JP2009266893A - エッチング液調合装置及びエッチング液濃度測定装置 - Google Patents
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Abstract
半導体製造工場やフラットパネルディスプレイ製造工場の使用側において、アルミニウムのエッチング液の硝酸濃度、水分濃度、燐酸濃度および酢酸濃度が一定に調合できるエッチング液調合装置を提供すること。
【解決手段】
調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計またはエッチング液の硝酸濃度を検出する吸光光度計と、エッチング液の水分濃度を検出する吸光光度計と、エッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計または密度計と、硝酸濃度を検出する導電率計の導電率値と水分濃度を検出する吸光光度計の吸光度値と燐酸濃度を検出する吸光光度計の吸光度値または密度計の密度値とから多成分演算法によりエッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを調合槽に補給する液補給手段とを備えるように構成する。
【選択図】図2
Description
本発明者は、実験により、硝酸、燐酸、さらには酢酸が共存する場合、硝酸濃度の希釈水溶液の導電率、硝酸濃度の吸光度、水分濃度の球硬度、燐酸濃度の吸光度、燐酸濃度の密度の測定値は、それぞれ一つの成分だけに感応するわけでなく、相互に相関するので、重回帰分析によらなければより正確な濃度を求められないことを知見した。
Claims (8)
- アルミニウム膜用エッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、
前記調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を導電率計で検出することにより得られた前記エッチング液の硝酸濃度または前記エッチング液の吸光度を吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の硝酸濃度に基づき単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する硝酸濃度検出・液補給手段と、
前記エッチング液を吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の水分濃度に基づき単酸原液、混酸原液または純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する水分濃度検出・液補給手段と、
前記エッチング液の吸光度を吸光光度計で検出することにより得られた前記エッチング液の燐酸濃度または前記エッチング液の密度を密度計で検出することにより得られた前記エッチング液の燐酸濃度に基づき単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する燐酸濃度検出・液補給手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング液調合装置。 - アルミニウム膜用のエッチング液を調合する調合槽と、前記調合槽に接続された管路と、前記管路へ前記エッチング液または前記エッチング液の調合に使用される液を送るポンプとを備え、前記管路によりエッチング装置に接続されたエッチング液調合装置において、
前記調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計または前記エッチング液の硝酸濃度を検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の水分濃度を検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計または密度計と、
硝酸濃度を検出する前記導電率計の導電率値または硝酸濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値と、水分濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値と、燐酸濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値または燐酸濃度を前記密度計の密度値と、から多成分演算法(重回帰分析法・多変量解析法)により前記エッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、
単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを前記調合槽に補給する液補給手段と、を備えたことを特徴とするエッチング液調合装置。 - 前記エッチング液が燐酸、硝酸を含む水溶液である請求項1または請求項2記載のエッチング液調合装置。
- 前記エッチング液が、さらに有機酸、塩酸、硫酸、過塩素酸の少なくとも1種を含む水溶液である請求項3記載のエッチング液調合装置。
- 前記有機酸が、酢酸、マロン酸である請求項4記載のエッチング液調合装置。
- 前記エッチング液調合装置が、連続調合方式である請求項1乃至5記載のエッチング液調合装置。
- アルミニウム膜用エッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計または前記エッチング液の硝酸濃度を検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の水分濃度を検出する吸光光度計と、
前記エッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計または密度計と、
導電率を検出する前記導電率計の導電率値または硝酸濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値と、水分濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値と、燐酸濃度を検出する前記吸光光度計の吸光度値または燐酸濃度を前記密度計の密度値と、から多成分演算法(重回帰分析法・多変量解析法)により前記エッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、を備えたことを特徴とするエッチング液濃度測定装置。 - 前記エッチング液の硝酸濃度を検出する吸光光度計が紫外線領域の波長を使用した紫外吸光光度計である請求項7記載のエッチング液濃度測定装置。
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