WO2006030798A1

WO2006030798A1 - 除振台装置

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Publication number: WO2006030798A1
Application number: PCT/JP2005/016878
Authority: WO
Inventors: Akihiro Hayashi
Original assignee: Fujikura Rubber Ltd.
Priority date: 2004-09-14
Filing date: 2005-09-07
Publication date: 2006-03-23
Also published as: KR100847118B1; JP2006083883A; US20070246871A1; CN101018959A; KR20070050919A; TW200622124A; TWI295712B

Abstract

本発明の除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板と、この天井板の周縁から垂下する垂下板と、これらの天井板と垂下板に被される基台部とを備え、天井板の内側面と基台部との間には、基合部から天井板の内側面に向けて鉛直方向流体バネと流体ベアリングが順次設けられており、少なくとも1つの垂下板の内側面と基台部との間には、水平方向流体バネが設けられており、鉛直方向流体バネによって天井板と垂下板を浮上させて水準出しを行なった後に、流体ベアリングによって、天井板を非接触で浮上させることで水平方向に摩擦ほぼ零という非常に柔らかい状態で操作が行なえるような構成とされているので、鉛直方向および水平方向に軟らかいバネ特性を備え、しかも、位置決め等の安定性に優れる。

Description

^ 告

除振台装置発明の背景

発明の分野

本発明は、除振台装置に関し、特に、除振対象物に直接または間接的に敷設され，除振対象物の除振を行う除振台装置に関する。より詳しくは、精密機器等において床からの微振動や装置本体から起こる自励振動を抑制するための除振台装置に関する。従来技術の説明

従来から、例えば、半導体製造装置においてメモリ、】 Cを作る場合、ウェハ基板の上に回路を写真技術を応角した焼き付け装置を備えるス亍ッパーが用いられる。実際のステッパーの使用に際しては、生産効率を上げるためにウェハ基板や焼き付け装置を所定位置に俊敏かつ精度よく動かして位置決めする必要がある。しかしながら、俊敏な移動および停止を行なおうとすればする程、ステッパーには振動の発生という問題が必然的に生じる。 ^に、 I Cの高い集積度が求められている今日の仕様では、たとえ微振動であっても、これを完全に除去しないと、回路の線が二重【二なつたりショートしたりする（回路のダブリの発生）という問題が生じる。このような問題を解決するために従来よリステツ/ 一の微振動を除去する除振台装置の提案が種々なされている。

例えば、精密機器における床からの微振動を除去し、一定位置を保っために、賒振台装置には、除振機能を発揮させるために、從来から種の流体パネュニット（主に空気パネ〉の使用が提案されている。より具体的にはダイヤフラム型、ベローズ型の流体パネを使用した除振装置が用いられている。

しかしながらダイヤフラ厶型流体ネを鉛直方向のくネとして使用した場合、鉛直方向には軟らかいパネとなる反面、水平方向には硬いパネとなるという問題がある。

このような問題を解決するために、いわゆるジンパルビストンのような振り子式を用いたリ、さらに球面体で荷重を支持することによつて水平方向に軟らかいパネとする試みがなされている。

しかしながら、これらの球面体等の介在媒体によつて接触面における接触部位で「窪み」や「傷」などができ、初期作動における所望の特性が得られなくなつてしまうというおそれがある。

この一方で、ベロ一ズ型の流体パネは、水平方向および給直方向に比較的軟らかいパネ特性を有するものの、近年要求されているデリケートな特性（特に水平方向に柔らかいパネ特性）に対しては、このもののみでは十分に満足のいく対応をとること力 ί困難となっている。すなわち、水平方向に格段と軟らかいパネとするだめに、膜剛性を低くしたり、膜部を大きくした場合には、安定性に欠け位置決めが出来なくなってしまうという不都合が生じている。

なお、本願と類似する技術として、特開平 5— 3 2 1 9 7 9号公報に開示の技術が存在する。しかしながら、このものは，水平方向のステップ外力の作用に対して水平並進振動のみを維持し、鉛直方向を拘束することを目的として提案された構造であリ、鉛直方向の軟らかいパネ特性が要求される本願発明とは異なるものである。

このような寒情のもとに本発明は創案されたものであって、その g的は、鉛直方向および水平方向に軟らかいパネ特性備え、しかも、位置決め等の安定性に優れる除振台装置を提供することにある。発明の要約

上記課題を解決するために本発明は、除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振合装置であって、該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板と、この天井板の周縁から垂下する垂下板と、これらの天井板と垂下板に被される基台部とを備え、.前記天井板の内側面と基台部との間には、基台部から天井板の内側面に向けて鉛直方向流体パネと流体ベアリングが順次設けられており、前記少なくとも 1つの垂下板の内側面と基台部との問には、水平方向流体パネが設けられておリ、前記鉛直方向流体/くネによつて天井板と垂下板を浮上させて水準出しを行なった後に、前記流体べァリングによつて、天井板を非接触で浮上させる操作が行なえるように構成される。また、本発明の好ましい態様として、前記流体ベアリングは、内部に中空部を備える略円柱形状をなし、天井板の内側面と接す ¾ことのある一方の略円形平面は多孔質焼結面から構成されており、この一方の略円形平面と反対側に位置する他方の略円形平面は鈴直方向流体パネと実質的に当接しており、前記中空部には外部から流体ベアリンゲ用の圧力流体が注入されるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記鉛直方向流体パネは、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラム、又はべローズから構成される。

また、' 本発明の好ましい態様として前記天井板の内側面と基台部との間に介在される鉛直方向流体パネと流体ペアリングは、鉛直方向の荷重を支えるように配置され、前記垂下板の内側面と基台部との間に介在される水平方向流体メネは、主として水平方向の位置決めを目的とするように配置される。

また、本発明の好ましい態様として、前記天井板と前記垂下板は一体化され浮遊部としての機能を有し、前記基台部は固定部としての機能を有してなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記鉛直方向流体パネは、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラムであり、前記基台部は、流体室が形成されたべ一ス本体と、このベース本体の上に流体室と連通した状態で被着されるフランジ部材と、このフランジ部材の周縁部と固着一体化されるシリンダ構成部材とを有し、前記フランジ部材とシリンダ構成部材の組み合わせによって、ダイヤフラムの周緑フランジ部が固着されるとともにローリング作動膜のシリンダ部が形成され、前記流体ベアリングがローリング作動膜のビストン都として形成されてなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記ベース本体に形成された流体室には外部から流体パネ用の圧ガ流体が注入されるように構成されており、圧力流体の注入によリローリング作動膜がローリング移動して流体ベアリングが上下動するように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記鉛直方向流体パネは、ベローズであリ、該べ α—ズは、相対向する一対のリング状の対向面部と、対向面の各外周縁部を相互に連結するように設けられた側面部を備え、前記基台部は、流体室が形成されたベース本体を有し、このベース本体の上に流体室と連通し fc状態で前記ベローズの一方のリング状の対向面部が固定されており、他方のリング状の対向面部が前記流体ベアリングと実質的に固定されてなるように構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記ベース本体に形成された流体室には外部から流体/くネ用の圧力流体が注入されるように構成されており、圧力流体の注入によリベローズが軸方向に拡張し流体ベアリングが上下動するように構成される

また、本発明の'好ましい態様として、前記少なくとも 1つの垂下板の内側面と基台部との間に形成されている水平方向流体パネは、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラム、ベローズ、又はピストン構造体から構成される。

また、本発明の好ましい態様として、前記少なくとも 1つの垂下板の内側面と基台部との間には、基台部から垂下板の内側面に向けて水平方向流体ノ、'ネおよび流体ペアリングが順次設けられており、前記流体ベアリングによって、垂下板との非接触状態が形成されてなるように構成される。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の除振台装置 1の好適な第 1実施形態を説明するための半片断面図であり、

図 2は、図 1の平面図であり、

図 3は、本発明の除振台装置の動作を説明するための半片断面図であり、図 4は、本発明の除搌台装置の動作を説明するための半片断面図であり、図 5 ( A) は、除振対象物であるステッパーが載置された板状のステッパー支持台の下に、直接または間接的に除振台装置が敷設された状態を示す正面図であリ、図 5 ( B) は図 5 (A) の平面図であり、および、

図 6は、ベ□ーズの一例を示す斜視図である。

V 発明の細な説明

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

図 1には、本発明の除振台装置 1の好適な第 1実施形態,を説明するための半片断面図が示される。図 2には図 1の概略平面図が示される（ただし、内部の構造力里解し易いように、後述する天井板を除去して ίίいてある）。 E13および図 4には、本発明の除振台装置 1の動作を説明するための半片断面図が示される。図 5 (Α) および（Β) はそれぞれ、本発明の除振合装置 1の使用状況の一例を示す正面図および平面図である。

本発明の除振台装置 1は、図 5 (A ) , ( Β) に示されるように除振対象物である例えば、ス亍ツパ^ ~ 3が載置された板状のステッパー支持台 4の下に直接または間接的に敷設され、ステッパー 3 (除振対象物）により発生された振動を除去するように、また、床からの振動をス亍ツバ一 3に伝えないように用いられる。除振台装置 1は、通常、載置の安定性を考慮して 3つ以上用いられ、荷重を支えるべく好適な位置に適宜、配置される。

〔本発明の除振台装置の好適な実施形態の説明〕

図 1に示されるように除振台装置 1は、除振対象物に直接または間接的に接する例えば略四角形状の天井板 1 ΰと、この天井板 1 0の周縁から垂下する垂下板 2 0と、これらの天井板 1 0と垂下板 2 0に被される基台部 3 0とを備えている。天井板 1 0と垂下板 2 0とは、通常、一体化されており、除振台装置 1の中で浮遊状態で使用されるいわゆる振動除去のための『浮遊部』としての機能を果たしている。また、基台剖 3 0は除振合装置 1の,中で床上に固定状態で使用されるいわゆる『固定部』としての機能を果たしている。

本発明における除振台装單 1は、図 1に示されるように天井板 1 0の内側面 1 0 aと基台部 3 0の上部との間に、基台部 3 0から天井板 1 0の内側面 1 O aに向けて鉛直方向流体パネ 4 0 (通常、空気パネ）と流体ベアリング 6 0 (通常、空気ベアリング〉が順次設けられている。天井板 1 0内側面 1 0 aと基台部 3 0 の上部との間に介在される鉛直方向流体パネ 4 0は、主として鉛直方向の荷重を支えるように配置されている。

また図示のごとく少なくとも 1つの垂下板 2 0の内側面 2 0 aと基台部 3 0 の側面との間には、水平方向流体パネ 8 0 (通常、空気バネ）が設けられており、この水平方向流体パネ 8 0は、主として本体の位置決め制御を目的として配置されている。水平方向流体パネ 8 0は、図 5に示されるように除振台装置 1の全体的レイアウトに応じて除振制御がし易いように適宜、設ければよい。従って、図 1に示される基台部 3 0の周囲をすベて囲むように水平方向流体パネ 8 0を設ける必要はない。

このような除振台装置 1は、鉛直方向流体パネ 4 0によって天弁板 1 0と垂下板 2 0を浮上させて水準出しを行なった後に、流体ベアリング 6 0によって、天井板 1 0を非接触で浮上させる操作が行なえるようになつている。この動作説明は後に詳述する。

鉛直方向流体パネ 4 0は、ダイヤフラム、すなわち布入りゴム製の口一リング作動膜構造を有するダイヤフラム、又は布入りゴム製べローズであることが望ましい。金属べローズも使用可能である。図 1には鉛直方向流体パネ 4 0の好適例としてダイヤフラム 4 0が例示してある。

図 1に示される実施形態において，基台部 3 0は、その内部に流体室 3 1が形成された四角柱形状のペース本体 3 3を有しており、このべ一ス本体 3 3の上側には流体室 3 1と連通した状態で略リンゲ状の凹状フランジ部材 3 4が被着されている。さらに、このフランジ部材 3 4の周^^部には、略リング状のシリンダ構成部材 3 5が固着され、これらフランジ部材 3 4とシリンダ構成部材 3 5の組み合わせによって、ダイヤフラム 4 0の周縁フランジ部 4 1が挟持固着されるとともにローリング作動膜が機能するシリンダ部が形成されるようになっている。この一方で、ダイヤフラム 4 0に当接するとともに載置された状態にある流体ベアリンゲ 6 0が口一リング作動膜のピストン部として櫸能するようになつている。つまり、ダイヤフラム 4 0のローリング作用によリダイアフラ厶 4 0に載置されている流体ベアリング 6 0が上下動するように構成されている。すなわち、前記ベース本体 3 3に形成された流体室 3 1には外部から流体パネ用の圧力流体が注入されるように構成されており（図面の下部中央にある注入口 3 9 )、圧力流体の注入によリダイアフラム 4 0の口一リング作動膜力《ローリング移動して流体べァリング 6 0が持ち上がるように構成されている。

ダイアフラ厶 4 0について詳述すると、ダイアフラ厶 4ひの作動膜（口一リング作動膜）は、シリンダ部とピストン部との摺動によリローリング移動できるようになつておリ、このものによって鉛直方向の実質的な荷重が支えられている。口一リング作動膜は、いわゆる『ダイヤフラム』と呼ばれる有底の略円简形状のものであって、押し返し装着により、長いストロークと深い折り返し部

(convo l ut i on)を持ち、作動中にその有効受圧面積が一定不変に保たれる略円筒形のダイアフラムである。すなわち、作動膜は折り返し部を備え、ローリング作動膜面に圧力が働くと膜面の大部分はシリンダ部とピストン部の作動膜面に押し付けられ、残リの折リ返し底部圧力による引張リ応力によリ圧力バランスが保たれるようになっている。

なお、本発明の実施の形態において、前述したようにローリング作動膜の周縁フランジ 4 1は、フランジ部材 3 4とシリンダ構成部材 3 5の組み合わせによつて固定されており、さらにローリング作動膜の底 ¾Uは，リ亍ーナプレート 3 7によってビストン部の項部（流体ベアリング 6 0のピストンヘッド 6 5に相当する箇所）に固定されている。

例えば、布入リゴム製のローリング作動膜は、極めて薄く設計され、構成的には、強力なポリエステル（テトロン）布等の上にゴムを被覆して作製される。基台部 3 0の流体室 3 1には、前述したように外部から流体が注入口 3 9を介して供給できるようになつておリ、この流体室 3 1は、前記ゴ厶製の作動膜が口 —リング移動できるようにシリンダ部とビストン部との間で形成される作動空間へと連通される。このような流体室 3 1を設けることによって、実質的な内容積を大きくすることができ、鉛直方向のパネ定数を小さくすることができる。流体ベアリング 6 0は、内部に中空部を備える略円柱形状をしており、一対の略円形平面のうち、天井板 1 0の内側面 1 0 aと接することのある一方の略円形平面 6' 1は多孔質焼結面から構成されておリ、 .この略円形平面 6 1と反対側に位置する他方の略円形平面 6 5は、ビストンへッド 6 5を構成してぉリ、鉛直方向流体パネであるダイヤフラム 4 0と当接した状態（乗った状態）にある。流体べァリング 6 0の中空部には注入口 6 7を介して外部から流体ベアリング用の圧力流体が注入されるように構成されている。そして、流体ベアリング用の圧力流体が注入されることによリ、多孔質焼結面から構成されている略円形平面 6 1側のポーラス面から、圧力流 ί本が噴出され、非接触で天井板 1 0を浮上させる操作が行えるようになつている。ところで，前述したように本発明の除振台装置 1において、少なくとも 1つの垂下板 2 0の内側面 2 0 aと基台部 3 0の側面との間には、水平方向流体パネ 8 0が介在されている。本実施の形態における水平方向流体バネ 8 0として、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラム 8 0が好適例として図 1に示されている。すなわち、基台部 3 0の側面には円筒状の凹部構造を備えるシリンダ構成部材フ 1が固着され、さらに、このシリンダ構成部材 7 1の周緣部には、フランジ部材 7 5が固着され、これらフランジ部材 7 5とシリンダ構成部材 7 1の組み合わせによって、ダイヤフラム 8 0の周緣フランジ部 8 1が挟持固着されるとともにローリング作動膜が機能するシリンダ部が形成されるようになっている。この一方でビストン部材 7 8が垂下板 2 0の内側面 2 0 aに固着されており、ピストン部材 7 8のビストンへッド部 7 8 aはダイヤフラム 8 0に覆われた形態となっている。

また、水平方向流体パネ 8 0として、ダイヤフラム 8ひに変えて、ベローズ又はピストン構造体（流体シリンダ構造のもの）を用いることもできる。ベロ一ズは布入りゴム製のものや、金属べローズが用いられる。

さらに、垂下板 2 0の内側面 2 0 aと基台部 3 0の側面との間に、基台部 3 0 の側面から垂下板 2 0の内側面 2 0 aに向けて水平方向流体パネ 8 0および流体ペアリング（図示していない）を順次設けるような構成とし、流体ベアリングによって、垂下板との非接触状態を形成するようにして、摩擦ほぼ零の状態にしてもよい。この場合には、さに鉛直方向のパネ定数を下げることができる。このような流体ベアリングを採用した構造としては、例えば，図 1のピストン部材 7 8を流体ベアリングに置換させ、なおかつ垂下板 2 0の内側面 2 0 aからの固定を解除してフリーの状態にした図面を想定すればよい。流体ベアリングの流悴噴出側が内側面 2 0 aの箇所となる。

〔図 1に示される除振台装置 1の動作説明〕

図 1に示される状態においては、鉛直方向流休パネ 4 0および流体ベアリング 6 0は作動していない。

次いで図 3に示されるように、外部から注入口 3 9を介してべ一ス本体 3 3に形成された流体室 3 1に流体パネ用の圧力流体が注入される。この圧力流体の注入によリダィァフラム 4 0のローリング作動膜がローリング移動して流体ベアリング 6 0を持上げるように作用する。流体ベアリング 6 0の押し上げにより，天井板 1 0を含む浮遊部も持ち上がる。この時の載置基準位置からの浮遊距離は図 3において、『α』で表示されている。

次いで、流体ベアリング 6 0の中空部に、注入口 6 7を介して外部から流体べァリング用の圧力流体が注入される。この流体ベアリング用の圧力流体が注入されることにより、多孔質焼結面から構成されている略円形平面 6 1側のポーラス面から、圧力流休が噴出され、非接触で天井板 1 0が距離『』ほど浮上する（図 4)。 .

すなわち、天井板 1 0を非接触で浮上させる操作が行なわれる。この時の載置基準位置からの浮遊距離は、『α + 』となる（図 4 )。なお、図面上は、浮上の状態が分かり葛くなるように距離を誇張して現しているが、実際の浮上距離は、『』力 f数ミリ程度、『』が数ミクロン程度あり、固定されているピストン部材 7 8 (こ被着し fc状態にある水平方向流体パネ 8 0への軸方向への影響はほとんどない。

〔本発明の除振合装置の変形構成例の説明〕

鉛直方向流体パネ 4 0として、図 1に示されるダイアフラム 4 0に変えて、図 6に示されるような 1段以上のベロ一ズ 9 0 (例えば図示のごとく 3段べローズ）を用いてもよい。この場合、ベロ一ズ 9 0は、相対向する一対のリング状の対向面部 9 1 , 9 5と、対向面き 119 1 , 9 5の各外周緣部を相互に連結するように設. けられた側面部 9 3 (例えば、蛇腹状壁面部 9 3 ) を備えている。例えば、布入リゴ厶製のベローズという形態であれば、ベロ一ズ 9、0は、対向面部 9 1 , 9 5 および蛇腹状壁面部 9 3に連続した布が埋め込まれている。

好適な変形例構造の基本的な考え方は、図 1におけるダイヤフラム 8 0を布入リゴム製べ口一ズ 9 0 (図 6 ) に置換して、しかも同様な作用を発現させることである。すなわち、図 1に示されるベース本体 3 3の上に流体室 3 1と連通した状態で、ベローズ 9 0の一方のリング状の対向面部 9 5を実質的に固定し、他方のリング状の対向面部 9 1を流体ベアリング 6 0の下面部と実質的に固定するようにすればよい。実質的という文言は、直接な固定方法に限定されることなく、例えば、新たな固定部材を付加し、この固定部材を介してべローズを間接的に固定してもよいという意味である。対向面部 9 1 . 9 5はそのままの状態では、固定するのに安定性に欠けるからである。

上述してきた本発明においては、鉛直方向および水平方向に軟らかいパネ特性を備え、しかも、位置決め等の安定性に優れる除振台装置を提供するができる。すなわち、鉛直方向流体パネで荷重を浮上、水準だしが行なえ、さらに流体べァリングにより荷重を非 ¾ で浮上させ、水平方向の摩擦ほぼ零の状態となる。これにより水平方向のパネ定数は、水平方向のァク、チュエータ（水平方向流体バネ）のみを考慮すればよいため、水平方向のパネ定数は低いものとなる。

さらに、水平方向のァクチユエータ側にも流体ベアリングを設けることによつて、さらに鈴直方向のパネ定数を下げることもできる。

また、鉛直方向および水平方向共に流体パネを用いているために、内容積を增やすことで鉛直方向のパネ定数も低いものとなる。

本発明の除振台装置は、精密機器等において床からの微振動や装置本体から起こる自励振動を抑制するための除振台装置であリ、各種の精密機器駆動装置を使用しつつ除振が必要となる産業に広く利用することができる。

Claims

請求の範囲

1 . 除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、

該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板と、この天井板の周縁から垂下する垂下板と、これらの天井板と垂下板に被される基台部とを備え、

前記天井板の内側面と基台部との間には、基台部から天井板の内側面【こ向けて鉛直方向流体パネと流体ベアリングが順次設けられており、

前記少なくとも 1つの垂下板の内側面と基台部との間には、水平方向流体パネが設けられており、

前記鉛直方向流体くネによつて天井板と垂下板を浮上させて水準出しを行なつた後に、前記流体ベアリングによって、天井板を非接触で浮上させる操作が行なえるようになつていることを特徴とする除振台装置。

2 . 前記流体ベアリングは、内部に中空部を備える略円柱形状きなし、天井板の内側面と接することのある一方の略円形平面は多 ¾質焼結面から構成されており、この一方の略円形平面と反対側に位置する他方の略円形平面は鉛直方向流体パネと実質的に当接しており、前記中空部には外部から流体べァリング用の圧力流体が注入されるように構成されてなる請求項 1に記載の除振台装置。

3 . 前記鉛直方向流体パネは、口一リング作動膜構造を有するダイヤフラ厶、又はべローズである請求項 1に記載の除振台装置。

4. 前記天井板の内側面と基台部との間に介在される鉛直方向流体パネと流体ベアリングは、鉛直方向の荷重を支えるように配置され、前記垂下板の内側面と基台部との間に介在される水平方向流体パネは、主として水平方向の位置決めを目的とするように配置されてなる請求項 1に記載の除振台装置。

5 . 前記天井板と前記垂下板は一体化され浮遊部としての機能を有し、前記基台部は固定部としての機能を有してなる請求項 1に記載の除振台装置。

.

6 . 前記鉛直方向流体パネは、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラムであり，

前記基台部は、流体室が形成されたベース本体と、このベース本体の上に流体室と.連通した状態で被着されるフランジ部材と、このフランジ部材の周縁部と固着一体化されるシリンダ構成部材とを有し、

前記フランジ部材とシリンダ構成部材の組み合わせによって、ダイヤフラムの周緑フランジ部が固着されるとともに口一リング作動膜のシリンダ部が形成され、前記流体べァリングが口一リング作動膜のピストン部として形成されてなる請求項 1に記載の除振台装置。

7 . 前記ベース本体に形成された流体室には外部から流体パネ用の圧力流休が注入されるように構成されており、圧力流体の注入によりローリング作動膜がローリング移動して流体べ rリングが上下^するように構成されてる請求項

6に記載の除振台装置。

8. 前記鉛直方向流体パネは、ぺローズであり、.

該べローズは、相対向する一対のリング状の対向面部と、対向面の各外周緣部を相互に連結するように設けられた側面部を備え、

前記基台部は、流体室が形成されたベース本体を有し、このベース本体の上に流体室と連通した状態で前記べ口一ズの一方のリング状の対向面部が固定されており、

他方のリング状の対向面部が前記流体ベアリングと実質的に固定されてなる請求項 1に記載の除振台装置。

9. 前記ベース本体に形成された流体室には外部から流体パネ用の圧力流休が注入されるように構成されており、圧力流体の注入によリベローズが軸方向に拡張し流体ベアリング力上下動するように構成されてなる請求項&に記載の除振台装置。

1 0 . 前記少なくとも 1つの垂下板の内側面と基台部との間に形成されている水平方向流体パネは、口一リング作動膜構造を有するダイヤフラム、ベローズ、又はビストン構造体である請求項 1に記載の除振台装置。

1 1 . 前記少なくとも 1つの垂下板の内側面と基合部との間には、基台部から垂下板の内側面に向けて水平方向流体バネおよび流体ベアリングが順次設けられておリ、前記流体ベアリングによって、垂下板との非接触状態が形成されてなる請求項 1 0に記載の除捩台装置。