JP2009507359A - 能動的に振動を減衰するためのシステムとその方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 支持ばね
12 能動ダンパー
13 絶縁台座
14 ベース台座
15 アクチュエータ
16 中間マス
17 受動ダンパー
18 運動センサ
19 フィードバック補償ループ
Claims (30)
- 支持されたペイロードからの振動を減衰させるためのシステムであって、
前記ペイロードを支持する絶縁台座から該絶縁台座に対向するベース台座まで延びており、前記ペイロードからの静的な力を支持するための支持ばねと、
前記絶縁台座と前記ベース台座との間を、前記支持ばねに並列かつ前記支持ばねから離間して延びており、前記ペイロードからの動的な力を減衰させるための能動ダンパーと、
を有しており、
前記能動ダンパーは、
その両端部に互いに反対向きである第1および第2の端部を有しており、前記第1および第2の端部の間の長さは可変であり、前記第2の端部が前記ベース台座に接続されているアクチュエータと、
本体部を有し、前記アクチュエータの前記第1の端部の上に軸方向に整列して、前記ペイロードからの動的な力を減衰させることができる点をもたらしている中間マスと、
一端において前記絶縁台座と接続され、他端において前記中間マスに向かって延びているピストンを有している受動ダンパーと、を備えており、
前記能動ダンパーの中間マスと組み合わされ、前記中間マスの運動の関数である信号を生成する運動センサを備えたことを特徴とするシステム。 - 前記支持ばねは、一端において前記絶縁台座に接続され、他端において前記ベース台座に接続されており、更に、前記絶縁台座を前記ベース台座に対して実質的に平行に保つように機能する請求項1に記載のシステム。
- 前記支持ばねの剛性の値が、前記アクチュエータの呈する剛性よりも少なくとも1桁小さい請求項1に記載のシステム。
- 前記中間マスの質量が、前記ペイロードよりも少なくとも1桁小さい請求項1に記載のシステム。
- 前記中間マスの前記本体部が、粘性流体の容量を収容できる容積を有する請求項1に記載のシステム。
- 前記中間マスの前記本体部が下端および上端を有しており、前記上端は、前記受動ダンパーの前記ピストンが通過して延伸することができる開口を有している請求項5に記載のシステム。
- 前記開口は、前記本体部から前記ピストンが外れることが起こることを最小限にするのに十分なサイズとすることができる請求項6に記載のシステム。
- 前記中間マスは、前記本体部からの前記粘性流体の喪失を最小限にするために、前記開口を横切って延びる膜を備えている請求項6に記載のシステム。
- 前記ピストンは、前記粘性流体内に前記ピストンの端部に取り付けられたプレートを備え、前記受動ダンパーによる必要な減衰効果の発生を可能にする請求項1に記載のシステム。
- 前記中間マスと前記受動ダンパーが、別個の構成部品である請求項1に記載のシステム。
- 前記能動ダンパーは、前記中間マスと前記アクチュエータの前記第1の端部との間に剪断分離器をさらに備え、前記アクチュエータへの剪断応力の作用を抑える請求項1に記載のシステム。
- 前記能動ダンパーは、前記アクチュエータをあらかじめ圧縮された状態へと押す場合に役立つように、前記中間マスの前記本体部の周囲、かつ、上端と下端との間に、ばねをさらに備えている請求項1に記載のシステム。
- 前記運動センサからの信号に基づいて前記アクチュエータの長さを変化させるように、前記運動センサを前記アクチュエータと組み合わせる回路構成の補償モジュールをさらに備え、前記能動ダンパーが所定の振動周波数の範囲にわたって前記絶縁台座を安定させるべく機能する請求項1に記載のシステム。
- 前記絶縁台座の運動の関数である信号を生成するために前記絶縁台座と組み合わせられた運動センサをさらに備えており、前記絶縁台座に配置された前記運動センサは、該センサからの信号を前記中間マスの前記運動センサに組み合わせて前記絶縁台座について振動制御を補強することができるように、補償モジュールと情報のやりとりをしている請求項13に記載のシステム。
- 前記ベース台座の運動の関数である信号を生成するために、前記ベース台座と組み合わせられた運動センサをさらに備えており、該センサは、該センサからの信号を前記ベース台座からの振動を補償するためのフィードフォワード信号として使用することができるように、前記補償モジュールと情報のやりとりをしている請求項13に記載のシステム。
- 一端において前記絶縁台座と直列に取り付けられ、他端において前記受動ダンパーと直列に取り付けられたばねをさらに備えている請求項1に記載のシステム。
- 支持されたペイロードからの振動を減衰させるためのシステムであって、
前記ペイロードを支持する絶縁台座から該絶縁台座に対向するベース台座まで延びており、前記ペイロードからの静的な力を支持するための支持ばねと、
前記支持ばねと並列で、かつ、前記支持ばねから離間して配置され、前記ペイロードからの動的な力を減衰させることができる点をもたらすための中間マスと、
それぞれが各軸に沿って長さを変化させることができる複数のアクチュエータであって、各アクチュエータが前記中間マスに隣接する第1の端部と、振動しやすい支持体へと接続された反対側の第2の端部とを有しているアクチュエータと、
前記中間マスの運動の関数である信号を生成するために、前記中間マスと組み合わされた運動センサと、を有しているシステム。 - 前記支持ばねは、一端において前記絶縁台座に連結され、他端において前記ベース台座に連結されており、更に、前記絶縁台座を前記ベース台座に対して実質的に平行に保つように機能する請求項17に記載のシステム。
- 前記支持ばねの剛性の値は、前記アクチュエータの呈する剛性よりも少なくとも1桁小さい請求項17に記載のシステム。
- 前記中間マスの質量は、前記ペイロードよりも少なくとも1桁小さい請求項17に記載のシステム。
- 前記中間マスに対し軸方向に整列した受動ダンパーをさらに備えており、該受動ダンパーは、粘性流体の容積を有するとともに、一端において前記絶縁台座と連結され、他端において前記粘性流体の容積部へと延びているピストンを有している請求項17に記載のシステム。
- 前記中間マスは、前記粘性流体の容量を収容するための本体部を備えている請求項21に記載のシステム。
- 一端において前記絶縁台座と直列に取り付けられ、他端において前記受動ダンパーと直列に取り付けられた第2のばねをさらに備えている請求項21に記載のシステム。
- 前記アクチュエータへの剪断応力の作用を抑えるために、前記中間マスと各アクチュエータの前記第1の端部との間に剪断分離器をさらに備えている請求項17に記載のシステム。
- 前記能動ダンパーが所定の振動周波数の範囲にわたって前記ペイロードマスを安定させるべく機能するよう、前記運動センサからの信号に基づいて前記アクチュエータの長さを変化させるように、前記運動センサを前記アクチュエータと組み合わせる回路構成の補償モジュールをさらに備えている請求項17に記載のシステム。
- 前記絶縁台座の運動の関数である信号を生成するために、前記絶縁台座と組み合わせられた運動センサをさらに備えており、前記絶縁台座に配置された前記運動センサは、該センサからの信号を前記中間マスに配置された前記運動センサと組み合わせて前記絶縁台座についての振動制御を補強することができるように、前記補償モジュールと情報のやりとりをしている請求項25に記載のシステム。
- 前記ベース台座の運動の関数である信号を生成するために、前記ベース台座と組み合わせられた運動センサをさらに備えており、該センサは、該センサからの信号を前記ベース台座からの振動を補償するためのフィードフォワード信号として使用することができるように、前記補償モジュールと情報のやりとりをしている請求項25に記載のシステム。
- 絶縁台座上に支持されたペイロードからの振動を減衰させるための方法であって、
前記ペイロードからの静的な力に対処するために、支持ばねの一端を前記絶縁台座に取り付け、該ばねの他端をベース台座に延伸させ、
アクチュエータを、前記支持ばねに並列、かつ、前記支持ばねから離間して前記ベース台座に配置し、
中間マスを前記アクチュエータ上に軸方向に整列させて配置し、
受動ダンパーを前記絶縁台座および前記中間マスに接続し、
前記中間マスの動きを検出し、前記中間マスの運動の関数である運動信号を生成し、
前記運動信号に基づいて制御信号を生成し、
前記制御信号を前記アクチュエータに印加し、前記アクチュエータの長さを変化させることで、前記ペイロードによって受ける振動を減衰させること、を含んでいる方法。 - 前記絶縁台座の動きを検出し、前記絶縁台座の運動の関数である運動信号を生成し、
前記絶縁台座からの運動信号を前記中間マスからの運動信号と統合し、
前記絶縁台座および前記中間マスからの運動信号に基づいて、統合制御信号を生成し、
前記統合制御信号を前記アクチュエータに印加し、前記アクチュエータの長さの変化を可能にすることで、前記ペイロードにより経験される振動の減衰を補強すること、をさらに含んでいる請求項28に記載の方法。 - 前記ベース台座の動きを検出して前記ベース台座の運動の関数である運動信号を生成し、
前記ベース台座からの運動信号に基づいて、フィードフォワード制御信号を生成し、
前記フィードフォワード制御信号を前記アクチュエータに印加することで、前記ベース台座からの振動を補償すること、をさらに含んでいる請求項28に記載の方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009074566A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Nabeya Iron & Tool Works Ltd | アクティブ除振マウント機構 |
JP2011135077A (ja) * | 2009-12-23 | 2011-07-07 | Asml Netherlands Bv | インプリントリソグラフィ装置およびインプリントリソグラフィ方法 |
JP2012031617A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Taiheiyo Cement Corp | 振動制御装置および振動制御方法 |
JP2012094864A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Asml Netherlands Bv | パターニングデバイスから基板上にパターンを転写するためのリソグラフィ装置、および制振方法 |
US8245824B2 (en) | 2007-11-20 | 2012-08-21 | Asml Netherlands B.V. | Combination of structure and an active damping system, and a lithographic apparatus |
JP2013061042A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | 振動絶縁装置 |
JP2020510853A (ja) * | 2017-02-10 | 2020-04-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2020531758A (ja) * | 2017-08-15 | 2020-11-05 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイションTechnical Manufacturing Corporation | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1849467A (zh) * | 2003-09-11 | 2006-10-18 | 独立行政法人科学技术振兴机构 | 除振方法及其装置 |
JP5066098B2 (ja) * | 2006-11-29 | 2012-11-07 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
US8170225B2 (en) * | 2007-02-14 | 2012-05-01 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Method for adapting a vibration isolation system |
JP5008630B2 (ja) * | 2007-10-02 | 2012-08-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
EP2045664B1 (en) * | 2007-10-04 | 2013-03-06 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, projection assembly and active damping |
US8164737B2 (en) * | 2007-10-23 | 2012-04-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus having an active damping subassembly |
EP2075484A1 (en) * | 2007-12-31 | 2009-07-01 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | An active vibration isolation system having an inertial reference mass |
US8037821B2 (en) * | 2008-04-24 | 2011-10-18 | Raytheon Company | Methods and apparatus for reducing the transmission of mechanical waves |
US20100030384A1 (en) * | 2008-07-29 | 2010-02-04 | Technical Manufacturing Corporation | Vibration Isolation System With Design For Offloading Payload Forces Acting on Actuator |
EP2261530A1 (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-15 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | An active vibration isolation and damping system |
TWI398570B (zh) * | 2009-08-11 | 2013-06-11 | Ruentex Eng & Constr Co Ltd | 微震控制建築系統 |
US8727660B2 (en) | 2010-04-16 | 2014-05-20 | Ammann Schweiz Ag | Arrangement for providing a pulsing compressive force |
CN101968520B (zh) * | 2010-08-20 | 2012-06-06 | 浙江省计量科学研究院 | 复合结构综合试验台 |
JP5641878B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2014-12-17 | キヤノン株式会社 | 振動制御装置、リソグラフィー装置、および、物品の製造方法 |
EP2469340B1 (en) | 2010-12-21 | 2021-01-06 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE102011006024A1 (de) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Anordnung zur Vibrationsisolation einer Nutzlast |
DE102011007917A1 (de) * | 2011-04-21 | 2012-10-25 | Asml Netherlands B.V. | Anordnung zur Aktuierung eines Elementes in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
JP2012237258A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Yamaha Motor Co Ltd | 船外機 |
US9411442B2 (en) | 2011-06-29 | 2016-08-09 | Google Technology Holdings LLC | Electronic device having managed input components |
US8890823B2 (en) | 2012-01-09 | 2014-11-18 | Motorola Mobility Llc | System and method for reducing occurrences of unintended operations in an electronic device |
US8960323B2 (en) | 2011-10-18 | 2015-02-24 | Robert Bosch Gmbh | Semi-active anti-vibration systems for handheld electrical power tools |
US8568042B1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-10-29 | Google Inc. | Camera support device and method related thereto |
FR2990012B1 (fr) * | 2012-04-27 | 2014-05-16 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Suspension mecanique pour relier un moteur a un chassis d'un vehicule automobile |
US8899393B2 (en) | 2012-06-08 | 2014-12-02 | Technical Manufacturing Corporation | Active vibration isolation system |
TWI589796B (zh) * | 2013-03-28 | 2017-07-01 | 克萊譚克公司 | 用於測量平台之混合震動隔離系統 |
JP6278676B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2018-02-14 | キヤノン株式会社 | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
JP6302305B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2018-03-28 | キヤノン株式会社 | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
US9739336B2 (en) * | 2014-08-13 | 2017-08-22 | Northrop Grumman Systems Corporation | Magnetically damped isolator and pointing mount |
US10184539B2 (en) | 2014-09-30 | 2019-01-22 | Technical Manufacturing Corporation | Vibration isolation system |
US9458907B2 (en) | 2014-10-02 | 2016-10-04 | Honeywell International Inc. | Vibration isolation systems including multi-parameter isolators providing piezoelectric-based damping |
EP3034905B1 (de) * | 2014-12-15 | 2018-07-11 | G + H Schallschutz GmbH | Federsystem zur schwingungsisolierenden Lagerung |
WO2016187281A1 (en) | 2015-05-19 | 2016-11-24 | Technical Manufacturing Corporation | Laminated, low-profile, vibration-damped tabletop |
WO2017056265A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 三菱電機株式会社 | 免震ユニットおよび免震装置 |
WO2017145140A1 (en) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | K&S Advanced Systems Ltd | Variable damper for microvibration isolation |
WO2017143595A1 (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | Sz Dji Osmo Technology Co., Ltd. | Method and system for stabilizing a payload |
DE112017001339T5 (de) | 2016-03-15 | 2018-11-29 | Technical Manufacturing Corporation | Benutzer-abgestimmtes, aktives Schwingungsisolationssystem |
CN106051035A (zh) * | 2016-06-28 | 2016-10-26 | 安庆市佰斯特电子科技有限公司 | 一种基于混联结构的环境监测飞行器充电桩用减震装置 |
CN106321707B (zh) * | 2016-10-20 | 2018-03-20 | 华中科技大学 | 一种两自由度超低频隔振器 |
CN106321719B (zh) * | 2016-10-20 | 2018-02-23 | 华中科技大学 | 一种采用正负刚度并联的主被动复合隔振器 |
CN106321708B (zh) * | 2016-10-20 | 2018-02-23 | 华中科技大学 | 一种两自由度隔振与精密定位的复合主动隔振器 |
CA2950508A1 (en) | 2016-12-02 | 2018-06-02 | National Research Council Of Canada | Compact vibration reducing human support |
JP7008443B2 (ja) * | 2017-08-02 | 2022-01-25 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | 防振支持構造および防振システム |
US11001268B2 (en) | 2018-05-02 | 2021-05-11 | Fca Us Llc | Active vehicle chassis dampening systems and methods |
US11073758B2 (en) * | 2018-10-31 | 2021-07-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus control, control method and manufacturing method |
WO2020210183A1 (en) | 2019-04-08 | 2020-10-15 | Technical Manufacturing Corporation | Magnetic field suppression system |
CN110273487A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-09-24 | 浙江大学 | 一种能够显著减小弹簧静伸长量的低频竖向减振调谐质量阻尼器 |
CN111692265B (zh) * | 2019-09-20 | 2021-09-21 | 胡小青 | 一种基于振动补偿的大型机器用共振消除装置 |
US11124272B2 (en) * | 2019-11-11 | 2021-09-21 | Steering Solutions Ip Holding Corporation | System and method for vibration cancellation |
US11835934B2 (en) | 2020-10-09 | 2023-12-05 | Nikon Corporation | Systems and methods for reducing vibrational disturbances |
CN112483586B (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-15 | 南京航空航天大学 | 一种基于智能弹簧的可调谐动力吸振器及控制方法 |
CN114183497B (zh) * | 2021-12-17 | 2024-02-27 | 中国船舶重工集团公司第七0九研究所 | 一种基于压电效应的三轴向主动减振器及其系统 |
NL1044323B1 (en) * | 2022-05-09 | 2023-11-16 | Jpe | Active controlled modular multi-DoF vibration isolator for cryogenic environment |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US582307A (en) * | 1897-05-11 | William orr | ||
JPS63167139A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-07-11 | ロード・コーポレーション | 振動減衰装置およびその制動方法 |
JPH03117742A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防振装置 |
JPH06221374A (ja) * | 1992-07-15 | 1994-08-09 | Gerb Schwingungsisolierungen Gmbh & Co Kg | 振動ダンパ |
JPH0854039A (ja) * | 1994-04-04 | 1996-02-27 | Applied Power Inc | 剛性アクチュエータ能動振動絶縁装置 |
JPH11230246A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Tokkyo Kiki Kk | アクティブ除振装置 |
JP2000136844A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Canon Inc | 変位発生形アクチュエータ能動振動絶縁装置 |
JP2002310229A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Jeol Ltd | 除振機構及び放射ビーム装置 |
JP2003203860A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-18 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2004162745A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Canon Inc | 弾性振動の制御装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3703999A (en) * | 1969-12-12 | 1972-11-28 | Actron Ind Inc | Wide band stabilizer |
US4476969A (en) * | 1982-04-12 | 1984-10-16 | Dykema Owen W | Dynamic recoil damping mechanism |
IL77057A (en) * | 1985-03-26 | 1990-03-19 | Wright Barry Corp | Active vibration isolation system |
US4821205A (en) * | 1986-05-30 | 1989-04-11 | Eaton Corporation | Seismic isolation system with reaction mass |
DE3827240A1 (de) * | 1988-08-11 | 1990-02-15 | Renk Tacke Gmbh | Daempfungs- und positioniereinrichtung fuer getriebe |
US5433422A (en) * | 1988-09-02 | 1995-07-18 | Ross; Colin F. | Active vibration control through sensing and controlling forces on an intermediate body |
US5318156A (en) * | 1992-12-15 | 1994-06-07 | Honeywell Inc. | Rigid volume viscous damper |
US6032770A (en) * | 1993-04-12 | 2000-03-07 | Raytheon Company | Low force actuator for suspension control |
US5975508A (en) * | 1995-09-06 | 1999-11-02 | Applied Power Inc. | Active vehicle seat suspension system |
JP4095689B2 (ja) * | 1996-10-01 | 2008-06-04 | 寛 松久 | 衝撃振動吸収方法及び制振装置 |
US6378672B1 (en) * | 1998-10-13 | 2002-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Active vibration isolation device and its control method |
FR2792554B1 (fr) * | 1999-04-22 | 2001-06-29 | Vibrachoc Sa | Dispositif resonant, tel que batteur ou generateur d'efforts |
US6354576B1 (en) * | 1999-10-22 | 2002-03-12 | Honeywell International Inc. | Hybrid passive and active vibration isolator architecture |
US6570298B2 (en) * | 2000-05-09 | 2003-05-27 | Tokkyokiki Co., Ltd. | Vibration control device and driving method thereof |
JP2001317585A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Tokkyokiki Corp | 振動制御装置およびその駆動方法 |
JP2002035696A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-05 | Tokkyokiki Corp | 振動制御装置およびその駆動方法 |
DE50110153D1 (de) * | 2001-04-24 | 2006-07-27 | Peter Heiland | Vorrichtung zur schwingungsisolierenden Aufnahme von Lasten |
US6752250B2 (en) * | 2001-09-27 | 2004-06-22 | Northrop Grumman Corporation | Shock, vibration and acoustic isolation system |
CA2497417C (en) * | 2002-09-24 | 2011-11-15 | Bell Helicopter Textron Inc. | Piezoelectric liquid inertia vibration eliminator |
FR2856765B1 (fr) * | 2003-06-26 | 2005-12-02 | Hutchinson | Batteur dynamique actif |
EP1664587B1 (en) * | 2003-09-05 | 2010-11-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Actuator arrangement for active vibration isolation comprising an inertial reference mass |
CN1849467A (zh) * | 2003-09-11 | 2006-10-18 | 独立行政法人科学技术振兴机构 | 除振方法及其装置 |
-
2005
- 2005-06-02 US US11/143,236 patent/US7726452B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-05-18 DE DE112006001416T patent/DE112006001416T5/de not_active Ceased
- 2006-05-18 JP JP2008514676A patent/JP5166253B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-18 WO PCT/US2006/019264 patent/WO2006132777A2/en active Application Filing
-
2012
- 2012-09-11 JP JP2012199422A patent/JP2013080911A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US582307A (en) * | 1897-05-11 | William orr | ||
JPS63167139A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-07-11 | ロード・コーポレーション | 振動減衰装置およびその制動方法 |
JPH03117742A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防振装置 |
JPH06221374A (ja) * | 1992-07-15 | 1994-08-09 | Gerb Schwingungsisolierungen Gmbh & Co Kg | 振動ダンパ |
JPH0854039A (ja) * | 1994-04-04 | 1996-02-27 | Applied Power Inc | 剛性アクチュエータ能動振動絶縁装置 |
JPH11230246A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Tokkyo Kiki Kk | アクティブ除振装置 |
JP2000136844A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Canon Inc | 変位発生形アクチュエータ能動振動絶縁装置 |
JP2002310229A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Jeol Ltd | 除振機構及び放射ビーム装置 |
JP2003203860A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-18 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2004162745A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Canon Inc | 弾性振動の制御装置 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009074566A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Nabeya Iron & Tool Works Ltd | アクティブ除振マウント機構 |
US8245824B2 (en) | 2007-11-20 | 2012-08-21 | Asml Netherlands B.V. | Combination of structure and an active damping system, and a lithographic apparatus |
JP2011135077A (ja) * | 2009-12-23 | 2011-07-07 | Asml Netherlands Bv | インプリントリソグラフィ装置およびインプリントリソグラフィ方法 |
US9715171B2 (en) | 2009-12-23 | 2017-07-25 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithographic apparatus and imprint lithographic method |
JP2012031617A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Taiheiyo Cement Corp | 振動制御装置および振動制御方法 |
US8730451B2 (en) | 2010-10-27 | 2014-05-20 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus for transferring pattern from patterning device onto substrate, and damping method |
JP2012094864A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Asml Netherlands Bv | パターニングデバイスから基板上にパターンを転写するためのリソグラフィ装置、および制振方法 |
JP2013061042A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | 振動絶縁装置 |
JP2020510853A (ja) * | 2017-02-10 | 2020-04-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
US10866529B2 (en) | 2017-02-10 | 2020-12-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2020531758A (ja) * | 2017-08-15 | 2020-11-05 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイションTechnical Manufacturing Corporation | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
US11512757B2 (en) | 2017-08-15 | 2022-11-29 | Technical Manufacturing Coporation | Precision vibration-isolation system with floor feedforward assistance |
JP7225210B2 (ja) | 2017-08-15 | 2023-02-20 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイション | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
US11873880B2 (en) | 2017-08-15 | 2024-01-16 | Technical Manufacturing Corporation | Precision vibration-isolation system with floor feedforward assistance |
JP7477670B2 (ja) | 2017-08-15 | 2024-05-01 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイション | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5166253B2 (ja) | 2013-03-21 |
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WO2006132777A2 (en) | 2006-12-14 |
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