JP2009074566A - アクティブ除振マウント機構 - Google Patents
アクティブ除振マウント機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009074566A JP2009074566A JP2007241686A JP2007241686A JP2009074566A JP 2009074566 A JP2009074566 A JP 2009074566A JP 2007241686 A JP2007241686 A JP 2007241686A JP 2007241686 A JP2007241686 A JP 2007241686A JP 2009074566 A JP2009074566 A JP 2009074566A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- coil spring
- floor
- vibration isolation
- active vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】床4の振動を絶縁する一方、定盤2の重量を支える弾性支持体6;定盤2のたわみ量に対応して復元力が変化する第一のコイルばね18と、その復元力変化を検知して制御信号として出力するロードセル20とを直列に組み合わせてなるセンサ手段8;及び床4に対する定盤2の相対的な高さ変化を補償するように上下動するようにしたものである微小変位アクチュエータ40と、微小変位アクチュエータの上下動によりたわみ量を変化させるようにしたものである第二のコイルばね38とを直列に組み合わせてなるアクティブ除振装置10を有するように、アクティブ除振マウント機構を構成した。
【選択図】図1
Description
6 弾性支持体 8 センサ装置
10 除振装置 12 加速度センサ
14 コイルばね 16 粘弾性体
18 第一のコイルばね 20 ロードセル
22 安全ばね 24 歪みゲージ
26 起歪体 28 作用部材
30 支持部材 32 取付けネジ
34 取付けブラケット 36 ナット
38 第二のコイルばね 40 微小変位アクチュエータ
42 出力ロッド 44 ロードセルアンプ
46 加速度センサアンプ 48 A/D回路
50 コントローラ 52 D/A回路
54 アクチュエータコントローラ 56 乗算ブロック
58 微分ブロックA 60 微分ブロックB
62 ローパスフィルタ 64 加算ブロックA
66 レベリング制御器 68 定盤除振フィードバック制御器
70 床振動フィードフォワード制御器 72 加算ブロックB
74 微分ブロック 76 積分ブロック
Claims (6)
- 嫌振機器が搭載される定盤と床との間に介装されて、かかる定盤を支持すると共に、少なくとも外来の微振動の該定盤への伝播を打ち消す機能が具備せしめられてなる除振マウント機構にして、
それら床と定盤との間の振動絶縁を図る一方、該定盤の重量を支える弾性支持体と、
前記定盤の前記床に対する相対的な上下振動により惹起されるたわみ量の変化に対応して復元力が変化する第一のコイルばねと、該第一のコイルばねの復元力変化を検知して、制御信号として出力するロードセルとを、直列に組み合わせてなるセンサ手段と、
微小変位アクチュエータと第二のコイルばねとが直列に組み合わされてなり、該微小変位アクチュエータは、前記ロードセルからの制御信号を入力として前記定盤の前記床に対する相対的な高さ変化を補償するように上下動するようにしたものである一方、該第二のコイルばねは、荷重を支えると共に、該微小変位アクチュエータの上下動によりたわみ量を変化させるようにしたものであるアクティブ除振装置とを、
有することを特徴とするアクティブ除振マウント機構。 - 前記床及び/又は前記定盤の振動加速度を検知する加速度センサが更に設けられ、該加速度センサによる検知信号に基づいて、前記微小変位アクチュエータが更に駆動制御されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載のアクティブ除振マウント機構。
- 前記弾性支持体のばね定数、前記第一のコイルばねのばね定数及び前記第二のコイルばねのばね定数を、それぞれ、Km、Ka及びKbとしたとき、かかるKmがKbよりも大きく、且つ該Kbが前記Kaよりも大きくなるように構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のアクティブ除振マウント機構。
- 前記ロードセルが、歪みゲージの貼り付けられた所定長さの起歪体と、該起歪体の一方の端部に片持梁り形態で設けられたL字形状の作用部材と、該起歪体の他方の端部に片持梁り形態で設けられたL字形状の支持部材とを有し、該作用部材に対して前記第一のコイルばねが取り付けられて、該第一のコイルばねの復元力が作用せしめられるようになっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載のアクティブ除振マウント機構。
- 前記第一のコイルばねが、前記定盤と前記ロードセルの作用部材とを連結するように配されている一方、前記ロードセルの支持部材が、安全ばねを介して、前記床に取り付けられていることを特徴とする請求項4に記載のアクティブ除振マウント機構。
- 前記弾性支持体が、コイルばね、又はコイルばねと粘弾性体から構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一つに記載のアクティブ除振マウント機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007241686A JP4827813B2 (ja) | 2007-09-19 | 2007-09-19 | アクティブ除振マウント機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007241686A JP4827813B2 (ja) | 2007-09-19 | 2007-09-19 | アクティブ除振マウント機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009074566A true JP2009074566A (ja) | 2009-04-09 |
JP4827813B2 JP4827813B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=40609747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007241686A Expired - Fee Related JP4827813B2 (ja) | 2007-09-19 | 2007-09-19 | アクティブ除振マウント機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4827813B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011099543A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Kurashiki Kako Co Ltd | 除振装置 |
JP2012031940A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Isuzu Motors Ltd | 惰行制御装置 |
JP2015059584A (ja) * | 2013-09-17 | 2015-03-30 | 三菱電機株式会社 | 能動型振動絶縁装置 |
CN109676518A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-04-26 | 吉林市恒达金型机械制造有限公司 | 一种机器人激光焊接打磨头用补偿机构 |
CN113400348A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-17 | 华南理工大学 | 一种移动和转动的多柔性臂振动控制装置及方法 |
CN113529809A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-10-22 | 一汽解放汽车有限公司 | 一种隔振土建施工方法和总成测试实验台 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08270721A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-15 | Hitachi Ltd | 免震機能付きアクティブ除振装置 |
JP2001027280A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Hitachi Ltd | アクティブ除振装置 |
JP2006037995A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Nec Facilities Ltd | アクティブ除振装置およびアクティブ除振マウント |
JP2009507359A (ja) * | 2005-06-02 | 2009-02-19 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイション | 能動的に振動を減衰するためのシステムとその方法 |
-
2007
- 2007-09-19 JP JP2007241686A patent/JP4827813B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08270721A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-15 | Hitachi Ltd | 免震機能付きアクティブ除振装置 |
JP2001027280A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Hitachi Ltd | アクティブ除振装置 |
JP2006037995A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Nec Facilities Ltd | アクティブ除振装置およびアクティブ除振マウント |
JP2009507359A (ja) * | 2005-06-02 | 2009-02-19 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイション | 能動的に振動を減衰するためのシステムとその方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011099543A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Kurashiki Kako Co Ltd | 除振装置 |
JP2012031940A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Isuzu Motors Ltd | 惰行制御装置 |
JP2015059584A (ja) * | 2013-09-17 | 2015-03-30 | 三菱電機株式会社 | 能動型振動絶縁装置 |
CN109676518A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-04-26 | 吉林市恒达金型机械制造有限公司 | 一种机器人激光焊接打磨头用补偿机构 |
CN113400348A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-17 | 华南理工大学 | 一种移动和转动的多柔性臂振动控制装置及方法 |
CN113400348B (zh) * | 2021-05-26 | 2024-01-02 | 华南理工大学 | 一种移动和转动的多柔性臂振动控制装置及方法 |
CN113529809A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-10-22 | 一汽解放汽车有限公司 | 一种隔振土建施工方法和总成测试实验台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4827813B2 (ja) | 2011-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4827813B2 (ja) | アクティブ除振マウント機構 | |
JP5557906B2 (ja) | 能動的防振および制振システム | |
CN101718327B (zh) | 精密隔振系统 | |
US9593739B2 (en) | Negative stiffness hydraulic system | |
KR101300024B1 (ko) | 절대 변위 검출 방법 및 그 방법을 이용한 절대 변위 센서 | |
JP2009014204A (ja) | 負荷の振動絶縁支持の装置および方法 | |
EP3077702B1 (en) | Negative stiffness hydraulic system | |
JP5373319B2 (ja) | 画像測定機 | |
JP2978162B1 (ja) | アクティブ除振装置 | |
JP2006037995A (ja) | アクティブ除振装置およびアクティブ除振マウント | |
JP2011247314A (ja) | アクティブ除振装置 | |
JP2009192522A (ja) | 高精度加速度測定装置 | |
JP2008190943A (ja) | 絶対変位・速度計測用センサ | |
NL2004415C2 (en) | Active vibration isolation system, arrangement and method. | |
JP5783955B2 (ja) | 能動型振動絶縁装置 | |
JP6401598B2 (ja) | アクティブ除振装置 | |
JP4301914B2 (ja) | アクティブ制御パルス推力測定装置 | |
JP3616399B2 (ja) | 能動型除振装置 | |
JP2009197826A (ja) | アクティブ防振装置およびアクティブ防振方法 | |
JP6075252B2 (ja) | 能動型振動絶縁装置 | |
JP2004138523A (ja) | アクティブ防振システムの加速度検出装置 | |
JP2673321B2 (ja) | 除振台の水平位置の維持と水平振動の除振方法並びにその回路 | |
JPWO2007007580A1 (ja) | 除振装置及び除振方法 | |
JPH0712175A (ja) | 精密防振装置 | |
JP4982272B2 (ja) | アクティブ除振マウント機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110913 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |