JP7176695B2 - ガラス基板製造方法 - Google Patents
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Description
12-切断予定線
14-除去部
16-残存部
18-機能膜
20-非粘着性シート
22-マスキング材
50-エッチング装置
52,54-エッチングチャンバ
56-エッチング槽
100-ガラス基板
101-周縁部
Claims (2)
- ガラス基板を多面取りするための多面取り用ガラス母材を薄化しつつ、この多面取り用ガラス母材から所望形状のガラス基板を複数得るためのガラス基板製造方法であって、
取り出すべきガラス基板の形状に対応する切断予定線に沿ってレーザを走査することによって、前記切断予定線に沿って前記多面取り用ガラス母材にエッチングされ易い性質の改質ラインを形成するレーザ走査ステップと、
前記レーザ走査ステップ後に、前記多面取り用ガラス母材をエッチング液に接触させることによって前記多面取り用ガラス母材を薄化しつつ前記切断予定線に沿って切断用溝を形成するエッチングステップと、
前記エッチングステップ後に、前記切断用溝を貫通させることによって前記多面取り用ガラス母材から所望形状のガラス基板を取り出すブレークステップと、
を含み、
前記レーザ走査ステップにおいて、前記多面取り用ガラス母材の厚み方向の全域ではなく、前記多面取り用ガラス母材における前記エッチングステップによる薄化後も残存する残存部と前記エッチングステップによる薄化の際に除去されるべき除去部の前記残存部に隣接する側の一部とに改質ラインが形成されるようにレーザビームの焦点が設定され、かつ、
前記多面取り用ガラス母材の第1の主面に機能膜が設けられており、
前記エッチングステップにおいて、前記機能膜を耐エッチング材で被覆しつつ、第1の主面の反対側の第2の主面側をエッチング液に接触させることを特徴とするガラス基板製造方法。 - 前記多面取り用ガラス部材は、前記複数のガラス基板が配置される基板領域と、前記基板領域の周縁の周縁領域とからなっており、
少なくとも前記基板領域は、非粘着性シートを介して前記耐エッチング材で被覆されることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板製造方法。
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