JP2009238920A - 電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る電子部品の製造方法では、形成工程において、誘電体層13と誘電体層13を挟んで対向する第1の電極層15と第2の電極層17とを有する積層体10を形成する。そして、第1及び第2のエッチング工程において、積層体10を複数の電子部品に分割するための分割線Lに沿った分割パターン16,18のエッチングを第1の電極層15と第2の電極層17とに行う。これにより、第1及び第2の電極層15,17の分割線L上の部分が除去されるので、電子部品の第1の電極層5と第2の電極層7とにバリが発生するのを防止して、積層体10を複数の電子部品に容易に分割することができる。
【選択図】図5
Description
図1を参照して、第1実施形態に係る電子部品E1の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る電子部品の平面図及び断面図である。電子部品E1は、1〜10mm角程度、厚さ10〜100μm程度の薄膜コンデンサである。この電子部品E1は、誘電体層(機能層)3と、この誘電体層3を挟んで対向する第1の電極層5及び第2の電極層7と、を備える。
上記本実施形態に係る電子部品の製造方法の比較例として、第1及び第2のエッチング工程S3,S6において分割パターン16,18のエッチングを行わず、ダイシングにより積層体10を個々の電子部品に個片化した。この比較例の方法により製造した電子部品は、第1の電極層(Ni電極層)のバリが積層方向の誘電体側に約30μmにわたって発生した。また、この比較例の方法により製造した電子部品は、第1の電極層と第2の電極層とが短絡し、約70%でショートが発生した。これに対して、上記本実施形態に係る電子部品の製造方法により製造した電子部品の第1及び第2の電極層にバリは無く、ショートも発生しなかった。
図7を参照して、第2実施形態に係る電子部品E2の構成について説明する。図7は、第2実施形態に係る電子部品の平面図及び断面図である。電子部品E2は、200〜1000μm角程度、厚さ10〜100μm程度の薄膜圧電共振子である。この電子部品E2は、圧電体層(機能層)43と、この圧電体層43を挟んで対向する第1の電極層45及び第2の電極層47とを備える。
Claims (10)
- 機能層と、前記機能層を挟んで対向する第1の電極層及び第2の電極層と、を有する積層体を形成する形成工程と、
前記積層体を複数の電子部品に分割するための分割線に沿った分割パターンのエッチングを前記第1の電極層に対して行う第1のエッチング工程と、
前記分割パターンのエッチングを前記第1の電極層に形成された分割パターンと重なるように前記第2の電極層に対して行う第2のエッチング工程と、
を備えることを特徴とする電子部品の製造方法。 - 前記第1のエッチング工程では、前記分割パターンのエッチングと共に前記電子部品毎に形成される第1の電極パターンのエッチングを前記第1の電極層に対して行うことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の製造方法。
- 前記第2のエッチング工程では、前記分割パターンのエッチングと共に前記電子部品毎に形成される第2の電極パターンのエッチングを前記第2の電極層に対して行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の製造方法。
- 前記第2のエッチング工程の前に、分割された前記第1の電極層に粘着層を粘着して、当該粘着層を介して支持体に前記積層体を固定する固定工程と、
前記第2のエッチング工程の後に、前記粘着層の粘着力を低下させて、分割された前記第1の電極層を前記粘着層から剥離する剥離工程と、
を更に備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。 - 前記支持体及び前記粘着層は、光透過性の材料で形成され、
前記第2のエッチング工程では、前記第1のエッチング工程において前記第1の電極層にエッチングされた前記分割パターンを前記支持体に透かして、前記分割パターンのエッチングを前記第1の電極層に形成された分割パターンと重なるように前記第2の電極層に対して行うことを特徴とする請求項4に記載の電子部品の製造方法。 - 前記粘着層は、熱により粘着力が低下する材料で形成され、
前記剥離工程では、前記粘着層を加熱して、前記粘着層の粘着力を低下させることを特徴とする請求項4又は5に記載の電子部品の製造方法。 - 前記粘着層は、紫外線により粘着力が低下する材料で形成され、
前記剥離工程では、前記粘着層に紫外線を照射して、前記粘着層の粘着力を低下させることを特徴とする請求項4又は5に記載の電子部品の製造方法。 - 前記機能層の厚みが、10μm未満であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記機能層は、誘電体層であり、前記電子部品は、薄膜コンデンサであることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記第1の電極層における前記分割パターンの線幅と、前記第2の電極層における前記分割パターンの線幅とのいずれか一方の分割パターンの線幅は、他方の分割パターンの線幅より太いことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
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