JP2006037995A - アクティブ除振装置およびアクティブ除振マウント - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上段プレート1と、下段プレート2との間に、弾性支持体3と、変位センサ4と、アクティブ除振装置5とを組み込む。弾性支持体3は、重量を弾性的に支える。クティブ除振装置5は、ピエゾアクチュエータ6とコイルばね7との組合せであり、ピエゾアクチュエータ6は、変位センサ4の制御信号を入力として除振マウントAの振動による変位を補償して低周波領域でのコイルばね2及び7の振動増幅を阻止し、コイルばね7は、荷重を支えるとともに、ピエゾアクチュエータ6の高周波振動を減衰し、変位センサ4は、上下段プレート間の間隔の変化を検知してピエゾアクチュエータ6に制御信号を出力する。
【選択図】 図1
Description
f0=5/√たわみ量(cm)・・・・(1)
dB=20logUの振動/Dの振動・・・(2)
2 下段プレート
3 弾性支持体
4 変位センサ
4a センサ部
4b 高さ検知部
5 アクティブ除振装置
6 微小変位アクチュエータ(ピエゾアクチュエータ)
7 コイルばね
8 セラミックチップの積層体
9 ステンレス筒
10 出力ロッド
11 ケーブル
12 ボール
13 ばね支持部
14 テーブル
15 搭載機器
Claims (6)
- 微小変位アクチュエータとコイルばねとを組合せたアクティブ除振装置であって、
微小変位アクチュエータは、コイルばねの振動による変位を補償して低周波領域でのコイルばねの振動増幅を阻止するものであり、
コイルばねは、荷重を支えるとともに、微小変位アクチュエータの高周波振動を減衰するものであることを特徴とするアクティブ除振装置。 - 微小変位アクチュエータとコイルばねとは直列に組合されているものであることを特徴とする請求項1に記載のアクティブ除振装置。
- 微小変位アクチュエータは、チタン酸・ジルコン酸・鉛を素材とするピエゾセラミックチップの積層体の有する逆圧電効果を利用したものであることを特徴とするアクティブ除振装置。
- 請求項1、2又は3に記載のアクティブ除振装置を組み込んだアクティブ除振マウントであって、
アクティブ除振装置は、ばねの伸縮による垂直方向の変位を補償する方向に微小変位アクチュエータを駆動し、パッシブ除振機構に生ずる低周波領域での振動増幅をなくし、低周波領域から高周波領域の範囲にわたって減衰特性を改善するものであることを特徴とするアクティブ除振マウント。 - 上段プレートと、下段プレートとの間に、弾性支持体と、変位センサと、アクティブ除振装置とを組み込んだアクティブ除振マウントであって、
弾性支持体は、専ら上段プレートに上方から加えられる重量を弾性的に支えるためのものであり、
アクティブ除振装置は、微小変位アクチュエータとコイルばねとを直列に組み合わせたものであり、
微小変位アクチュエータは、変位センサの制御信号を入力としてコイルばねの振動による変位を補償して低周波領域でのコイルばねの振動増幅を阻止するものであり、
コイルばねは、荷重を支えるとともに、微小変位アクチュエータの高周波振動を減衰するものであり、
変位センサは、上下段プレート間の間隔の変化を無接点で検知して微小変位アクチュエータに制御信号を出力するものであることを特徴とするアクティブ除振マウント。 - 弾性支持体は、コイルばねであり、弾性支持体の対と、変位センサおよびアクティブ除振装置とは対をなして、それぞれ四角形の上段プレートと下段プレートの対角線上の位置に配置されているものであることを特徴とする請求項3に記載のアクティブ除振マウント。
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- 2004-07-22 JP JP2004214583A patent/JP2006037995A/ja active Pending
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