JP2009513372A - Memsデバイスのための拡散バリア層 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MEMSデバイスにおける金属層間の拡散バリア層の使用がここに説明されている。拡散バリア層は、二つの金属の混合を防止する。それは、所望の物理的特性を変え、処理を複雑にしうる。一例では、拡散バリア層は、光干渉変調器の可動反射構造の一部として使用されてよい。
【選択図】
Description
実例1 残留応力の測定
二酸化シリコン拡散バリアのあるものとないものの、アルミニウムとクロムのさまざまな厚さを含んでいるいくつかのフィルムスタックをp型シリコンモニターウェハー上に堆積した。レーザー反射率を使用して堆積前後にシリコンウェハーの曲率を測定した。この曲率をストニー方程式に使用してフィルムスタック中の残留応力の測定を行なった。MRC693スパッタリング装置を使用してフィルムスタックを堆積した。表1は、製造したさまざまなフィルムスタックと結果の残留応力をリストアップしている。比較のため、名目上のAl(300オングストローム)/Ni(1000オングストローム)フィルムスタックは、約250〜300MPaの間の平均残留応力を有することがわかった。
実例1で説明されたフィルムスタックを使用して光干渉変調器アレイ中の可動反射層を製造した。光学スタック、モリブデン犠牲層の堆積、平坦化物質の堆積の後、MRC693スパッタリング装置を使用して1.1.4+の単色のガラスウェハの上にフィルムスタックを堆積した。可動反射層フィルムスタックはCR14、PADおよびPANエッチング液を連続して使用して、パターニングされエッチングされた。二酸化シリコンを欠くスタックでは、PADエッチング液は除外された。120秒の充てん時間と300秒の停止時間で2サイクルのドライXeF2リリースエッチングでモリブデン犠牲層を除去した。表2は、各ウェハーに使用した可動反射層エッチング液を示している。
Claims (63)
- 第一の金属層と、
第二の金属層と、
第一の金属層と第二の金属層の間に位置する拡散バリア層とを有する機械的膜を備えており、拡散バリア層が、第一の金属層の任意の部分が第二の金属層の任意の部分と混ざることを実質的に禁止することに適合されているMEMSデバイス。 - 第一の金属層がアルミニウムで構成されている請求項1のデバイス。
- 第二の金属層がクロムで構成されている請求項1のデバイス。
- 第二の金属層が、チタン、銅、鉄、シリコン、マンガン、マグネシウム、リチウム、銀、金、ニッケル、タンタルおよびタングステンから成るグループから選択された一以上の金属で構成されている請求項1のデバイス。
- 拡散バリア層が、酸化物、窒化物またはカーバイドで構成されている請求項1のデバイス。
- 拡散バリア層が二酸化シリコンで構成されている請求項1のデバイス。
- 拡散バリア層が、酸化アルミニウム、Si3N4、窒化チタン、窒化タンタル、シリコンカーバイド、炭化チタン、アルミノシリケイトおよびTiB2から成るグループから選択された一以上の化合物で構成されている請求項1のデバイス。
- 拡散バリア層が、チタン、タングステン、チタンタングステン合金、シリコンおよびタンタルから成るグループから選択された一以上の金属で構成されている請求項1のデバイス。
- MEMSデバイスが光干渉変調器であり、第一の金属層が機械的膜の中のミラーとして働く請求項1のデバイス。
- 拡散バリア層が、第二の金属層をエッチングすることができるエッチング液に対して耐性を有することによってエッチストップとしても働くように適合されている請求項1のデバイス。
- 拡散バリア層が少なくとも約15オングストロームの厚さを有している請求項1のデバイス。
- 第一の金属層の厚さが約200オングストロームと約2000オングストロームの間にある請求項1のデバイス。
- 第二の金属層の厚さが約80オングストロームと約1000オングストロームの間にある請求項1のデバイス。
- 第一の金属層の厚さが約800オングストロームと約1200オングストロームの間にあり、第二の金属層の厚さが約100オングストロームと約500オングストロームの間にあり、拡散バリア層の厚さが約20オングストロームと約60オングストロームの間にある請求項1のデバイス。
- 第一の金属層がアルミニウムであり、第二の金属層がクロムであり、拡散バリア層が二酸化シリコンである請求項14のデバイス。
- MEMSデバイスの中の機械的膜の中の第一の金属層の任意の部分が第二の金属層の任意の部分と混ざることを実質的に禁止する方法であり、第一と第二の金属層の間に拡散バリア層を位置決めすることを有している方法。
- 第一の金属層がアルミニウムで構成されている請求項16の方法。
- 第二の金属層がクロムで構成されている請求項16の方法。
- 拡散バリア層が、酸化物、窒化物またはカーバイドで構成されている請求項16の方法。
- 拡散バリア層が二酸化シリコンで構成されている請求項16の方法。
- MEMSデバイスが光干渉変調器であり、第一の金属層が機械的膜の中のミラーとして働く請求項16の方法。
- 拡散バリア層の位置決めが、
第一の金属層の上に拡散バリア層を堆積することと、
拡散バリア層の上に第二の金属層を堆積することとを有している請求項16の方法。 - 拡散バリア層の堆積が、PVD法、化学蒸気堆積またはゾルゲル法を使用して行なわれる請求項22の方法。
- 第一の金属層を堆積することと、
第一の金属層の上に拡散バリア層を堆積することと、
拡散バリア層の上に第二の金属層を堆積することと、
第一の金属層、拡散バリア層および第二の金属層の中に同じパターンをエッチングすることとを有しており、拡散バリア層が、第一の金属層の任意の部分が第二の金属層の任意の部分と混ざることを実質的に禁止することに適合されている、MEMSデバイスを製造する方法。 - 第一の金属層がアルミニウムで構成されている請求項24の方法。
- 第二の金属層がクロムで構成されている請求項24の方法。
- 拡散バリア層が、酸化物、窒化物またはカーバイドで構成されている請求項24の方法。
- 拡散バリア層が二酸化シリコンで構成されている請求項24の方法。
- 同じパターンをエッチングすることが、第一の金属層、拡散バリア層および第二の金属層のおのおのに対して異なるエッチング液を使用することを有している請求項24の方法。
- 請求項24のプロセスによって製造された機械的膜を備えているMEMSデバイス。
- ミラーと、
ミラーのための機械的支持を提供する、ミラーに隣接している機械的層と、
ミラーと機械的層の間に位置する拡散バリアとを有する可動反射層を備えており、拡散バリアが、ミラーの任意の部分が機械的層の任意の部分と混ざることを実質的に抑制することに適合されている、光干渉変調器。 - ミラーがアルミニウムで構成されている請求項31の光干渉変調器。
- 拡散バリアが、酸化物、窒化物またはカーバイドで構成されている請求項31の光干渉変調器。
- 拡散バリアが二酸化シリコンで構成されている請求項31の光干渉変調器。
- 機械的層がクロムで構成されている請求項31の光干渉変調器。
- ディスプレイと、
前記ディスプレイと通信するように構成されるとともに画像データを処理するように構成されたプロセッサーと、
前記プロセッサーと通信するように構成されたメモリーデバイスとをさらに備えている請求項31の光干渉変調器。 - 少なくとも一つの信号を前記ディスプレイに送るように構成されたドライバーをさらに備えている請求項36の装置。
- 前記画像データの少なくとも一部を前記ドライバーに送るように構成されたコントローラーをさらに備えている請求項37の装置。
- 前記画像データを前記プロセッサーに送るように構成された像源モジュールをさらに備えている請求項36の装置。
- 前記像源モジュールが、レシーバー、トランシーバーおよびトランスミッターに少なくとも一つを備えている請求項39の装置。
- 入力データを受け取るとともに前記入力データを前記プロセッサーに伝えるように構成された入力装置をさらに備えている請求項36の装置。
- 光を反射するための反射手段と、
反射手段に機械的支持を提供するための機械的支持手段と、
反射手段と機械的支持手段の間の拡散を防止するための拡散バリア手段とを有する可動反射層を備えている光干渉変調器。 - 反射手段がミラーである請求項42の光干渉変調器。
- 機械的支持手段が金属機械的層である請求項42の光干渉変調器。
- 金属機械的層が、クロム、チタン、銅、鉄、シリコン、マンガン、マグネシウム、リチウム、銀、金、ニッケル、タンタルおよびタングステンから成るグループから選択された一以上の金属で構成されている請求項44の光干渉変調器。
- 拡散バリア手段が、二酸化シリコン、酸化アルミニウム、Si3N4、窒化チタン、窒化タンタル、シリコンカーバイド、炭化チタン、アルミノシリケイトおよびTiB2から成るグループから選択された一つ以上の化合物で構成されている請求項42、43、44または45の光干渉変調器。
- 第一の金属層を堆積することと、
第一の金属層の上に拡散バリア層を堆積することと、
拡散バリア層の上に第二の金属層を堆積することと、
第二の金属層、拡散バリアおよび第一の金属層の中に同じパターンをエッチングすることとを有しており、拡散バリア層が、第一の金属層の任意の部分が第二の金属層の任意の部分と混ざることを実質的に禁止することに適合されている光干渉変調器を製造する方法。 - 第二の金属層の中にパターンをエッチングすることが第一のエッチング液を使用することを有し、拡散バリアの中にパターンをエッチングすることが第二のエッチング液を使用することを有し、第一の金属層の中にパターンをエッチングすることが第三のエッチング液を使用することを有している請求項47の方法。
- 拡散バリア層が、酸化物、窒化物またはカーバイドで構成されている請求項47の方法。
- 拡散バリア層が二酸化シリコンで構成されている請求項47の方法。
- 拡散バリア層と第一の金属層が第一のエッチング液に対して実質的に耐性がある請求項48の方法。
- 第一の金属層、第二の金属層が第二のエッチング液に対して実質的に耐性がある請求項48の方法。
- 拡散バリア層と第二の金属層が第三のエッチング液に対して実質的に耐性がある請求項48の方法。
- 第一のエッチング液がCR14である請求項48の方法。
- 第二のエッチング液がPADである請求項48の方法。
- 第三のエッチング液はPANである請求項48の方法。
- 請求項47のプロセスによって製造された光干渉変調器。
- 所望の引張応力を有するMEMSデバイスの中に可動電極を製造する方法であり、
可動電極のための所望の引張応力または引張応力の範囲を決定することと、
引張応力を有する物質で構成された一つ以上の層を形成することと、
引張応力物質に隣接させて、圧縮応力を有する物質で構成された一つ以上の層を形成することとを有し、それにより、圧縮応力の引張応力の組み合わせが、可動電極のための所望の引張応力または引張応力の範囲を提供する方法。 - 引張応力層の物質が一以上の金属である請求項58の方法。
- 金属が、アルミニウム、クロム、チタン、銅、鉄、シリコン、マンガン、マグネシウム、リチウム、銀、金、ニッケル、タンタルおよびタングステンから成るグループから選択されている請求項59の方法。
- 圧縮応力層が、酸化物、窒化物またはカーバイドの一以上である請求項58の方法。
- 少なくとも一つの圧縮応力層が二酸化シリコンで構成されている請求項58の方法。
- 請求項58のプロセスによって製造されたMEMSデバイス可動電極。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/261,236 US7630114B2 (en) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | Diffusion barrier layer for MEMS devices |
US11/261,236 | 2005-10-28 | ||
PCT/US2006/040775 WO2007053308A2 (en) | 2005-10-28 | 2006-10-19 | Diffusion barrier layer for mems devices |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013078732A Division JP2013178531A (ja) | 2005-10-28 | 2013-04-04 | Memsデバイスのための拡散バリア層 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009513372A true JP2009513372A (ja) | 2009-04-02 |
Family
ID=37749399
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008537782A Withdrawn JP2009513372A (ja) | 2005-10-28 | 2006-10-19 | Memsデバイスのための拡散バリア層 |
JP2013078732A Pending JP2013178531A (ja) | 2005-10-28 | 2013-04-04 | Memsデバイスのための拡散バリア層 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013078732A Pending JP2013178531A (ja) | 2005-10-28 | 2013-04-04 | Memsデバイスのための拡散バリア層 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7630114B2 (ja) |
EP (1) | EP1941316A2 (ja) |
JP (2) | JP2009513372A (ja) |
KR (1) | KR20080072872A (ja) |
CN (2) | CN102608754A (ja) |
TW (1) | TW200720183A (ja) |
WO (1) | WO2007053308A2 (ja) |
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- 2005-10-28 US US11/261,236 patent/US7630114B2/en not_active Expired - Fee Related
-
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- 2006-10-19 KR KR1020087012655A patent/KR20080072872A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-10-19 JP JP2008537782A patent/JP2009513372A/ja not_active Withdrawn
- 2006-10-19 WO PCT/US2006/040775 patent/WO2007053308A2/en active Application Filing
- 2006-10-19 EP EP06836379A patent/EP1941316A2/en not_active Withdrawn
- 2006-10-19 CN CN2012100655964A patent/CN102608754A/zh active Pending
- 2006-10-19 CN CN2006800401208A patent/CN101305308B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-27 TW TW095139680A patent/TW200720183A/zh unknown
-
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- 2009-11-06 US US12/614,311 patent/US8085458B2/en not_active Expired - Fee Related
-
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102608754A (zh) | 2012-07-25 |
US20100046058A1 (en) | 2010-02-25 |
CN101305308A (zh) | 2008-11-12 |
US7630114B2 (en) | 2009-12-08 |
US8085458B2 (en) | 2011-12-27 |
TW200720183A (en) | 2007-06-01 |
WO2007053308A3 (en) | 2007-07-26 |
CN101305308B (zh) | 2012-05-23 |
KR20080072872A (ko) | 2008-08-07 |
EP1941316A2 (en) | 2008-07-09 |
US20120086998A1 (en) | 2012-04-12 |
WO2007053308A2 (en) | 2007-05-10 |
US20070096300A1 (en) | 2007-05-03 |
JP2013178531A (ja) | 2013-09-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20130521 |