JP2010027935A - 半導体レーザ、光ディスク装置および光ピックアップ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザは、互いに対向する端面10a、10bの間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのレーザストライプ11を有するレーザチップ10を有する。レーザストライプ11は共振器長方向に利得領域14および可飽和吸収領域15を有する。可飽和吸収領域15のレーザストライプ11の幅を利得領域14のレーザストライプ11の幅に比べて大きくする。利得領域14および可飽和吸収領域15の上にそれぞれ電極16、17を互いに分離して設ける。
【選択図】図1
Description
この発明が解決しようとする他の課題は、上記の優れた半導体レーザを光源に用いた光ディスク装置および光ピックアップを提供することである。
互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記可飽和吸収領域の上記レーザストライプの幅が上記利得領域のレーザストライプの幅に比べて大きい半導体レーザである。
互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記可飽和吸収領域の上記レーザストライプの幅が上記利得領域のレーザストライプの幅に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ディスク装置である。
互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記可飽和吸収領域の上記レーザストライプの幅が上記利得領域のレーザストライプの幅に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ピックアップである。
一つの典型的な例では、利得領域が第1の端面側に設けられ、可飽和吸収領域が第2の端面側に設けられる。他の典型的な例では、可飽和吸収領域が第1の端面側および第2の端面側にそれぞれ設けられ、利得領域がこれらの可飽和吸収領域の間に設けられる。さらに他の典型的な例では、利得領域が第1の端面側および第2の端面側にそれぞれ設けられ、可飽和吸収領域がこれらの利得領域の間に設けられる。これらの利得領域および可飽和吸収領域は、典型的には、電流非注入領域を介して互いに隣接して設けられる。
互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのリッジ形状のレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記利得領域の横方向屈折率段差が上記可飽和吸収領域の横方向屈折率段差に比べて大きい半導体レーザである。
互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのリッジ形状のレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記利得領域の横方向屈折率段差が上記可飽和吸収領域の横方向屈折率段差に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ディスク装置である。
互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのリッジ形状のレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記利得領域の横方向屈折率段差が上記可飽和吸収領域の横方向屈折率段差に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ピックアップである。
第4〜第6の発明においては、上記以外のことについては、その性質に反しない限り、第1〜第3の発明に関連して説明したことが成立する。
まず、この発明の第1の実施形態による2電極型半導体レーザについて説明する。
図1AおよびBはこの2電極型半導体レーザを示し、図1Aは平面図、図1Bは図1AのX−X線(レーザストライプの中心線)に沿っての断面図である。
端面10a、10bの反射率に関しては、端面10aの反射率の方が端面10bの反射率よりも小さくなるように従来公知の端面コート膜(図示せず)が形成されている。
利得領域14の長さ(電極16の長さ):500μm
可飽和吸収領域15の長さ(電極17の長さ):20μm
電流非注入領域18の長さ(電極16、17の間隔):5μm
端面10aにおけるレーザストライプ11の幅W1 :1.4μm
端面10bにおけるレーザストライプ11の幅W2 :3μm
まず、n型GaN基板20上に、例えば有機金属化学気相成長(MOCVD)法などにより、n型AlGaNクラッド層13a、n型GaN層13b、活性層13c、p型AlGaN電子障壁層13dは10nm、p型GaN層13e、p型GaN/AlGaN超格子クラッド層13fおよびp型GaNコンタクト層13gを順次エピタキシャル成長させる。
利得領域14には、電極16、19間に順バイアス電圧を印加して直流電流を注入し、これに加えて高周波電圧を印加して高周波電流(高周波重畳を行う場合)を注入する。可飽和吸収領域15には、電極17、19間に逆バイアス電圧あるいは0Vを印加する。こうすることで、この2電極型半導体レーザはセルフパルセーション動作を行う。
図4AおよびBはこの3電極型半導体レーザを示し、図4Aは平面図、図4Bは図4AのX−X線(レーザストライプの中心線)に沿っての断面図である。
また、この3電極型半導体レーザの製造方法は第1の実施形態による2電極型半導体レーザの製造方法と同様である。
利得領域14には、電極16、19間に順バイアス電圧を印加して直流電流を印加し、必要に応じてこれに加えて高周波電圧を印加して高周波電流(高周波重畳を行う場合)を注入する。可飽和吸収領域15a、15bには、電極17a、19間および電極17b、19間に逆バイアス電圧あるいは0Vを印加する。こうすることで、この3電極型半導体レーザはセルフパルセーション動作を行う。
この第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
図5AおよびBはこの3電極型半導体レーザを示し、図5Aは平面図、図5Bは図5AのX−X線(レーザストライプの中心線)に沿っての断面図である。
また、この3電極型半導体レーザの製造方法は第1の実施形態による2電極型半導体レーザの製造方法と同様である。
利得領域14a、14bには、電極16a、19間および電極16b、19間に順バイアス電圧を印加して直流電流を印加し、必要に応じてこれに加えて高周波電圧を印加して高周波電流(高周波重畳を行う場合)を注入する。可飽和吸収領域15には、電極17、19間に逆バイアス電圧あるいは0Vを印加する。こうすることで、この3電極型半導体レーザはセルフパルセーション動作を行う。
この第3の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
図6AおよびBならびに図7AおよびBはこの2電極型半導体レーザを示し、図6Aは平面図、図6Bは図6AのX−X線(レーザストライプの中心線)に沿っての断面図、図7Aは図6AのY−Y線に沿っての断面図、図7Bは図6AのZ−Z線に沿っての断面図である。
レーザストライプ11のうちの端面10a側の部分が利得領域14を構成し、端面10b側の部分が可飽和吸収領域15を構成する。これらの利得領域14および可飽和吸収領域15の上にはそれぞれ電極16、17が設けられている。電極16、17の間の領域は電流非注入領域18を構成する。レーザチップ10の裏面、言い換えると半導体基板12の裏面には電極19が設けられている。
この場合、レーザストライプ11のリッジの高さは利得領域14と可飽和吸収領域15とで異なり、可飽和吸収領域15のリッジの高さに比べて、利得領域14のリッジの高さは大きい。言い換えると、レーザストライプ11の両側の部分における半導体層13の上面と活性層ALの上面との間の距離は、利得領域14における距離D1 の方が可飽和吸収領域15における距離D2 より小さい。
例えば、この2電極型半導体レーザがGaN系半導体レーザである場合には、図8AおよびBに示すように、リッジの側面およびこのリッジの両側の部分の半導体層13上に例えばSiO2 膜およびその上のSi膜からなる絶縁膜21が形成される。
また、この2電極型半導体レーザの製造方法は第1の実施形態による2電極型半導体レーザの製造方法と同様である。
利得領域14には、電極16、19間に順バイアス電圧を印加して直流電流を印加し、必要に応じてこれに加えて高周波電圧を印加して高周波電流(高周波重畳を行う場合)を注入する。可飽和吸収領域15には、電極17、19間に逆バイアス電圧あるいは0Vを印加する。こうすることで、この2電極型半導体レーザはセルフパルセーション動作を行う。
この第4の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第5の実施形態においては、第1の実施形態と第4の実施形態とを組み合わせる。すなわち、この第5の実施形態による2電極型半導体レーザにおいては、第1の実施形態による2電極型半導体レーザにおいて、第4の実施形態による2電極型半導体レーザと同様に、利得領域14における距離D1 を可飽和吸収領域15における距離D2 より小さくする。こうすることで、利得領域14における光密度をより高くすることができ、自己位相変調の効果をより強く生じさせることができる。
この第5の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第6の実施形態においては、第2の実施形態と第4の実施形態とを組み合わせる。すなわち、この第6の実施形態による3電極型半導体レーザにおいては、第2の実施形態による3電極型半導体レーザにおいて、第4の実施形態による2電極型半導体レーザと同様に、利得領域14における距離D1 を可飽和吸収領域15a、15bにおける距離D2 より小さくする。こうすることで、利得領域14における光密度をより高くすることができ、自己位相変調の効果をより強く生じさせることができる。
この第6の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第7の実施形態においては、第3の実施形態と第4の実施形態とを組み合わせる。すなわち、この第7の実施形態による3電極型半導体レーザにおいては、第3の実施形態による3電極型半導体レーザにおいて、第4の実施形態による2電極型半導体レーザと同様に、利得領域14a、14bにおける距離D1 を可飽和吸収領域15における距離D2 より小さくする。こうすることで、利得領域14a、14bにおける光密度をより高くすることができ、自己位相変調の効果をより強く生じさせることができる。
この第7の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
例えば、上述の実施形態において挙げた数値、構造、形状、基板、プロセスなどはあくまでも例に過ぎず、必要に応じて、これらと異なる数値、構造、形状、基板、プロセスなどを用いてもよい。
Claims (13)
- 互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記可飽和吸収領域の上記レーザストライプの幅が上記利得領域の上記レーザストライプの幅に比べて大きい半導体レーザ。 - 上記可飽和吸収領域の長さは上記利得領域の長さに比べて小さい請求項1記載の半導体レーザ。
- 上記利得領域が上記第1の端面側に設けられ、上記可飽和吸収領域が上記第2の端面側に設けられている請求項2記載の半導体レーザ。
- 上記可飽和吸収領域が上記第1の端面側および上記第2の端面側にそれぞれ設けられ、上記利得領域がこれらの可飽和吸収領域の間に設けられている請求項2記載の半導体レーザ。
- 上記利得領域が上記第1の端面側および上記第2の端面側にそれぞれ設けられ、上記可飽和吸収領域がこれらの利得領域の間に設けられている請求項2記載の半導体レーザ。
- 上記利得領域および上記可飽和吸収領域は互いに独立に駆動可能に構成されている請求項1記載の半導体レーザ。
- 上記利得領域および上記可飽和吸収領域の上に互いに分離してそれぞれ電極を有する請求項6記載の半導体レーザ。
- 上記レーザストライプはリッジ形状を有し、上記レーザストライプの横方向屈折率段差が上記利得領域と上記可飽和吸収領域とで互いに異なる請求項1記載の半導体レーザ。
- 互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記可飽和吸収領域の上記レーザストライプの幅が上記利得領域の上記レーザストライプの幅に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ディスク装置。 - 互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記可飽和吸収領域の上記レーザストライプの幅が上記利得領域の上記レーザストライプの幅に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ピックアップ。 - 互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのリッジ形状のレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記利得領域の横方向屈折率段差が上記可飽和吸収領域の横方向屈折率段差に比べて大きい半導体レーザ。 - 互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのリッジ形状のレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記利得領域の横方向屈折率段差が上記可飽和吸収領域の横方向屈折率段差に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ディスク装置。 - 互いに対向する第1の端面および第2の端面の間に共振器長方向に延在する少なくとも一つのリッジ形状のレーザストライプを有するレーザチップを有し、
上記レーザストライプは上記共振器長方向に利得領域および可飽和吸収領域を有し、
上記利得領域の横方向屈折率段差が上記可飽和吸収領域の横方向屈折率段差に比べて大きい半導体レーザを光源に用いた光ピックアップ。
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