をXとした。
上記測定で得られた値を用いて、下式からコントラストを求めた。
コントラスト=B31/B32。
コントラストが500以上をSとし、300以上500未満をAとし、100以上300未満をBとし、100未満をXとした。
(光硬化性組成物の調製)
撹拌機および冷却管を装着した1000mLの4つ口フラスコに、
単量体1(新中村化学工業社製、NK エステル A−DPH、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)の60g、
単量体2(新中村化学工業社製、NK エステル A−NPG、ネオペンチルグリコールジアクリレート)の40g、
光重合開始剤(チバスペシャリティーケミカルズ社製、IRGACURE907)の4.0g、
含フッ素界面活性剤(旭硝子社製、フルオロアクリレート(CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)8F)とブチルアクリレートとのコオリゴマー、フッ素含有量:約30質量%、質量平均分子量:約3000)の0.1g、
重合禁止剤(和光純薬社製、Q1301)の1.0g、および
シクロヘキサノンの65.0gを入れた。
撹拌機および冷却管を装着した1000mLの4つ口フラスコに、
単量体1(新中村化学工業社製、NK エステル A−DPH、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)の60g、
単量体2(新中村化学工業社製、NK エステル A−NPG、ネオペンチルグリコールジアクリレート)の40g、
光重合開始剤(チバスペシャリティーケミカルズ社製、IRGACURE907)の4.0g、
含フッ素界面活性剤(旭硝子社製、フルオロアクリレート(CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)8F)とブチルアクリレートとのコオリゴマー、フッ素含有量:約30質量%、質量平均分子量:約3000)の0.1g、
重合禁止剤(和光純薬社製、Q1301)の1.0g、および
シクロヘキサノンの65.0gを入れた。
フラスコ内を常温および遮光にした状態で、1時間撹拌して均一化した。ついで、フラスコ内を撹拌しながら、コロイド状シリカの100g(固形分:30g)をゆっくりと加え、さらにフラスコ内を常温および遮光にした状態で1時間撹拌して均一化した。ついで、シクロヘキサノンの340gを加え、フラスコ内を常温および遮光にした状態で1時間撹拌して光硬化性組成物1の溶液を得た。
〔例1〕
(光透過性基板の作製)
厚さ100μmの高透過ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(帝人デュポン社製、帝人テトロンO3、100mm×100mm)の表面に、光硬化性組成物1をスピンコート法により塗布し、厚さ5μmの光硬化性組成物1の塗膜を形成した。
複数の溝が、該溝間に形成される平坦部を介して互いに平行にかつ所定のピッチで形成された石英製モールド(面積:150mm×150mm、パターン面積:100mm×100mm、溝のピッチPp:120nm、溝の上部の幅Dpb:60nm、溝の底部の幅Dpt:20nm、溝の深さHp:250nm、溝の長さ:100mm、溝の断面形状:略台形)を、溝が光硬化性組成物1の塗膜に接するように、25℃にて0.5MPa(ゲージ圧)で光硬化性組成物1の塗膜に押しつけた。
(光透過性基板の作製)
厚さ100μmの高透過ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(帝人デュポン社製、帝人テトロンO3、100mm×100mm)の表面に、光硬化性組成物1をスピンコート法により塗布し、厚さ5μmの光硬化性組成物1の塗膜を形成した。
複数の溝が、該溝間に形成される平坦部を介して互いに平行にかつ所定のピッチで形成された石英製モールド(面積:150mm×150mm、パターン面積:100mm×100mm、溝のピッチPp:120nm、溝の上部の幅Dpb:60nm、溝の底部の幅Dpt:20nm、溝の深さHp:250nm、溝の長さ:100mm、溝の断面形状:略台形)を、溝が光硬化性組成物1の塗膜に接するように、25℃にて0.5MPa(ゲージ圧)で光硬化性組成物1の塗膜に押しつけた。
該状態を保持したまま、PETフィルム側から高圧水銀灯(周波数:1.5kHz〜2.0kHz、主波長光:255nm、315nmおよび365nm、365nmにおける照射エネルギー:1000mJ。)の光を15秒間照射し、光硬化性組成物1を硬化させて、石英製モールドの溝に対応する複数の凸条および該凸条間の平坦部を有する光透過性基板1(凸条のピッチPp:120nm、凸条の底部の幅Dpb:60nm、凸条の頂部の幅Dpt:20nm、凸条の高さHp:250nm)を作製した。光透過性基板1から石英製モールドをゆっくり分離した。
(金属層の形成)
蒸着源に対向する光透過性基板1の傾きを変更可能な真空蒸着装置(昭和真空社製、SEC−16CM)を用い、表1に示す金属層が形成される条件で、光透過性基板の凸条に斜方蒸着法にてアルミニウムを蒸着させ、金属層を形成し、裏面にPETフィルムが貼着されたワイヤグリッド型偏光子を得た。
この際、凸条の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条の高さ方向Hに対して第1の側面の側に角度θRをなす方向V1(すなわち第1の側面の側)からの蒸着を1回行い、ついで、角度θRを変更し、方向V1からの蒸着を1回行った。
蒸着源に対向する光透過性基板1の傾きを変更可能な真空蒸着装置(昭和真空社製、SEC−16CM)を用い、表1に示す金属層が形成される条件で、光透過性基板の凸条に斜方蒸着法にてアルミニウムを蒸着させ、金属層を形成し、裏面にPETフィルムが貼着されたワイヤグリッド型偏光子を得た。
この際、凸条の長さ方向Lに対して略直交し、かつ凸条の高さ方向Hに対して第1の側面の側に角度θRをなす方向V1(すなわち第1の側面の側)からの蒸着を1回行い、ついで、角度θRを変更し、方向V1からの蒸着を1回行った。
〔例2、3〕
光透過性基板を表1に示す光透過性基板に変更し、蒸着条件を表1に示す金属層が形成される条件に変更した以外は、例1と同様にしてワイヤグリッド型偏光子を得た。
光透過性基板を表1に示す光透過性基板に変更し、蒸着条件を表1に示す金属層が形成される条件に変更した以外は、例1と同様にしてワイヤグリッド型偏光子を得た。
〔測定、評価〕
例1〜3のワイヤグリッド型偏光子について、透過率、反射率、偏光度を測定した。結果を表1に示す。
例1〜3のワイヤグリッド型偏光子について、透過率、反射率、偏光度を測定した。結果を表1に示す。
本発明のワイヤグリッド型偏光子は、液晶表示装置、リアプロジェクションテレビ、フロントプロジェクター等の画像表示装置の偏光子として有用である。
10 ワイヤグリッド型偏光子
12 凸条
13 平坦部
14 光透過性基板
16 第1の側面
18 第2の側面
19 頂部
20 第1の金属層
25 第2の金属層
40 液晶表示装置
44 液晶パネル
45 バックライトユニット
12 凸条
13 平坦部
14 光透過性基板
16 第1の側面
18 第2の側面
19 頂部
20 第1の金属層
25 第2の金属層
40 液晶表示装置
44 液晶パネル
45 バックライトユニット
Claims (4)
- 底部から頂部に向かうにしたがって幅がしだいに狭くなる複数の凸条が、該凸条間に形成される平坦部を介して互いに平行に、かつ所定のピッチPpで表面に形成された光透過性基板と、
凸条の少なくとも一方の側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層とを有し、
凸条の高さHpが、250〜1000nmであり、
凸条の高さHpの半分の位置から頂部までの金属層の被覆厚さの最大値Dr1と、凸条の高さHpの半分の位置から底部までの金属層の被覆厚さの最大値Da1との比(Dr1/Da1)が、1超2.5未満である、ワイヤグリッド型偏光子。 - 凸条の長さ方向に直交する断面形状が、三角形または台形である、請求項1に記載のワイヤグリッド型偏光子。
- 凸条の2つの側面を被覆する、金属または金属化合物からなる金属層を有し、
凸条の各側面における金属層のDr1/Da1が、1超1.5未満である、請求項1または2に記載のワイヤグリッド型偏光子。 - 一対の基板間に液晶層を挟持した液晶パネルと、
バックライトユニットと、
請求項1〜3のいずれかに記載のワイヤグリッド型偏光子と
を有する、液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010224963A JP2012078651A (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | ワイヤグリッド型偏光子および液晶表示装置 |
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