JPH0979319A

JPH0979319A - 除振装置

Info

Publication number: JPH0979319A
Application number: JP7234836A
Authority: JP
Inventors: Makoto Murayama; 誠村山; Kenichi Umiyama; 健一海山; Katsumi Hiuga; 勝美日向
Original assignee: MEIRITSU SEIKI KK
Current assignee: MEIRITSU SEIKI KK
Priority date: 1995-09-13
Filing date: 1995-09-13
Publication date: 1997-03-25

Abstract

(57)【要約】【課題】固有振動数を低減し、除振性能を高める。【解決手段】空気ばねのピストンを、ピストンが浮上
する方向に直径が減少する逆テーパ部５を設けて逆テー
パピストン４とする。使用状態で逆テーパピストン４と
接しているダイヤフラム７が離れる位置を逆テーパ部５
として、有効面積が圧縮たわみ方向変化して生ずるばね
定数を負の値としたので、空気ばね室２内の内圧変化に
より定められる正のばね定数を含めた全体のばね定数を
小さくし、固有振動数を小さくする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、除振装置に関し、
より詳細には、ばね定数を低減させて低固有振動数とし
て振動伝達率を小さくすることができるばね手段を用い
た除振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】顕微鏡，三次元測定器，ステッパ等、静
止状態で微小長さを観察又は計測する精密機器は、使用
中に微弱な振動が加わっても影響されて性能が損われ、
本来の精度を得ることができなくなる。このため、精密
機器を使用するときは、設置される床の振動が機器に伝
わらないように、精密機器は除振装置上に搭載されるこ
とが多い。除振装置としては、防振ゴムを用いたもの，
金属ばねを用いたもの，空気ばねを用いたもの等が実用
に供されている。

【０００３】除振装置の除振性能を評価するために、該
除振性能を最も端的に示す指標として振動伝達率が用い
られる。振動伝達率は、振動数の関数であり、除振装置
上の振動を、除振装置が置かれている床上の振動で割っ
た複素数であらわされる。一般には、この複素数はゲイ
ン（絶対値）と位相であらわされ、ゲインが小さいほ
ど、その振動数での除振性能が優れた特性となる。この
ゲインを振動伝達率と呼んでいる。１自由度系の振動伝
達率は、固有振動数より低い振動数では１に近く、固有
振動数で最大値（ピーク）を持ち、それより高い振動数
では、振動数が１０倍になるごとに１００分の１という
割合で減少していく。従って、固有振動数が低いほど、
除振可能な最小振動数が小さくなり、除振領域が広が
る。また、同じ振動数でみると、除振性能が高くなる。

【０００４】除振装置に用いられる前述の防除ゴム，金
属ばね，空気ばねの特性をみると、防振ゴムは、安価
で、除振性能の面では水平方向の除振性能を高くするこ
とができるが、垂直方向の除振性能は高くない。しか
し、防振ゴムは、安価であることから、除振性能は低い
が、簡単な除振装置用に用いられる。

【０００５】また、金属ばねは、通常の支持方式をとる
と、除振性能は水平方向，垂直方向ともに空気ばねに劣
る。また、減衰機構が別に必要になり、更に、搭載物が
水平方向に移動したり、搭載荷重が変ったりするとき
に、搭載物のレベルが変動する。このレベルを一定にす
るため、別の機構が必要となり、高価な除振装置となる
が、広範囲のばね定数をもった金属ばねの入手が容易で
あるから、目的に応じた除振装置が得られ易い。

【０００６】空気ばねは、通常の使用方法では、単体
で、水平方向の除振性能は高いとは言えないが、垂直方
向の除振性能は高い。また、空気ばねは減衰機構を内蔵
することができ、更に、レベル調整弁を用いて搭載盤の
レベル維持も可能である。従って、除振装置としては、
他のばねにない特長をもつ空気ばねを用いたものが主流
になっている。

【０００７】空気ばねの種類には、ベローズ型，ダイヤ
フラム型，およびローリングシール型があげられる。ベ
ローズ型の空気ばねは、最も汎用性があるが、鉄道，自
動車の懸架装置用，精密機械の除振用などには、ゴム膜
のダイヤフラムの外周と内周とを金属部品で固定して、
空気ばね室を構成したダイヤフラム型の空気ばねが用い
られる。しかし、精密機械の除振用としては、円筒形の
ゴム膜の内外に、円筒形の金属部品を接合して空気ばね
室を構成したローリングシール型の空気ばねが用いられ
る。

【０００８】空気ばねの圧縮方向の上下面に作用する力
Ｗは、空気ばね室内の空気圧による力と平衡する。従っ
て、空気圧による力Ｗは、下記（１）式に示すように、
空気ばね室内の圧力Ｐ（ゲージ圧）と、空気圧が力とし
て有効に作用する空気ばねの有効面積Ａとの積であらわ
される。Ｗ＝ＰＡ …（１）従って、空気ばねの圧縮方向のばね定数ｋは、空気ばね
の圧縮たわみをＺとすると、

【０００９】

【数１】

【００１０】であらわされる。（２）式に示すばね定数
ｋの右辺第１項をｋ₁、第２項をｋ₂とすると、右辺第１
項のばね定数ｋ₁は、

【００１１】

【数２】

【００１２】であらわされる。この右辺第１項のばね定
数ｋ₁は、空気ばね室２内の空気が断熱変化した場合の
内圧変動によるばね定数である。

【００１３】また、右辺第２項のばね定数ｋ₂は、

【００１４】

【数３】

【００１５】であらわされる。このばね定数ｋ₂はピス
トンが移動して有効受圧円の半径ｒが変化することによ
り求められるばね定数である。しかし、ローリングシー
ル型の空気ばねは、有効面積は一定であるから、（２）
式の右辺第２項は消え、右辺第１項がばね定数となる。

【００１６】除振装置の鉛直方向の固有振動数は、ばね
１個のモデルしとして単純化すると、１自由度の振動系
の固有振動数となるので、ばね定数をｋ、ばね上の質量
をｍとすると、固有振動数ｆは、

【００１７】

【数４】

【００１８】であらわされ、ばね定数ｋと、質量ｍが定
まれば固有振動数ｆは一義的に定まる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】ローリングシール型の
空気ばねは、空気ばねの圧縮たわみＺが変化しても、有
効面積Ａが一定であるから、ばね定数ｋは、（３）式で
表されるｋ₁のみとなる。このｋ₁は、空気ばね及びサー
ジタンクの内容積Ｖを大きくするほど小さくなる。しか
し、（３）で表されるｋ₁以外のばね定数の存在もあ
り、Ｖを大きくしても固有振動数はある程度（約１Ｈｚ
前後）以下には下がらなかった。

【００２０】また、金属ばねを用いた場合、除振性能を
高めるために固有振動数を小さくするには、ｋ／ｍを小
さくする必要がある。例えば、固定振動数０．５Ｈｚの
金属ばねとするためには、静たわみは、約１ｍになって
しまう。この問題を解決するために、特願平２−５１２
７２０には、負の剛性により固有振動数を下げる方法が
提示されている。

【００２１】本発明は、除振装置に用いられるばね手段
のばね定数を実質的に小さくして、固有振動数の低いば
ねを有する除振装置を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、搭載台に固定されたピストンが、弾性膜を介し、ベ
ースに固定されたシリンダ内で、該シリンダ内の空気圧
により浮上される空気ばね式の除振装置において、前記
ピストンは、浮上する方向に直径が減少する逆テーパ部
分を設け、該除振装置の使用状態において、前記弾性膜
が前記ピストンから離れる位置が前記逆テーパ部分であ
るようにして、従来型の空気ばねよりも剛性を減少させ
て固有振動数を低減させ、振動伝達率の小さい空気ばね
としたものである。

【００２３】請求項２に記載の発明は、下端面が固定さ
れた基台と、物体を載置する搭載台と、該搭載台を前記
基台の上部に離間して支持するばね手段と、前記基台に
固定された可動磁石と、前記搭載台に固定され、前記可
動磁石との間で磁気吸引力が作用する固定磁石を有し、
前記搭載台が上下のいずれかに移動するときに生じる前
記磁気吸引力の変化が、該搭載台の移動した方向である
ようにすることにより、前記ばね手段の剛性を低減さ
せ、装置全体の固有振動数を小さくして、振動伝達率の
小さい除振装置としたものである。

【００２４】請求項３に記載の発明は、請求項２の発明
において、前記ばね手段は、前記基台および搭載台の外
側に巻回され、該基台および搭載台を外側端面外周で支
持するコイルばねであり、前記固定磁石および可動磁石
は、各々上下方向に同じ向きの磁極を有するリング状の
永久磁石であり、該固定磁石と可動磁石との間隔を変化
させ磁気吸引力を調整可能な磁石位置調整機構を設ける
ことにより、ばね手段のばね定数を実質的に調整し、固
有振動数を調整するようにしたものである。

【００２５】請求項４に記載の発明は、請求項２又は３
の発明において、前記固定磁石および可動磁石を電磁石
とし、該電磁石相互間に生ずる磁気吸引力を調整可能と
することにより、アクティブ除振を可能にしたものであ
る。

【００２６】請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４
の何れかの発明において、前記ばね手段を空気ばねとす
ることにより、空気ばねの特徴を生かし、該空気ばねの
ばね定数を磁石の磁気力に応じて減少し、請求項２の発
明と同様の効果が得られるようにしたものである。

【００２７】

【発明の実施の形態】図１は、本発明による除振装置の
実施の形態の一例を説明するための断面図であり、図
中、１はばね室筐体、２は空気ばね室、３はシリンダ、
４は逆テーパピストン、５は逆テーパ部、６はリテーナ
プレート、７はダイヤフラム、８はベースである。一般
に、空気ばね室はサージタンクとオリフィスを介して接
続されているが、ここではサージタンクを省略して表示
している。

【００２８】図１に示した空気ばね型の除振装置は、ベ
ース８上に設置され、上面が開口１ａを有するばね室筐
体１の上面に、内径が開口１ａと略等しい円環状のシリ
ンダ３が設けられ、シリンダ３の円環内に、該円環より
小径の逆テーパピストン４がダイヤフラム７を介してば
ね室筐体１内の空気ばね室２上に浮上している。

【００２９】ダイヤフラム７は、中央部が逆テーパピス
トン４の底面において、該底面と略等しい外径の円板状
のリテーナプレート６で圧接固着され、外周側端部がシ
リンダ３の内周側下端部３ａで案内されて下端面３ｃの
円周面と、ばね室筐体１の上面との間でボルト（図示せ
ず）等により圧接されている。逆テーパピストン４とシ
リンダ３の内壁面３ｂとの間の空間でのダイヤフラム７
は、逆テーパピストン４の外周面から逆テーパ部５と接
しながら逆テーパ部５の下方から面に沿って上方に延
び、逆テーパ部５の上方の所定位置で逆テーパ部５から
離れてシリンダ３の内周壁３ｂに沿うように取り付けら
れ、内周側下端部３ａで支持されている。

【００３０】図２は、図１のＳ部拡大図で、有効受圧円
の半径の変化を説明するための図であり、実線Ｅ₀は平
衡位置、点線Ｅ₁は浮上位置、２点鎖線Ｅ₂は下降時の状
態を示し、逆テーパの角度はθで、図１と等しい作用を
する部分には、図１の場合と同じ参照番号を付してあ
る。

【００３１】ダイヤフラム７は、中央部が逆テーパピス
トン４の逆テーパ部５下面でリテーナプレート６により
圧接固着されて、外周側は逆テーパ部５の外周面に沿っ
て、逆テーパ部５の下方から上方に延びて、逆テーパ部
５の所定位置から離間してシリンダ３に至り、シリンダ
３の内壁面に接している。逆テーパ部５とシリンダ３の
間でのダイヤフラム７は、空気ばね室２の内圧により、
上方側に突起する円弧状に膨らみ、円弧状のリングを形
成している。使用状態において、逆テーパピストン４は
上下（図示ＵＰ，ＤＯＷＮ）Ｚ方向に変位するが、ダイ
ヤフラム７が逆テーパピストンから離れる位置は、逆テ
ーパ部５の範囲となるように定めてある。なお、圧縮た
わみＺは逆テーパピストン４が下降するときを正、上昇
するときを負とする。

【００３２】（１）逆テーパピストン４が下降するとき
（Ｚ＞０）、逆テーパピストン４は点線Ｅ₁から、２点
鎖線Ｅ₂の状態に移動し、有効受圧円半径ｒは減少する
方向である。（２）逆テーパピストン４が上昇するとき（Ｚ＜０）、
逆テーパピストン４は、２点鎖線Ｅ₂の状態から点線Ｅ₁
の状態に移動し、有効受圧円半径ｒは増加する方向であ
る。即ち、（５）式において、（ｄｒ／ｄＺ）は負であ
り、ばね定数ｋ₂＜０である。従って、（２）式により
求められる全体のばね定数ｋは、逆テーパ部５を有しな
い場合よりも減少する。

【００３３】尚、有効受圧円半径ｒと垂直方向の圧縮た
わみＺの変化率（ｄｒ／ｄＺ）は、逆テーパの角度θに
より定まり、

【００３４】

【数５】

【００３５】であらわされる。（５）式によるｆ（θ／
２）と逆テーパの角度θとの関係は、図３に示すよう
に、逆テーパの角度θを大きくすればする程、ピストン
の移動距離に対する有効受圧面積Ａの有効受圧円半径ｒ
の変化割合は大きくなる。

【００３６】図１に示した本発明による除振装置は、
（４）式に示した空気ばね室２内の内圧変動によるばね
定数ｋ₁は常に正であるから、（２）式に示す全体のば
ね定数ｋは、有効面積が一定な従来のローリングシール
型の空気ばねに対し、使用状態では、常に小さい値にな
り、従来の空気ばねの剛性に対し、小さい剛性とするこ
とができ、固有振動数を低減するので、除振性能を高め
ることができる（請求項１に対応）。

【００３７】図４は、本発明による除振装置の実施の形
態の他の例を説明するための側面図、図５は、図４の矢
視Ａ−Ａ線断面図で、図中１０は除振装置、１１はベー
ス、１２はキャップ、１３は磁石支持部、１４は主ば
ね、１５は調整ねじ、１６はねじ、１７は逆ねじ、１８
は押え板、１９は軸受け、２０はナット、２１は逆ナッ
ト、２２は第１リング磁石、２３は第２リング磁石、２
４は第３リング磁石、２５はリニアガイドである。

【００３８】図４に示した除振装置１０は、ばね手段と
して金属ばねを用いた例で、金属ばねは、コイルばねに
よる主ばね１４である。主ばね１４は、軸Ｙ−Ｙと同軸
なベース１１とキャップ１２との間に、キャップ１２を
ベース１１で支えるように設置される。すなわち、ベー
ス１１は、中央の開口１１ａ、底部１１ｃを有し、上部
が開口する円筒状体で底部外周にばね座１１ｂが設けら
れており、キャップ１２は、上端面１２ａの外周にばね
座１２ｂを有し、下端面が中央が開口した環状の磁石支
持部１３を有する円筒状体で、主ばね１４は、ばね座１
１ｂとの間に設置される。

【００３９】キャップ１２の磁石支持部１３の内周に
は、面上下方向に磁極を有する環状の第１リング磁石２
２が軸Ｙ−Ｙに直角な面と平行に設置されている。ま
た、軸Ｙ−Ｙ上には、下端側がベース１１に押え板１８
で固定された軸受け１９を介して、軸まわりに回動可能
に支持された調整ねじ１５が設けられている。調整ねじ
１５は、ベース１１側がねじ１６を、キャップ側が逆ね
じ１７を有するねじ棒で、ねじ１６にはナット２０が、
逆ねじ１７には逆ナット２１が螺合している。また、ナ
ット２０および逆ナット２１には、第１リング磁石２２
と同一形状で同様な磁極の向きをもって着磁された第２
リング磁石２３および第３リング磁石２４が取り付けら
れている。

【００４０】調整ねじ１５の上端面には、負ばね定数調
整用六角穴１５ｃが設けられ、該六角穴にはキャップ１
２の中央に開口する調整穴１２ｃを通して六角レンチ
（図示せず）が挿入され、該六角レンチを回動し、第２
リング磁石２３および第３リング磁石２４を第１リング
磁石２２に近接又は離間するように調整可能となってい
る。このとき、調整ねじ１５の回動により、ナット２０
および逆ナット２１が回動する回動をなくし、上・下移
動可能とするために、軸Ｙ−Ｙと同軸で一端がベース１
１に固着された棒状のリニアガイド２５に案内されてい
る。

【００４１】図４に示した除振装置１０のキャップ１２
は、搭載物（図示せず）を搭載した状態で主ばね１４に
よりベース１１に対して弾性支持されている。鈞合の状
態において、主ばね１４は搭載物及びキャップ１２の重
量を支えている。また、第１リング磁石２２及び第２リ
ング磁石２３間の吸引力は、キャップ１２に対して下向
きの力を加え、第１リング磁石２２及び第３リング磁石
２４間の吸引力は、キャップ１２に対して上向きの力を
加え、両者の力は鈞り合っている。

【００４２】ここで仮にキャップ１２が下向きに△ｇだ
け変位した場合の前記の力を考える。主ばね１４は、圧
縮たわみが増加するために、キャップ１２に対する上向
きの力を増加させる。すなわち、変位に対して逆向きの
力が発生し、正の剛性として働く。

【００４３】一方、第１リング磁石２２及び第２リング
磁石２３間の距離は△ｇだけ減少、すなわち、吸引力は
増加し、キャップ１２に対する下向きの力が増加する。
さらに、第１リング磁石２２及び第３リング磁石２４間
の距離は△ｇだけ増加、すなわち、吸引力は減少し、キ
ャップ１２に対する上向きの力は減少する。従って、リ
ング磁石間に働く力の変化により、合せて下向きの力が
増加することになる。すなわち、変位に対して同じ向き
の力が発生し、負の剛性として働く。

【００４４】結果として、リング磁石２２，２３，２４
の組み合わせにより、もとの主ばね１４の剛性を低減す
る作用を生じ、搭載可能重量（主ばね１４の剛性に比
例）を低減することなく、ばね剛性を低減することがで
き、固有振動数を小さくすることができる。

【００４５】負の剛性の大きさは、調整ねじ１５を回動
することにより第１リング磁石２２に対し、第２，第３
リング磁石２３，２４が等間隔に近接、離間する離間変
位により定められる。

【００４６】また、変位する第１リング磁石２２は、キ
ャップ１２内部に設けられているので、この空間内に制
動装置を組み込むことができ、形状が増大することなし
に制動効果を与えることもできる。

【００４７】なお、図４においては、第１リング磁石２
２を挟んで第２，第３リング磁石２３，２４を設けた
が、第２，第３リング磁石２３，２４の何れかを省いて
もよく、第１リング磁石２２、第２，第３リング磁石２
３，２４に対応する磁石対を複数段設けてもよい（請求
２，３に対応）。

【００４８】前記第１，第２，第３リング磁石２２，２
３，２４は、各々リング型の永久磁石であるが、磁極の
配列方向が同じの電磁石とすることができる。電磁石と
することにより、印加電流の大きさにより、可動磁石と
固定磁石との間の磁気吸引力を調整できるので、図５に
示した調整ねじが不要であり、固定磁石を固定し、間隔
を一定にすることができる。また、本発明による除振装
置によると、固有振動数が小さく周期が長いので、振動
振幅を計測し、振動を取り除くアクテイブ制御を行うこ
とができる（請求項４に対応）。

【００４９】図４，５に示した主ばね１４は、金属ばね
であるが、金属ばねでなくても、適用できる。ばね手段
を、例えば、ローリングシール型の空気ばねとし、該空
気ばねがベースに固定された空気ばね室と、該空気ばね
室内にダイヤフラムを介して、空気ばね室の気圧により
浮上する外径一定なピストンを有する構成であるとき、
ピストンに可動磁石を空気ばね室に、該可動磁石と対向
して磁気吸引力を作用する固定磁石を設けることによ
り、図１に示す逆テーパピストン４を用いることなく、
同じ効果を得ることができる（請求項５に対応）。

【００５０】

【発明の効果】

請求項１に対する効果：搭載台に固定されたピストン
が、弾性膜を介し、ベースに固定されたシリンダ内で、
該シリンダ内の空気圧により浮上される空気ばね式の除
振装置において、前記ピストンは、浮上する方向に直径
が減少する逆テーパ部分を設け、該除振装置の使用状態
において、前記弾性膜が前記ピストンから離れる位置が
前記逆テーパ部分であるようにしたので、従来型の空気
ばねよりも剛性を減少して全体の固有振動数を低減さ
せ、振動伝達率の小さい空気ばねとなり、特に微振動を
きらう精密機器を搭載するのに適して防振装置を提供す
ることができる。

【００５１】請求項２に対する効果：下端面が固定され
た基台と、物体を載置する搭載台と、該搭載台を前記基
台の上部に離間して支持するばね手段と、前記基台に固
定された可動磁石と、前記搭載台に固定され、前記可動
磁石との間で磁気吸引力が作用する固定磁石を有し、前
記磁気吸引力は前記ばね手段の剛性を打ち消すように働
くため、装置全体の固有振動数を小さくして、振動伝達
率の小さい除振装置とすることができた。

【００５２】請求項３に対する効果：請求項２の発明に
おいて、前記ばね手段は、前記基台および搭載台の外側
に巻回され、該基台および搭載台を外側端面外周で支持
するコイルばねであり、前記固定磁石および可動磁石
は、各々上下方向に同じ向きの磁極を有するリング状の
永久磁石であり、該固定磁石と可動磁石との間隔を変化
させ磁気吸引力を調整可能な磁石位置調整機構を設けた
ので、ばね手段のばね定数を実質的に調整し、固有振動
数を調整することができた。

【００５３】請求項４に対する効果：請求項２又は３の
発明において、前記固定磁石および可動磁石を電磁石と
し、該電磁石相互間に生ずる磁気吸引力を調整可能とし
たので、アクテイブ除振が可能になった。

【００５４】請求項５に対する効果：請求項１乃至４の
何れかの発明において、前記ばね手段を空気ばねとした
ので、空気ばねの特徴を生かし、該空気ばねのばね定数
を磁石の磁気力に応じて減少し、請求項２の発明と同様
の効果が得られた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による除振装置の実施の形態を説明す
るための断面図である。

【図２】有効受圧円の半径の変化を説明するための図
である。

【図３】有効受圧半径と逆テーパ部のテーパ角度との
関係を示す図である。

【図４】本発明による除振装置の実施の形態の他の例
を説明するための側面図である。

【図５】図４の矢視Ａ−Ａ線断面図である。

【符号の説明】

１…ばね室筐体、２…空気ばね室、３…シリンダ、４…
逆テーパピストン、５…逆テーパ部、６…リテーナプレ
ート、７…ダイヤフラム、８…ベース、１０…除振装
置、１１…ベース、１２…キャップ、１３…磁石支持
部、１４…主ばね、１５…調整ねじ、１６…ねじ、１７
…逆ねじ、１８…押え板、１９…軸受け、２０…ナッ
ト、２１…逆ナット、２２…第１リング磁石、２３…第
２リング磁石、２４…第３リング磁石、２５…リニアガ
イド。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搭載台に固定されたピストンが、弾性膜
を介し、ベースに固定されたシリンダ内で、該シリンダ
内の空気圧により浮上される空気ばね式の除振装置にお
いて、前記ピストンは、浮上する方向に直径が減少する
逆テーパ部分を有し、該除振装置の使用状態において、
前記弾性膜が前記ピストンから離れる位置が前記逆テー
パ部分であることを特徴とする除振装置。
【請求項２】下端面が固定された基台と、物体を載置
する搭載台と、該搭載台を前記基台の上部に離間して支
持するばね手段と、前記基台に固定された可動磁石と、
前記搭載台に固定され、前記可動磁石との間で磁気吸引
が作用する固定磁石を有し、前記搭載台が上または下の
いずれかに移動するときに生じる前記磁気吸引力の変化
が、該搭載台の移動した方向であるようにすることによ
り、前記ばね手段の剛性を低減させ、装置の固有振動数
を小さくすることを特徴とする除振装置。
【請求項３】前記ばね手段は、前記基台および搭載台
の外側に巻回され、該基台および搭載台を外側端面外周
で支持するコイルばねであり、前記固定磁石および可動
磁石は、各々上下方向に同じ向きの磁極を有するリング
状の永久磁石であり、該固定磁石と可動磁石との間隔を
変化させ磁気吸引力を調整可能な磁石位置調整機構を有
することを特徴とする請求項２に記載の除振装置。
【請求項４】前記固定磁石および可動磁石を電磁石と
し、該電磁石相互間に生ずる磁気吸引力を調整可能とし
たことを特徴とする請求項２に記載の除振装置。
【請求項５】前記ばね手段を空気ばねとしたことを特
徴とする請求項２乃至４項の何れかに記載の除振装置。