JP6341644B2

JP6341644B2 - キャリヤ付き金属箔および積層基板の製造方法

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Description

本発明は、積層基板（コアレス基板、全層ビルドアップ基板）の製造において用いられるキャリヤ付き金属箔に関する。

先行例Ｉ
近年、電子機器等の軽薄短小化への要求はとどまることを知らず、その電子機器等の基本部品であるプリント配線板の多層化、金属箔回路の高密度化、および、基板の厚さを極限まで薄くする薄厚化の要求が強く求められるようになっている。

一般に従来の積層基板は、ＣＣＬ（ＣｏｐｐｅｒＣｌａｄＬａｍｉｎａｔｅ）と称する銅張り積層板に、プリプレグ（ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させて半硬化させたもの）および銅箔を積層した後、回路形成等を行う工程（ビルドアップ工程）を繰り返し行うことで多層構造を形成する（たとえば、特許文献１参照）。

しかし、積層基板の薄厚化に伴い、ＣＣＬの厚さにおいても薄厚化が要求されている。近年では、厚さ２０μｍ程度の極薄ＣＣＬが開発されており、極薄基板の量産工程において採用されつつある。

ＣＣＬは、多層構造を形成する際の定盤（平坦を保持するための支持体）としての機能を有するが、ＣＣＬの薄厚化に伴い、平坦を保持するための支持体として機能しなくなっており、量産工程上では様々な問題が発生している。

先行例ＩＩ
定盤としてＳＵＳ（ＳｔａｉｎｌｅｓｓＵｓｅｄＳｔｅｅｌ）中間板のような金属板を用いる試みがある。具体的には、粘着剤を用いて金属板に銅箔を接着し、その上にビルドアップ層を形成するコアレス基板がある。

図１３（ａ）〜（ｄ）、図１４（ａ）〜（ｃ）、図１５（ａ）〜（ｄ）に示すように、先ず、金属（ＳＵＳ）＝ベース材１０１の両面に粘着剤１０４を用いて銅箔１０３をラミネートする。次に、プレプリグ（ＰＰ）１０２および銅箔１０３を積層した後に外形加工を行い、ビア加工、回路形成を行う（ビルドアップ工程）。これらを繰り返し行うことにより全層ビルドアップ構成のコアレス基板（積層基板）１００を生産する（図示してないが、外形加工は積層毎に行う）。この工程においては、ＳＵＳ中間板（ベース材１０１）がコアレス基板のキャリヤとして利用される。このキャリヤの表裏にはコアレス基板が夫々１枚づつ形成されることから、たとえば１回のメッキ工程において２枚の基板１００を加工できるメリットがあることから生産性が高くなる。

特開２００９−２７２５８９号公報

図１３〜図１５で示す従来の積層基板１００の製造方法では、エッチングによって回路形成をするときに、エッチングで使用する液が、粘着剤１０４が設けられているにもかかわらず、ベース材１０１と銅箔１０３の間に浸透し、回路形成等をしている途中で銅箔１０３がベース材１０１から剥がれてしまうおそれがあるという問題がある。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、積層基板を製造する途中で、金属箔がキャリヤから剥がれてしまうことを防止することができるキャリヤ付き金属箔および積層基板の製造方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、板状のキャリヤと、前記板状のキャリヤの厚さ方向の一方の面に積層されており、前記一方の面の端面を超えて延びていることで、前記板状のキャリヤの側面の総てを覆っているとともに、前記板状のキャリヤの厚さ方向の他方の面にも積層されている金属箔と、前記キャリヤと前記金属箔とをお互いに固定する固定材とを有するキャリヤ付き金属箔である。
請求項２に記載の発明は、板状のキャリヤと、縦方向の寸法が前記キャリヤの縦方向の寸法よりも所定の値だけ大きくなっており、横方向の寸法が前記キャリヤの横方向の寸法を２倍したものよりも所定の値だけ大きくなっており、前記板状のキャリヤの厚さ方向の一方の面に積層されて前記一方の面の端部で折り返されることで、前記板状のキャリヤの側面の全てを覆っているとともに、前記板状のキャリヤの厚さ方向の他方の面にも積層されて前記一方の面の端部を除いた前記一方の面の端部のところで重なっている金属箔と、前記キャリヤと前記金属箔とをお互いに固定するとともに、前記重なっている金属箔同士をお互いに固定する固定材とを有するキャリヤ付き金属箔である。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のキャリヤ付き金属箔において、前記金属箔は、前記板状のキャリヤを包み込んでいるキャリヤ付き金属箔である。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のキャリヤ付き金属箔において、前記キャリヤは、矩形な板状に形成されており、前記金属箔は、１枚になっており、前記キャリヤの厚さ方向から見たときに、前記矩形状のキャリヤの１つの辺のところで前記金属箔が折り返されて前記矩形状のキャリヤの他の３つの辺のところで前記金属箔が重なっているキャリヤ付き金属箔である。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のキャリヤ付き金属箔を用いた積層基板の製造方法であって、プレプリグを前記キャリヤ付き金属箔の金属箔に重ねて設置し、この重ねたプレプリグに金属箔を重ねて設置するプレプリグ・金属箔設置工程と、前記プレプリグ・金属箔設置工程で設置したプレプリグと金属箔とを押圧し加熱する押圧加熱工程と、前記押圧加熱工程で押圧し加熱した金属箔に回路を形成する回路形成工程と、前記プレプリグ・金属箔設置工程と前記押圧加熱工程と前記回路形成工程とをこの順に所定の回数繰り返した後に、積層されているプレプリグと金属箔とを前記キャリヤから剥離する積層基板剥離工程とを有する積層基板の製造方法である。

本発明によれば、積層基板を製造する途中で、金属箔がキャリヤから剥がれてしまうことを防止することができるキャリヤ付金属箔およびキャリヤ付き金属箔を用いた積層基板の製造方法を提供することができるという効果を奏する。

本発明の実施形態に係るキャリヤ付き金属箔の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＩＢ矢視図であり、（ｃ）は（ａ）におけるＩＣ−ＩＣ断面を示す図である。本発明の実施形態に係るキャリヤ付き金属箔のキャリヤと金属箔との平面図である。本発明の実施形態に係るキャリヤ付き金属箔を用いた積層基板の製造方法を示す図である。本発明の実施形態に係るキャリヤ付き金属箔を用いた積層基板の製造方法を示す図である。本発明の実施形態に係るキャリヤ付き金属箔を用いた積層基板の製造方法を示す図である。一例目（一つ目）の変形例に係るキャリヤ付き金属箔の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＶＩＢ−ＶＩＢ断面を示す図である。二例目（二つ目）の変形例に係るキャリヤ付き金属箔のキャリヤと金属箔との分解斜視図である。図７で示したキャリヤと金属箔とで生成されたキャリヤ付き金属箔の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ断面を示す図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＶＩＩＩＣ矢視図である。三例目（三つ目）の変形例に係るキャリヤ付き金属箔のキャリヤと金属箔との分解斜視図である。図９で示したキャリヤと金属箔とで生成されたキャリヤ付き金属箔の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＸＢ−ＸＢ断面を示す図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＸＣ矢視図である。四例目（四つ目）のキャリヤ付き金属箔の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＸＩＢ−ＸＩＢ断面を示す図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＸＩＣ−ＸＩＣ断面を示す図である。五例目（五つ目）のキャリヤ付き金属箔の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＸＩＩＢ−ＸＩＩＢ断面を示す図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＸＩＩＣ−ＸＩＩＣ断面を示す図である。従来におけるコアレス基板（積層基板）の製造方法を示す図である。従来におけるコアレス基板（積層基板）の製造方法を示す図である。従来におけるコアレス基板（積層基板）の製造方法を示す図である。

本発明の実施形態に係るキャリヤ付き金属箔１は、積層基板２（図５（ｂ）参照）等の製造に使用されるものであり、図１、図２で示すように、板状のキャリヤ３と金属箔５と固定材７とを備えて構成されている。

金属箔５は、板状のキャリヤ３を包み込んでおり、固定材７は、キャリヤ３と金属箔５とをお互いに固定している。

すなわち、金属箔５は、板状のキャリヤ３の表面の全面を覆っている。さらに説明すると、金属箔５は、板状のキャリヤ３の厚さ方向の両面の総てと、板状のキャリヤ３の側面の総てとを覆っている。また、板状のキャリヤ３の厚さ方向の両面では、キャリヤ３と金属箔５とが、固定材７を構成している薄い膜状の粘着剤（たとえば微粘着剤）９を介して、お互いが固定されている（一体化されている）。そして、微粘着剤９（キャリヤ３）が存在している部位（中央部位）１０では、キャリヤ３の厚さ方向と微粘着剤９の厚さ方向と金属箔５の厚さ方向とはお互いが一致している。

キャリヤ付き金属箔１のキャリヤ３が存在している部位（中央部位）１０では、キャリヤ付き金属箔１の厚さ方向で、金属箔（板状のキャリヤ３の厚さ方向の一方に面側に存在している金属箔）５Ａと微粘着剤（板状のキャリヤ３の厚さ方向の一方に面側に存在している微粘着剤）９Ａとキャリヤ３と微粘着剤（板状のキャリヤの厚さ方向の他方に面側に存在している微粘着剤）９Ｂと金属箔（板状のキャリヤの厚さ方向の他方に面側に存在している金属箔）５Ｂとが隙間無く接触してこの順で並んでいる（図１（ｃ）参照）。

キャリヤ３は、たとえば、プレプリグ（炭素繊維等の繊維に熱硬化性樹脂を被覆したもの）で構成されており、厚さが０．２ｍｍ〜１ｍｍ程度であって縦横寸法が３００ｍｍ〜５００ｍｍ程度の板状（たとえば矩形な平板状）に形成されている。なお、キャリヤ３として、プレプリグに代えてインジウム板等の金属材料やその他の材料を採用してもよい。

金属箔５は、たとえば、厚さが２μｍ〜５０μｍ程度の薄い平板状の銅箔（より具体的には、電解銅箔）で構成されている。なお、金属箔５として、銅箔に代えて、アルミニウム、ニッケル、亜鉛等の箔を採用してもよい。

微粘着剤９は、厚さが１μｍ〜５０μｍ程度の薄い層状になっている。微粘着剤９は、たとえば、ポリビニルアルコール（以下「ＰＶＡ」という。）とシリコンとの混合物からなっている。具体的には、微粘着剤９は、ＰＶＡの水溶液にシリコン樹脂を混合することで生成されている。

このようにして生成された微粘着剤９は、ＰＶＡとシリコン樹脂を混合する割合を変更することにより、粘着強度を変化させることができる。また、微粘着剤９は、ＰＶＡの割合が増えると、水への溶解性が高くなる。

本件明細書では、良好な溶解性および密着性を得ることができるように、微粘着剤９は、混合するシリコン樹脂の割合が重量比で１０％〜６０％になっている。

ここで、良好な溶解性とは、微粘着剤９とキャリヤ３の剥離強度が５ｇ／ｃｍ（０．０４９Ｎ／ｃｍ）〜５００ｇ／ｃｍ（４．９Ｎ／ｃｍ）の値であることをいう。また、良好な密着性とは、２０℃の純水にディップ浸漬した場合に、１０μｍ厚の微粘着剤９の層が３０秒以内で溶解することをいう。

図２で示すように、キャリヤ３は、この厚さ方向から見ると、矩形状に形成されている。金属箔５は、図２で示すように１枚になっている（１枚のキャリヤ３を１枚の金属箔５が包み込んでいる）。

キャリヤ付き金属箔１を生成する前の金属箔５もこの厚さ方向から見ると矩形状になっている。ただし、金属箔５の縦方向の寸法は、キャリヤ３の縦方向の寸法よりも所定の値だけ大きくなっており、金属箔５の横方向の寸法は、キャリヤ３の横方向の寸法を２倍したものよりも所定の値だけ大きくなっている。

キャリヤ付き金属箔１（キャリヤ３）をこの厚さ方向から見ると、図１（ａ）で示すように、矩形状のキャリヤ３の１つの辺のところで金属箔５が折り返されており、矩形状のキャリヤ３の他の３つの辺のところで金属箔５が重なっている。

さらに説明すると、キャリヤ付き金属箔１では、図１で示すように、金属箔５の横方向の中央部が、キャリヤ３の横方向の一方の辺（図１（ａ）の右側の側面）に当接し折り返されて、キャリヤ３の厚さ方向の一方の側に金属箔５の一方の部位が積層され、キャリヤ３の厚さ方向の他方の側に金属箔５の他方の部位が積層されている。また、キャリヤ３の横方向の他方の辺（図１（ａ）の左側の辺）の外側で金属箔５がお互いに重なり、キャリヤ３の縦方向の両方の辺（図１（ａ）の上下の辺）の外側で金属箔５がお互いに重なることで、キャリヤ３が金属箔５に覆われている。

さらに、キャリヤ付き金属箔１をこの厚さ方向から見ると、キャリヤ３の横方向の他方の辺（図１（ａ）の左側の辺）の外側（左側）と、キャリヤ３の縦方向の両方の辺（図１（ａ）の上側の辺および下側の辺）の外側（上側および下側）とに、金属箔５がお互いに重なっている所定の幅の「コ」字状の部位（キャリヤが不存在な部位）１１が形成されている。

「コ」字状の部位１１でお互いが重なっている金属箔５は、固定材７を構成している粘着剤１３（微粘着剤または接着剤でもよい。）によってお互いが接合されている。「コ」字状の部位１１に設けられている粘着剤１３は、シール材としての機能を備えている。これによって、金属箔５で包み込まれたキャリヤ３は金属箔５と粘着剤１３とでシールされており、金属箔５の内側に存在するキャリヤ３のところには、水等の液体が金属箔５の外部から入り込まないようになっている。

また、粘着剤１３は、詳しくは後述する積層基板２の製造工程において、エッチングに使用する薬液等によっては、その機能を阻害されないようになっている。たとえば、エッチングに使用する薬液等によって、粘着剤１３で接合されている金属箔５同士が剥離しないようになっている。

ここで、微粘着剤９についてさらに説明する。

微粘着剤９は、粘着剤のうちで粘着力が小さい部類ものである。粘着剤とは、初めから高粘度で低弾性率の半固体（高粘度液体もしくはゲル状固体）であり、接合状態形成後もその状態が変わらないもの、つまり固化の過程が不要なものである。また、ＪＩＳ（日本工業規格）によれば、粘着とは「接着の一種で、特徴として水、溶剤、熱などを使用せず、常温で短時間、わずかな圧力を加えるだけで接着すること」とある。したがって、キャリヤ３と金属箔５とを貼り合わせている微粘着剤９は、貼り合わせたときに直ちに実用に耐える接着力（貼り付け力；粘着力）を発揮している。また、一度貼り合わせたものを剥がすことも容易にできるようになっている。

ここで、キャリヤ付き金属箔１の製造方法と、キャリヤ付き金属箔１を用いた積層基板（コアレス基板、全層ビルドアップ基板）２の製造方法とについて説明する。以下の説明では、キャリヤ付き金属箔１の厚さ方向の両面で積層基板２を製造しているが、キャリヤ付き金属箔１の一方の面のみに積層基板２を製造してもよい。

まず、図２で示すように、金属箔５とＢステージレンジにあるキャリヤ３とを用意する。

続いて、図１で示すように、固定材７（微粘着剤９および粘着剤１３）を用いて金属箔５をキャリヤ３に貼り付ける（貼り付け工程）。

なお、図１で示すものを真空雰囲気で生成することが望ましい。これにより、金属箔５とキャリヤ３との間に空気が入り込むことが防止される。また、金属箔５に微粘着剤９を設けておくことに代えてもしくは加えて、キャリヤ３に微粘着剤９を設けておいて、金属箔５をキャリヤ３に貼り付けてもよい。また、粘着剤１３が微粘着剤９と同種類のものであってもよい。さらに、微粘着剤９を、キャリヤ３の厚さ方向の面の全面に設けるのではなく、一部に設けるようにしてもよい。たとえば、周囲のみに「ロ」字状に設けるようにしてもよい。

続いて、図１で示すキャリヤ３と金属箔５と微粘着剤９とを押圧し加熱する（第１の押圧加熱工程）。押圧は、図示しない治具で、図１（ｃ）で示すものを上下方向か挟み込むことでなされる。上記押圧と加熱とによって、Ｂステージのキャリヤ３がＣステージになる。また、第１の押圧加熱工程後でも、微粘着剤９は硬化していない。

続いて、図３（ａ）で示すように、Ｂステージのプレプリグ１５を金属箔５に重ねて設置し、この重ねたプレプリグ１５に金属箔（金属箔５と同様な金属箔）１７を重ねて設置する（プレプリグ・金属箔設置工程）。

続いて、図３（ａ）で示すもの（キャリヤ付き金属箔１、プレプリグ１５、金属箔１７）を、押圧し加熱する（第２の押圧加熱工程）。押圧は、図示しない治具で、図３（ａ）で示すものを上下方向から挟み込むことでなされる。上記押圧と加熱とをするときに、図３（ａ）で示すものを真空雰囲気内に位置させることが望ましい。これにより、キャリヤ付き金属箔１とプレプリグ１５との間およびプレプリグ１５と金属箔１７との間に空気が入り込むことが防止され、金属箔１７の表面の平面度を良好なものにすることができる。上記押圧と加熱とによって、Ｂステージのプレプリグ１５がＣステージになる。これによって、金属箔５とプレプリグ１５と金属箔１７とがお互いがくっついて一体化する。

続いて、金属箔１７をエッチング等し必要に応じてビア加工やメッキ加工を行うことで、金属箔１７に回路形成をする（第１の回路形成工程）。なお、図３〜図５では、回路等の表示は省略してある。

続いて、上記プレプリグ・金属箔設置工程、上記第２の押圧加熱工程、上記第１の回路形成工程をこの順に複数回繰り返すことで、図３（ｂ）で示すように、プレプリグ１５と金属箔１７とが所定枚数交互に重ねられて、金属箔１７に回路が形成されている積層基板２（より正確には、積層基板２の半製品）を生成する。

なお、図３（ｂ）で示す上側の積層基板２の半製品では、最も下側の金属箔５と最も上側に存在している金属箔１７Ａには、回路が未だ形成されていないものとする。同様にして、図３（ｂ）で示す下側の積層基板２の半製品では、最も上側の金属箔５と最も下側に存在している金属箔１７Ｂには、回路が未だ形成されていないものとする。

続いて、図４、図５で示すように、積層されているプレプリグ１５と金属箔５，１７（積層基板２の半製品）をキャリヤ３から取り外して剥離（分離）する（積層基板剥離工程）。

この剥離をする場合、図４で示す４本の切断線Ｌ１のところで、キャリヤ３と積層されているプレプリグ１５と金属箔５，１７とを切断する。なお、４本の切断線Ｌ１に位置をキャリヤ３の外周のところまで移して、上記切断時にキャリヤ３が切断されないようにしてもよい。これによって、キャリヤ３の再使用が容易になる。さらには、金属箔５，１７およびプレプリグ１５（積層基板２の半製品）をキャリヤ３から剥がした後、上記切断をするようにしてもよい。

上記切断後に、微粘着剤９のところで、キャリヤ３からプレプリグ１５と金属箔５，１７とを分離する。

続いて、図５（ｂ）で示すように、微粘着剤９を除去し、各積層基板２の半製品の各金属箔５，１７Ａ，１７Ｂに、必要に応じ、エッチング等によってビア加工やメッキ加工を行うことで、回路形成をする（第２の回路形成工程）。これによって、２枚の積層基板２が生成される。

なお、金属箔（銅箔）５の片面（Ｓ面；シャイニー面；キャリヤ３側の面）に離型剤（たとえば、ＰＶＡにシリコン樹脂を５０％混合した材料）を１μｍ厚で塗工してあってもよい。これによって、積層基板２の半製品のキャリヤ３からの剥離を容易に行うことができる。図５（ｂ）で示すように、キャリヤ３から積層基板２の半製品を離したときに、キャリヤ３にほとんどの微粘着剤９を残し、積層基板２の半製品の銅箔５に貼り付いている微粘着剤９を極力少なくすることができる。

キャリヤ付き金属箔１によれば、金属箔５が板状のキャリヤ３を包み込んでいるので、エッチングで使用する液が、キャリヤ３と金属箔５との間に浸透してしまうことが確実に防止される。そして、金属箔５等に回路形成等をしている途中で金属箔５がキャリヤ３から剥がれてしまうことを防止することができる。

また、キャリヤ付き金属箔１によれば、キャリヤ３の厚さ方向から見たときに、矩形状のキャリヤ３の１つの辺のところで金属箔５が折り返されており矩形状のキャリヤ３の他の３つの辺のところで金属箔５が重なるようにして、１枚の金属箔５で１枚のキャリヤ３を包み込んでいるので、構成が簡素化されているとともに、エッチングで使用する液が、キャリヤ３と金属箔５との間に浸透してしまうことが一層確実に防止される。

次に、１つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１ついて説明する。以下の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１も、図１で示すものと同様にして、積層基板２の製造に使用される。

１つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１は、図６で示すように、金属箔５が２枚になっており、キャリヤ３の厚さ方向から見たときに、矩形状のキャリヤ３の４つの辺のところで金属箔５が重なっている。

さらに説明すると、キャリヤ３この厚さ方向から見ると矩形状になっている。金属箔５も、この厚さ方向から見ると矩形状になっている。２枚の金属箔５の形状はお互いに等しくなっている。金属箔５の縦方向の寸法は、キャリヤ３の縦方向の寸法よりも所定の値だけ大きくなっており、金属箔５の横方向の寸法は、キャリヤの横方向の寸法よりも所定の値だけ大きくなっている。

そして、２枚の金属箔５のうちの一方の金属箔５がキャリヤ３の厚さ方向の一方の側に位置し、２枚の金属箔５のうちの他方の金属箔５がキャリヤ３の厚さ方向の他方の側に位置し、キャリヤ３の横方向の両方の辺の外側で金属箔５同士がお互いに重なり、キャリヤ３の縦方向の両方の辺の外側で金属箔５同士がお互いに重なることで、キャリヤ３が金属箔５に覆われている。

また、キャリヤ付き金属箔１をこの厚さ方向から見ると、キャリヤ３の横方向の両方の辺の外側と、キャリヤ３の縦方向の両方の辺の外側とに、金属箔５がお互いに重なっている所定の幅の「ロ」字状の部位（キャリヤ３が不存在な部位）が形成されている。

「ロ」字状の部位でお互いが重なっている金属箔５は、図１で示す場合と同様にして、粘着剤１３によってお互いが接合されている。「ロ」字状の部位の粘着剤１３は、シール材としての機能を備えている。これによって、金属箔５で包み込まれたキャリヤ３は金属箔５でシールされており、金属箔５の内側のキャリヤ３のところには、水等の液体が入り込まないようになっている。

また、キャリヤ付き金属箔をこの厚さ方向から見たときの、金属箔５とキャリヤ３とが重なっている矩形状の部位（「ロ」字状の部位で囲まれている部位）では、微粘着剤９を介して、キャリヤ３と金属箔５とがお互いに接合されている。

次に、２つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１ついて説明する。

２つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１は、図７、図８で示すように、金属箔５が１枚になっており、キャリヤ３の厚さ方向の一方の面のみを覆っている。したがって、２つ目の変形例に係る１枚のキャリヤ付き金属箔１で製造される積層基板２は１枚になる。

２つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１の金属箔５は、矩形状の中央部位１９と、細長い矩形状の４つの側面部位２１と、細長い矩形状の４つの裏面部位２３とで構成されている。

そして、２つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１では、中央部位１９がキャリヤ３の厚さ方向の一方の面の全面を覆っており、４つの側面部位２１のそれぞれが矩形な平板状のキャリヤ３の４つの側面のそれぞれを覆っており、４つの裏面部位２３のそれぞれがキャリヤ３の厚さ方向の他方の面の一部を覆っている。

中央部位１９は、微粘着剤９によって、キャリヤ３に接合されている。側面部位２１と裏面部位２３とは、粘着剤１３を介してキャリヤ３に接合されており、エッチング等で使用する液体が入り込むことを防止するためのシール部を構成している。なお、積層基板２は、中央部位１９にプレプリグ１５と金属箔１７とを積層等することで生成される。

次に、３つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１ついて説明する。

３つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１は、図９、図１０で示すように、裏面部位２３が等脚台形状に形成されている点が、２つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１と異なり、その他の点は、２つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１と同様に構成され同様に使用される。

次に、４つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１ついて説明する。

４つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１は、図１１で示すように、金属箔５が１枚になっており、キャリヤ３の厚さ方向の一方の面だけを覆うことを目的としているとともに、縦方向の中央部のみで、金属箔５がキャリヤ３を覆っている。したがって、４つ目の変形例に係る１枚のキャリヤ付き金属箔１で製造される積層基板２は１枚になる。

４つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１の金属箔５は、矩形状の中央部位１９と、細長い矩形状の２つの側面部位２１と、細長い矩形状の２つの裏面部位２３とで、矩形状に形成されている。

そして、４つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１では、中央部位１９がキャリヤ３の厚さ方向の一方の面の一部（縦方向の両端部側の部位を除く中央部位）を覆っており、２つの側面部位２１のそれぞれが矩形な平板状のキャリヤ３の２つの側面（横方向の両端に側面）のそれぞれを覆っており、２つの裏面部位２３のそれぞれがキャリヤ３の厚さ方向の他方の面の一部を覆っている。

中央部位１９の一部（縦方向の両端部側の部位を除く中央部位）２５は、微粘着剤９によって、キャリヤ３に接合されている。中央部位１９の他の部位（縦方向の両端部側の部位）２７は、粘着剤１３を介してキャリヤ３に接合されている（図１１（ｂ）参照）。側面部位２１と裏面部位２３とは、粘着剤１３を介してキャリヤ３に接合されている。部位２７と側面部位２１と裏面部位２３とは、粘着剤１３を介してキャリヤ３に接合されており、エッチング等で使用する液体が入り込むことを防止するためのシール部を構成している。なお、積層基板２は、中央部位１９にプレプリグ１５と金属箔１７とを積層等することで生成される。

次に、５つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１ついて説明する。

５つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１は、図１２で示すように、金属箔５が１枚になっており、キャリヤ３の厚さ方向の両方の面を覆っているとともに、縦方向の中央部のみで、金属箔５がキャリヤ３を覆っている。したがって、５つ目の変形例に係る１枚のキャリヤ付き金属箔１で製造される積層基板２は２枚になる。

キャリヤ３はこの厚さ方向から見ると矩形状になっている。キャリヤ付き金属箔１を生成する前の金属箔５もこの厚さ方向から見ると矩形状になっている。ただし、金属箔５の縦方向の寸法は、キャリヤ３の縦方向の寸法よりも所定の値だけ小さくなっており、金属箔５の横方向の寸法は、キャリヤ３の横方向の寸法を２倍したものよりも所定の値だけ大きくなっている。

そして、５つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１では、横方向では図１で示すものと同様にして、金属箔５がキャリヤ３を覆っており、縦方向の両端部では、キャリヤ３が金属箔５で覆われておらずに露出している。

また、金属箔５の縦方向の両端部２７は、粘着剤１３を介してキャリヤ３に接合されており、金属箔５の縦方向の中央部２５は、微粘着剤９によって、キャリヤ３に接合されている。なお、５つ目の変形例に係るキャリヤ付き金属箔１では、１枚の金属箔５から２枚の積層基板２が生成される。

なお、上述したキャリヤ付き金属箔１は、板状のキャリヤと、前記板状のキャリヤの厚さ方向の一方の面（全面もしくは一部の部位）に積層されており（重ね合わされており）、前記一方の面の端面を超えて延びていることで、前記板状のキャリヤの側面（全面もしくは一部の部位）を覆っている（側面に積層されている）とともに、前記板状のキャリヤの厚さ方向の他方の面の少なくとも一部の部位にも積層されている金属箔と、前記キャリヤと前記金属箔とをお互いに固定する固定材とを有するキャリヤ付き金属箔の例である。

上記固定材は、第１の固定材（微粘着剤９）と、第２の固定材（粘着剤１３）とで構成されている。

そして、キャリヤ付き金属箔１によれば、金属箔５が板状のキャリヤ３の側面を覆っているとともに板状のキャリヤ３の厚さ方向の他方の面の少なくとも一部を部位にも積層されているので、板状のキャリヤ３の厚さ方向の一方の面と金属箔５との間がシールされており、積層基板２を製造すべく銅箔等にエッチングで回路形成をするときに、エッチングで使用する液が、キャリヤ３と銅箔５の間に浸透してしまうことが防止され、回路形成等をしている途中で銅箔５がキャリヤ３から剥がれてしまうことを防止することができる。

１キャリヤ付き金属箔
３キャリヤ
５金属箔
７固定材
１５プレプリグ
１７金属箔

Claims

板状のキャリヤと、
前記板状のキャリヤの厚さ方向の一方の面に積層されており、前記一方の面の端面を超えて延びていることで、前記板状のキャリヤの側面の総てを覆っているとともに、前記板状のキャリヤの厚さ方向の他方の面にも積層されている金属箔と、
前記キャリヤと前記金属箔とをお互いに固定する固定材と、
を有することを特徴とするキャリヤ付き金属箔。
板状のキャリヤと、
縦方向の寸法が前記キャリヤの縦方向の寸法よりも所定の値だけ大きくなっており、横方向の寸法が前記キャリヤの横方向の寸法を２倍したものよりも所定の値だけ大きくなっており、前記板状のキャリヤの厚さ方向の一方の面に積層されて前記一方の面の端部で折り返されることで、前記板状のキャリヤの側面の全てを覆っているとともに、前記板状のキャリヤの厚さ方向の他方の面にも積層されて前記一方の面の端部を除いた前記一方の面の端部のところで重なっている金属箔と、
前記キャリヤと前記金属箔とをお互いに固定するとともに、前記重なっている金属箔同士をお互いに固定する固定材と、
を有することを特徴とするキャリヤ付き金属箔。
請求項２に記載のキャリヤ付き金属箔において、
前記金属箔は、前記板状のキャリヤを包み込んでいることを特徴とするキャリヤ付き金属箔。
請求項３に記載のキャリヤ付き金属箔において、
前記キャリヤは、矩形な板状に形成されており、
前記金属箔は、１枚になっており、前記キャリヤの厚さ方向から見たときに、前記矩形状のキャリヤの１つの辺のところで前記金属箔が折り返されて前記矩形状のキャリヤの他の３つの辺のところで前記金属箔が重なっていることを特徴とするキャリヤ付き金属箔。
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のキャリヤ付き金属箔を用いた積層基板の製造方法であって、
プレプリグを前記キャリヤ付き金属箔の金属箔に重ねて設置し、この重ねたプレプリグに金属箔を重ねて設置するプレプリグ・金属箔設置工程と、
前記プレプリグ・金属箔設置工程で設置したプレプリグと金属箔とを押圧し加熱する押圧加熱工程と、
前記押圧加熱工程で押圧し加熱した金属箔に回路を形成する回路形成工程と、
前記プレプリグ・金属箔設置工程と前記押圧加熱工程と前記回路形成工程とをこの順に所定の回数繰り返した後に、積層されているプレプリグと金属箔とを前記キャリヤから剥離する積層基板剥離工程と、
を有することを特徴とする積層基板の製造方法。