KR20210052676A - 상,하부 피봇 결합식 mr 댐퍼 - Google Patents

Abstract

본 발명은 수직축의 상,하부에 MR 유체가 충진된 피봇 조인트 결합 구조를 가져 다양한 진동 방향에서의 제진을 수행할 수 있고, 중공형 튜브와 조합되어 공기스프링 방식으로 병행되어 진동 에너지를 흡수할 수 있도록 한 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼를 제공한다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따른 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼는, 댐퍼 베이스와; 하방으로 오목하게 함몰된 구면에 의해 하측 반구형 MR챔버를 갖고 상기 댐퍼 베이스의 상면 중앙에 장착된 하부 피봇블럭과; 일단에 하부 피봇블럭측 반구형 MR챔버에 구면 결합되는 하부구면 베어링부와, 하부구면 베어링부에 설치된 하부 피봇전자석과, 하부구면 베어링부의 수직중심축상에 원통형 MR챔버를 갖는 하부피봇축 원통부가 구비된 하부 피봇축과; 상부에 볼록한 구면이 형성된 상부구면 베어링부, 상부구면 베어링부에 설치된 상부 피봇전자석, 수직중심축상으로 상기 하부 피봇축의 원통형 MR챔버에 삽입되는 상부피봇축 원통부, 상부피봇축 원통부의 하부측에 설치된 축방향 전자석를 갖고 하부 피봇축에 동일축상으로 결합되어 있는 상부 피봇축과; 하면에 오목하게 함몰된 구면에 의해 상측 반구형 MR챔버를 갖고 상기 상부 피봇축의 상단측 상부구면 베어링부와 구면 결합되어 있는 상부 피봇블럭과; 상기 하부 피봇축과 동심축상에 배치되고 상기 댐퍼 베이스에 지지되어져 공기스프링력을 발휘하는 중공형 튜브와; 상기 중공형 튜브의 상부에 끼움 결합됨과 동시에 상기 상부 피봇블럭의 상면에 안착 고정되어 있는 제진플레이트;를 포함하고, 상기 반구형 MR챔버, 상측 반구형 MR챔버 및 원통형 MR챔버에 각기 MR 유체가 채움되어지고, 하부 피봇전자석, 상부 피봇전자석 및 축방향 전자석에 인가되는 전기적 구동에 따라 각 MR 유체의 결합력 형성으로 제진을 수행하는 것을 특징으로 한다.

Description

상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼{MR damper using upper and lower pivot joint}

본 발명은 MR 댐퍼에 관한 것으로, 특히 수직축의 상,하부에 MR 유체가 충진된 피봇 조인트 결합 구조를 가져 다양한 진동 방향에서의 제진을 수행할 수 있고, 동시에 중공형 튜브와 조합되어 공기스프링 방식에 진동 에너지를 흡수할 수 있도록 한 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼에 관한 것이다.

최근 첨단 초정밀 가공/생산/검사 장비(예로, 반도체 장비)에 요구되는 정밀도가 점차 높아지고 있는 추세이다. 이에 따라 정밀도를 저해시키는 주변 미세진동 및 장비 자체에서 발생하는 진동의 제어가 필연적으로 발생하고 있다. 즉, 초정밀장비의 진동 허용치가 매우 낮아지고, 장비 자체의 이동질량에 의한 동하중이 진동원으로 작용함으로써 방진 만으로는 허용치를 만족시킬 수 없게 되었다. 따라서 외부에서 제어력을 가해줄 수 있는 위치제어 및 진동제어를 위한 제어 시스템의 개발 및 적용이 시급히 요구되고 있는 실정이다. 특히 초정밀 생산 장비는 다양한 크기와 형태의 진동원을 가지고 있으며, 한가지 작동기 만으로 이를 제어하기는 사실상 거의 불가능하다. 따라서 다양한 진동원에 대응하기 위한 진동 제어 수단이 필요하다.

본 발명의 배경이 되는 기술로는 한국 등록특허 등록번호 제10-0664578호로서, '엠알 댐퍼를 이용한 제진장치 및 제진방법'이 제안되어 있다. 이는 장방형 형상의 MR 댐퍼를 이용하여, 횡방향 또는 종방향의 진동에 의한 변위에 대응하여 대향하는 두 쌍의 전자석에 각각 전류를 별개로 공급하여 자화사슬을 형성함으로써 횡방향 및 종방향의 진동에 의한 변위를 방지할 수 있도록 한 것이다.

그러나 상기 배경기술은 평면상에서의 횡방향과 종방향 그리고 수직방향의 진동만이 제어될 뿐 틸팅 운동을 추종하면서 진동을 제어할 수 없는 문제가 있다.

한국 등록특허 등록번호 제10-0664578호

본 발명은 수직축의 상,하부에 MR 유체가 충진된 피봇 조인트 결합 구조를 가져 다양한 진동 방향에서의 제진을 수행할 수 있고, 중공형 튜브와 조합되어 공기스프링 방식으로 병행되어 진동 에너지를 흡수할 수 있도록 한 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼를 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따른 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼는,

댐퍼 베이스와;

하방으로 오목하게 함몰된 구면에 의해 하측 반구형 MR챔버를 갖고 상기 댐퍼 베이스의 상면 중앙에 장착된 하부 피봇블럭과;

일단에 하부 피봇블럭측 반구형 MR챔버에 구면 결합되는 하부구면 베어링부와, 하부구면 베어링부에 설치된 하부 피봇전자석과, 하부구면 베어링부의 수직중심축상에 원통형 MR챔버를 갖는 하부피봇축 원통부가 구비된 하부 피봇축과;

상부에 볼록한 구면이 형성된 상부구면 베어링부, 상부구면 베어링부에 설치된 상부 피봇전자석, 수직중심축상으로 상기 하부 피봇축의 원통형 MR챔버에 삽입되는 상부피봇축 원통부, 상부피봇축 원통부의 하부측에 설치된 축방향 전자석를 갖고 하부 피봇축에 동일축상으로 결합되어 있는 상부 피봇축과;

하면에 오목하게 함몰된 구면에 의해 상측 반구형 MR챔버를 갖고 상기 상부 피봇축의 상단측 상부구면 베어링부와 구면 결합되어 있는 상부 피봇블럭과;

상기 하부 피봇축과 동심축상에 배치되고 상기 댐퍼 베이스에 지지되어져 공기스프링력을 발휘하는 중공형 튜브와;

상기 중공형 튜브의 상부에 끼움 결합됨과 동시에 상기 상부 피봇블럭의 상면에 안착 고정되어 있는 제진플레이트;를 포함하고,

상기 반구형 MR챔버, 상측 반구형 MR챔버 및 원통형 MR챔버에 각기 MR 유체가 채움되어지고, 하부 피봇전자석, 상부 피봇전자석 및 축방향 전자석에 인가되는 전기적 구동에 따라 각 MR 유체의 결합력 형성으로 제진을 수행하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 댐퍼 베이스는 판상형의 바닥플레이트, 바닥플레이트의 상면에 베이스 중공부를 형성하기 위해 환상형으로 돌출되어 있는 튜브결합용 돌출부, 튜브결합용 돌출부의 내측에 일체되어 상기 하부피봇축의 하부피봇축 원통부의 외경보다 크게 형성된 관통홀을 갖는 상부결합판으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 하부 피봇블럭의 상단에 나사결합된 하부스프링 지지캡과; 상기 하부스프링 지지캡과 하부 피봇축사이의 유간에 배치되어 탄성력으로 하부 피복축을 수직으로 지지시키는 하측 주름형 원판 스프링;을 더 포함한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상부 피봇블럭의 하단에 나사결합된 상부스프링 지지캡과; 상기 상부스프링 지지캡과 상부 피봇축사이의 유간에 배치되어 탄성력으로 상부 피복축을 수직으로 지지시키는 상측 주름형 원판 스프링;을 더 포함한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 중공형 튜브는 댐퍼 베이스의 상부결합판의 외주면에 결착되는 하부결착공과, 튜브결합용 돌출부에 결합되는 환상형 결합홈과, 제진플레이트와 결착되는 상부결착공 및 내부로 공기가 충진되는 중공챔버를 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 하부피봇축의 상단에는 원통형 MR챔버를 밀폐시키는 하부피봇축 챔버커버가 나사 결합되어 설치된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제진플레이트는 중공형 튜브의 상부견착공에 끼움 결합되는 원형 결착턱, 중공형 튜브의 외주면을 지지하는 튜브 지지원통을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼에 따르면, 동일 중심축상에 하부 피봇축과 상부 피봇축이 결합되어 상,하부에 피봇 결합구조를 갖고 MR 유체가 충진되어져 피봇 진동의 제어가 가능하다. 또한 하부 피봇축과 상부 피봇축의 결합부에 충진된 MR 유체에 의해 상하 방향의 진동제어를 수행할 수 있다. 또한, 중공형 튜브가 진동 에너지를 흡수함과 함께 MR 유체가 감쇄력을 발휘하는 병행 효과로 진동 변위가 작게되고 진동 소멸시간이 짧아져 초정밀 장비의 정밀도를 크게 향상시킬 수 있다.

본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 첨부한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 MR 댐퍼의 사시도.
도 2는 도 1의 정면도.
도 3은 도 2의 평면도.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도.
도 5는 도 4에 도시된 댐퍼 베이스의 부분 절취된 사시도.
도 6은 도 4에 도시된 하부 피봇축과 상부 피봇축간의 분리사시도.
도 7은 도 4에 도시된 중공형 튜브의 부분 절취된 사시도.
도 8은 도 4에 도시된 제진플레이트의 부분 절취된 사시도.
도 9의 (a),(b)는 본 발명에 적용되는 상,하측 주름형 원판 스프링의 사시도 및 정면도.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 MR 댐퍼의 사용예시도.
도 11은 본 발명에 따른 MR 댐퍼와 일반적인 MR 댐퍼간의 제진진동 그래프.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 제시된 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 예시적인 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다.

도 1 내지 도 3에서와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼(10)는 댐퍼 베이스(12)가 구비된다. 도 4 및 도 5와 같이 댐퍼 베이스(12)는 판상형의 바닥플레이트(121), 바닥플레이트(121)의 상면에 베이스 중공부(121a)를 형성하기 위해 환상형으로 돌출되어 있는 튜브결합용 돌출부(122), 튜브결합용 돌출부(122)의 내측에 일체되어 하부피봇축(18)의 하부피봇축 원통부(182)의 외경보다 크게 형성된 관통홀(123a)을 갖는 상부결합판(123)으로 구성되어 있다.

댐퍼 베이스(12)의 상면 중앙에는 하부 피봇블럭(14)이 설치되어 있다. 하부 피봇블럭(14)은 나사 체결에 의해 댐퍼 베이스(12)에 고정되어 설치된다. 하부 피봇블럭(14)은 상부에 하방으로 오목하게 함몰된 하측 반구형 MR챔버(141)를 갖는다. 하측 반구형 MR챔버(141)에는 MR 유체(Magneto-Rheological Fluid)가 채움되어 있다. MR 유체(Magneto-Rheological Fluid)는 후술할 하부 피봇전자석(EM1)에 전류가 인가될 시 결합력을 형성시킨다.

도 4 및 도 6과 같이 하부 피봇블럭(14)에 하부 피봇축(18)이 피봇 결합되어 있다. 하부 피봇축(18)은 일단에 하부 피봇블럭(14)측 반구형 MR챔버(141)에 구면 운동가능하도록 결합되는 하부구면 베어링부(181)와, 하부구면 베어링부(181)에 설치된 하부 피봇전자석(EM1)과, 타단으로 하부스프링 지지캡(16)을 삽통하여 수직으로 입설되어 수직중심축(Z)상에 원통형 MR챔버(182a)를 갖는 하부피봇축 원통부(182)를 구비하고 있다.

따라서, 하부 피봇축(18)은 하부구면 베어링부(181)가 반구형 MR챔버(141)에 구면 결합되어 있어 수직중심축(Z)에 대한 회전 및 미세한 기울임을 허용하게 설치된다. 따라서 본 MR 댐퍼(10)는 초정밀 장비(200)의 다양한 진동방향에 추종하여 감쇄력을 발휘할 수 있다.

하부피봇축(18)의 상단에는 원통형 MR챔버(182a)를 밀폐시키는 하부피봇축 챔버커버(19)가 나사 결합되어 설치된다.

도 4 및 도 6과 같이 하부 피봇축(18)에 동일축상으로 상부 피봇축(22)이 결합되어 있다. 상부 피봇축(22)은 상부에 볼록한 구면을 갖는 상부구면 베어링부(221), 상부구면 베어링부(221)에 설치된 상부 피봇전자석(EM2), 중심축상으로 상기 하부 피봇축(18)의 원통형 MR챔버(182a)에 삽입되는 상부피봇축 원통부(222), 상부피봇축 원통부(222)의 하부측에 설치된 축방향 전자석(EM3)를 갖는다.

원통형 MR챔버(182a)에는 MR 유체(Magneto-Rheological Fluid)가 채움되어 있다. 이 MR 유체(Magneto-Rheological Fluid)는 하부 피봇축(18)과 상부 피봇축(22)간의 간극 사이에 흐르도록 채워져 있다. 따라서 축방향 전자석(EM3)에 전류가 인가되면, 원통형 MR챔버(182a)내의 MR 유체는 결합력을 형성하여 상부 피봇축(22)의 상하운동인 피치 모션(pitch motion)에 감쇄력을 일으킨다.

바람직하게 상부피봇축 원통부(222)의 내부에는 하방으로 개구되어 있는 보조 MR챔버(222a)가 형성됨이 바람직하다. 보조 MR챔버(222a)는 원통형 MR챔버(182a)와 연결되어져 MR유체의 수위를 조절한다.

상부 피봇축(22)의 상단에 상부 피봇블럭(24)이 결합되어 있다. 상부 피봇블럭(24)은 하면에 오목하게 함몰된 구면에 의해 상측 반구형 MR챔버(241)를 갖는다. 따라서 상부 피봇블럭(24)은 상측 반구형 MR챔버(241)측 구면이 상부 피봇축(22)의 상단측 상부구면 베어링부(221)와 구면 운동가능하도록 결합된다. 따라서 상부 피봇블럭(24)은 상부 피봇축(22)의 상부구면 베어링부(221)와 구면 결합되어 있어 수직중심축(Z)에 대한 회전 및 미세한 기울임을 허용하게 설치된다.

상측 반구형 MR챔버(241)에 MR 유체(Magneto-Rheological Fluid)가 채움되어 있다. MR 유체(Magneto-Rheological Fluid)는 상부 피봇전자석(EM2)에 전류가 인가될 시 결합력을 형성시킨다.

도 4 및 도 7과 같이 하부 피봇축(18)과 동심축상으로 중공형 튜브(30)가 배치되어 있고, 중공형 튜브(30)는 댐퍼 베이스(12)에 지지되어져 설치된다. 중공형 튜브(30)는 고무 또는 실리콘으로 제작된다. 중공형 튜브(30)는 댐퍼 베이스(12)의 상부결합판(123)의 외주면에 결착되는 하부결착공(301)과, 튜브결합용 돌출부(122)에 결합되는 환상형 결합홈(302), 제진플레이트(32)와 결착되는 상부결착공(303) 및 내부로 공기가 충진되는 중공챔버(304)를 갖는다.

도 4 및 도 8과 같이 상부 피봇블럭(24)의 상면에 제진플레이트(32)가 고정 설치되어 있다. 또한 제진플레이트(32)는 중공형 튜브(30)의 상부에 끼움 결합되어 설치된다. 제진플레이트(32)는 진동제어 대상체가 되는 정밀장비를 하부에서 지지한다. 제진플레이트(32)는 중공형 튜브(30)의 상부견착공(303)에 끼움 결합되는 원형 결착턱(321), 중공형 튜브(30)의 외주면을 지지하는 튜브 지지원통(322)을 갖는다.

한편, 도 4 및 도 9와 같이 반구형 MR챔버(141)를 밀폐시키기 위해 하부 피봇블럭(14)의 상단에 나사결합된 하부스프링 지지캡(16)이 설치되고, 하부스프링 지지캡(16)과 하부 피봇축(18)사이의 유간에는 탄성력으로 하부 피복축(18)을 수직으로 지지시키는 하측 주름형 원판 스프링(20)이 설치됨이 바람직하다.

또한, 도 4 및 도 9와 같이 상측 반구형 MR챔버(241)를 밀폐시키기 위해 상부 피봇블럭(24)의 하단에 나사결합된 상부스프링 지지캡(26)이 설치되고, 상부스프링 지지캡(26)과 상부 피봇축(22)사이의 유간에는 탄성력으로 상부 피복축(22)을 수직으로 지지시키는 상측 주름형 원판 스프링(28)이 설치됨이 바람직하다.

이와 같이 구성된 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼(10)는, 도 10과 같이 진동 제어대상체가 되는 초정밀 장비(200)의 하부측에 설치된다. 따라서 제진플레이트(32)가 초정밀 장비(200)의 하부측을 지지하도록 MR 댐퍼(10)가 복수개 이상으로 설치된다. 이때 MR 댐퍼(10)에 포함된 하부 피봇전자석(EM1), 상부 피봇전자석(EM2) 및 축방향 전자석(EM3)은 제어부(100)에 연결되고, 제어부(100)에는 진동 변위에 따른 가속도를 감지하는 가속도 센서(110)가 연결되어 있다. 따라서 가속도 센서(110)의 감지된 가속도 신호에 대응하여 제어부(10)는 각기 하부 피봇전자석(EM1), 상부 피봇전자석(EM2) 및 축방향 전자석(EM3)의 전기적 구동을 제어한다.

이 상태에서 초정밀 장비(200)에서 다양한 진동이 발생되며, 이 진동은 가속도 센서(110)에 감지되고 제어부(100)가 이를 판단하여 각기 하부 피봇전자석(EM1), 상부 피봇전자석(EM2) 및 축방향 전자석(EM3)에 전류를 인가시켜 각기 MR 유체에 결합력을 형성시켜 진동 감쇄를 신속히 수행하게 된다. 이러한 진동 감쇄는 횡방향(X)과 종방향(Y) 및 수직방향(상하방향)(Z)에서 뿐만 아니라 피봇 결합부에서 모두 일어난다. 따라서 본 MR 댐퍼(10)는 도 11과 같이 일반적인 MR 댐퍼에 비해 변위가 작고 진동을 감쇄시키는 시간이 매우 단축된다. 또한 중공형 튜브(30)내 중공챔버(304)에 충진된 공기의 완충 스프링 작용으로 진동 변위를 함께 흡수할 수 있게 된다. 더욱이, 본 MR 댐퍼(10)는 동일한 Z축상에 결합된 하부 피봇축(18)과 상부피봇축(22)에 각기 결합된 피봇 구조에 의해 틸팅 진동의 제어가 가능하게 되는 이점을 갖게 된다.

지금까지 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.

12: 댐퍼 베이스
14: 하부 피봇블럭
141: 반구형 MR챔버
18: 하부 피봇축
182a: 원통형 MR챔버
22: 상부 피봇축
24: 상부 피봇블럭
241: 상측 반구형 MR챔버
30: 중공형 튜브
32: 제진플레이트
EM1: 하부 피봇전자석
EM2: 상부 피봇전자석
EM3: 축방향 전자석

Claims (7)

1. 댐퍼 베이스(12)와;
   하방으로 오목하게 함몰된 하측 반구형 MR챔버(141)를 갖고 상기 댐퍼 베이스(12)의 상면 중앙에 장착된 하부 피봇블럭(14)과;
   일단에 하부 피봇블럭(14)측 반구형 MR챔버(141)에 구면 결합되는 하부구면 베어링부(181)와, 하부구면 베어링부(181)에 설치된 하부 피봇전자석(EM1)과, 하부구면 베어링부(181)의 수직중심축(Z)상에 원통형 MR챔버(182a)를 갖는 하부피봇축 원통부(182)가 구비된 하부 피봇축(18)과;
   상부에 볼록한 구면을 이루는 상부구면 베어링부(221), 상부구면 베어링부(221)에 설치된 상부 피봇전자석(EM2), 수직중심축(Z)상으로 상기 하부 피봇축(18)의 원통형 MR챔버(182a)에 삽입되는 상부피봇축 원통부(222), 상부피봇축 원통부(222)의 하부측에 설치된 축방향 전자석(EM3)를 갖고 하부 피봇축(18)에 동일축상으로 결합되어 있는 상부 피봇축(22)과;
   하면에 오목하게 함몰된 구면에 의해 상측 반구형 MR챔버(241)를 갖고 상기 상부 피봇축(22)의 상단측 상부구면 베어링부(221)와 구면 결합되어 있는 상부 피봇블럭(24)과;
   상기 하부 피봇축(18)과 동심축상에 배치되고 상기 댐퍼 베이스(12)에 지지되어져 공기스프링력을 발휘하는 중공형 튜브(30)와;
   상기 중공형 튜브(30)의 상부에 끼움 결합됨과 동시에 상기 상부 피봇블럭(24)의 상면에 안착 고정되어 있는 제진플레이트(32);를 포함하고,
   상기 반구형 MR챔버(141), 상측 반구형 MR챔버(241) 및 원통형 MR챔버(182a)에 각기 MR 유체가 채움되어지고, 하부 피봇전자석(EM1), 상부 피봇전자석(EM2) 및 축방향 전자석(EM3)에 인가되는 전기적 구동에 따라 각 MR 유체의 결합력 형성으로 제진을 수행하는 것을 특징으로 하는 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 댐퍼 베이스(12)는 판상형의 바닥플레이트(121), 바닥플레이트(121)의 상면에 베이스 중공부(121a)를 형성하기 위해 환상형으로 돌출되어 있는 튜브결합용 돌출부(122), 튜브결합용 돌출부(122)의 내측에 일체되어 상기 하부피봇축(18)의 하부피봇축 원통부(182)의 외경보다 크게 형성된 관통홀(123a)을 갖는 상부결합판(123)으로 구성된 것을 특징으로 하는 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 하부 피봇블럭(14)의 상단에 나사결합된 하부스프링 지지캡(16)과;
   상기 하부스프링 지지캡(16)과 하부 피봇축(18)사이의 유간에 배치되어 탄성력으로 하부 피복축(18)을 수직으로 지지시키는 하측 주름형 원판 스프링(20);을 더 포함한 것을 특징으로 하는 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼.
4. 제 3항에 있어서,
   상기 상부 피봇블럭(24)의 하단에 나사결합된 상부스프링 지지캡(26)과;
   상기 상부스프링 지지캡(26)과 상부 피봇축(22)사이의 유간에 배치되어 탄성력으로 상부 피복축(22)을 수직으로 지지시키는 상측 주름형 원판 스프링(28);을 더 포함한 것을 특징으로 하는 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼.
5. 제 2항에 있어서,
   상기 중공형 튜브(30)는 댐퍼 베이스(12)의 상부결합판(123)의 외주면에 결착되는 하부결착공(301)과, 튜브결합용 돌출부(122)에 결합되는 환상형 결합홈(302)과, 제진플레이트(32)와 결착되는 상부결착공(303) 및 내부로 공기가 충진되는 중공챔버(304)를 갖는 것을 특징으로 하는 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼.
6. 제 1항에 있어서,
   상기 하부피봇축(18)의 상단에는 원통형 MR챔버(182a)를 밀폐시키는 하부피봇축 챔버커버(19)가 나사 결합되어 설치된 것을 특징으로 하는 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼.
7. 제 1항에 있어서,
   상기 제진플레이트(32)는 중공형 튜브(30)의 상부견착공(303)에 끼움 결합되는 원형 결착턱(321), 중공형 튜브(30)의 외주면을 지지하는 튜브 지지원통(322)을 갖는 것을 특징으로 하는 상,하부 피봇 결합식 MR 댐퍼.

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