JP2001512812A - 空気圧絶縁装置要素 - Google Patents
空気圧絶縁装置要素Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
- F16F9/02—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using gas only or vacuum
- F16F9/0209—Telescopic
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
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- F16F9/16—Devices with one or more members, e.g. pistons, vanes, moving to and fro in chambers and using throttling effect involving only straight-line movement of the effective parts
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Abstract
(57)【要約】
移動可能な部材のための実質的に摩擦のないマウンティングにおいて、複数のボールが相対的に移動可能な2つの部材の間の複数の溝内にそれぞれ1つ置かれ、複数の磁石が各溝の中心近辺に置かれ、ボールが溝内で自動的に心出しする。
Description
【0001】 (関連出願) 本発明の譲受人に譲渡された同時係属の1996年1月25日出願の、Ost
erberg他のTuned Mass Damper With Tunab
le Damping and Anti−Friction Rolling
Massという名称の、米国特許出願第08/591,922号。
erberg他のTuned Mass Damper With Tunab
le Damping and Anti−Friction Rolling
Massという名称の、米国特許出願第08/591,922号。
【0002】 (発明の背景) (L.発明の分野) 本発明の分野は振動絶縁装置であり、特に本発明は振動絶縁装置用の特殊な自
動心出し低摩擦マウンティングに関する。
動心出し低摩擦マウンティングに関する。
【0003】 (2.従来の技術) 振動絶縁装置は、当技術分野でよく知られている。振動絶縁装置には、絶縁装
置の一端を振動する第1の部材に取り付ける手段と、第1の部材の振動を吸収す
るためのダンパおよびスプリング構成と、絶縁装置の他端を振動して欲しくない
第2の部材に取り付ける手段とが含まれる。振動絶縁装置マウントは、振動中の
部材、または振動源から振動源またはその近辺に取り付けられた振動に敏感な脆
い機器に伝えられる動的荷重を減ずるために必要な場合に使用される。大抵の絶
縁装置マウントでは、絶縁される質量と組み合わせた時、等式fn =1/2π(
K/M)1/2(但し、fnは固有振動数、Kは絶縁装置マウントの剛性、Mは絶縁
すべき質量)により求めた絶縁装置の固有振動数(または折点周波数)ができる
だけ低い場合に、性能が最も良いということができる。
置の一端を振動する第1の部材に取り付ける手段と、第1の部材の振動を吸収す
るためのダンパおよびスプリング構成と、絶縁装置の他端を振動して欲しくない
第2の部材に取り付ける手段とが含まれる。振動絶縁装置マウントは、振動中の
部材、または振動源から振動源またはその近辺に取り付けられた振動に敏感な脆
い機器に伝えられる動的荷重を減ずるために必要な場合に使用される。大抵の絶
縁装置マウントでは、絶縁される質量と組み合わせた時、等式fn =1/2π(
K/M)1/2(但し、fnは固有振動数、Kは絶縁装置マウントの剛性、Mは絶縁
すべき質量)により求めた絶縁装置の固有振動数(または折点周波数)ができる
だけ低い場合に、性能が最も良いということができる。
【0004】 ソフト・マウントの設計および実装に伴う難点の1つは、その折点周波数(剛
性)を低減すると甚だしく弛むことである。機械的なスプリング絶縁装置マウン
トは、極端に低い折点周波数を達成しようとすると、マウント自体の構造的完全
性と安全性によって制限される。粘弾性絶縁装置マウントもまた、折点周波数を
低く設計すると構造的完全性に問題を生じる。低い折点周波数に伴う構造的問題
を克服するのに理想的に適していると思われる1つのマウントは、空気圧絶縁装
置システムである。
性)を低減すると甚だしく弛むことである。機械的なスプリング絶縁装置マウン
トは、極端に低い折点周波数を達成しようとすると、マウント自体の構造的完全
性と安全性によって制限される。粘弾性絶縁装置マウントもまた、折点周波数を
低く設計すると構造的完全性に問題を生じる。低い折点周波数に伴う構造的問題
を克服するのに理想的に適していると思われる1つのマウントは、空気圧絶縁装
置システムである。
【0005】 振動源と振動に敏感な機器の間の接触面を柔らかくするためのスプリングとし
て圧縮可能な空気を使用するのは新規なことではない。大型トラックは、エアバ
ッグ・タイプの空気圧サスペンションを使用してペイロードの負担を緩和してい
る。光学台は、ソフト・ニューマチック・マウントにより研究室の床から絶縁さ
れる。大きな荷重は、それらのシステムによって空気圧とサポート・ピストンの
表面積により支持される。空気圧ばね定数は、荷重を支持する空気圧、空気体積
およびピストン面積に依存する。したがって、適切な空気圧絶縁装置設計を用い
ることによって、大きな荷重をソフト・マウントにより支持することができる。
て圧縮可能な空気を使用するのは新規なことではない。大型トラックは、エアバ
ッグ・タイプの空気圧サスペンションを使用してペイロードの負担を緩和してい
る。光学台は、ソフト・ニューマチック・マウントにより研究室の床から絶縁さ
れる。大きな荷重は、それらのシステムによって空気圧とサポート・ピストンの
表面積により支持される。空気圧ばね定数は、荷重を支持する空気圧、空気体積
およびピストン面積に依存する。したがって、適切な空気圧絶縁装置設計を用い
ることによって、大きな荷重をソフト・マウントにより支持することができる。
【0006】 現在の空気圧絶縁装置に関する問題の1つは、特に自重によって、サイド・ロ
ーディングを支持することができないことである。現在の空気圧絶縁装置はもっ
ぱら重力ベクトルに平行に作用する。そのため、見慣れた六脚(スチュワート・
プラットフォーム Stewart Platform)構成または八脚構成に
搭載時のように、絶縁装置要素が傾斜する場所で6自由度絶縁システムにおける
空気圧サスペンションを利用することがきわめて困難になる。多くの巧妙なサイ
ド・サポート・システムが考案されてはいるが、あらゆる自由度においてソフト
・エア・サポートを与えるのに必要な程度には全く至っていない。上述の同時係
属出願においては、溝内に置かれたボール・ベアリングによってほとんど摩擦の
無いピストンの運動手段が得られ、同時に支持体が実質的に水平にマウントされ
たときに、完全なサポートと整合が得られる。水平なときには、ボールは自動的
に心出しする。即ち、使用中は溝の中間に戻ろうとする。フル・ストロークでは
、ボールが溝の端に当たって時間的スティクションを生じることもあるが、ピス
トンが前後に運動するので、この状態は長引かない。しかし、支持体がある角度
付きでマウントされたとき、自由なローリング・アセンブリを維持するために必
要なわずかなクリアランスがあるために、重力の影響によってボールが軌条の底
部に落ち込むと、水平時の自動心出し作用は失われる。
ーディングを支持することができないことである。現在の空気圧絶縁装置はもっ
ぱら重力ベクトルに平行に作用する。そのため、見慣れた六脚(スチュワート・
プラットフォーム Stewart Platform)構成または八脚構成に
搭載時のように、絶縁装置要素が傾斜する場所で6自由度絶縁システムにおける
空気圧サスペンションを利用することがきわめて困難になる。多くの巧妙なサイ
ド・サポート・システムが考案されてはいるが、あらゆる自由度においてソフト
・エア・サポートを与えるのに必要な程度には全く至っていない。上述の同時係
属出願においては、溝内に置かれたボール・ベアリングによってほとんど摩擦の
無いピストンの運動手段が得られ、同時に支持体が実質的に水平にマウントされ
たときに、完全なサポートと整合が得られる。水平なときには、ボールは自動的
に心出しする。即ち、使用中は溝の中間に戻ろうとする。フル・ストロークでは
、ボールが溝の端に当たって時間的スティクションを生じることもあるが、ピス
トンが前後に運動するので、この状態は長引かない。しかし、支持体がある角度
付きでマウントされたとき、自由なローリング・アセンブリを維持するために必
要なわずかなクリアランスがあるために、重力の影響によってボールが軌条の底
部に落ち込むと、水平時の自動心出し作用は失われる。
【0007】 (発明の概要) 本発明の空気圧絶縁装置要素は、上述の同時係属出願と同様に線形軌条または
溝内にマウントされたボール・ベアリングを使用するが、さらに、1組の磁石が
各溝またはピストン内部のスロットの中心に置かれる。それらの磁石は、機械的
なクリアランスおよび重力によってボールが軌条の底部に引かれるときには常時
ボールを軌条の中心に保持または引き寄せるように寸法が決められる。
溝内にマウントされたボール・ベアリングを使用するが、さらに、1組の磁石が
各溝またはピストン内部のスロットの中心に置かれる。それらの磁石は、機械的
なクリアランスおよび重力によってボールが軌条の底部に引かれるときには常時
ボールを軌条の中心に保持または引き寄せるように寸法が決められる。
【0008】 (好ましい実施形態の詳細な説明) 図1において、空気圧絶縁装置10のハウジング12は、垂直壁14により一
次チャンバ16および二次チャンバ18に分割され、壁14の制限路20により
チャンバ16と18の間で制限的に気体の流れが可能である。ハウジング12を
貫通する開口22は、チャンバへの気体入口となる。
次チャンバ16および二次チャンバ18に分割され、壁14の制限路20により
チャンバ16と18の間で制限的に気体の流れが可能である。ハウジング12を
貫通する開口22は、チャンバへの気体入口となる。
【0009】 ハウジング12の右端にはマウンティング・ロッド端28がねじにより固定さ
れた端部部材24がある。ロッド端28は、絶縁すべき2つの部材(図示せず)
の第1の部材に絶縁装置10の右端を接続するために使用する第1のアイ・コネ
クタ30を含む。
れた端部部材24がある。ロッド端28は、絶縁すべき2つの部材(図示せず)
の第1の部材に絶縁装置10の右端を接続するために使用する第1のアイ・コネ
クタ30を含む。
【0010】 一次チャンバ16はその中にピストン部材35を有し、ピストン部材はハウジ
ング12の左端に溶接ベロー38によって取り付けられており、チャンバ16を
封止しながらピストン35が図1の左右に移動することができる。ピストン35
の左端にエンド・キャップ40が封止されており、これに第2の封止取付ロッド
端42がねじにより固定される。ロッド端42は絶縁すべき2つの部材の第2の
部材に絶縁装置10の左端を接続するために使用する第2のアイ・コネクタ45
を含む。
ング12の左端に溶接ベロー38によって取り付けられており、チャンバ16を
封止しながらピストン35が図1の左右に移動することができる。ピストン35
の左端にエンド・キャップ40が封止されており、これに第2の封止取付ロッド
端42がねじにより固定される。ロッド端42は絶縁すべき2つの部材の第2の
部材に絶縁装置10の左端を接続するために使用する第2のアイ・コネクタ45
を含む。
【0011】 チャンバ16および18は、中央開口22から空気または他の気体を満たすこ
とができ、次いでチャンバ18はポート22を閉じるか、あるいはこれを供給圧
力に結合することによって封止される。
とができ、次いでチャンバ18はポート22を閉じるか、あるいはこれを供給圧
力に結合することによって封止される。
【0012】 ピストン35は、外部ハウジング50を有し、ハウジング内に複数の溝52が
設けられる。複数のボール55が、溝52のそれぞれに1つずつ、ピストン35
のハウジング50と絶縁装置10のハウジング12の内面60の間にある。それ
によって、チャンバ16内のピストン35の運動に対する摩擦がきわめて少なく
なる。溝52は、チャンバ16内でピストン35が全行程運動するのに十分な長
さである。ボールの頂部とハウジング12の内面の間には僅かな機械的空間すな
わちクリアランスが設けられ、それによってローリング・アセンブリの自由度が
維持される。上述のDavis他の出願に記載の通り、ボール55は、Davi
s他の出願の質量調整ダンパに関しても言えることであろうが、装置が水平であ
る限り、もしくは宇宙空間における応用のような重力の効果が存在しないときに
は自動的に心出しする。しかし、通常は重力環境および多くは水平でない位置に
おいて(即ち、水平に対してある角度で)使用される振動絶縁装置の場合は、ボ
ール55は引力によって一方端に引かれて、溝52の端に摩擦を生じる。この摩
擦は潤滑によって最小限に留めることができるが、それは用途によってはきわめ
て過酷である。したがって、本発明においては、図1の面の内外の各ボール55
のいずれかの側で磁石を使用することによって、ボール55に自動的に心出しさ
せる。それは、図1の2−2線断面図である図2および3−3線断面図である図
3で分かる。
設けられる。複数のボール55が、溝52のそれぞれに1つずつ、ピストン35
のハウジング50と絶縁装置10のハウジング12の内面60の間にある。それ
によって、チャンバ16内のピストン35の運動に対する摩擦がきわめて少なく
なる。溝52は、チャンバ16内でピストン35が全行程運動するのに十分な長
さである。ボールの頂部とハウジング12の内面の間には僅かな機械的空間すな
わちクリアランスが設けられ、それによってローリング・アセンブリの自由度が
維持される。上述のDavis他の出願に記載の通り、ボール55は、Davi
s他の出願の質量調整ダンパに関しても言えることであろうが、装置が水平であ
る限り、もしくは宇宙空間における応用のような重力の効果が存在しないときに
は自動的に心出しする。しかし、通常は重力環境および多くは水平でない位置に
おいて(即ち、水平に対してある角度で)使用される振動絶縁装置の場合は、ボ
ール55は引力によって一方端に引かれて、溝52の端に摩擦を生じる。この摩
擦は潤滑によって最小限に留めることができるが、それは用途によってはきわめ
て過酷である。したがって、本発明においては、図1の面の内外の各ボール55
のいずれかの側で磁石を使用することによって、ボール55に自動的に心出しさ
せる。それは、図1の2−2線断面図である図2および3−3線断面図である図
3で分かる。
【0013】 図2および図3において、ピストン35のハウジング50はピストン50に溝
52が形成された状態で形成される。溝52は、極力摩擦の少ない円形、V字形
あるいは他の形状とすることができる。ボール55は溝52内に安定し、チャン
バ12の内面60の至近にあることが分かる。先述の通り、転がり接触の自由度
を維持するために僅かなクリアランスが設けられる。1つの好ましい実施形態に
おいては、ボールの径は3/8インチ、ハウジング50とハウジング12の内面
60の間の空間は0.188インチ、ハウジング50と内面60の間に置かれた
各ボール55の作用クリアランスは0.002インチ程度である。
52が形成された状態で形成される。溝52は、極力摩擦の少ない円形、V字形
あるいは他の形状とすることができる。ボール55は溝52内に安定し、チャン
バ12の内面60の至近にあることが分かる。先述の通り、転がり接触の自由度
を維持するために僅かなクリアランスが設けられる。1つの好ましい実施形態に
おいては、ボールの径は3/8インチ、ハウジング50とハウジング12の内面
60の間の空間は0.188インチ、ハウジング50と内面60の間に置かれた
各ボール55の作用クリアランスは0.002インチ程度である。
【0014】 ボール55が引力によって一方端に引かれるのを防止するため、1対の磁石6
5が溝52それぞれに隣接して置かれる。磁石は分極されていて溝52それぞれ
の前後に磁場を与え、それによって、焼入れ鋼または他の磁性材料製のボール5
2は磁石65間の中心位置に引かれる。磁場の強さは、引力がボールに及ぼす影
響を克服することができるが、ピストン35の自由なローリング運動にさらに対
向する程に大きくならないように選択される。1つの好ましい実施形態において
は、磁石の強さは、0.13オンスのボールを軌条の底部から中心に引き戻すの
に十分な程度であった。
5が溝52それぞれに隣接して置かれる。磁石は分極されていて溝52それぞれ
の前後に磁場を与え、それによって、焼入れ鋼または他の磁性材料製のボール5
2は磁石65間の中心位置に引かれる。磁場の強さは、引力がボールに及ぼす影
響を克服することができるが、ピストン35の自由なローリング運動にさらに対
向する程に大きくならないように選択される。1つの好ましい実施形態において
は、磁石の強さは、0.13オンスのボールを軌条の底部から中心に引き戻すの
に十分な程度であった。
【0015】 この独自の、実質的に摩擦のないマウンティングを用いることによって、大き
な荷重をチャンバ16および18により得られる空気圧スプリングによって絶縁
することができる。空気圧ダンパのばね定数を変更可能にすることが望ましい場
合には、さらに図4に示すようなチャンバを備えることができる。
な荷重をチャンバ16および18により得られる空気圧スプリングによって絶縁
することができる。空気圧ダンパのばね定数を変更可能にすることが望ましい場
合には、さらに図4に示すようなチャンバを備えることができる。
【0016】 図4においては、図1の基本的な空気圧絶縁装置を使用するので、それについ
ては詳述はしない。図4においては、ハウジング12の左端近辺にフランジ70
が備えられ、これに追加のハウジング72が固定される。追加のハウジング72
は、ハウジング12の左端を囲繞して第3のチャンバ74を与え、第3のチャン
バは第2の溶接ベロー76によって端部部材40に接続され、それによって運動
が可能になると同時にチャンバ74が封止される。ロッド端42およびアイ45
はベロー76によって形成される中央カップ78を通して延在する。1対の圧縮
空気ライン80および82により、チャンバ74および16の内部が圧力源に接
続され、それによってチャンバ内の圧力を調節して結合部の剛性を変えて荷重の
均衡化に用いることができる。空気圧弁バルブ装置(図示せず)を備えることに
より、この周波数調節はアクティブに制御もしくは運転前にプリセットすること
ができる。
ては詳述はしない。図4においては、ハウジング12の左端近辺にフランジ70
が備えられ、これに追加のハウジング72が固定される。追加のハウジング72
は、ハウジング12の左端を囲繞して第3のチャンバ74を与え、第3のチャン
バは第2の溶接ベロー76によって端部部材40に接続され、それによって運動
が可能になると同時にチャンバ74が封止される。ロッド端42およびアイ45
はベロー76によって形成される中央カップ78を通して延在する。1対の圧縮
空気ライン80および82により、チャンバ74および16の内部が圧力源に接
続され、それによってチャンバ内の圧力を調節して結合部の剛性を変えて荷重の
均衡化に用いることができる。空気圧弁バルブ装置(図示せず)を備えることに
より、この周波数調節はアクティブに制御もしくは運転前にプリセットすること
ができる。
【0017】 本発明の別の応用を図5に示すが、その基本構成は図1と同じなので、それに
ついては詳述はしない。図5において、絶縁装置の左端にボイス・コイル等の線
形力モータ90を備え、コイル・ボビンがピストン35に取り付けられ、永久磁
石コアがハウジング12に取り付けられる。この追加構成により、結合アクチュ
エータはアクティブな振動絶縁、並びにペイロードの操向または指向、およびオ
ンボード振動抑制等の他のアクティブな制御アーキテクチャの原動機として使用
することができる。
ついては詳述はしない。図5において、絶縁装置の左端にボイス・コイル等の線
形力モータ90を備え、コイル・ボビンがピストン35に取り付けられ、永久磁
石コアがハウジング12に取り付けられる。この追加構成により、結合アクチュ
エータはアクティブな振動絶縁、並びにペイロードの操向または指向、およびオ
ンボード振動抑制等の他のアクティブな制御アーキテクチャの原動機として使用
することができる。
【0018】 したがって、出願人は改良された重荷重絶縁装置、特に、きわめて摩擦運動の
少ない、水平に対して角度のある位置および引力の存在においても自動的に中心
位置を取るデバイスを提供したことが理解されよう。当技術分野の技術者は、多
くの変更を着想するであろう。例えば、運動を可能にする封止方法として溶接ベ
ローを示したが、ニッケル堆積ベローまたは金属ダイアフラム・スプリング等の
他のデバイスも使用することができる。また、ボール55は中実の金属製として
示したが、中空にしてもよく、それによって重量が減少する。なおまた、ピスト
ン35は中空として示したが、中実でもよく、絶縁装置のいずれかの端部の接続
手段は異なる性質のものでもよい。したがって、出願人は、好ましい実施形態を
記載するために用いた特定の構造に限定されることを望まない。
少ない、水平に対して角度のある位置および引力の存在においても自動的に中心
位置を取るデバイスを提供したことが理解されよう。当技術分野の技術者は、多
くの変更を着想するであろう。例えば、運動を可能にする封止方法として溶接ベ
ローを示したが、ニッケル堆積ベローまたは金属ダイアフラム・スプリング等の
他のデバイスも使用することができる。また、ボール55は中実の金属製として
示したが、中空にしてもよく、それによって重量が減少する。なおまた、ピスト
ン35は中空として示したが、中実でもよく、絶縁装置のいずれかの端部の接続
手段は異なる性質のものでもよい。したがって、出願人は、好ましい実施形態を
記載するために用いた特定の構造に限定されることを望まない。
【図1】 本発明の空気圧絶縁装置の側面図である。
【図2】 図1の矢印2−2断面図である。
【図3】 図1の矢印3−3断面図である。
【図4】 負の重力荷重に反応可能な本発明の実施形態の図である。
【図5】 線形力モータと組み合わせた本発明の実施形態の図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オスターバーグ,デビッド・エイ アメリカ合衆国・85308・アリゾナ州・グ レンデイル・ノース 53アールディ アベ ニュ・19529 Fターム(参考) 3J048 AA02 AC04 BE02 EA15 3J069 AA01 AA09 CC13 3J104 AA23 BA05 DA02 EA10
Claims (11)
- 【請求項1】 第1の部材と第2の部材の間に所定方向の低摩擦運動をもた
らす装置であって、 部材内の、それぞれに側部と所定方向の長さを有する複数の溝と、 磁性材料製の、前記各溝内にただ1つずつ、第1の部材と第2の部材の間に置
かれた複数のボールと、 各溝の側部全長の中心部に隣接して位置し、ボールが溝内を転がることによっ
て第1の部材と第2の部材間で所定の方向の運動が可能になり、磁石がボールを
全長の中心部に引きつけるように動作可能である磁石と、 を備える装置。 - 【請求項2】 運動が第1の位置と第2の位置の間で揺動し、溝の長さが第
1の部材と第2の部材を第1の位置と第2の位置の間で揺動させるのに十分な程
度である請求項1に記載の装置。 - 【請求項3】 磁石が第1の位置と第2の位置のほぼ中間の位置に置かれる
請求項2に記載の装置。 - 【請求項4】 第1の部材と第2の部材が円筒形状であり、第1の部材が第
2の部材の内部に位置する請求項1に記載の装置。 - 【請求項5】 溝がシリンダの軸に平行であり、ボールが磁石に直近の位置
に戻ることのできるクリアランスでボールがシリンダ間に隔てられる請求項4に
記載の装置。 - 【請求項6】 振動絶縁すべき第1のデバイスおよび第2のデバイスと、 第1の部材を第1のデバイスに接続する第1のコネクタと、 第2の部材を第2のデバイスに接続する第2のコネクタと、 をさらに含む請求項1に記載の装置。
- 【請求項7】 振動絶縁すべき第1のデバイスおよび第2のデバイスと、 第1の部材を第1のデバイスに接続する第1のコネクタと、 第2の部材を第2のデバイスに接続する第2のコネクタと、 をさらに含む請求項4に記載の装置。
- 【請求項8】 第1の部材が内部を第1のチャンバと第2のチャンバに分割
する中央壁を含み、第2の部材が第1のチャンバ内に位置する請求項7に記載の
装置。 - 【請求項9】 中央壁内に制限的な開口があり、第1のチャンバおよび第2
のチャンバが気体を内蔵し、それによって第1のデバイスと第2のデバイスの間
の空気圧スプリングを絶縁装置に与える請求項8に記載の装置。 - 【請求項10】 気体で満たされ、第1のシリンダに接続された第3のチャ
ンバを有し、それによって空気圧スプリングのばね定数を調節可能にする第3の
シリンダをさらに含む請求項9に記載の装置。 - 【請求項11】 第1のシリンダに接続されたリニア・モータをさらに含み
、それによってアクティブな振動絶縁が得られる請求項9に記載の装置。
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