JPH094671A - ダンパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電気粘性流体を用いたダンパの電極間のショ
ート及び放電を防止する。 【構成】 絶縁材料で形成されたシリンダー１２の内面
に電極板２０を設け、このシリンダー１２に電気粘性流
体２４を貯留する。電気粘性流体２４の中にピストン部
１４のピストン本体１４Ａを沈める。ピストン本体１４
Ａには、外周面にリング状の電極板２２を設けると共
に、電極板２２の軸方向両端部に接するように環状の張
出部１４Ｄを一体的に形成する。張出部１４Ｄが電極２
０と電極２２とが所定寸法以下に接近しないように作用
するため、シリンダー１２とピストン部１４とが径方向
に相対変位した際の電極間の放電及びショートを防止す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡、精密天秤、
微小寸法・形状・真円度測定器、表面粗さ計、微小硬度
計等の精密機器や精密加工機器等を搭載し、精密機器の
駆動により発生する振動や、床等から受ける振動を除振
する除振台等に使用されるダンパに関する。

【０００２】

【従来の技術】精密機器や精密加工器を搭載する除振台
において、剛性が極端に小さく（固有振動数で０．５〜
５Ｈz 程度）なっている空気ばねや多段積層ゴム等を支
持材に用い、ダッシュポット等のダンパを備え、デシ、
ミクロンオーダと非常に小さい振動に対して除振効果が
得られるパッシブ除振装置や、小さい振動のみでなく振
幅の大きい振動に対応して除振できるように除振機構の
ばね特性を変化させるセミアクティブ除振装置や、定盤
に振動センサを設け、センサからの信号によりフィード
バック制御して、振動と逆位相の力を定盤に付加して振
動を除去するＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）、空気
ばね等のアクチュエーターを設け、振動の振幅に応じて
除振できるアクアティブ除振装置があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】パッシブ除振装置は、
床面から受ける振動を絶縁するため、空気ばね等の剛性
が極端に小さく、除振効果が得られる振動振幅もおよそ
デシ・ミクロンオーダであり、搭載機器自身の駆動によ
り発生する振動等の大きい振動等の大きい振動振幅に対
しては殆ど減衰効果が無く、一度発生した大きい振動が
デシ・ミクロンオーダの振幅に収束して除振効果が得ら
れるまでには長時間を要し、作業効率は非常に悪いもの
であった。このため、大きい振動を短時間に減衰しよう
としてダンパの減衰常数を大きくすると、振動の高周波
成分が効果的に減衰しなくなり、総合的に除振性能が悪
化するという欠点があった。

【０００４】また、セミアクティブ除振装置は、振動の
振幅に対応して除振を行うものとして満足のいくものが
得られておらず、さらに、アクティブ除振装置において
は、振幅に対応して短時間で振動を収束することが出来
るが、各空気ばねに応じてエアータンクを設ける必要が
あるため、その設置スペースが非常に大きくなり、高価
であり、また、ＶＣＭを用いたアクチュエータは応答性
は優れたものであるが、重量物を載置した定盤を支持す
る為には大きなＶＣＭが必要であり、装置も複雑であ
り、非常に高価になってしまった。

【０００５】一方、近年では、電圧を印加することによ
り粘度が瞬時に変化する電気粘性流体を用いた流体機器
が提案されている。

【０００６】例えば、実開平１−９８９３８号公報に
は、電気粘性流体を用いたロック装置が開示されてい
る。

【０００７】このロック装置は、防振・除振・免震装置
に用いられており、精密機器が載置され空気ばねにより
弾性支持される被支持部をロック可能となっている。

【０００８】しかし、このロック装置では、被支持部２
が大きく変位した際に、筒状体１１と摺動体１５とが接
触したり、非常に接近することで、ショートまたは放電
をおこすという問題がある。

【０００９】本発明は、上記事実を考慮し、上記の問題
を解決することのできるダンパを提供することが目的で
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のダンパ
は、電圧を印加することにより粘度が変化する電気粘性
流体を収納するシリンダーと、前記粘性流体中に配置さ
れるピストンと、前記シリンダーに設けられ前記電気粘
性流体に電圧を印加する第１の電極と、前記ピストンに
設けられ前記第１の電極と対向して前記電気粘性流体に
電圧を印加する第２の電極と、前記シリンダー及び前記
ピストンの少なくとも一方に連結され、前記第１の電極
と前記第２の電極とが所定寸法以下に接近することを防
止する接近防止手段と、を有することを特徴としてい
る。

【００１１】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のダンパにおいて、前記第１の電極は前記シリン
ダーの内周面に設けられ、前記第２の電極は前記ピスト
ンの外周面に設けられ、前記接近防止手段は絶縁体で形
成され、かつ前記第１の電極及び前記第２の電極の少な
くとも一方の端部の近傍に突出していることを特徴とし
ている。

【００１２】

【作用】請求項１に記載のダンパは、シリンダー及びピ
ストンの何れか一方を例えば除振台の定盤等の制振すべ
き振動対象物に連結し、他方を床等の振動受部に連結す
る。第１の電極と第２の電極との間に所望の電圧を印加
し、電気粘性流体の粘度を所望の値とすることにより、
振幅に対応してダンパの減衰定数を瞬時に変化させるこ
とができ、振幅に応じて短時間で制振を行うことができ
る。例えば、振動の振幅が大きい時には電気粘性流体に
電圧を印加して粘度を増し、その後振動の振幅が小さく
なった際には、電圧を下げて（又は電圧の印加を停止し
て）電気粘性流体の粘度を低くして制振を行うことで、
短時間で制振を行うことができる。

【００１３】さらに、第１の電極と第２の電極とが所定
寸法以下に接近することを防止する接近防止手段が設け
られているため、シリンダーとピストンとが接触した
り、非常に接近することで、ショートまたは放電をおこ
すという問題を防止することができる。

【００１４】また、請求項２に記載のダンパでは、第１
の電極と第２の電極との間に所望の電圧を印加すると、
ピストンの径方向外側の電気粘性流体の粘度が変化す
る。絶縁体で形成された接近防止手段を電極の端部の近
傍に突出させることにより、電極の端部から生じやすい
放電を防止することが出来る。

【００１５】

【実施例】

［第１実施例］本発明の第１実施例を図１乃至図５にし
たがって説明する。

【００１６】図１に示すように、ダンパ１０は、合成樹
脂等の絶縁材料（例えば、ナイロン、ポリアセタール樹
脂等）で形成されたシリンダー１２と、同じく合成樹脂
等の絶縁材料で形成されたピストン部１４を備えてい
る。

【００１７】シリンダー１２は、円筒部１２Ａ、円筒部
１２Ａの下部を閉塞する底部１２Ｂを備えている。

【００１８】シリンダー１２には、上面に環状溝１６が
形成されており、この環状溝１６にはゴム等の弾性体か
らなるシール部材としてのオーリング１８が嵌め込まれ
ている。なお、オーリング１８は、一部がシリンダー１
２の上面よりも突出している。

【００１９】シリンダー１２の内壁面には、円筒部１２
Ａの高さ方向中間部分にリング状に形成された薄肉の金
属板からなる電極板２０が設けられている。なお、電極
２０の内周面は、円筒部１２Ａの内周面と面一にされて
いる。

【００２０】シリンダー１２には、電気粘性流体２４が
貯留されている。電気粘性流体２４は、疎水性の微粒子
を電気絶縁油に分散・懸濁させたもので、電圧を印加す
ると電圧に応じて極めて速やかに粘度が上昇し、且つ、
可逆的に粘度が下降するものである。粘度を変化させる
には直流のみでなく、交流によっても変化させることが
でき、少ない消費電力で液体からほぼ固体状態近くまで
変化させることができるものである。電気粘性流体２４
に電圧を印加すると、粒子中の電荷が電圧により移動
し、粒子が分極することにより粒子同士に引力が生じ、
電極間に粒子が数珠状に繋がるために粘度が上昇するこ
とになる。このような粘度変化は、電場の強さに応じて
ミリ秒単位で変化し、センサからの検出信号に応答良く
粘度が変化し、温度変化に対しても粘度の変化は一定で
あり、−５０°〜＋１５０°の温度に対して用いること
ができる。

【００２１】本実施例のピストン部１４は、電気粘性流
体２４の中に沈められる円柱状のピストン本体１４Ａと
閉塞手段としてのフランジ１４Ｂとがピストン本体１４
Ａよりも細径のピストンロッド１４Ｃで連結されてい
る。

【００２２】ピストン本体１４Ａの外周面には、リング
状に形成された薄肉の金属板からなる電極板２２が設け
られている。また、ピストン本体１４Ａには、電極板２
２の軸方向両端部に接するように環状の接近防止手段と
しての張出部１４Ｄが一体的に形成されている。この張
出部１４Ｄは、電極２０と電極２２との接触を防止し、
かつ所定寸法以下に近接させないための径方向のストロ
ークストッパの役目をしている。

【００２３】図１及び図２に示すように、ピストン部１
４のフランジ１４Ｂには、ねじ穴２６及びねじ穴２８が
形成されている。ねじ穴２６は定盤等との接続に用いら
れ、ねじ穴２８は後述するスライダ部６０との接続に用
いられる。

【００２４】図１に示すように、シリンダー１２の外周
には、フランジ６０Ａを備えた円筒状のスライダ部６０
がスライド可能に外装されている。スライダ部６０のフ
ランジ６０Ａには、ピストン部１４のねじ穴２８に対応
する位置に丸孔２９が穿孔されている。

【００２５】スライダ部６０の筒状本体部分には、上面
から所定寸法下の位置に外周方向に沿って複数の丸孔５
４が穿孔されている。

【００２６】一方、シリンダー１２には、図１に示すよ
うにスライダ部６０の上面とシリンダー１２の上面とを
面一にした際にスライダ部６０の丸孔５４に対応する位
置にねじ穴５６が形成され、図３に示すようにスライダ
部６０のフランジ６０Ａをピストン部１４のフランジ１
４Ｂにビス５０で固定して電極２０と電極２２とが軸方
向中心部を対向させた際にスライダ部６０の丸孔５４に
対応する位置にねじ穴５８が形成されている。

【００２７】ところで、このダンパ１０は、例えば、除
振台に用いることができる。図４に示すように、除振台
３０は精密機器３２を搭載する定盤３４を備え、定盤３
４は床３８に設置されるフレーム３９に取り付けられた
空気ばね３６によって支持されている。

【００２８】空気ばね３６は、ベローズタイプ型、ダイ
ヤフラムタイプ型等の何れであても良い。図４では、空
気ばね３６は１箇所のみ示してあるが、適宜所望の個
数、例えば定盤３４の４隅に各々対応するように設けて
も良い。空気ばね３６は振幅の小さい振動、例えば振動
数０．５〜５Ｈz 程度の振動を性能良く除振することが
できるようなばね定数を有するものであり、精密機器３
２を搭載する定盤３４が床３８から受ける振動を短時間
で収束するものである。

【００２９】定盤３４には、定盤３４の振動または変位
を検出するセンサ４０が取り付けられている。センサ４
０は、変位センサ或いは加速度センサや速度センサ等の
振動センサ等何れであっても良い。なお、センサ４０
は、定盤３４に設置せずに精密機器３２自体に搭載する
ようにしてもよい。センサ４０は、図４では１箇所のみ
を示してあるが、センサの数はこれに限定されない。

【００３０】センサ４０及びダンパ１０の電極２０，２
２は、図示しない配線を介して駆動部４２に接続されて
いる。駆動部４２にはセンサ４０からの検出信号を入力
しパルスを整形するオン・オフ回路４４、オン・オフ回
路４４からの出力信号を増幅する増幅回路４６、増幅回
路４６で増幅されたパルスを入力してダンパ１０の電極
２０及び電極２２に駆動信号を送出するドライバ４８が
設けられている。なお、本実施例では、電極２２が陽極
とされ、電極２０が陰極とされている。

【００３１】センサ４０で検出された定盤３４の振動ま
たは変位は適宜処理され、検出された値が一定値以上の
場合に検出信号を出力する。なお、センサ４０が速度セ
ンサの場合に、検出値を微分して加速度を得ることもで
き、センサ４０が加速度センサの場合に、検出値を積分
して速度を得ることもできる。

【００３２】ダンパ１０はセンサ４０にそれぞれ対応し
て設けられても、また、２個のセンサに対して１つ設け
られる等、複数のセンサから送出される検出信号を入力
するものであっても良い。また、１個のセンサにて複数
個のダンパ１０をコントロールしても良い。

【００３３】次に、ダンパ１０を保管又は輸送する際の
状態を説明する。このような場合には、図５に示すよう
に、スライダ部６０をビス５０でピストン部１４のフラ
ンジ１４Ｂに固定し、ねじ穴５６にビス５９を螺合させ
てスライダ部６０をシリンダー１２に固定する。これに
より、オーリング１８が所定量潰されて内部が完全密閉
され、輸送時等に電気粘性流体２４の流出を防止するこ
とができ、保管時に塵や埃等の異物が電気粘性流体２４
へ進入することを防止することができる。

【００３４】次に、ダンパ１０の取り付け手順を説明す
る。ダンパ１０を除振台３０に組付ける際には、先ず、
ビス５９を一旦外し、スライダ部６０を持ち上げて、ス
ライダ部６０の丸孔５４とシリンダー１２のねじ穴５８
とを合わせ、ねじ穴５８にビス５９を螺合させて図３に
示すような状態とする。これにより、電極２０の軸方向
中心と電極２２の軸方向中心とが対向する。

【００３５】次に、精密機器３２を搭載した定盤３４の
高さを調整して定盤３４とフレーム３９との間に図３に
示す状態のダンパ１０が挿入できるようにし、図１に示
すように、ピストン部１４のフランジ１４Ｂをボルト４
１で定盤３４の下面に取り付け、シリンダー１２を図示
しないボルト等でフレーム３９に取り付ける。なお、ダ
ンパ１０の使用時には、図１に示すようにスライダ部６
０を下げておく。

【００３６】このように、スライダ部６０を取り付け用
の治具として用いることにより、容易な方法で電極２０
の軸方向中心と電極２２の軸方向中心とを正しく対向さ
せてダンパ１０を取り付けることができ、ダンパ１０を
適正な状態で作動させることができる。

【００３７】次に、本実施例の作用を説明する。定盤３
４が床３８等の設置面あるいは搭載する精密機器３２自
体から生じる振動により振動すると、センサ４０により
定盤３４の振動あるいは変位が検知され、一定値以上の
振動あるいは変位が検出されると、センサ４０から駆動
部４２へ検出信号が送出される。

【００３８】検出信号はオン・オフ回路４４によりパル
スに整形され増幅回路４６で増幅されてドライバ４８か
ら駆動信号が出力され、ドライバ４８によりダンパ１０
の電極２０及び電極２２に所望の電圧が印加される。

【００３９】これによりシリンダー１２内の電圧の印加
された電気粘性流体２４の粘度が増し、ダンパ１０の減
衰定数が大きくなる。このため、振幅の大きい振動は短
時間で制振され、効率的に制振される。

【００４０】また、センサ４０で検出される振動または
変位が一定値以下になると、検出信号の送出が停止さ
れ、ダンパ１０の電極２０及び電極２２に電圧が印加さ
れなくなる。そして振幅が小さくなった振動は、電圧の
印加されない電気粘性流体２４の減衰定数におけるダン
パ１０及び空気ばね３６で減衰される。このため、振幅
の小さい振動も短時間で減衰することができる。

【００４１】また、本実施例のダンパ１０は、動作状態
においてシリンダー１２とピストン部１４とが電気粘性
流体２４以外のものを介して連結されていないため、床
３８等の設置面の振動を定盤３４へ伝達させることがな
い。

【００４２】なお、センサ４０で検知される検知信号を
一定値以上になった場合に電圧を印加させるのみなら
ず、センサ４０で検知される振動の振幅を２段階あるい
は３段階等の所定値として分割し各所定値になったと
き、駆動部４２へ検知信号を出力し、電極２０及び電極
２２に印加する電圧を変化させ、電気粘性流体２４を印
加電圧に応じて所望の粘度に変化せることにより減衰を
可変させて効率良く減衰を行うようにしても良い。

【００４３】本実施例のダンパ１０では、張出部１４Ｄ
が電極２０と電極２２とが所定寸法以下に接近しないよ
うに作用するため、シリンダー１２とピストン部１４と
が径方向に相対変位した際（例えば、定盤３４が水平方
向に大きく動いた時等）の電極間の放電及びショートを
防止することができる。

【００４４】なお、放電は、エッジ部分から生じ易いた
め、本実施例のように電極２２の端部に絶縁体の突起を
設けることが有効である。なお、電極２２の端部を張出
部１４Ｄで覆うようにしても良い。

【００４５】また、図１に示すような動作状態では、電
気粘性流体２４の液面はシリンダー１２の上面よりも所
定寸法下側に位置しており、シリンダー１２とピストン
ロッド１４Ｃとの間には、大容量の液溜部６４が設けら
れている。この液溜部６４を設けることにより、ピスト
ン部１４が上下に大きく変位したとき等に、電気粘性流
体２４がシリンダー１２の外へこぼれることを防止する
ことができる。

【００４６】なお、シリンダー１２を透明な樹脂で形成
し、電気粘性流体２４が見えるようにてもよい。 ［第２実施例］本発明の第２実施例を図６及び図７にし
たがって説明する。なお、前述した実施例と同一構成に
関しては同一符号を付し、その説明は省略する。

【００４７】図６に示すように、本実施例のダンパ１０
では、ピストン部１４に設けた環状の張出部１４Ｄが滑
らかなラウンド形状とされている。また、ピストン部１
４は、下端が曲率半径の大きなラウンド形状とされ、ピ
ストンロッド１４Ｃの中間部分（動作状態における電気
粘性流体２４の液面付近）が円弧状に窪んでいる。

【００４８】ピストン部１４をこのような形状とするこ
とにより、ピストン部１４が電気粘性流体２４内で軸方
向（図６の上下方向）に動く際の抵抗を低減することが
できる。

【００４９】また、保管時や輸送時には、図７に示すよ
うに、スライダ部６０をビス５０でピストン部１４のフ
ランジ１４Ｂに固定し、ねじ穴５６にビス５９を螺合さ
せてスライダ部６０をシリンダー１２に固定する。

【００５０】なお、その他のダンパ１０の作用・効果に
関しては、第１実施例と同様である。 ［第３実施例］本発明の第３実施例を図８及び図９にし
たがって説明する。なお、前述した実施例と同一構成に
関しては同一符号を付し、その説明は省略する。

【００５１】本実施例のダンパ１０は、径方向のストロ
ークのみならず軸方向のストロークをも制限できるよう
に構成されている。

【００５２】図８に示すように、本実施例のピストン部
１４は、軸方向に長いピストン本体１４Ａがフランジ１
４Ｂに一体的に連結されている。

【００５３】また、ピストン部１４のフランジ１４Ｂの
下面には、筒状の塵進入防止手段としてのストッパ６６
がビス止めされている。

【００５４】ストッパ６６の下端には径方向内側へ向け
て延びるストッパフランジ６６Ａが形成されている。

【００５５】一方、シリンダー１２の外周には、雄ねじ
６８が形成されており、上側には上方ストッパ７０、下
側には下方ストッパ７２がねじ込まれている。

【００５６】上方ストッパ７０の上端には、径方向外側
へ延びるフランジ７０Ａが形成されている。このフラン
ジ７０Ａの外径は、ストッパ６６のストッパフランジ６
６Ａの外径よりも大きく設定されており、ストッパ６６
の筒状本体部分の内径よりも所定寸法小さく設定されて
いる。

【００５７】また、ストッパフランジ６６Ａの内径は、
上方ストッパ７０の筒状本体部分の外径よりも所定寸法
大きく設定されている。

【００５８】本実施例では、ストッパフランジ６６Ａの
内面が上方ストッパ７０の外面に当接すること、あるい
は上方ストッパ７０のフランジ７０Ａがストッパ６６の
内周面に当接することで、シリンダー１２とピストン部
１４との径方向の相対変位量を制限しており、これによ
り電極２０と電極２２とが所定寸法以下に接近すること
が防止され、電極間の放電及びショートを防止すること
ができるようになっている。

【００５９】また、電極２０の軸方向中心と電極２２の
軸方向中心とが対向した際に、上方ストッパ７０のフラ
ンジ７０Ａとストッパ６６のストッパフランジ６６Ａと
の間、及びストッパフランジ６６Ａと下方ストッパ７２
との間に、所定寸法の間隔が設けられるように上方スト
ッパ７０及び下方ストッパ７２の位置が調整されてい
る。

【００６０】これにより、シリンダー１２とピストン部
１４との軸方向の相対変位量が制限され、電気粘性流体
２４の液面の上下動を所定量以下に制限して、電気粘性
流体２４がシリンダー１２外へ溢れ出ることを防止する
ことができ、かつ電極２２が電気粘性流体２４の液面よ
りも上へ露出することを防止できる。なお、ピストン部
１４の上下のストロークは、上方ストッパ７０及び下方
ストッパ７２の位置を変えることで、任意に調整するこ
とができる。

【００６１】また、本実施例では、シリンダー１２の開
口部分がストッパ６６で覆われているため、電気粘性流
体２４に塵や埃等の異物が入り難く、電気粘性流体２４
の特性が安定する。

【００６２】なお、下方ストッパ７２には丸孔７３が、
ストッパ６６のストッパフランジ６６Ａにはねじ孔７５
が形成されており、保管、輸送時等には、図９に示すよ
うに丸孔７３に差し込んだ長いビス７７をねじ孔７５に
ねじ込み、ピストン部１４のフランジ１４Ｂをシリンダ
ー１２の上面に密着させる。

【００６３】また、本実施例では、ストッパ６６又は上
方ストッパ７０が本発明の接近防止手段に相当してい
る。

【００６４】なお、その他のダンパ１０の作用・効果に
関しては、第１実施例と同様である。 ［第４実施例］本発明の第４実施例を図１０及び図１１
にしたがって説明する。なお、前述した実施例と同一構
成に関しては同一符号を付し、その説明は省略する。

【００６５】図１０及び図１１に示すように、本実施例
のピストン部１４には、フランジ１４Ｂの下面に下方へ
延びる塵進入防止手段としての筒部１４Ｆが一体形成さ
れている。

【００６６】筒部１４Ｆは、本発明の接近防止手段に相
当しており、内径がシリンダー１２の外径よりも所定寸
法大きく設定されており、径方向のストッパーの役目を
している 本実施例では、筒部１４Ｆとシリンダー１２とが当接す
ることで、シリンダー１２とピストン部１４との径方向
の相対変位量を制限しており、これにより電極２０と電
極２２とが所定寸法以下に接近することが防止され、電
極間の放電及びショートを防止することができるように
なっている。

【００６７】なお、筒部１４Ｆの内面にはフランジ１４
Ｂ側の基部に雌ねじ８４が形成されており、シリンダー
１２の外面には、上部に雄ねじ８６が形成されている。
このため、ダンパ１０を搬送する際には、図１１に示す
ように、雌ねじ８４と雄ねじ８６とを螺合させることで
内部を密閉することができる。

【００６８】また、本実施例のダンパ１０には、筒部１
４Ｆとシリンダー１２との間の隙間を覆う、塵進入防止
膜としての蛇腹８８が設けられている。蛇腹８８は、上
端が筒部１４Ｆの溝１４Ｇに嵌め込まれており、下端が
シリンダー１２の溝１２Ｄに嵌め込まれている。なお、
ねじを締めたり、緩めたりする際には、蛇腹８８の何れ
か一端を外せば蛇腹８８が捩じれることはない。

【００６９】本実施例のダンパ１０も、蛇腹８８によっ
て内部が完全に外部を遮断されているため、電気粘性流
体２４に異物等が一切混入することが無く、長期に渡り
特性が安定する。

【００７０】なお、その他のダンパ１０の作用・効果に
関しては、第１実施例と同様である。 ［第５実施例］本発明の第５実施例を図１２及び図１３
にしたがって説明する。なお、前述した実施例と同一構
成に関しては同一符号を付し、その説明は省略する。

【００７１】図１２に示すように、本実施例のピストン
部１４は、底部及びピストン本体１４Ａとピストンロッ
ド１４Ｃとの接続部分がテーパー状に形成されている。

【００７２】また、ピストン部１４の上面には、取付用
のねじ穴９０の形成されたフランジ板９２が固着されて
いる。

【００７３】シリンダー１２の外周には、円筒状のスラ
イダ部９４がスライド可能に設けられている。スライダ
部９４には、外周方向に沿って等間隔で穿孔された４個
の丸孔９６が軸方向に４列設けられている。

【００７４】本実施例のダンパ１０は、保管時や輸送時
に、図１３に示すように、フランジ１４Ｂがシリンダー
１２の上面に密着され、一番上の列の丸孔９６に挿通さ
れたビス１００がピストン部１４のフランジ１４Ｂに形
成されたねじ穴９８にねじ込まれることでスライダ部９
４がフランジ１４Ｂに固定され、上から２列目の丸孔９
６にビス１０２が挿通され、このビス１０２が円筒部１
２Ａのねじ穴１０４にねじ込まれることでスライダ部９
４がシリンダー１２に固定される。

【００７５】一方、ダンパ１０を除振台３０に取り付け
る際には、図１２に示すように、上から３列目（或いは
４列目）の丸孔９６にビス１０２を挿通し、このビス１
０２を円筒部１２Ａのねじ穴１０４にねじ込んで、ピス
トン部１４を固定する。本実施例では、このときに電極
２０と電極２２とが対向するようになっている。

【００７６】また、動作時には、ビス１００，１０２を
取り除き、図１２の想像線（２点鎖線）で示すようにス
ライダ部９４を下に降ろしておくことにより、床３８等
の設置面の振動が定盤３４へ伝達することはない。

【００７７】なお、その他のダンパ１０の作用・効果に
関しては、第１実施例と同様である。

【００７８】また、前記実施例では、ピストン部１４に
張出部１４Ｄを設けて電極間の放電及びショートを防止
したが、これに限らず、図１４に示すように電極２０を
円筒部１２Ａの内周面よりも半径方向外側へ配置した
り、図１５に示すように電極２０の両端近傍に、半径方
向内側に突出するリング（例えば、ゴムのオーリング
等）１０６を配置しても電極間の放電及びショートを防
止することができる。

【００７９】また、図１６に示すように、電極２２の両
端部を絶縁材料で覆っても良く、これによって放電防止
効果を高めることができる。なお、図示はしないが、電
極２２の両端部を絶縁材料で覆っても良いのは勿論であ
る。

【００８０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
ダンパは上記の構成としたので、以下の（１）及び
（２）の効果が得られる。 （１） 電気粘性流体を用いたことにより、応答性良く
振動を短時間で減衰可能である。また、ダンパの小型化
を図ることができ、大がかりな装置を必要としない。 （２） 振動の振幅が大きくても電極間で放電及びショ
ートが生じない。

【００８１】請求項２に記載のダンパは上記の構成とし
たので、電極端部から生じやすい放電を防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】除振台に取り付けた第１実施例に係るダンパの
断面図である。

【図２】ピストン部のフランジの平面図である。

【図３】除振台に取り付けた第１実施例に係るダンパの
断面図である。

【図４】除振台の構成図である。

【図５】密閉した第１実施例に係るダンパの断面図であ
る。

【図６】除振台に取り付けた第２実施例に係るダンパの
断面図である。

【図７】密閉した第２実施例に係るダンパの断面図であ
る。

【図８】除振台に取り付けた第３実施例に係るダンパの
断面図である。

【図９】密閉した第３実施例に係るダンパの断面図であ
る。

【図１０】除振台に取り付けた第３実施例に係るダンパ
の断面図である。

【図１１】密閉した第３実施例に係るダンパの断面図で
ある。

【図１２】除振台に取り付けた第４実施例に係るダンパ
の断面図である。

【図１３】密閉した第４実施例に係るダンパの断面図で
ある。

【図１４】他の実施例に係るダンパの断面図である。

【図１５】更に他の実施例に係るダンパの断面図であ
る。

【図１６】更に他の実施例に係るダンパのピストンの断
面図である。

【符号の説明】

１０ ダンパ １２ シリンダー １４Ａ ピストン本体 １４Ｄ 張出部（接近防止手段） ２０ 電極（第１の電極） ２２ 電極（第２の電極） ２４ 電気粘性流体 １４Ｆ 筒部（接近防止手段）

フロントページの続き (72)発明者 内田 公夫 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 山家 弘行 東京都小平市小川東町３−１−１ 株式会 社ブリヂストン東京工場内 (72)発明者 川真田 智 東京都小平市小川東町３−１−１ 株式会 社ブリヂストン東京工場内 (72)発明者 石野 裕一 東京都小平市小川東町３−１−１ 株式会 社ブリヂストン東京工場内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電圧を印加することにより粘度が変化す
   る電気粘性流体を収納するシリンダーと、 前記粘性流体中に配置されるピストンと、 前記シリンダーに設けられ前記電気粘性流体に電圧を印
   加する第１の電極と、 前記ピストンに設けられ前記第１の電極と対向して前記
   電気粘性流体に電圧を印加する第２の電極と、 前記シリンダー及び前記ピストンの少なくとも一方に連
   結され、前記第１の電極と前記第２の電極とが所定寸法
   以下に接近することを防止する接近防止手段と、 を有することを特徴とするダンパ。
2. 【請求項２】 前記第１の電極は前記シリンダーの内周
   面に設けられ、 前記第２の電極は前記ピストンの外周面に設けられ、 前記接近防止手段は絶縁体で形成され、かつ前記第１の
   電極及び前記第２の電極の少なくとも一方の端部の近傍
   に突出していることを特徴とする請求項１に記載のダン
   パ。