JP2009206479A - トレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トレンチゲート構成を有するIGBTであって、かつ、第2チャネル領域(フローティングp層)3bにも第2トレンチ5bが形成されており、この第2トレンチ5b内に絶縁膜6を介して埋設電極7bが形成されている構成のトレンチ型IGBTにおいて、埋設電極7bが、前記第2チャネル領域3bのうちで、少なくともゲート電極7の形成されている第1トレンチ5aに隣接する第2チャネル区分領域3b−1に電気的に接続されているように構成する。
【選択図】図1−1
Description
しかし、単にゲート抵抗を大きくすると、IGBTのターンオン損失が増大してしまう。すなわち、ゲート抵抗を大きくすると、ターンオン時の電流の傾き(dIc/dt)が減少するが、同時に電圧テールの増大を招くため、スイッチング損失が増えてしまうからである。従って、トレンチIGBTの特性としては、ゲート抵抗をできるだけ大きくしないで、低いdIc/dtを実現するのが望ましい。
前述した従来のトレンチ型IGBTの一般的な構成について、図11を用いて説明する。図11は、シリコン基板表面におけるパターンがストライプ状のトレンチゲート構成を有するnチャネル型IGBTを、シリコン基板面に垂直な方向であって、トレンチゲート構成のストライプ状パターン部分を横切る方向に切断した断面図である。この図において、低濃度のn型ベース層1の一方の主面にp型で高濃度のp型コレクタ層2、同じく他方の主面にp型チャネル領域3aが形成され、このp型チャネル領域3aの表面層に選択的にn+型エミッタ領域4が形成されている。また、n+型エミッタ領域4側の表面からp型チャネル領域3aを貫通してn型ベース層1に達するトレンチ5aが形成される。トレンチ5a内には絶縁膜6を介して導電性ポリシリコンからなるゲート電極7aが形成されている。ただし、製造方法としては、先にp型チャネル領域3aの表面から前記トレンチ5aが形成され、このトレンチ5a内にゲート絶縁膜と、前記ゲート電極7aが充填された後に、n+型エミッタ領域4が形成される。このゲート電極7aの上部にはこれを覆うように層間絶縁膜8が形成されており、さらにその上部には金属膜からなるエミッタ電極10がn+型エミッタ領域4表面とp型チャネル領域3a表面に共通に接触するように設けられている。多くの場合、トレンチ型IGBTには、ラッチアップ耐量の向上を図るためにp型チャネル領域3a表面層の一部に同導電型で高濃度p型ボディ領域9が設けられる。また、低濃度n型ベース層1と高濃度p型コレクタ層2の間に、Se(セレン)をドーパントとする中濃度n型バッファ領域(またはフィールドストップ(FS)領域)11が設けられる場合もある。さらに、前記シリコン基板の最上部にパシベーション膜としてチッ化シリコン膜やアモルファスシリコン膜あるいはポリイミド膜が形成されることがあるが、図11では省略されている。また、p型コレクタ層2表面には金属膜からなるコレクタ電極20が被覆される。
前述の一般的なトレンチ型IGBTについて、オン電圧をさらに低減するために、さまざまな改善方法が提案されている。たとえば、IEGT(INJECTION ENHANCED GATE BIPOLOR TRANSISTOR)ではダイオードのオン電圧に近い限界の特性が出せる。このIEGTでは、図12の要部断面図に示すように、セルのn+型エミッタ領域4およびp型チャネル領域3aの主表面の一部を層間絶縁層8により被覆してこれらの領域とエミッタ電極がコンタクトしない構成にされている。このIEGTの動作は基本的にトレンチ型IGBTと同じであるが、n+型エミッタ領域4とp型チャネル領域3aとがエミッタ電極10にコンタクトしていない部分のp型チャネル領域3a下の正孔は、エミッタ電極10に吐き出されにくいためにここに蓄積し、n型ベース層1のキャリア濃度分布はダイオードのそれに近くまでになるので、通常のトレンチ型IGBTのオン電圧よりも低くなる(特許文献1)。また、オン電圧とスイッチング特性との間のトレードオフ特性を改善する構成として、エミッタ電極側の蓄積キャリアの濃度を増加させるような構成のトレンチ型IGBTも知られている(特許文献2)。
さらに、一般的に高速スイッチング特性のデバイスはスイッチング時の波形がハード(以降ハードスイッチング特性)になりやすく、電磁ノイズが発生しやすい。高速スイッチング特性と電磁ノイズを抑制するソフト波形を有するソフトスイッチング特性とが両立するIGBTなどのパワーデバイスの作製も困難である。しかし、どうしても解決しなければならない重要な課題でもある。
前述のIGBTの動作で説明したようにオンおよびオフ動作に移行するときには、ゲート電極とエミッタ電極間の容量について充放電する必要があるが、容量が大きい場合には充放電時間が増加して発生損失が増加するだけでなく、より大きなゲート駆動回路も必要になる。前記パワーデバイスの発生損失はオン電圧で決まる定常損失と、オンおよびオフ動作時のスイッチング損失の和であるので、オン電圧の低減と共にスイッチング損失の低減、すなわち、ゲート電極とエミッタ電極間の容量を低減することも重要である。オン電圧の低減と共にゲート電極とエミッタ電極間の容量についても低減することのできる半導体装置の例として、たとえば、図9に示すような、p型チャネル領域にn+型エミッタ領域を設けず、エミッタ電極とも接続せずに絶縁され、電位的にフローティング状態のp領域を有するIEGT構成のトレンチ型半導体装置が提案されている(特許文献3)。さらに、ゲート制御回路を簡略化でき、オン電圧と定常損失の小さいトレンチ型電力用半導体装置にかかる発明も知られている(特許文献4)。また、図10、図13、図14の要部断面図に示すように、オン電圧の低減と、ゲート電極とエミッタ電極間の容量の低減と共に、高耐圧を得られるトレンチ型電力用半導体装置にかかる発明も知られている(特許文献5、6)。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、トレンチ型IGBTのオン電圧をIEGT並みの低い状態のままで、スイッチング損失も低くし、かつ高い耐圧を有し、かつ、ソフトなスイッチング特性が得られるトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタを提供することを目的とする。
特許請求の範囲の請求項2記載の発明によれば、前記埋設電極は、両側を前記第1トレンチと第2トレンチとに挟まれる前記第2チャネル領域表面のみに導電接続される特許請求の範囲の請求項1記載のトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタとすることが好ましい。
特許請求の範囲の請求項4記載の発明によれば、前記埋設電極と前記第2チャネル領域表面との導電接続が、前記第1チャネル領域と前記第1チャネル領域との間毎に個々分離して行われる特許請求の範囲の請求項1ないし3のいずれか一項に記載のトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタとすることが好適である。
図1−1、図1−2は本発明の実施例1にかかるトレンチ型IGBTの要部平面図と要部断面図である。図2は本発明の実施例2にかかるトレンチ型IGBTの要部断面図である。図3は埋設電極が電位的にフローティング状態で、埋設電極に電荷を与えた場合のトレンチ型IGBTの静的電圧電流特性比較図である。図4は表面構成が相違したトレンチ型IGBTの静的電圧電流特性比較図である。図5は表面構成が相違したトレンチ型IGBTのターンオフ波形比較図である。図6は、表面構成が相違したトレンチ型IGBTの小電流ターンオン時の該トレンチ型IGBTに逆並列接続されたフリーホイールダイオード(FWD)の逆回復特性比較図である。図7は、表面構成が相違したトレンチ型IGBTの大電流ターンオン時の該トレンチ型IGBTに逆並列接続されたフリーホイールダイオード(FWD)の逆回復特性比較図である。図8は表面構成の相違したトレンチ型IGBTのターンオン波形比較図である。
以下、本発明にかかる実施例1のトレンチ型IGBTを要部平面図(図1−1)と要部断面図(図1−2)を参照して説明する。図1−2は図1−1のX−X'線における断面図である。図1−2では埋設電極7bと第2チャネル領域3bとを表面上でフローティング電極A(図1−1)によって導電接続する部分については模式的な配線により示す。この実施例1(図1−2)と前記特許文献5に記載の図面に相当する図10との相違点は、本発明にかかる実施例1のトレンチ型IGBTでは、第2トレンチ5b内に絶縁膜6を介して形成される埋設電極7bが、前記第2トレンチ5bにより区分される前記第2チャネル領域3bのうち、少なくとも絶縁膜6を介してゲート電極7aの埋設される第1トレンチ5aに隣接する第2チャネル区分領域3b−1と電気的に接続されているという点にある。そして、第1チャネル領域3aの間毎で、第1トレンチ5a同士が端部で連結され、第2トレンチ5b同士が端部で連結されている。埋設電極7bと第2チャネル区分領域3b−1との電気的な接続は、この第1チャネル領域3aの間毎で個々に分離して行われる。図1−1と図1−2において、その他の符号に関し、1はn型ベース層、2はp型コレクタ層、3aは第1チャネル領域、3b−2は第2チャネル区分領域、4はn+型エミッタ領域、8は層間絶縁膜、9は高濃度p型ボディ領域、10はエミッタ電極、11はn型バッファ領域(またはフィールドストップ(FS)領域)、20はコレクタ電極をそれぞれ示す。図2の要部断面図に示す実施例2のトレンチ型IGBTでは、埋設電極7bが前記第1トレンチ5aに隣接する第2チャネル区分領域3b−1のみと電気的に接続されている点が実施例1と異なる以外は実施例1と同じ構成であり、前述の実施例1と同様の効果を有する。その他の符号については、前述の図1−1、図1−2と同符号は前述と同様の場所を示す。
第2の利点は、第2トレンチ5bと第1トレンチ5aの両方に接する第2チャネル区分領域3b−1の電位は一定電位に固定されないままで相互に等しくなり、不均一な電界分布が解消される。さらには、埋設電極7bに注入された電荷は第2チャネル区分領域3b−1を経由してn型ベース層1に流れ込むことができるために、埋設電極7bに電荷が蓄積することに起因する耐圧の変動を絶無とすることが可能となることである。図3(横軸に耐圧、縦軸に電流、縦軸の目盛りに1.0E+04とあるは1.0×104を表す、他の目盛り値も同様)に、埋設電極7bが電気的に独立(フローティング)しているため、埋設電極7bに電荷が蓄積し易いトレンチ型IGBT(図10に示すIGBT)の場合のコレクタ/エミッタ間のオフ電圧波形を、蓄積電荷量(○、□、△、◇で示す)をパラメーターとしてシミュレーションによって求めた電圧電流特性図を示す。この図3からは前記図10のトレンチ型IGBT(IEGT)では特に正の蓄積電荷の量によって耐圧が大きく変化し、最悪の場合スイッチング破壊の惧れのあることが分かる。
第4の利点は、ターンオフ時に、高速スイッチングとソフトスイッチング特性が両立されると言う点である。図6および図7に、実施例1のトレンチ型IGBTと、耐圧が優れている前記特許文献5に記載の図面に相当する図14に示す比較例3のトレンチ型IGBT(埋設電極とエミッタ電極とを接続して同電位とするトレンチ型IGBT)とにそれぞれ逆並列接続されたフリーホイールダイオード(FWD)の逆回復特性を比較した図を示す。図6は小電流(30A)からの逆耐圧の回復の場合であり、図7は大電流(400A)からの逆耐圧の回復の場合である。図6と図7は、(a)は比較例3(図14)のトレンチ型IGBTに、(b)は実施例1(図1−1)のトレンチ型IGBTに、それぞれ逆並列接続されたフリーホイールダイオードについて測定したものである。これらの図において、縦軸の右側にアノード電流を示し、左側にアノード・カソード間の電圧を示す。図6は、逆回復前の順電流Icが30Aで、電流密度は60A/cm2であり、DCバス電圧が650Vである。また、IGBTは、FS(フィールドストップ型)−IGBTであり、そのゲート抵抗は、オン側で5Ωである。主回路の回路浮遊インダクタンスLsは60nHである。
前述の実施例1と2にかかるトレンチ型IGBTの構成の相違点から、以下のことが言える。図4において、実施例1と2のトレンチ型IGBTは耐圧については、極わずかに異なること(実施例1の1232Vに対して実施例2の1222Vは10V低い)が示されている。一方、図8にターンオン特性に関して前述の実施例1と実施例2と比較例3とを比較した波形を示す。図8では実施例1と実施例2はほとんど同一のターンオン波形となっており、ターンオン波形については、実施例1と実施例2とは同等の特性が得られることが分かる。図8において、縦軸にコレクタ電流Ic(20A/div.)と、コレクタ・エミッタ間の電圧VCE(V)を示す。図8では、オン電流Icが30Aであり、DCバス電圧が650Vである。また、IGBTは、FS(フィールドストップ型)−IGBTであり、そのゲート抵抗は、オン側で15Ωである。主回路の回路浮遊インダクタンスLsは120nHである。すなわち、図8は、実施例1と2の構成の相違点である、第2チャネル領域3bのうち、埋設電極7bが絶縁膜6を介して埋設されている第2トレンチ5bに接している第2チャネル区分領域3b−2は、ほとんどスイッチング特性に影響を及ぼさないことを示している。
2 p型コレクタ層
3a 第1チャネル領域
3b 第2チャネル領域、フローティングp層
3b−1 第2チャネル区分領域
3b−2 第2チャネル区分領域
4 n+型エミッタ領域
5a 第1トレンチ
5b 第2トレンチ
6 絶縁膜、ゲート絶縁膜
7a ゲート電極
7b 埋設電極
8 層間絶縁膜、絶縁膜
9 高濃度p型ボディ領域
10 エミッタ電極
11 n型バッファ領域、フィールドストップ(FS)領域
20 コレクタ電極
Claims (4)
- 一導電型半導体基板の一方の主表面に選択的に形成される他導電型チャネル領域と、該他導電型チャネル領域内の表面層に選択的に形成される一導電型エミッタ領域と、前記他導電型チャネル領域表面から前記一導電型半導体基板に達する複数のトレンチとを有し、該トレンチが、絶縁膜を介して埋め込まれるゲート電極を有する第1トレンチと、絶縁膜を介して埋め込まれるが、前記ゲート電極に非接続の埋設電極を有する第2トレンチとに分けられ、前記他導電型チャネル領域が、前記第1トレンチのみに隣接する第1チャネル領域と前記第2トレンチに隣接する第2チャネル領域に分けられ、さらに、前記第1トレンチ側壁に接する前記一導電型エミッタ領域表面と前記第1チャネル領域表面には共通に導電接触すると共に、前記ゲート電極表面と、前記埋設電極表面と、前記第2チャネル領域表面とには絶縁膜を介して覆うエミッタ電極を備えるトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタにおいて、前記埋設電極は、少なくとも両側を前記第1トレンチと第2トレンチとに挟まれる前記第2チャネル領域表面に導電接続されていることを特徴とするトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。
- 前記埋設電極は、両側を前記第1トレンチと第2トレンチとに挟まれる前記第2チャネル領域表面のみに導電接続されることを特徴とする請求項1記載のトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。
- 前記埋設電極と前記第2チャネル領域表面との導電接続が、それぞれの表面の一部を使って行なわれることを特徴とする請求項1または2に記載のトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。
- 前記埋設電極と前記第2チャネル領域表面との導電接続が、前記第1チャネル領域と前記第1チャネル領域との間毎に個々に分離して行われることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載のトレンチゲート型絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。
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