JP2010019978A - レジスト剥離液組成物およびそれを用いた半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
ICやLSI等の半導体素子や液晶パネル素子の配線工程におけるドライエッチング、アッシング後に残存するパターン側壁やパターン上部のバリアメタル上の残渣を低温、短時間で完全に除去でき、配線上部のバリアメタル上に粒状の異物が付着するのを抑制するレジスト剥離液組成物およびそれを用いた半導体素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
半導体素子や液晶パネル素子の製造工程において、ドライエッチング、アッシング後に残存するパターン側壁やパターン上部のバリアメタル上の残渣を剥離する際、フッ素化合物と1,10−フェナントロリン一水和物、1,10−フェナントロリン無水物、2,2’−ビピリジン、1,2,3−ベンゾトリアゾール、ピリジン、3,5−ジメチルピラゾール、ニトリロ三酢酸、プロピオン酸、および酢酸から選択される1種以上の水溶性化合物を含有することを特徴とするレジスト剥離液組成物で洗浄する(接触処理する)。
【選択図】 図1
Description
すなわち本発明は以下のとおりである。
1.フッ素化合物と、1,10−フェナントロリン一水和物、1,10−フェナントロリン無水物、2,2’−ビピリジン、1,2,3−ベンゾトリアゾール、ピリジン、3,5−ジメチルピラゾール、ニトリロ三酢酸、プロピオン酸、および酢酸から選択される1種以上の水溶性化合物を含有することを特徴とするレジスト剥離液組成物。
2.フッ素化合物と、1,10−フェナントロリン一水和物、1,10−フェナントロリン無水物、2,2’−ビピリジン、1,2,3−ベンゾトリアゾール、およびピリジンから選択される1種以上の水溶性化合物を含有することを特徴とするレジスト剥離液組成物。
3.フッ素化合物がフッ化アンモニウムおよび/またはフッ化テトラメチルアンモニウムである第1項または第2項記載のレジスト剥離液組成物。
4.フッ素化合物の濃度が0.001〜10.0重量%であり、水溶性化合物の濃度範囲が0.005重量%〜5重量%である第1項または第2項記載のレジスト剥離液組成物。
5.半導体素子製造工程において基板にSiOxからなる酸化膜を形成し、次にTiN/Tiからなるバリアメタル層を形成し、その上に配線としてAl‐Cu又はAl‐Si‐CuからなるAl合金層を形成し、TiN/Tiからなるバリアメタル層を積層し、さらにレジストを塗布後、露光、現像によりパタ−ンを形成した半導体素子をドライエッチングし、続いてアッシングを行い、配線側壁およびバリアメタル上に残存する残渣を剥離する際、フッ素化合物と1,10−フェナントロリン一水和物、1,10−フェナントロリン無水物、2,2’−ビピリジン、1,2,3−ベンゾトリアゾール、ピリジン、3,5−ジメチルピラゾール、ニトリロ三酢酸、プロピオン酸、および酢酸から選択される1種以上の水溶性化合物を含有するレジスト剥離液組成物を用いて剥離洗浄することを特徴とする半導体素子の製造方法。
6.フッ素化合物がフッ化アンモニウムおよび/またはフッ化テトラメチルアンモニウムである第5項記載の半導体素子の製造方法。
7.フッ素化合物の濃度が0.001〜10.0重量%であり、水溶性化合物の濃度範囲が0.005重量%〜5重量%である第5項記載の半導体素子の製造方法。
実施例1〜8、比較例1〜9
図1に剥離対象であるアルミニウム合金の金属配線回路素子の断面図を示す。シリコン基板1にSiOxからなる下地酸化膜2を形成し、次にTiN/Tiからなるバリアメタル層3を形成し、その上に配線としてAl‐CuからなるAl合金層4を形成し、TiN/Tiからなるバリアメタル層5を積層し、その後フォトレジストを塗布した後、露光、現像を行い、該フォトレジスト層をマスクとしてドライエッチングを行いAl合金配線体6を形成し、さらにプラズマガスによりフォトレジスト層をアッシング除去した。配線側壁および上部には残渣7が残存している。
図1の評価用サンプルウェハを表1の実施例、比較例の調合薬液に25℃にて3分間浸漬し、その後、超純水でリンスを行い、窒素ガスを吹き付けて乾燥した。処理後に配線上部のバリアメタル上に観察される粒状異物の数、処理後の配線側壁および上部に残存する残渣の剥離性、および材質腐食性について走査型電子顕微鏡(SEM)観察を行った。SEMは日立高分解能電界放出形走査電子顕微鏡S−4700を用いた。その結果を併せて表1に記載した。
<配線上部の異物の粒状異物の発生の判定基準>
配線パターン中の特定の形状の部分を、SEMにて2万倍に拡大して観察した際に配線上部のバリアメタル上に観察される粒状の異物の数によって判定した。観察した配線上部のバリアメタル層の面積は8μm2であった。
◎:0個〜4個の異物が観察された。
○:5個〜19個の異物が観察された。
×:20個〜44個の異物が観察された。
××:45個以上の異物が観察された。
<残渣の剥離性の判定基準>
○:良好
×:剥離できていなかった
<材質腐食性の判定基準>
○:良好
×:腐食し、形状が変化していた
<総合評価の判定基準>
○:全て◎もしくは○のもの
△:×を1項目含むもの
×:×を2項目以上含むもの
添加物を含まない比較例1の薬液に浸漬したサンプルをSEM観察すると、配線側壁および上部の残渣は剥離されていたが、配線上部のバリアメタル上に残渣とは異なる粒状の異物(図2の8)が付着していた。表1の結果より、実施例1〜8に示す化合物を添加した場合、残渣はすべて剥離され粒状の異物の数は比較例1よりも減少した。比較例2〜9に示す化合物を添加した場合は、粒状異物の発生抑制効果が無い又は悪化する、あるいは残渣剥離性が低下した。
図1に剥離対象であるアルミニウム合金回路素子の断面図を示す。図1に示すように、シリコン基板1にSiOxからなる下地酸化膜2を形成し、次にTiN/Tiからなるバリアメタル層3を形成し、その上に配線としてAl‐Si‐CuからなるAl合金層4を形成し、TiN/Tiからなるバリアメタル層5を積層し、その後フォトレジストを塗布した後、露光、現像を行い、該フォトレジスト層をマスクとしてドライエッチングを行い、Al合金配線体6を形成し、さらにプラズマガスによりフォトレジスト層をアッシング除去した。配線側壁および上部には残渣7が残存している。
フッ化アンモニウム0.8重量%、N,N‐ジメチルアセトアミド68重量%、と表2記載に示した各種添加剤および残部水を加え、レジスト剥離液とした。比較例10では添加剤無し、実施例9〜10と比較例11〜16では所望の添加剤を加えた。ここで用いた試薬は全て試薬特級を用いた。
図1の評価用サンプルウェハを表2の実施例、比較例の調合薬液に25℃にて2分間浸漬し、その後、超純水でリンスを行い、窒素ガスを吹き付けて乾燥した。処理後に配線上部のバリアメタル上に観察される粒状異物の数、処理後の配線側壁および上部に残存する残渣の剥離性、および材質腐食性について走査型電子顕微鏡(SEM)観察を行った。SEMは日立高分解能電界放出形走査電子顕微鏡S−4700を用いた。その結果を併せて表2に記載した。
<配線上部の異物の粒状異物の発生の判定基準>
配線パターン中の特定の形状の部分を、SEMにて3万倍に拡大して観察した際に配線上部のバリアメタル上に観察される粒状の異物の数によって判定した。観察した配線上部のバリアメタル層の面積は10μm2であった。
◎:0個〜4個の異物が観察された。
○:5個〜14個の異物が観察された。
×:15個〜34個の異物が観察された。
××:35個以上の異物が観察された。
<残渣の剥離性の判定基準>
○:良好
×:剥離できていなかった
<材質腐食性の判定基準>
○:良好
×:腐食し、形状が変化していた
<総合評価の判定基準>
○:全て◎もしくは○のもの
△:×を1項目含むもの
×:×を2項目以上含むもの
添加物を含まない比較例10の薬液で洗浄処理したサンプルをSEM観察すると、配線側壁および上部の残渣は剥離されていたが、配線上部のバリアメタル上に残渣とは異なる粒状の異物(図2の8)が付着していた。表2の結果より、実施例9〜10に示す化合物を添加した場合、残渣はすべて剥離され粒状の異物の数は比較例10よりも減少した。比較例11〜16に示す化合物を添加した場合は、粒状異物の発生抑制効果が無い又は悪化する、あるいは残渣剥離性が低下した。
図1に剥離対象であるアルミニウム合金回路素子の断面図を示す。図1に示すように、シリコン基板1にSiOxからなる下地酸化膜2を形成し、次にTiN/Tiからなるバリアメタル層3を形成し、その上に配線としてAl‐CuからなるAl合金層4を形成し、TiN/Tiからなるバリアメタル層5を積層し、その後フォトレジストを塗布した後、露光、現像を行い、該フォトレジスト層をマスクとしてドライエッチングを行い、Al合金配線体6を形成し、さらにプラズマガスによりフォトレジスト層をアッシング除去した。配線側壁および上部には残渣7が残存している。
フッ化アンモニウム0.85重量%、N,N−ジメチルアセトアミド50重量%、ジエチレングリコールモノメチルエーテル15重量%、と表3記載に示した各種添加剤および残部水を加え、レジスト剥離液とした。比較例17では添加剤無し、実施例11〜14では所望の添加剤を所望の濃度加えた。ここで用いた試薬は全て試薬特級を用いた。
図1の評価用サンプルウェハを表3の実施例、比較例の調合薬液に30℃にて2分間浸漬し、その後、超純水でリンスを行い、窒素ガスを吹き付けて乾燥した。処理後に配線上部のバリアメタル上に観察される粒状異物の数、処理後の配線側壁および上部に残存する残渣の剥離性、および材質腐食性について走査型電子顕微鏡(SEM)観察を行った。SEMは日立高分解能電界放出形走査電子顕微鏡S−4700を用いた。その結果を併せて表3に記載した。
<配線上部の異物の粒状異物の発生の判定基準>
配線パターン中の特定の形状の部分を、SEMにて2万倍に拡大して観察した際に配線上部のバリアメタル上に観察される粒状の異物の数によって判定した。観察した配線上部のバリアメタル層の面積は18μm2であった。
◎:0個〜14個の異物が観察された。
○:15個〜44個の異物が観察された。
×:45個〜104個の異物が観察された。
××:105個以上の異物が観察された。
<残渣の剥離性の判定基準>
○:良好
×:剥離できていなかった
<材質腐食性の判定基準>
○:良好
×:腐食し、形状が変化していた
<総合評価の判定基準>
○:全て◎もしくは○のもの
△:×を1項目含むもの
×:×を2項目以上含むもの
添加物を含まない比較例17の薬液で洗浄処理したサンプルをSEM観察すると、配線側壁および上部の残渣は剥離されていたが、配線上部のバリアメタル上に残渣とは異なる粒状の異物(図2の8)が付着していた。表3の結果より、実施例11〜14に示す化合物を所望の濃度添加した場合、残渣はすべて剥離され粒状の異物の数は比較例17よりも減少した。
2.・・・SiOx酸化膜
3.・・・TiN/Tiバリアメタル層
4.・・・Al合金層
5.・・・TiN/Tiバリアメタル層
6.・・・Al合金配線体
7.・・・残渣
8.・・・バリアメタル上の粒状の異物
Claims (7)
- フッ素化合物と、1,10−フェナントロリン一水和物、1,10−フェナントロリン無水物、2,2’−ビピリジン、1,2,3−ベンゾトリアゾール、ピリジン、3,5−ジメチルピラゾール、ニトリロ三酢酸、プロピオン酸、および酢酸から選択される1種以上の水溶性化合物を含有することを特徴とするレジスト剥離液組成物。
- フッ素化合物と、1,10−フェナントロリン一水和物、1,10−フェナントロリン無水物、2,2’−ビピリジン、1,2,3−ベンゾトリアゾール、およびピリジンから選択される1種以上の水溶性化合物を含有することを特徴とするレジスト剥離液組成物。
- フッ素化合物がフッ化アンモニウムおよび/またはフッ化テトラメチルアンモニウムである請求項1または2記載のレジスト剥離液組成物。
- フッ素化合物の濃度が0.001〜10.0重量%であり、水溶性化合物の濃度範囲が0.005重量%〜5重量%である請求項1または2記載のレジスト剥離液組成物。
- 半導体素子製造工程において基板にSiOxからなる酸化膜を形成し、次にTiN/Tiからなるバリアメタル層を形成し、その上に配線としてAl‐Cu又はAl‐Si‐CuからなるAl合金層を形成し、TiN/Tiからなるバリアメタル層を積層し、さらにレジストを塗布後、露光、現像によりパタ−ンを形成した半導体素子をドライエッチングし、続いてアッシングを行い、配線側壁およびバリアメタル上に残存する残渣を剥離する際、フッ素化合物と1,10−フェナントロリン一水和物、1,10−フェナントロリン無水物、2,2’−ビピリジン、1,2,3−ベンゾトリアゾール、ピリジン、3,5−ジメチルピラゾール、ニトリロ三酢酸、プロピオン酸、および酢酸から選択される1種以上の水溶性化合物を含有するレジスト剥離液組成物を用いて剥離洗浄することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- フッ素化合物がフッ化アンモニウムおよび/またはフッ化テトラメチルアンモニウムである請求項5記載の半導体素子の製造方法。
- フッ素化合物の濃度が0.001〜10.0重量%であり、水溶性化合物の濃度範囲が0.005重量%〜5重量%である請求項5記載の半導体素子の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012256700A (ja) * | 2011-06-08 | 2012-12-27 | Sharp Corp | 半導体基板洗浄装置および洗浄方法、並びに半導体装置の製造方法 |
WO2020080060A1 (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 昭和電工株式会社 | 組成物、接着性ポリマーの洗浄方法、デバイスウェハの製造方法、及び支持ウェハの再生方法 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06250401A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 水溶性レジストの剥離方法 |
JPH08202052A (ja) * | 1995-01-31 | 1996-08-09 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト用剥離液組成物 |
JPH09197681A (ja) * | 1995-11-13 | 1997-07-31 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト用剥離液組成物 |
JPH10171130A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Fuji Film Oorin Kk | フォトレジスト剥離液 |
JP2001100436A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | レジスト剥離液組成物 |
JP2002169305A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ポリマー除去液およびポリマー除去装置 |
JP2002535732A (ja) * | 1999-01-27 | 2002-10-22 | アシュランド インコーポレーテッド | ホトレジスト及び有機及び無機腐食残留物を室温で除去するフッ化物及び有機極性溶媒を含有する低表面張力、低粘度、水性、酸性組成物 |
JP2003068699A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-07 | Showa Denko Kk | サイドウォール除去液 |
JP2004094203A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-03-25 | Renesas Technology Corp | レジスト除去用洗浄液および半導体装置の製造方法 |
JP2004536175A (ja) * | 2001-06-14 | 2004-12-02 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | フッ化物含有緩衝水性エッチング残渣除去剤および洗浄剤 |
JP2005317640A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Sony Corp | インターポーザにおけるビヤホールの形成方法、及び、インターポーザ |
WO2006138505A1 (en) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Advanced Technology Materials, Inc. | Dense fluid compositions for removal of hardened photoresist, post-etch residue and/or bottom anti-reflective coating layers |
JP2007019506A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-25 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体基板用洗浄液組成物、該洗浄液組成物の製造方法、該洗浄液組成物を用いた半導体基板の洗浄方法、および該洗浄方法を含む半導体素子の製造方法 |
JP2007243162A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-09-20 | Air Products & Chemicals Inc | 洗浄組成物 |
JP2008103730A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Air Products & Chemicals Inc | ポストエッチングしたフォトレジスト、エッチングポリマーおよび残留物を除去するためのアセタールまたはケタールを含有するストリッパー |
-
2008
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Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06250401A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 水溶性レジストの剥離方法 |
JPH08202052A (ja) * | 1995-01-31 | 1996-08-09 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト用剥離液組成物 |
JPH09197681A (ja) * | 1995-11-13 | 1997-07-31 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト用剥離液組成物 |
JPH10171130A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Fuji Film Oorin Kk | フォトレジスト剥離液 |
JP2002535732A (ja) * | 1999-01-27 | 2002-10-22 | アシュランド インコーポレーテッド | ホトレジスト及び有機及び無機腐食残留物を室温で除去するフッ化物及び有機極性溶媒を含有する低表面張力、低粘度、水性、酸性組成物 |
JP2001100436A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | レジスト剥離液組成物 |
JP2002169305A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ポリマー除去液およびポリマー除去装置 |
JP2004536175A (ja) * | 2001-06-14 | 2004-12-02 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | フッ化物含有緩衝水性エッチング残渣除去剤および洗浄剤 |
JP2003068699A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-07 | Showa Denko Kk | サイドウォール除去液 |
JP2004094203A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-03-25 | Renesas Technology Corp | レジスト除去用洗浄液および半導体装置の製造方法 |
JP2005317640A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Sony Corp | インターポーザにおけるビヤホールの形成方法、及び、インターポーザ |
WO2006138505A1 (en) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Advanced Technology Materials, Inc. | Dense fluid compositions for removal of hardened photoresist, post-etch residue and/or bottom anti-reflective coating layers |
JP2007019506A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-25 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体基板用洗浄液組成物、該洗浄液組成物の製造方法、該洗浄液組成物を用いた半導体基板の洗浄方法、および該洗浄方法を含む半導体素子の製造方法 |
JP2007243162A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-09-20 | Air Products & Chemicals Inc | 洗浄組成物 |
JP2008103730A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Air Products & Chemicals Inc | ポストエッチングしたフォトレジスト、エッチングポリマーおよび残留物を除去するためのアセタールまたはケタールを含有するストリッパー |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012256700A (ja) * | 2011-06-08 | 2012-12-27 | Sharp Corp | 半導体基板洗浄装置および洗浄方法、並びに半導体装置の製造方法 |
WO2020080060A1 (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 昭和電工株式会社 | 組成物、接着性ポリマーの洗浄方法、デバイスウェハの製造方法、及び支持ウェハの再生方法 |
CN112602174A (zh) * | 2018-10-16 | 2021-04-02 | 昭和电工株式会社 | 组合物、粘接性聚合物的清洗方法、器件晶圆的制造方法和支撑晶圆的再生方法 |
CN112602174B (zh) * | 2018-10-16 | 2023-12-08 | 株式会社力森诺科 | 组合物、粘接性聚合物的清洗方法、器件晶圆的制造方法和支撑晶圆的再生方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5206177B2 (ja) | 2013-06-12 |
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