JP2010034712A - 水晶片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶ウエハ3をウェットエッチングにより加工して水晶片1の外形を形成する前に、予め水晶ウエハ3のエッチング残渣が発生し易い領域にレーザー14を照射して機械的に加工又は脆弱化しておく。レーザー14が照射された領域は、他の領域に比べてウェットエッチングの進行が早まるため、エッチング残渣の発生が抑制される。また、レーザー14が照射される領域は、エッチング残渣が発生し易い必要最小限の領域であるため、レーザー14の衝撃により水晶片1にクラックが発生する危険性も確率的に低く抑えられる。
【選択図】図1
Description
1a 音叉部
2 エッチング残渣
3 水晶ウエハ
3a 連結部
4 加熱領域
5 レーザー
11 フォトマスク
11a 開口部
12 水酸化カリウム(KOH)溶液
13 外形予定線
14 レーザー
15 貫通穴
16 クロム(Cr)層
17 金(Au)層
18 エッチング液
Claims (4)
- 水晶ウエハの表面に水晶片の平面形状に対応したレジストパターンを形成する工程と、当該レジストパターンで覆われていない領域の前記水晶ウエハをウェットエッチングにより除去して前記水晶片の外形を形成する工程とを有する水晶片の製造方法であって、
前記水晶片の外形を形成する工程が終了する前に、前記水晶ウエハのエッチング残渣が発生する領域にレーザーを照射し、前記水晶ウエハの少なくとも一部を除去する工程を有することを特徴とする水晶片の製造方法。 - 水晶ウエハの表面に水晶片の平面形状に対応したレジストパターンを形成する工程と、当該レジストパターンで覆われていない領域の前記水晶ウエハをウェットエッチングにより除去して前記水晶片の外形を形成する工程とを有する水晶片の製造方法であって、
前記水晶片の外形を形成する工程が終了する前に、前記水晶ウエハのエッチング残渣が発生する領域にレーザーを照射し、前記水晶ウエハの少なくとも一部を脆弱化させる工程を有することを特徴とする水晶片の製造方法。 - 前記レーザーを照射する領域は、前記水晶片の外形予定線から外側へ離間していることを特徴とする請求項1、又は2に記載の水晶片の製造方法。
- 前記水晶片は、音叉型水晶片であり、前記レーザーは、少なくとも前記音叉型水晶片の音叉部の付け根周辺に照射されることを特徴とする請求項1〜3の何れか一つに記載の水晶片の製造方法。
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