JP2009172459A - 処理液混合装置、基板処理装置および処理液混合方法並びに記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】まず排出弁23,24,25を開弁し、供給弁26〜31を閉弁して、原料液体A,B,Cを排出弁23,24,25から外部に排出する。その後、LFC20,21,22が検出する原料液体A,B,Cの流量が全て所定の流量に達した後に、排出弁23,24,25を閉弁し、供給弁17,29,31を開弁して、供給弁17,29,31を通して原料液体A,B,Cを第2の混合槽3に供給する。
【選択図】図1
Description
処理液供給プログラムでは、まず、第1の混合槽2から第1及び第2の薬液処理部12,13に処理液を供給する。
第1の混合槽2から第1及び第2の薬液処理部12,13に処理液を供給している間に、第2の混合槽3では、原料液体A,B,Cを所定の比率で混合して処理液を生成するとともに、生成された処理液を攪拌調温する。
第1の混合槽2内の処理液が不足してくると、処理液の供給源を第1の混合槽2から第2の混合槽3へ切替える。
次に、第2の混合槽3から第1及び第2の薬液処理部12,13に処理液を供給する。
第2の混合槽3から第1及び第2の薬液処理部12,13に処理液を供給している間に、第1の混合槽2で新たな処理液を生成するとともに、生成された処理液を往復流路4を介して循環させて、攪拌調温する。
(2)原料液体A,B,Cを前記比率で混合するために、第1又は第2の混合槽2,3に、原料液体A,B,Cをそれぞれ、毎分12リットル、24リットルおよび32リットルの割合で供給する。
(3)原料液体Aの送出を開始してから、送出量が毎分12リットルに達するまでの所要時間は約5秒である。原料液体Bの送出を開始してから、送出量が毎分24リットルに達するまでの所要時間は約20秒である。原料液体Cの送出を開始してから、送出量が毎分32リットルに達して安定するまでの所要時間は約20秒である。
制御部32は、LFC20,21,22に原料液体A,B,Cの流量をそれぞれ、毎分12リットル、24リットルおよび32リットルの割合で送出するように設定する。なお、同一の流量設定で基板処理装置1を連続運転する場合は、このステップを毎回実行する必要はない。
次に制御部32は、排出弁23,24,25を開弁する。この時、供給弁27〜31は閉弁されているから、送出弁17,18,19から送出される原料液体A,B,Cは排出弁23,24,25を通って外部に排出される。
LFC20,21,22が検出するA,B,C液供給流路14,15,16内の原料液体A,B,Cの流量が全て設定流量に達したら、制御部32は、排出弁23,24,25を閉弁すると同時に供給弁27,29,31を開弁して、原料液体A,B,Cを第2の混合槽3に供給する。
2 第1の混合槽
3 第2の混合槽
4,5 往復流路
6,7 流出流路
8,9 流入流路
10 循環流路
11 ウェハ
12 第1の薬液処理部
13 第2の薬液処理部
14 A液供給流路
15 B液供給流路
16 C液供給流路
17,18,19 送出弁
15 B液供給源
16 C液供給源
20,21,22 LFC(流量制御器)
23,24,25 排出弁
26〜31 供給弁
32 制御部
33,34 往路側流路
35,36 復路側流路
37,38 ヒータ
39,40 ポンプ
41〜46 開閉弁
47 濃度センサ
48,49 供給流路
50,51 開閉弁
Claims (12)
- 複数種の原料液体を混合する混合槽と、
前記複数種の原料液体の供給源から前記混合槽へ前記複数種の原料液体を個別に供給する供給流路にあって、前記供給流路を流れる前記原料液体の流量を所定の流量に調整する流量調整手段と、
前記供給流路を流れる前記原料液体の流量を検出する流量検出手段と、
前記供給流路の前記流量調整手段と前記混合槽の間にあって、前記供給流路を流れる前記原料液体を外部に排出する排出弁と、
前記供給流路の前記排出弁と前記混合槽の間にあって、前記供給流路を開閉する供給弁と、
前記混合槽への前記複数種の原料液体の供給を開始する際に、まず各供給流路の前記供給弁を閉弁し、各供給流路の前記排出弁を開弁するとともに、その後、前記流量検出手段が検出する前記複数種の原料液体の流量が全て所定の流量に達した後に、各供給流路の前記排出弁を閉弁し、各供給流路の前記供給弁を開弁する制御手段を備える
ことを特徴とする処理液混合装置。 - 前記制御手段は、前記流量検出手段が検出する流量が全て所定の流量に達した時に、前記排出弁を閉弁し、前記供給弁を開弁する
ことを特徴とする請求項1に記載の処理液混合装置。 - 前記制御手段は、前記流量検出手段が検出する流量が全て所定の流量に達し、さらに所定時間が経過した時に、前記排出弁を閉弁し、前記供給弁を開弁する
ことを特徴とする請求項1に記載の処理液混合装置。 - 前記流量調整手段の設定流量と時間‐流量特性に応じた時間差をおいて、原料液体毎に前記排出弁を開弁する
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の処理液混合装置。 - 前記制御手段は、前記流量調整手段の設定流量が大きい順に、前記排出弁を開弁する
ことを特徴とする請求項4に記載の処理液混合装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の処理液混合装置を備える基板処理装置。
- 複数種の原料液体を混合する混合槽と、
前記複数種の原料液体の供給源から前記混合槽へ前記複数種の原料液体を個別に供給する供給流路にあって、前記供給流路を流れる前記原料液体の流量を所定の流量に調整する流量調整手段と、
前記供給流路を流れる前記原料液体の流量を検出する流量検出手段と、
前記供給流路の前記流量調整手段と前記混合槽の間にあって、前記供給流路を流れる前記原料液体を外部に排出する排出弁と、
前記供給流路の前記排出弁と前記混合槽の間にあって、前記供給流路を開閉する供給弁を備える処理液混合装置を用いる処理液混合方法において、
前記混合槽への前記複数種の原料液体の供給を開始する際に、まず各供給流路の前記供給弁を閉弁し、各供給流路の前記排出弁を開弁し、その後、前記流量検出手段が検出する前記複数種の原料液体の流量が全て所定の流量に達した後に、各供給流路の前記排出弁を閉弁し、各供給流路の前記供給弁を開弁する
ことを特徴とする処理液混合方法。 - 前記流量検出手段が検出する流量が全て所定の流量に達した時に、前記排出弁を閉弁し、前記供給弁を開弁する
ことを特徴とする請求項7に記載の処理液混合方法。 - 前記流量検出手段が検出する流量が全て所定の流量に達し、さらに所定時間が経過した時に、前記排出弁を閉弁し、前記供給弁を開弁する
ことを特徴とする請求項7に記載の処理液混合方法。 - 前記流量調整手段の設定流量と時間‐流量特性に応じた時間差をおいて、原料液体毎に前記排出弁を開弁する
ことを特徴とする請求項7ないし請求項9のいずれか1項に記載の処理液混合方法。 - 前記流量調整手段の設定流量が大きい順に、前記排出弁を開弁する
ことを特徴とする請求項10に記載の処理液混合方法。 - 複数種の原料液体を混合する混合槽と、
前記複数種の原料液体の供給源から前記混合槽へ前記複数種の原料液体を個別に供給する供給流路にあって、前記供給流路を流れる前記原料液体の流量を所定の流量に調整する流量調整手段と、
前記供給流路を流れる前記原料液体の流量を検出する流量検出手段と、
前記供給流路の前記流量調整手段と前記混合槽の間にあって、前記供給流路を流れる前記原料液体を外部に排出する排出弁と、
前記供給流路の前記排出弁と前記混合槽の間にあって、前記供給流路を開閉する供給弁を備える処理液混合装置を制御するコンピュータで実行されるプログラムを格納した記憶媒体において、
前記プログラムは、
前記混合槽への前記複数種の原料液体の供給を開始する際に、まず各供給流路の前記供給弁を閉弁し、各供給流路の前記排出弁を開弁するステップと、
前記流量検出手段が検出する前記複数種の原料液体の流量が全て所定の流量に達した後に、各供給流路の前記排出弁を閉弁し、各供給流路の前記供給弁を開弁するステップを有する
ことを特徴とする記憶媒体。
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