JPH08135733A

JPH08135733A - 除振装置

Info

Publication number: JPH08135733A
Application number: JP27335594A
Authority: JP
Inventors: Yasuto Iwamoto; 康人岩本; Kimio Uchida; 公夫内田; Satoshi Kawamata; 智川真田; Hiroyuki Yamaya; 弘行山家; Yuichi Ishino; 裕一石野
Original assignee: Bridgestone Corp; Showa Electric Wire and Cable Co
Current assignee: Bridgestone Corp; SWCC Corp
Priority date: 1994-11-08
Filing date: 1994-11-08
Publication date: 1996-05-31

Abstract

(57)【要約】【目的】電気粘性流体ダンパを用い、除振性能、制振性
能よく除振を行なう。【構成】定盤１を水平方向または垂直方向、あるいは水
平方向及び垂直方向の固有振動数が０．３〜１．５Ｈｚ
の空気ばね３と電気粘性流体ダンパ２とで支持する。空
気ばね３に空気を供給する空気タンクに、振動を受けた
定盤１の応答時間が１秒以内とする圧力調整器１５を設
ける。センサ１２により定盤１の振動が検出されると、
制御装置１３により電源装置４から所定の電源が電気粘
性流体ダンパ２に供給され制振される。【効果】振動数の小さい床からの振動に対して除振効果
が得られ、振幅の大きい外乱等に対して応答性よく短時
間で制振する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡、精密天秤、
微小寸法・形状・真円度測定器、表面粗さ計、微小硬度
計等の精密機器や精密加工機器等を搭載し、精密機器の
駆動により発生する振動や、床等から受ける振動を除振
する除振台等に使用される除振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、電子顕微鏡、精密天秤、微小
寸法・形状・真円度測定器、表面粗さ計、微小硬度計等
の精密機器や精密加工機器等は振動を受けると測定等が
困難なため、これらの機器を載置して機器を振動から絶
縁する除振台等のパッシブ除振装置が知られている。パ
ッシブ除振装置は機器が床等の設置面から受ける振動を
除去するため、機器が載置される定盤を支持する支持部
材に多段積層ゴム等を用い、更に、空気ばねやダッシュ
ポット等の除振機構即ちダンパを備えたものである。こ
のようなパッシブ除振装置は機器を搭載した定盤が床面
から受ける振動数の小さい振動を絶縁するため、図８に
示すように、空気ばね等の剛性、即ち固有振動数ｆ₁を
小さく設定すると（ｆ₁＝０．５〜５Ｈｚ程度）、被除
振体の振動伝達率と振動数の関係はａの関係となり、除
振効果が現れる振動数ｆａ₁が低くなり、除振効果が得
られる。しかしながら、搭載機器自身の移動により発生
する振動や、人の手による加重等、所謂外乱による振幅
の大きい振動に対しては、図９に示すように、変位と時
間の関係はｃとなり、定盤の変位ｄ₁が１０^-7ｍまたは
１０^-6ｍに収束されるまで長時間を要してしまった。こ
のため、作業を行なえる状態になるまで時間を要し、作
業効率は非常に悪いものであった。

【０００３】これに対処するため、空気ばね等の固有振
動数を大きくし（ｆ₂＝５〜１５Ｈｚ程度）（図８）、
定盤に作用する振幅の大きい外乱に対して制振効果を得
られるようにすると、変位と時間の関係はｄ（図９）と
なり、振幅の大きい外乱等の振動に対する定盤の変位は
小さくなるが、所定時間経過後の定盤の変位はｄ₂とな
り復元応答はむしろ悪くなってしまった。また、除振効
果が現れる振動数はｆｂ₂（図８）となるため、床等か
ら受ける振動数の低い振動に対しては、除振効果が得ら
れなかった。このように、除振効果と制振効果は相互に
拮抗するため、床面から受ける振動及び定盤に作用する
外乱による振動双方に対応するには、空気ばねの固有振
動数をｆ₁〜ｆ₂間として中庸を図り、振動数ｆａ₁〜ｆ
ｂ₂間の振動に対して除振効果が現れるように調整され
ていた。

【０００４】一方、このような床面から受ける振動及び
定盤に作用する外乱による振動双方に対応して的確に除
振効果を得るには、定盤に振動センサを設けセンサから
の信号によりフィードバック制御して、振動と逆位相の
力を定盤に負荷するＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）
や、空気ばね等のアクチュエータを設け、振動数に応じ
て除振効果を得られるアクティブ除振装置があった。し
かしながら、アクティブ除振装置においては、何れの振
動にも対応して応答性がよく、しかも短時間で振動を収
束させることができるが、設備も大掛かりで非常に大き
いスペースを要し、高価になってしまった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このため、本願発明者
らは、電気粘性流体を用いたダンパを開発し、パッシブ
除振装置に電気粘性流体を用いたダンパを装備させ、振
動を受けた場合、電気粘性流体に電圧を印加することに
より空気ばねのダンピングを外乱による振動に応じて変
化させ短時間で制振効果を得る除振装置を開発した。電
気粘性流体は印加電圧に対応して応答性がよく粘度が変
化するため、これを用いた除振装置は大掛かりな装備を
設けずに、外乱よる振動に対応した所望の電圧を印加す
ることにより適切に除振を行ない得るものである。

【０００６】即ち、本発明は、定盤に搭載される機器が
受ける振幅の大きい外乱による振動に対応して応答性が
よく制振でき、且つ床等から受ける振幅の小さい振動に
対して得られる除振効果が大であり、しかも大掛かりな
装置を必要とせず、省スペース化を実現させた除振装置
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の除振装置は、被除振体を支持する空気ばね
と、被除振体が受ける外乱に対する応答時間が１秒以内
に設定され空気ばねの圧力を調整する圧力調整器と、電
圧が印加されることにより粘度が変化する電気粘性流体
を収納するシリンダー部及び前記電気粘性流体中に配置
され前記被除振体を支持するピストン部を有する電気粘
性流体ダンパとを備えたものである。

【０００８】また、水平方向及び／または垂直方向の
０．３〜１．５Ｈｚの固有振動数を有し被除振体を支持
する空気ばねと、電圧が印加されることにより粘度が変
化する電気粘性流体を収納するシリンダー部及び電気粘
性流体中に配置され被除振体を支持するピストン部を有
する電気粘性流体ダンパとを備えたものである。更に、
本発明の除振装置は、水平方向及び／または垂直方向の
０．３〜１．５Ｈｚの固有振動数を有し被除振体を支持
する空気ばねと、被除振体が受ける外乱に対する応答時
間が１秒以内に設定され空気ばねの圧力を調整する圧力
調整器と、電圧が印加されることにより粘度が変化する
電気粘性流体を収納するシリンダー部及び電気粘性流体
中に配置され被除振体を支持するピストン部を有する電
気粘性流体ダンパとを備えたものであってもよい。

【０００９】更に、本発明の除振装置は、電気粘性流体
ダンパに所定レベルの信号を常時印加する電源装置を備
えたものであっても、また、被除振体の移動を検知し、
検知信号に応じて電気粘性流体ダンパに印加された電圧
を変化させるセンサを備えたものであってもよい。更
に、センサは被除振体上に搭載された荷重移動機器の移
動信号発生装置も好適に適用され、また、センサは一定
レベル値以上を検知すると検知信号を発生する型式であ
ってもよい。

【００１０】

【作用】除振装置に、外乱から受ける被除振体の水平方
向、垂直方向の何れかあるいは水平方向及び垂直方向の
振動に対する応答時間が１秒以内である圧力調整器を設
けるか、振動が直ちに収束されず持続するような固有振
動数を有する空気ばねを設けるか、あるいは、これら両
者を設ける。このような空気ばね、圧力調整器と共に電
気粘性流体ダンパを設け、電気粘性流体に所望の電圧を
印加することにより、床等からの振動を性能よく除振
し、且つ、外乱等による振幅の大きい振動に対しても応
答性がよく短時間で制振することができる。

【００１１】

【実施例】本発明の除振装置を移動機構を備えた精密機
器等を搭載する定盤に適用した一実施例を図面を参照し
て説明する。図１に示すように、被除振体である定盤１
（定盤１に搭載された機器も含む）の除振を行なう除振
装置Ｓ１は、定盤１を支持する電気粘性流体ダンパ２及
び空気ばね３０と、電気粘性流体ダンパ２に所望の電圧
を印加する電源装置４とを備えたものである。

【００１２】電気粘性流体ダンパ２は、図２に示すよう
に、電気粘性流体５を収納する絶縁部材で形成された円
筒形のシリンダー部６と、電気粘性流体５内に配置され
るピストン部７とが備えられ、シリンダー部６の上部に
はピストン部７を挿入するための開口部８が設けられ、
開口部８から突出されるピストン部７に定盤１が固定さ
れるようになっている。このようなシリンダー部６に収
納される電気粘性流体５は、疎水性の微粒子を電気絶縁
油に分散・懸濁させたもので、電圧が印加されると電圧
に応じて極めて速やかに粘度が上昇し、且つ、可逆的に
粘度が下降するものである。粘度変化は、電場の強さに
応じてミリ秒単位で変化し、センサからの検出信号に応
答性よく粘度を変化させることができる。電気粘性流体
５は、電気粘性流体５内に配置されるピストン部７の下
部７ａの外面の全面及びシリンダー部６の内壁全面にそ
れぞれ対向して設けられる電極部９及び１０から電圧が
印加され得るようになっている。尚、図では電気粘性流
体ダンパ２は１箇所のみ示してあるが、適宜所望の個
数、例えば定盤１の４隅に４個設けてもよい。

【００１３】このような電極部９及び１０に電源を供給
する電源装置４が設けられる。電極部９及び１０に電源
装置４から常時一定の電源が供給され一定電圧が印加さ
れると、電気粘性流体５は常時所定の除振効果が得られ
る。電気粘性流体５に所定の電圧が印加されると、ピス
トン部７の移動は全方向に亘って制御され、ピストン部
７の水平方向、垂直方向、ローリングの振動が減衰さ
れ、ピストン部７に支持される定盤１の振動を好適に制
振することができる。

【００１４】尚、シリンダー部６の開口部８の周囲には
ストッパ１１が装着され、ピストン部７が定盤１の振動
を受けて接触した場合の衝撃を緩和し、シリンダー部６
を保護すると共に、ピストン部７が損傷を受けないよう
になっている。更に、除振装置Ｓ１には圧力調整器１５
が設けられる。圧力調整器１５は、図３に示すように、
空気ばね３０（固有振動数が例えば２．０以上のもの）
の空気タンク１６とコンプレッサー等のエア供給装置
（図示せず）間に設けられ、空気タンク１６中のエアを
供給、排気することにより圧力を調整するものである。
圧力調整器１５は箱体１７内に固定される固定部材１８
及び箱体１７に形成された空間２１を上下動する可動部
材１９を備え、固定部材１８に設けられた孔１８ａに配
置される弁部２０ａ及び可動部材１９に設けられた孔１
９ａに配置される弁部２０ｂとを連結する弁棒２０が設
けられる。固定部材１８の底部の孔１８ａの開口部には
エア供給装置に接続される吸気路２２が接続され、可動
部材１９が摺動する空間２１の底部には空気ばね３０の
空気タンク１６と連結される供給路２３が接続される。
また、可動部材１９の上部の側部には孔１９ａに接続さ
れた排気口２４が設けられる。可動部材１９の上面には
定盤１に固定されたロッド２５が固定され、定盤１の振
動に伴い可動部材１９が上下動されるようになってい
る。

【００１５】また、固定部材１８の底部にはばね２６が
配置され、弁棒２０はばね２６により上方に押上げら
れ、定常時は弁部２０ａが孔１８ａに密着して吸気路２
２と供給路２３とを遮断する。尚、孔１８ａは定常状態
時に弁部２０ａが接する位置より下方は下方に拡がるテ
ーパ孔となっており、弁部２０ａが定常位置より下方に
位置する場合は孔１８ａとの間に間隙が生じ、吸気路２
２と供給路２３が繋がり空気タンク１６にエアが供給さ
れるようになっている。更に、可動部材１９が定常の位
置にある場合、弁部２０ｂは孔１９ａに密着して供給路
２３と排気口２４を遮断する。孔１９ａは可動部材１９
が定常位置にあるとき弁部２０ｂが接する位置より下方
は下方に拡がるテーパ孔となっており、可動部材１９が
定常位置より上方に位置する場合は孔１９ａとの間に間
隙が生じ、供給路２３と排気口２４が繋がることによ
り、空気タンク１６からエアが排気されるようになって
いる。

【００１６】このような構成の圧力調整器１５はエアの
単位時間当りの吸排気量を大きくしたものが用いられ
る。圧力調整器１５の吸排気量を大きくするには弁棒２
０の弁部２０ａ、２０ｂの径を大きくし、それに伴いエ
アの吸気路２２、供給路２３、孔１８ａ、１９ａ、排気
口２４の径を大きくすればよい。時間当りのエアの供給
量、排気量が大きい圧力調整器１５は定盤１の振動によ
り定盤１が下方に変位した場合、下降する可動部材１９
により弁棒２０の弁部２０ｂがばね２６の力に抗して押
し下げられることにより、弁部２０ａと孔１８ａとの間
に大きな間隙が生じ吸気路２２からエアが空間２１、供
給路２３を通って空気タンク１６に供給され、空気ばね
３０は定盤１を瞬時に押上げる。また、定盤１の振動に
より定盤１が上方に変位した場合、可動部材１９が上昇
し、弁棒２０の弁部２０ａは固定部材１８の上部まで引
上げられる。この時、弁部２０ａは孔１８ａに密着し吸
気路２２と空間２１を遮断すると共に、弁部２０ｂと可
動部材１９の孔１９ａとの間に大きな間隙が生じ、排気
口２４と供給路２３が繋がることにより、空気タンク１
６中のエアが供給路２３、空間２１を通って排気口２４
から排気され、空気ばね３０は定盤１を瞬時に押下げ
る。

【００１７】このような圧力調整器１５は空気ばね３０
に設置され、定盤１が受ける振動に対する応答時間が１
秒以内になるように設定される。ここで応答時間とは定
盤１に発生した最大変位から定盤１が０点（元の位置）
を横切るまでの時間をいう。応答時間が１秒以上となる
と制振性能が悪くなり、ダンパと共に適用された場合、
制振性能が更に悪化し、定盤１が受けた変位に対しての
復元応答が鈍くなってしまう。このような圧力調整器１
５を設けることにより振動数の小さい振動を受けた場
合、定盤１を性能よく除振することができるが、外乱等
の振幅の大きい振動を受けたとき定盤１の変位は図４に
示すようなものになる。即ち、振幅の大きい振動に対し
てダンピング性能が低下する状態となる。

【００１８】また、本願の除振装置Ｓは、図６に示すよ
うに、被除振体である定盤１（定盤１に搭載された機器
も含む）を支持する電気粘性流体ダンパ２及び空気ばね
３と、電気粘性流体ダンパ２に所望の電圧を印加する電
源装置４とを備えたものであってもよい。尚、図におい
て同じ符号は図１に示すものと同一のものを示してい
る。電気粘性流体ダンパ２と共に定盤１を支持する空気
ばね３はベローズ型、ダイヤフラム型何れのものであっ
てよく、図では空気ばね３は１箇所のみ示してあるが、
適宜所望の個数、例えば定盤１の４隅に４個設けてもよ
い。空気ばね３は水平方向に対して０．３〜１．５Ｈｚ
程度の固有振動数を有するもの、また、垂直方向に対し
て０．３〜１．５Ｈｚ程度の固有振動数を有するもの、
あるいは水平方向及び垂直方向の何れに対しても０．３
〜１．５Ｈｚ程度の固有振動数を有するものであっても
よく、定盤１が受ける振動の方向によって何れかのもの
を適宜選択することができる。空気ばね３がこの範囲の
固有振動数を有することにより定盤１が振動数の小さい
振動を受けた場合性能よく除振できる。固有振動数が
０．３Ｈｚ以下の空気ばねは作成が極めて困難であり、
現段階では存在しない。また、固有振動数が１．５Ｈｚ
以上であると除振性能が悪くなり、ダンパと共に適用さ
れた場合、除振性能が更に悪化し、定盤１が受けた変位
に対しての復元応答が鈍くなってしまう。このような固
有振動数を備えた空気ばねのみで定盤１を支持した場
合、定盤１が外乱、即ち搭載機器の荷重移動あるいは人
による荷重等を受けた場合、振動が直ちに収束されない
ような、むしろ発振してしまうものとなる。このような
空気ばね３を４隅に設け定盤１を支持した場合の定盤１
の変位・時間特性は図４に示すようになっている。即
ち、振幅の大きい振動に対してダンピング性能が低下す
る状態となる。

【００１９】このような特定の圧力調整器１５を設けた
除振装置Ｓ１、または特定の空気ばね３を設けた除振装
置Ｓで定盤１の除振を行なう場合、電気粘性流体ダンパ
２の電気粘性流体に定盤１が受ける可能性の高い振動に
対応した所定レベルの電圧を印加して定盤を支持させる
ことにより、特にセンサを設けなくとも、定盤１の変位
・時間特性は、図５に示すように、振幅の大きい振動に
対しては、定盤１の変位が１０^-7ｍまたは１０^-6ｍに収
束されるまでに要する時間は短時間となり、ダンピング
性能が向上される。これに対し、同様な重量の定盤１を
同様な電圧を印加された電気粘性流体ダンパ２と、応答
時間が１秒以上の圧力調整器１５または固有振動数が
１．５Ｈｚ以上の空気ばねとで支持された従来の除振装
置による定盤１の変位・時間特性は、図７に示すよう
に、応答時間が長くなり、ダンピング性能は望ましいも
のではない。従来の除振装置による振動の収束に比べ、
本願の除振装置による振動の収束は非常に高速になって
おり、除振性能が向上されているにも拘わらず外乱等の
振幅の大きい振動に対して応答性が非常に優れたものと
なっている。

【００２０】更に、本願の除振装置は、図１に示すよう
な除振装置Ｓ２であってもよい。除振装置Ｓ２は、定盤
１が受ける振動に対する応答時間が１秒以内になるよう
に設定された圧力調整器１５を、水平方向に対して０．
３〜１．５Ｈｚ程度の固有振動数を有するもの、また、
垂直方向に対して０．３〜１．５Ｈｚ程度の固有振動数
を有するもの、あるいは水平方向及び垂直方向の何れに
対しても０．３〜１．５Ｈｚ程度の固有振動数を有する
空気ばね３に設置されたものが好ましい。このような除
振装置によれば、振動数の小さい振動を受けた場合、定
盤１を性能よく除振することができ、振幅の大きい振動
を受けた場合、定盤１は短時間で復元され、除振性能、
ダンピング性能共に優れたものとなる。

【００２１】更に、本願発明の除振装置Ｓ、Ｓ１、Ｓ２
には、定盤１の振動を検出するセンサ１２（図１）と、
センサ１２の検知信号を入力し電源装置４を駆動する制
御装置１３を備えたものが好ましい。センサ１２は変位
センサあるいは加速度センサや速度センサ等の振動セン
サ等何れであってもよい。センサ１２は定盤１ではな
く、定盤１上に搭載される精密機器自体に設置するよう
にしてもよい。センサ１２は図では１箇所のみを示して
あるが、センサの数はこれに限定されず、定盤１が受け
る振動に応じて設けることができる。センサ１２で検知
された定盤１の振動または変位は適宜処理されて、例え
ば検知信号を加速度として得るものであるならば速度セ
ンサの検出値を微分して加速度としたり、検知信号を速
度として得るものであるならば加速度センサの検出値を
積分して速度とし、得られた値が一定値以上の場合、検
出信号を出力するようになっている。

【００２２】このような各センサ１２から出力される検
出信号が入力される制御装置１３は、センサ１２にそれ
ぞれ対応して設けられても、また、複数のセンサから送
出される検出信号を入力するものであってもよい。制御
装置１３はセンサ１２からの検出信号を入力し、検知信
号に応じて電気粘性流体ダンパ２の電気粘性流体に電圧
を印加するよう電源装置４を駆動させる信号を出力す
る。制御装置１３はセンサ１２の検出信号が一定レベル
以上になった場合、電源装置４へ駆動信号を出力するも
のである。

【００２３】また、センサ１２は振動に応じた検出信号
にを出力するものであってもよく、制御装置１３は検知
信号に対応した駆動信号を出力し、振動をフィードバッ
ク制御するものであってもよい。尚、センサは、定盤１
の搭載機器が荷重移動機器２７（図６）である場合、セ
ンサを特に設けず、荷重移動機器２７の移動信号発生装
置２７ａからの移動信号をセンサの検知信号として利用
することができる。この場合、搭載機器の移動により定
盤が受ける振動を予め検知し、移動信号発生装置２７ａ
から移動信号を入力した電源装置により電気粘性流体ダ
ンパ２を印加し、制振するようにしてもよい。

【００２４】センサを設けた除振装置の作用を説明す
る。定盤１が搭載する精密機器２７自体等外乱による大
きな振幅の振動を受けない状態の場合、即ち、一定値以
上の振幅の大きい振動がセンサ１２により検知されない
場合、あるいは精密機器２７から移動信号が発生されな
い場合、制御装置１３から電源装置４の駆動信号が送出
されず電気粘性流体ダンパ２は作動せず、床等の設置面
からの振動を受けた定盤１は、図８に示す振動伝達率と
振動数の関係ａで高性能に除振される。

【００２５】センサ１２が一定値以上の振幅の振動を検
知した場合、あるいは精密機器２７からの移動信号が制
御装置１３に入力された場合、制御装置１３により電源
装置４から駆動信号が送出され、電気粘性流体ダンパ２
の電極９及び１０に電圧が印加される。電極９及び１０
に電圧が印加されるとシリンダー部６中の電気粘性流体
２は全方向に亘って粘度が増加し、定盤１は振動伝達率
と振動数の関係ｂ（図８）で除振される。このため、振
幅の大きい振動に対しても応答性よく制振され、且つ振
動の方向が水平方向、垂直方向あるいはローリング等何
れの方向の振動であっても性能よく制振効果を得ること
ができる。その後、センサ１２で検出される振動が一定
値以下になり定盤１の復元が検出されたとき、制御装置
１３により電源装置４を停止させ電極部９及び１０の電
圧の印加が停止される。

【００２６】更に、制御装置１３はセンサ１２で検知さ
れる検知信号を一定値以上になった場合に電圧を印加さ
せるのみならず、センサ１２で検知される振動の振動数
を２段階あるいは３段階等の所定値として分割し各所定
値になったとき、電源装置４へ駆動信号を出力し、電極
９、１０を印加するようにしてもよい。また、センサ１
２でフィードバック制御する場合は、電気粘性流体ダン
パ２に検知信号に応じた電圧が印加され、圧力調整器１
５及び空気ばね１３と相俟って、定盤１は振動に応じ
て、除振効果及び制振効果を得る。

【００２７】以上の説明は本発明の一実施例の説明であ
って、本発明の上述の実施例に限定されず、定盤に適用
されるものに限らず、何れのものにも適用することがで
きる。

【００２８】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の除振装置によれば、圧力調整器を振動に対して被除
振体の応答時間を特定なものとし、または、空気ばねを
特定の固有振動数を備えたものとしたため、被除振体が
受ける設置面から受ける振動に対して除振性能がよく、
且つ外乱等に対して応答性よく、短時間で制振してダン
ピング性能がよいものとできる。そのため、大掛かりな
装置を必要とせず、省スペース化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す構成図。

【図２】図１に示す一実施例の要部を示す構成図。

【図３】図１に示す一実施例の要部を示す構成図。

【図４】図１に示す一実施例の変位・時間特性を示す
図。

【図５】図１に示す一実施例の変位・時間特性を示す
図。

【図６】本発明の他の実施例を示す構成図。

【図７】本発明の実施例の変位・時間特性を示す図。

【図８】振動伝達率と振動数の関係を示す図。

【図９】制振効果の応答時間と変位の関係を示す図。

【符号の説明】

１………定盤（被除振体）２………電気粘性流体ダンパ３………空気ばね４………電源装置５………電気粘性流体６………シリンダー部７………ピストン部１２………センサ１５………圧力調整器２７………荷重移動機器２７ａ………移動信号発生装置Ｓ、Ｓ１、Ｓ２………除振装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者内田公夫神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者川真田智東京都小平市小川東町３丁目１番１号株式会社ブリヂストン東京工場内 (72)発明者山家弘行東京都小平市小川東町３丁目１番１号株式会社ブリヂストン東京工場内 (72)発明者石野裕一東京都小平市小川東町３丁目１番１号株式会社ブリヂストン東京工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被除振体を支持する空気ばねと、前記被除
振体が受ける外乱に対する応答時間が１秒以内に設定さ
れ前記空気ばねの圧力を調整する圧力調整器と、電圧が
印加されることにより粘度が変化する電気粘性流体を収
納するシリンダー部及び前記電気粘性流体中に配置され
前記被除振体を支持するピストン部を有する電気粘性流
体ダンパとを備えたことを特徴とする除振装置。
【請求項２】水平方向及び／または垂直方向の０．３〜
１．５Ｈｚの固有振動数を有し被除振体を支持する空気
ばねと、電圧が印加されることにより粘度が変化する電
気粘性流体を収納するシリンダー部及び前記電気粘性流
体中に配置され前記被除振体を支持するピストン部を有
する電気粘性流体ダンパとを備えたことを特徴とする除
振装置。
【請求項３】水平方向及び／または垂直方向の０．３〜
１．５Ｈｚの固有振動数を有し被除振体を支持する空気
ばねと、前記被除振体が受ける外乱に対する応答時間が
１秒以内に設定され前記空気ばねの圧力を調整する圧力
調整器と、電圧が印加されることにより粘度が変化する
電気粘性流体を収納するシリンダー部及び前記電気粘性
流体中に配置され前記被除振体を支持するピストン部を
有する電気粘性流体ダンパとを備えたたことを特徴とす
る除振装置。
【請求項４】前記電気粘性流体ダンパに所定レベルの信
号を常時印加する電源装置を備えたことを特徴とする請
求項１乃至請求項３の何れか１項記載の除振装置。
【請求項５】前記被除振体の移動を検知し、検知信号に
応じて前記電気粘性流体ダンパに印加された電圧を変化
させるセンサを備えたことを特徴とする請求項１乃至請
求項３の何れか記載の除振装置。
【請求項６】前記センサは前記被除振体上に搭載された
荷重移動機器の移動信号発生装置であることを特徴とす
る請求項５記載の除振装置。
【請求項７】前記センサは一定レベル値以上を検知する
と検知信号を発生する型式であることを特徴とする請求
項５記載の除振装置。