JP2009256428A - 熱伝導性シリコーン組成物及び接着構造体並びに半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも表面が貴金属により形成されている固体被着体用の接着剤であって、
(A)ケイ素原子に結合したアルケニル基を一分子中に1個以上有するオルガノポリシロキサン、
(B)ケイ素原子に結合した水素原子を一分子中に5〜30個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン、
(C)10W/m℃以上の熱伝導率を有する熱伝導性充填剤、
(D)白金及び白金化合物からなる群より選択される触媒
を含有してなり、25℃における粘度が10〜1,000Pa・sである熱伝導性シリコーン組成物。
【選択図】なし
Description
即ち、上記特定のオルガノハイドロジェンポリシロキサンを含有する熱伝導性シリコーン組成物を、その金などの貴金属表面に塗布し、加熱硬化して接着力を測定したところ、明らかに接着力の向上が見られることを知見し、本発明をなすに至った。
〔請求項1〕
少なくとも表面が貴金属により形成されている固体被着体用の接着剤であって、
(A)成分:ケイ素原子に結合したアルケニル基を一分子中に少なくとも1個有するオルガノポリシロキサン;100質量部、
(B)成分:ケイ素原子に結合した水素原子を一分子中に5〜30個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン;{(B)成分由来のケイ素原子に結合した水素原子の個数}/{(A)成分由来のアルケニル基の個数}が0.3〜3.0となる量、
(C)成分:10W/m℃以上の熱伝導率を有する熱伝導性充填剤;100〜2,000質量部、
(D)成分:白金及び白金化合物からなる群より選択される触媒;白金原子として(A)成分と(B)成分の合計質量に対し0.1〜500ppmとなる量
を含有してなり、25℃における粘度が10〜1,000Pa・sである熱伝導性シリコーン組成物。
〔請求項2〕
少なくとも表面が貴金属により形成されている固体被着体の表面に、請求項1記載の熱伝導性シリコーン組成物の硬化物が接着されてなる熱伝導性シリコーン接着構造体。
〔請求項3〕
前記熱伝導性シリコーン組成物の硬化物の厚さが、5〜500μmであることを特徴とする請求項2記載の熱伝導性シリコーン接着構造体。
〔請求項4〕
少なくとも表面が貴金属により形成されている固体被着体が半導体チップであって、該半導体チップから発生した熱を、熱伝導性シリコーン組成物の硬化物を通して放熱体に伝える請求項2又は3記載の接着構造体の構成となっていることを特徴とする半導体装置。
(A)成分:ケイ素原子に結合したアルケニル基を一分子中に少なくとも1個有するオルガノポリシロキサン;100質量部、
(B)成分:ケイ素原子に結合した水素原子を一分子中に5〜30個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン;{(B)成分由来のケイ素原子に結合した水素原子の個数}/{(A)成分由来のアルケニル基の個数}が0.3〜3.0となる量、
(C)成分:10W/m℃以上の熱伝導率を有する熱伝導性充填剤;100〜2,000質量部、
(D)成分:白金及び白金化合物からなる群より選択される触媒;白金原子として(A)成分と(B)成分の合計質量に対し0.1〜500ppmとなる量。
aは5〜100の整数である。bは1〜3の整数であり、好ましくは3である。
(式中、R3は独立に炭素数9〜15のアルキル基であり、R4は独立に非置換又は置換の炭素数1〜8の一価炭化水素基であり、R5は独立に炭素数1〜6のアルキル基であり、cは1〜3の整数であり、dは0〜2の整数であり、ただし、c+dは1〜3の整数である。)
C10H21Si(OCH3)3、
C12H25Si(OCH3)3、
C12H25Si(OC2H5)3、
C10H21Si(CH3)(OCH3)2、
C10H21Si(C6H5)(OCH3)2、
C10H21Si(CH3)(OC2H5)2、
C10H21Si(CH=CH2)(OCH3)2、
C10H21Si(CH2CH2CF3)(OCH3)2
等が挙げられる。
本発明の熱伝導性シリコーン組成物は、硬化する前の回転粘度計により測定される25℃における粘度が、10Pa・sより低いと(C)成分の熱伝導性充填剤が沈降しやすくなるし、1,000Pa・sより高いと硬すぎて容器などへの充填性が悪くなるため、10〜1,000Pa・sの範囲、好ましくは50〜500Pa・sの範囲である。
[被接着体の作製]
被接着体:真空機工株式会社製のVPS−020型スパッタ装置を使い、以下条件にて10mm角のシリコンウエハーの片面に金を蒸着させた。またULVAC社製の触針式表面形状測定器にて蒸着した金膜厚を測定したところ0.15μmであった。
(スパッタ条件)
ターゲット:金
ガスの種類:空気
電流値:5〜10mA
真空度:1〜2×10-1Pa
蒸着時間:10分
表1,2に示す配合にて実施例及び比較例の熱伝導性シリコーン組成物を製造した。具体的な製造方法としては、成分(A)と成分(C)、更には必要に応じて濡れ性向上剤を加え、5リッタープラネタリーミキサーで70℃、1時間の加熱撹拌を行った。冷却後の混合物に対し、成分(E)を加え、15分間撹拌混合を行い、続いて成分(D)を加えて再び15分間撹拌混合を行った。最後に成分(B)を加えて30分間真空下で撹拌混合を行い、熱伝導性シリコーン組成物を得た。
図1に示すように、25mm×100mmの鉄表面にニッケルをコートしたニッケル板14(株式会社テストピース製)を用意し、このニッケル板14と金薄膜を形成させた被接着体10との間に、金薄膜側が熱伝導性シリコーン組成物12と接するように挟み込んだ。なお、熱伝導性シリコーン組成物の厚さは30μmであった。この積層物10、12、14を125℃のオーブンに90分間装入して熱伝導性シリコーン組成物12を加熱硬化させ、テストピースを作製した。被接着体10の横方向からプローブ20で負荷を与え、破壊荷重を測定し、この値を接着力とした。接着力の測定機は、株式会社レスカのボンディングテスターPTR−1000を用い、測定を3回行った結果の平均値を採用した。
前記被接着体の作製において作製された片面に金蒸着されたシリコンウエハーと、何も表面蒸着していない10mm角のシリコンウエハーとの間に、熱伝導性シリコーン組成物を挟み込み、125℃のオーブンに90分間装入して熱伝導性シリコーン組成物を加熱硬化させ、熱抵抗測定用の試験片を作製し、熱抵抗を測定した。また、更にこの試験片を125℃で1,000時間放置し、再び同様に熱抵抗を測定した。なお、この熱抵抗測定はニッチェ社製のナノフラッシュ型番:LFA447によって行った。
前記熱抵抗測定に用いた被接着体及びシリコンウエハーの厚みを予めマイクロゲージで測定しておき、熱伝導性シリコーン組成物を挟み込み、125℃のオーブンに90分間装入して熱伝導性シリコーン組成物を加熱硬化させた後、同様に総計の厚みを計ることで熱伝導性シリコーン組成物の硬化物厚さを算出した。
回転粘度計としてマルコム社製のマルコム粘度計(型番:PL−1TL)を用い、25℃、10rpmにて熱伝導性シリコーン組成物の粘度測定を行った。
各熱伝導性シリコーン組成物を3cm厚の型に流し込み、キッチン用ラップを被せて京都電子工業(株)製のModel QTM−500で測定した。
A−1:両末端がジメチルビニルシリル基で封鎖され、25℃における粘度が600mm2/sのジメチルポリシロキサン
C−1:平均粒径4.9μmのアルミニウム粉末(熱伝導率236W/m℃)
C−2:平均粒径15.0μmのアルミニウム粉末(熱伝導率236W/m℃)
C−3:平均粒径1.0μmの酸化亜鉛粉末(熱伝導率54W/m℃)
D−1:白金−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体のA−1溶液、白金原子として1%含有
E−1:1−エチニル−1−シクロヘキサノールの50%トルエン溶液
濡れ性向上剤−1:C10H21Si(OCH3)3
12 熱伝導性シリコーン組成物
14 ニッケル板
20 プローブ
21 電子部品
22 金薄膜
23 熱伝導性シリコーン組成物
24 ヒートスプレッダー(放熱体)
25 オルガニック基板
26 接着剤
27 ハンダボール
Claims (4)
- 少なくとも表面が貴金属により形成されている固体被着体用の接着剤であって、
(A)成分:ケイ素原子に結合したアルケニル基を一分子中に少なくとも1個有するオルガノポリシロキサン;100質量部、
(B)成分:ケイ素原子に結合した水素原子を一分子中に5〜30個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン;{(B)成分由来のケイ素原子に結合した水素原子の個数}/{(A)成分由来のアルケニル基の個数}が0.3〜3.0となる量、
(C)成分:10W/m℃以上の熱伝導率を有する熱伝導性充填剤;100〜2,000質量部、
(D)成分:白金及び白金化合物からなる群より選択される触媒;白金原子として(A)成分と(B)成分の合計質量に対し0.1〜500ppmとなる量
を含有してなり、25℃における粘度が10〜1,000Pa・sである熱伝導性シリコーン組成物。 - 少なくとも表面が貴金属により形成されている固体被着体の表面に、請求項1記載の熱伝導性シリコーン組成物の硬化物が接着されてなる熱伝導性シリコーン接着構造体。
- 前記熱伝導性シリコーン組成物の硬化物の厚さが、5〜500μmであることを特徴とする請求項2記載の熱伝導性シリコーン接着構造体。
- 少なくとも表面が貴金属により形成されている固体被着体が半導体チップであって、該半導体チップから発生した熱を、熱伝導性シリコーン組成物の硬化物を通して放熱体に伝える請求項2又は3記載の接着構造体の構成となっていることを特徴とする半導体装置。
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