JP2010032220A - 半導体装置の電極取り出し構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】気密空間の気密性を損なうことなく電気信号を取り出す。
【解決手段】圧力センサ1の電極取り出し構造は、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内において露出している表面に向かって延在する高濃度不純物拡散領域6,8と、シリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内において露出している表面に向かって延在する高濃度不純物拡散領域5,7と、シリコン基板2の外表面側から高濃度不純物拡散領域7に到達する深さまで形成された貫通孔9aと、シリコン基板2の外表面側から高濃度不純物拡散領域8に到達する深さまで形成された貫通孔9bと、貫通孔9a,9bの側面及び底部に形成された金属薄膜10a,10bとを有する。
【選択図】図1
【解決手段】圧力センサ1の電極取り出し構造は、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内において露出している表面に向かって延在する高濃度不純物拡散領域6,8と、シリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内において露出している表面に向かって延在する高濃度不純物拡散領域5,7と、シリコン基板2の外表面側から高濃度不純物拡散領域7に到達する深さまで形成された貫通孔9aと、シリコン基板2の外表面側から高濃度不純物拡散領域8に到達する深さまで形成された貫通孔9bと、貫通孔9a,9bの側面及び底部に形成された金属薄膜10a,10bとを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板を接合することにより形成された気密空間を有する半導体装置の電極取り出し構造に関する。
従来より、ダイヤフラム部に加わる圧力により変位する可動電極と、可動電極に対向して設けられた固定電極とを気密空間内に備え、可動電極と固定電極との間の静電容量を計測することによりダイヤフラム部に加わる圧力を検出する圧力センサが知られている。
特開2006−300578号公報
従来の圧力センサでは、気密空間はガラス基板とシリコン基板を高真空中で陽極接合することにより形成されている。そして固定電極と可動電極は基板の接合界面側に延在され、一方の基板側に形成された貫通孔を介して固定電極及び可動電極側の電気信号を取り出すように構成されている。しかしながらこのような構成によれば、基板の接合界面に金属電極が設けられていることから、金属電極の面粗度や金属原子間への透過等の影響によって気密空間の気密性が損なわれる可能性がある。また金属電極は、基板の接合時に高温になることから、酸化によって電極としての機能が失われる可能性がある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、気密空間の気密性を損なうことなく電気信号を取り出すことが可能な半導体装置の電極取り出し構造を提供することにある。
本発明の第1の態様に係る半導体装置の電極取り出し構造は、第1基板と第2基板とを接合することにより形成された気密空間を有する半導体装置の電極取り出し構造であって、第1基板の第2基板との接合面から気密空間内において露出している表面に向かって延在する第1の高濃度不純物拡散領域と、第2基板の第1基板との接合面から気密空間内において露出している表面に向かって延在する第2の高濃度不純物拡散領域と、第1基板の外表面側から第2の基板との接合面に位置する第1の高濃度不純物拡散領域に到達する深さまで形成された第1の貫通孔と、第1基板の外表面側から第1の基板との接合面に位置する第2の高濃度不純物拡散領域に到達する深さまで形成された第2の貫通孔と、第1及び第2の貫通孔の側面及び底部に形成された金属薄膜とを有する。
本発明の第2の態様に係る半導体装置の電極取り出し構造は、第1基板と第2基板とを接合することにより形成された気密空間を有する半導体装置の電極取り出し構造であって、第1基板の第2基板との接合面から気密空間内において露出している表面に向かって延在する第1の高濃度不純物拡散領域と、第2基板の第1基板との接合面から気密空間内において露出している表面に向かって延在する第2の高濃度不純物拡散領域と、第1の高濃度不純物拡散領域に電気的に接続され、第1基板の第2基板との接合面以外の表面に引き出された第1の配線部と、第2の高濃度不純物拡散領域に電気的に接続され、第1基板の第2基板との接合面以外の表面に引き出された第2の配線部とを有する。
本発明に係る半導体装置の電極取り出し構造によれば、基板の接合界面に金属電極が形成されていないので、気密空間の気密性を損なうことなく電気信号を取り出すことができる。
以下、本発明の第1及び第2の実施形態となる半導体装置の電極取り出し構造について説明する。なお本実施形態は、本発明を圧力センサに適用したものであるが、本発明は圧力センサに限定されることはなく、例えば加速度センサ等、基板を接合することにより形成された気密空間を有する半導体装置であれば適用することができる。
〔第1の実施形態〕
始めに、本発明の第1の実施形態となる圧力センサについて説明する。
始めに、本発明の第1の実施形態となる圧力センサについて説明する。
〔圧力センサの構成〕
本発明の第1の実施形態となる圧力センサ1は、図1(a),(b)に示すように、シリコン基板2と受圧側基板として機能するシリコン基板3とを直接接合することにより形成された気密空間4を有する。シリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内で露出している表面には可動電極として機能する高濃度不純物拡散領域5が延在し、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出している表面には固定電極として機能する高濃度不純物拡散領域6が延在している。シリコン基板2には、シリコン基板2の外表面から高濃度不純物拡散領域5の一部である接合面に位置する高濃度不純物拡散領域7に到達する深さを有する貫通孔9aと、基板2の外表面から高濃度不純物拡散領域6の一部である接合面に位置する高濃度不純物拡散領域8に到達する深さを有する貫通孔9bが形成されている。貫通孔9a及び貫通孔9bの側面と底部にはそれぞれ金属薄膜10a及び金属薄膜10bが形成されている。
本発明の第1の実施形態となる圧力センサ1は、図1(a),(b)に示すように、シリコン基板2と受圧側基板として機能するシリコン基板3とを直接接合することにより形成された気密空間4を有する。シリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内で露出している表面には可動電極として機能する高濃度不純物拡散領域5が延在し、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出している表面には固定電極として機能する高濃度不純物拡散領域6が延在している。シリコン基板2には、シリコン基板2の外表面から高濃度不純物拡散領域5の一部である接合面に位置する高濃度不純物拡散領域7に到達する深さを有する貫通孔9aと、基板2の外表面から高濃度不純物拡散領域6の一部である接合面に位置する高濃度不純物拡散領域8に到達する深さを有する貫通孔9bが形成されている。貫通孔9a及び貫通孔9bの側面と底部にはそれぞれ金属薄膜10a及び金属薄膜10bが形成されている。
このような構成を有する圧力センサ1では、固定電極及び可動電極の電気信号は、高濃度不純物拡散領域7,8、及び高濃度不純物拡散領域7,8に接続された金属薄膜10a,10bを介して外部に取り出される。従ってこのような圧力センサ1によれば、シリコン基板2とシリコン基板3の接合界面に金属電極を形成することなく固定電極及び可動電極の電気信号を外部に取り出すことができるので、気密空間4の気密性を損なうことなく電気信号を取り出すことができる。またこのような構成によれば、気密空間4の気密性を長期間にわたって一定に保つことができるので、センサ特性の長期安定性を確保することができる。さらには気密空間4内への水分の浸入も防ぐことができるので、環境外乱等の影響を受けなくすることができる。
なお図1(a),(b)には図示していないが、金属薄膜10a及び高濃度不純物拡散領域5,7と金属薄膜10b及び高濃度不純物拡散領域6,8がシリコン基板2,3を介して直接接する場合、高濃度不純物拡散領域5,6間にリーク電流が発生し、センサ特性に悪影響を与える可能性がある。このため図示しないが、金属薄膜10a及び高濃度不純物拡散領域5,7と金属薄膜10b及び高濃度不純物拡散領域6,8がシリコン基板2,3を介して直接接しないように、金属薄膜10a,10b及び高濃度不純物拡散領域5〜8とシリコン基板2,3との界面に絶縁膜を形成することが望ましい。
〔圧力センサの製造方法〕
上記圧力センサ1を製造する際は、始めに図2(a)に示すようにシリコン基板2を用意し、図2(b)に示すようにシリコン基板2の両面にフォトレジスト膜11を形成する。次に図2(c)にように気密空間4に対応する領域12のフォトレジスト膜11を除去した後、フォトレジスト膜11をマスクとしてシリコン基板2をエッチングすることにより図2(d)に示すように気密空間4となる溝部を形成する。次に図2(e)に示すようにフォトレジスト膜11を除去した後、図2(f)に示すようにシリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出する表面に延在するように高濃度不純物拡散領域6,8を形成する。
上記圧力センサ1を製造する際は、始めに図2(a)に示すようにシリコン基板2を用意し、図2(b)に示すようにシリコン基板2の両面にフォトレジスト膜11を形成する。次に図2(c)にように気密空間4に対応する領域12のフォトレジスト膜11を除去した後、フォトレジスト膜11をマスクとしてシリコン基板2をエッチングすることにより図2(d)に示すように気密空間4となる溝部を形成する。次に図2(e)に示すようにフォトレジスト膜11を除去した後、図2(f)に示すようにシリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出する表面に延在するように高濃度不純物拡散領域6,8を形成する。
次に図3(a)に示すようにシリコン基板3を用意し、図3(b)に示すようにシリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内で露出する表面に延在するように可高濃度不純物拡散領域5,7を形成する。次に図4(a)に示すようにシリコン基板2とシリコン基板3を高真空中で直接接合した後、図4(b)に示すようにシリコン基板2に貫通孔9a,9bを形成する。そして最後に図4(c)に示すようにシリコン基板2の外表面に金属膜10を形成し、図4(d)に示すように貫通孔9a,9bの側面部と底部を残して金属膜10を除去することにより、圧力センサ1の一連の製造工程は完了する。
〔第2の実施形態〕
次に、本発明の第2の実施形態となる圧力センサについて説明する。
次に、本発明の第2の実施形態となる圧力センサについて説明する。
〔圧力センサの構成〕
本発明の第2の実施形態となる圧力センサ1は、図5(a),(b)に示すように、シリコン基板2と受圧側基板として機能するシリコン基板3とを直接接合することにより形成された気密空間4を有し、シリコン基板2はシリコン基板3との接合面以外の領域を有するようにシリコン基板3よりも大きな面積を有する。シリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内で露出している表面には可動電極として機能する高濃度不純物拡散領域5が延在し、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出している表面には固定電極として機能する高濃度不純物拡散領域6が延在している。シリコン基板2には、高濃度不純物拡散領域5に電気的に接続され、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面以外の表面に引き出された高濃度不純物拡散領域7が形成され、この高濃度不純物拡散領域7には電極パッドとして機能する金属薄膜10aが形成されている。また同様にシリコン基板2には、高濃度不純物拡散領域6に電気的に接続され、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面以外の表面に引き出された高濃度不純物拡散領域8が形成され、この高濃度不純物拡散領域8には電極パッドとして機能する金属薄膜10bが形成されている。
本発明の第2の実施形態となる圧力センサ1は、図5(a),(b)に示すように、シリコン基板2と受圧側基板として機能するシリコン基板3とを直接接合することにより形成された気密空間4を有し、シリコン基板2はシリコン基板3との接合面以外の領域を有するようにシリコン基板3よりも大きな面積を有する。シリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内で露出している表面には可動電極として機能する高濃度不純物拡散領域5が延在し、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出している表面には固定電極として機能する高濃度不純物拡散領域6が延在している。シリコン基板2には、高濃度不純物拡散領域5に電気的に接続され、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面以外の表面に引き出された高濃度不純物拡散領域7が形成され、この高濃度不純物拡散領域7には電極パッドとして機能する金属薄膜10aが形成されている。また同様にシリコン基板2には、高濃度不純物拡散領域6に電気的に接続され、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面以外の表面に引き出された高濃度不純物拡散領域8が形成され、この高濃度不純物拡散領域8には電極パッドとして機能する金属薄膜10bが形成されている。
このような構成を有する圧力センサ1では、固定電極及び可動電極の電気信号は、高濃度不純物拡散領域7,8、及び金属薄膜10a,10bを介して取り出される。従ってこのような圧力センサ1によれば、シリコン基板2とシリコン基板3の接合界面に金属電極を形成することなく固定電極及び可動電極の電気信号を外部に取り出すことができるので、気密空間4の気密性を損なうことなく電気信号を取り出すことができる。またこのような構成によれば、気密空間4の気密性を長期間にわたって一定に保つことができるので、センサ特性の長期安定性を確保することができる。さらには気密空間4内への水分の浸入も防ぐことができるので、環境外乱等の影響を受けなくすることができる。
なお図5(a),(b)には図示していないが、高濃度不純物拡散領域5,7と高濃度不純物拡散領域6,8がシリコン基板2,3を介して直接接する場合、高濃度不純物拡散領域5,6間にリーク電流が発生し、センサ特性に悪影響を与える可能性がある。このため図示しないが、高濃度不純物拡散領域5,7と高濃度不純物拡散領域6,8がシリコン基板2,3を介して直接接しないように、高濃度不純物拡散領域5〜8とシリコン基板2,3との界面に絶縁膜を形成することが望ましい。
〔圧力センサの製造方法〕
上記圧力センサ1を製造する際は、始めに図6(a)に示すようにシリコン基板2を用意し、図6(b)に示すようにシリコン基板2の両面にフォトレジスト膜11を形成する。次に図6(c)にように気密空間4に対応する領域12のフォトレジスト膜11を除去した後、フォトレジスト膜11をマスクとしてシリコン基板2をエッチングすることにより図6(d)に示すように気密空間4となる溝部を形成する。次に図6(e)に示すようにフォトレジスト膜11を除去した後、図6(e)に示すように、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出する表面に延在するように高濃度不純物拡散領域6,8を形成すると共にシリコン基板3との接合面以外の表面に高濃度不純物拡散領域7を形成する。次に図7(a)に示すようにシリコン基板3を用意し、図7(b)に示すようにシリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内で露出する表面に延在するように高濃度不純物拡散領域7を形成する。そして最後に、シリコン基板2とシリコン基板3を高真空中で接合することにより、圧力センサ1の一連の製造工程は完了する。
上記圧力センサ1を製造する際は、始めに図6(a)に示すようにシリコン基板2を用意し、図6(b)に示すようにシリコン基板2の両面にフォトレジスト膜11を形成する。次に図6(c)にように気密空間4に対応する領域12のフォトレジスト膜11を除去した後、フォトレジスト膜11をマスクとしてシリコン基板2をエッチングすることにより図6(d)に示すように気密空間4となる溝部を形成する。次に図6(e)に示すようにフォトレジスト膜11を除去した後、図6(e)に示すように、シリコン基板2のシリコン基板3との接合面から気密空間4内で露出する表面に延在するように高濃度不純物拡散領域6,8を形成すると共にシリコン基板3との接合面以外の表面に高濃度不純物拡散領域7を形成する。次に図7(a)に示すようにシリコン基板3を用意し、図7(b)に示すようにシリコン基板3のシリコン基板2との接合面から気密空間4内で露出する表面に延在するように高濃度不純物拡散領域7を形成する。そして最後に、シリコン基板2とシリコン基板3を高真空中で接合することにより、圧力センサ1の一連の製造工程は完了する。
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。例えば本発明は、気密空間4を略中央と略外側とに分割することによってシリコン基板2及びシリコン基板3の高濃度不純物拡散領域のうちの一方又は両方を面積が略同じになるように分割することにより形成された差動型の静電容量センサにも適用することができる。このように、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
1:圧力センサ
2,3:シリコン基板
4:気密空間
5,6,7,8:高濃度不純物拡散領域
9a,9b:貫通孔
10a,10b:金属薄膜
2,3:シリコン基板
4:気密空間
5,6,7,8:高濃度不純物拡散領域
9a,9b:貫通孔
10a,10b:金属薄膜
Claims (2)
- 第1基板と第2基板とを接合することにより形成された気密空間を有する半導体装置の電極取り出し構造であって、
前記第1基板の前記第2基板との接合面から前記気密空間内において露出している表面に向かって延在する第1の高濃度不純物拡散領域と、
前記第2基板の前記第1基板との接合面から前記気密空間内において露出している表面に向かって延在する第2の高濃度不純物拡散領域と、
前記第1基板の外表面側から前記第2の基板との接合面に位置する前記第1の高濃度不純物拡散領域に到達する深さまで形成された第1の貫通孔と、
前記第1基板の外表面側から前記第1の基板との接合面に位置する前記第2の高濃度不純物拡散領域に到達する深さまで形成された第2の貫通孔と、
前記第1及び第2の貫通孔の側面及び底部に形成された金属薄膜と
を有することを特徴とする半導体装置の電極取り出し構造。 - 第1基板と第2基板とを接合することにより形成された気密空間を有する半導体装置の電極取り出し構造であって、
前記第1基板の前記第2基板との接合面から前記気密空間内において露出している表面に向かって延在する第1の高濃度不純物拡散領域と、
前記第2基板の前記第1基板との接合面から前記気密空間内において露出している表面に向かって延在する第2の高濃度不純物拡散領域と、
前記第1の高濃度不純物拡散領域に電気的に接続され、前記第1基板の前記第2基板との接合面以外の表面に引き出された第1の配線部と、
前記第2の高濃度不純物拡散領域に電気的に接続され、前記第1基板の前記第2基板との接合面以外の表面に引き出された第2の配線部と
を有することを特徴とする半導体装置の電極取り出し構造。
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- 2008-07-24 JP JP2008191447A patent/JP2010032220A/ja active Pending
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