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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
und ein Verfahren zum Mischen einer Bearbeitungsflüssigkeit,
die im Stande sind, die Bearbeitungsflüssigkeit durch Mischen
einer Vielzahl von Stammlösungen in einem vorbestimmten
Verhältnis herzustellen, ein Speichermedium, das ein Bearbeitungsflüssigkeitsmischprogramm
speichert und eine Substratbearbeitungsvorrichtung, die mit der Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
vorgesehen ist.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Herstellungsverfahren
von Halbleitereinrichtungen oder Flüssigkristallfeldern
enthalten Flüssigkeitsbearbeitungsverfahren, wie beispielsweise
Reinigung oder Ätzen. Flüssigkeitsbearbeitungsvorrichtungen
enthalten ein Aufbringen einer Bearbeitungsflüssigkeit
auf Zielobjekte oder Eintauchen von Zielobjekten in eine Bearbeitungsflüssigkeit.
Eine Bearbeitungsflüssigkeit kann durch Mischen von Stammlösungen
in einem vorbestimmten Verhältnis hergestellt werden. Verschiedene
Bearbeitungsflüssigkeiten können in Flüssigkeitsbearbeitungsverfahren
verwendet werden. Bearbeitungsflüssigkeiten zur Verwendung
in einem Reinigungsverfahren sind beispielsweise in Tabelle 1 unten
gezeigt. Tabelle 1
| Name | Mischverhältnis | Verwendung |
| Mischung
aus Ammoniakwasser und Wasserstoffperoxidlösung | NH4OH:H2O2:H2O = 1:1:5 (Volumenverhältnis) | Entfernung
von Teilchen Entfernung von organischer Säure |
| Mischung
aus Chlorwasserstoffsäure und Wasserstoffperoxidlösung | Cl:H2O2:H2O
= 1:1:5 (Volumenverhältnis) | Entfernung
metallischer Verunreinigungen |
| Mischung aus Schwefelsäure
und Wasserstoffperoxidlösung | H2SO4:H2O = 4:5 (Volumenverhältnis) | Entfernung
organischer Verunreinigungen Entfernung metallischer Verunreinigungen |
| Fluorwasserstoffsäure | HF (ungefähr
0.5–10%) | Entfernung
einer Si (natürlich) Oxidschicht Entfernung metallischer
Verunreinigungen (Entfernung von Cu |
| gepufferte
Fluorwasserstoffsäurelösung | HF:NH4F = 7:1 | Entfernung einer Si (natürlich) Oxidschicht |
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Fertigungsanlagen
können zugeordnete Röhren für jede Bearbeitungsflüssigkeit
benötigen, wenn verschiedene Bearbeitungsflüssigkeiten
hergestellt werden und die hergestellte Bearbeitungsflüssigkeit
jeder Substratbearbeitungsvorrichtung zugeführt wird. Folglich
wird eine Fertigungsanlage eine komplizierte innere Struktur aufweisen,
die nicht zweckmäßig sein wird. Folglich enthalten
Fertigungsanlagen Röhren, um Stammlösungen zum
Herstellen von Bearbeitungsflüssigkeiten jeder Substratbearbeitungsvorrichtung
zuzuführen. Ferner enthält jede Substratbearbeitungsvorrichtung Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtungen,
um eine Bearbeitungsflüssigkeit herzustellen.
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Einige
Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtungen wurden vorgeschlagen,
um ein konstantes Mischverhältnis von Stammlösungen
in einer Bearbeitungsflüssigkeit aufzuweisen. Beispielsweise
offenbart das
japanische
ungeprüfte Patent Veröffentlichungsnr. 2003-275569 eine
Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung, welche Mischtanks,
um verschiedene Stammlösungen zu mischen, eine Durchflusssteuereinheit,
um einen Betrag der Stammlösungen zu steuern, und eine
Zufuhrzeitsteuereinheit enthält, um die Zufuhrzeit jeder Stammlösung
zu den Mischtanks so zu steuern, dass jede Stammlösung
gleichzeitig den Mischtanks zugeführt werden kann.
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Allerdings
kann die Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung, die
in dem
japanischen ungeprüften Patent
Veröffentlichungsnr. 2003-275569 offenbart ist,
eine Zufuhrrate jeder Stammlösung zu den Mischtanks nicht
steuern, wohingegen sie einen Gesamtbetrag (d. h. eine akkumulierte
Durchflussrate) jeder Stammlösung, die den Mischtanks zugeführt
wird, und die Zufuhrzeit jeder Stammlösung zu den Mischtanks
steuern.
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Im
Allgemeinen erhöht die Durchflusssteuerneinheit die Durchflussraten
der Stammlösungen, die den Mischtanks zugeführt
werden, nachdem die Abgabe der Stammlösungen beginnt, und
hält die Abgaberaten der Stammlösungen konstant,
wenn die Durchflussraten der Stammlösungen einen vorbestimmten
Wert erreichen. Die Zeit zum Erhöhen der Durchflussraten
der Stammlösungen auf den vorbestimmten Wert, nachdem die
Abgabe der Stammlösungen beginnt, ist im Verhältnis
zu den festgelegten Durchflussraten.
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Folglich
kann die Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung, die
in dem
japanischen ungeprüften
Patent Veröffentlichungsnr. 2003-275569 offenbart
ist, die Durchflussratenanteile der Stammlösungen, die
den Mischtanks zugeführt werden, nicht dazu bringen, mit
dem Mischverhältnis der Bearbeitungsflüssigkeit
zu einer bestimmten Zufuhrzeit überein zu stimmen. Im Besonderen
kann bei einer anfänglichen Zufuhrzeit die Stammlösung,
welche eine relativ hohe eingestellte Durchflussrate aufweist, nicht
die eingestellte Durchflussrate erreichen, wohingegen die Stammlösung,
welche eine relativ geringe eingestellte Durchflussrate aufweist, die
eingestellte Durchflussrate erreichen kann. Folglich wird ein Betrag
der Stammlösung, welche die verhältnismäßig
geringe eingestellte Durchflussrate aufweist, größer.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung stellt eine Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
und ein Verfahren zum Mischen einer Bearbeitungsflüssigkeit,
die im Stande sind, ein Mischverhältnis der Bearbeitungsflüssigkeit,
die in einem Mischtank hergestellt wird, konstant zu halten, eine
Substratbearbeitungsvorrichtung, die mit der Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
vorgesehen ist, und ein Speichermedium bereit, welches ein Programm
speichert, um den Bearbeitungsflüssigkeitsmischtank zu
steuern.
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Gemäß einem
Beispiel wird eine Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
bereitgestellt. Die Vorrichtung enthält einen Mischtank,
um eine Vielzahl von Stammlösungen zu mischen, eine Durchflussteuereinheit, die
in Zufuhrströmungswegen vorgesehen ist, um Durchflussraten
von Stammlösungen, welche durch die Zufuhrströmungswege
mit vorbestimmten Durchflussraten fließen, zu steuern,
die Zufuhrströmungswege, wobei jeder die Stammlösungen
von Stammlösungszufuhrquellen den Mischtanks zuführt,
einen Durchflussdetektor, um die Durchflussraten der Stammlösungen,
welche durch die Zufuhrströmungswege fließen,
zu detektieren, Abgabeventile, die zwischen der Durchflusssteuereinheit
der Zufuhrströmungswege und dem Mischtank vorgesehen sind,
um die Stammlösungen, welche durch die Zufuhrströmungswege
fließen, nach außen abzugeben, Zufuhrventile,
die zwischen den Abgabeventilen der Zufuhrströmungswege
und dem Mischtank vorgesehen sind, um die Zufuhrströmungswege
zu öffnen/zu schließen, und eine Steuereinheit,
um die Zufuhrventile der Zufuhrströmungswege zu schließen
und die Abgabeventile der Zufuhrströmungswege zu öffnen,
wenn die Zufuhr der Stammlösungen zum Mischtank beginnt,
und die Abgabeventile der Zufuhrströmungswege zu schließen
und die Zufuhrventile der Zufuhrströmungswege zu öffnen,
nachdem alle Durchflussraten der Stammlösungen, die von
dem Durchflussdetektor detektiert werden, die vorbestimmten Durchflussraten
erreichen.
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Die
Steuereinheit kann die Abgabeventile schließen und die
Zufuhrventile öffnen, wenn alle Durchflussraten, die von
dem Durchflussdetektor detektiert werden, die vorbestimmten Durchflussraten
erreichen.
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Die
Steuereinheit kann die Abgabeventile schließen und die
Zufuhrventile öffnen, wenn alle Durchflussraten, die von
dem Durchflussdetektor detektiert werden, die vorbestimmten Durchflussraten
erreichen und eine vorbestimmte Zeit abläuft.
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Die
Steuereinheit kann die Abgabeventile für jede Stammlösung
mit Zeitdifferenzen gemäß den festgelegten Durchflussraten
der Durchflusssteuereinheit und einer Charakteristik der Zeitablaufrate
steuern.
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Die
Steuereinheit kann die Abgabeventile in der absteigenden Reihenfolge
der eingestellten Durchflussraten der Durchflusssteuereinheit öffnen.
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Eine
Substratsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung kann mit der oben beschriebenen Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
vorgesehen sein.
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Gemäß einem
weiteren Beispiel wird ein Verfahren zum Mischen von Bearbeitungsflüssigkeit
unter Verwendung einer Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
bereitgestellt. Die Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
enthält einen Mischtank, um eine Vielzahl von Stammlösungen
zu mischen, eine Durchflusssteuereinheit, die in Zufuhrströmungswegen
vorgesehen ist, um Durchflussraten der Stammlösungen, die durch
die Zufuhrströmungswege mit vorbestimmten Durchflussraten
fließen, zu steuern, die Zufuhrströmungswege,
wobei jeder die Stammlösungen von Stammlösungszufuhrquellen
dem Mischtank zuführt, einen Durchflussdetektor, um die
Durchflussraten der Stammlösungen, welche durch die Zufuhrströmungswege
fließen, zu detektieren, Abgabeventile, die zwischen der
Durchflusssteuereinheit der Zufuhrströmungswege und dem Mischtank
vorgesehen sind, um die Stammlösungen, welche durch die
Zufuhrströmungswege fließen, nach außen
abzugeben, und Zufuhrventile, die zwischen den Abgabeventilen der
Zufuhrströmungswege und den Mischtanks vorgesehen sind,
um die Zufuhrströmungswege zu öffnen/zu schließen.
Das Verfahren enthält ein Schließen der Zufuhrventile
der Zufuhrströmungswege und ein öffnen der Abgabeventile
der Zufuhrströmungswege, wenn die Zufuhr der Stammlösungen
zu dem Mischtank beginnt und ein Schließen der Abgabeventile
der Zufuhrströmungswege und ein öffnen der Zufuhrventile
der Zufuhrströmungswege, nachdem alle Durchflussraten der
Stammlösungen, die von dem Durchflussdetektor detektiert
werden, die vorbestimmten Durchflussraten erreichen.
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Das
Verfahren kann ferner ein Schließen der Abgabeventile und
ein öffnen der Zufuhrventile enthalten, wenn alle Durchflussraten,
die von dem Durchflussdetektor detektiert werden, die vorbestimmten
Durchflussraten erreichen.
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Das
Verfahren kann ferner ein Schließen der Abgabeventile und
ein öffnen der Zufuhrventile enthalten, wenn alle Durchflussraten,
die von dem Durchflussdetektor detektiert werden, die vorbestimmten
Durchflussraten erreichen und eine vorbestimmte Zeit verstrichen
ist.
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Das
Verfahren kann ferner ein öffnen der Abgabeventile für
jede Stammlösung mit Zeitdifferenzen gemäß den
festgelegten Durchflussraten der Durchflusssteuereinheit und einer
Charakteristik der Zeitablaufrate enthalten.
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Das
Verfahren kann ferner ein Öffnen der Abgabeventile in der
absteigenden Reihenfolge der eingestellten Durchflussraten der Durchflusssteuereinheit
enthalten.
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Gemäß noch
einem weiteren Beispiel wird ein Speichermedium, das ein Programm
speichert, das von einem Computer ausgeführt wird, der
eine Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung steuert,
bereitgestellt. Die Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
enthält einen Mischtank, um eine Vielzahl von Stammlösungen zu
mischen, eine Durchflusssteuereinheit, die in Zufuhrströmungswegen
vorgesehen ist, um Durchflussraten der Stammlösungen, welche
durch die Zufuhrströmungswege mit vorbestimmten Strömungsraten
fließen, zu steuern, die Zufuhrströmungswege,
wobei jeder die Stammlösungen von Stammlösungszufuhrquellen
zum Mischtank zuführt, einen Durchflussdetektor, um die
Durchflussraten der Stammlösungen, welche durch die Zufuhrströmungswege
fließen, zu detektieren, Abgabeventile, die zwischen der
Durchflusssteuereinheit der Zufuhrströmungswege und den
Mischtanks vorgesehen sind, um die Stammlösungen, welche
durch die Zufuhrströmungswege fließen, nach außen
abzugeben, und Zufuhrventile, die zwischen den Abgabeventilen der Zufuhrströmungswege
und dem Mischtank vorgesehen sind, um die Zufuhrströmungswege
zu öffnen/zu schließen. Das Programm enthält
ein Schließen der Zufuhrventile der Zufuhrströmungswege
und ein Öffnen der Abgabeventile der Zufuhrströmungswege,
wenn die Zufuhr der Stammlösungen zum Mischtank beginnt, und
ein Schließen der Abgabeventile der Zufuhrströmungswege
und ein Öffnen der Zufuhrventile der Zufuhrströmungswege,
nachdem alle Durchflussraten der Stammlösungen, die von
dem Durchflussdetektor detektiert werden, die vorbestimmten Durchflussraten
erreichen.
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung, da die Stammlösungen dem Mischtank
zugeführt werden, nachdem alle Durchflussraten der Stammlösungen
die vorbestimmten Durchflussraten erreichen, wird die Bearbeitungsflüssigkeit
mit einem vorbestimmten Mischverhältnis (d. h. Dichte)
zu einer anfänglichen Zufuhrzeit der Stammlösungen
hergestellt.
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Ferner
kann durch Beginnen der Abgabe der Stammlösungen mit Zeitdifferenzen
gemäß der Charakteristiken der Zeitablaufrate
der mehreren Steuereinheit die Wartezeit zum Zuführen der
Stammlösungen zu den Mischtanks, bis die Durchflussrate
einer Stammlösung die vorbestimmte Durchflussrate erreicht
nachdem die Durchflussrate der anderen Stammlösung die
vorbestimmte Durchflussrate erreicht, verringert werden, oder ist
nicht erforderlich. Folglich kann eine Verschwendung einer vorbestimmten
Stammlösung minimiert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Konzeptansicht, welche eine Substratbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung darstellt;
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2 ist
ein Ablaufschema, welches die Bearbeitungsflüssigkeitszufuhr
der Substratbearbeitungsvorrichtung gemäß einem
Bearbeitungsflüssigkeitszufuhrprogramm gemäß einer
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
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3 ist
ein Ablaufschema, welches einen detaillierten Bedienfolge von jedem
Ventil in einem Herstellungsschritt der Bearbeitungsflüssigkeit
in einem zweiten Mischtank (S2) gemäß einer Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellt;
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4 ist
ein Zeitdiagramm, welches Beziehungen zwischen der Durchflussratenänderung
der Stammlösungen A, B und C mit Zeiten und dem Bedienungstiming
von jedem Ventil beim Herstellungsschritt der Bearbeitungsflüssigkeit
in einem zweiten Mischtank (S2) gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt; und
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5 ist
ein Zeitdiagramm, welches verbesserte Beispiele des Bedienungstimings
entsprechender Ventile beim Herstellungsschritt der Bearbeitungsflüssigkeit
in einem zweiten Mischtank (S2) gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER ERFINDUNG
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In
der folgenden detaillierten Beschreibung wird auf die begleitenden
Zeichnungen Bezug genommen, die ein Teil davon ausbilden. Die beispielhaften
Ausführungsformen, die in der detaillierten Beschreibung
beschrieben sind, Zeichnungen und Ansprüche sind nicht
als beschränkend anzusehen. Andere Ausführungsformen
können angewendet werden und andere Änderungen
können durchgeführt werden, ohne sich vom Rahmen
des hier dargestellten Gegenstands zu entfernen.
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1 ist
eine Konzeptansicht, welche eine Substratbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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Wie
es in 1 dargestellt ist, enthält eine Substratbearbeitungsvorrichtung 1 erste
und zweite Mischtanks 2 und 3, um eine Bearbeitungsflüssigkeit
durch Mischen von Stammlösungen A, B und C herzustellen,
hin- und hergehende Strömungswege der Art geschlossener
Kreise 4 und 5, die mit den ersten und zweiten
Mischtanks 2 und 3 in Kommunikation stehen, Ausflusswege 6 und 7 und
Einflusswege 8 und 9, die beginnenden Enden der
Ausflusswege 6 und 7 und die Anschlussenden der
Einflusswege 8 und 9, die entsprechend mit den
hin- und hergehenden Strömungswegen 4 und 5 in
Kommunikation stehen. Die Substratbearbeitungsvorrichtung 1 enthält
ferner einen gemeinsamen Umlaufstromweg 10, der zwischen
den Anschlussenden der Ausflusswege 6 und 7 und
den beginnenden Enden der Einflusswege 8 und 9 kommuniziert, und
erste und zweite Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13,
die mit dem Umlaufstromweg 10 in Kommunikation stehen,
um einen Zielwafer 11 mit Bearbeitungsflüssigkeit
zu bearbeiten, stehen mit dem Umlaufstromweg 10 in Kommunikation.
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Die
Substratbearbeitungsvorrichtung 1 enthält ferner
einen A-Lösungszufuhrströmungsweg 14,
einen B-Lösungszufuhrströmungsweg 15 und
einen C-Lösungszufuhrströmungsweg 16,
wobei jeder die Stammlösungen A, B und C von A-, B- und
C-Lösungszufuhrquellen (nicht dargestellt) an die ersten
und zweiten Mischtanks 2 und 3 zuführt,
die mit den ersten und zweiten Mischtanks 2 und 3 in
Kommunikation stehen, und Übergabeventile 17, 18 und 19,
die zwischen den A-, B- und C-Lösungszufuhrquellen und
den ersten und zweiten Mischtanks 2 und 3 vorgesehen
sind, um das Übergeben von Stammlösungen A, B
und C durch A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 zu
beginnen/zu beenden.
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Die
Substratbearbeitungsvorrichtung 1 enthält ferner
Durchflusssteuereinheiten (LFC) 20, 21 und 22, Abgabeventile 23, 24 und 25,
Zufuhrventile 26 bis 31, die zwischen den Übergabeventilen 17, 18 und 19 der A-,
B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 und
den ersten und zweiten Mischtanks 2 und 3 vorgesehen
sind, und eine Steuereinheit 32.
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Die
LFC 20, 21 und 22 steuern so die Durchflussraten
der Stammlösungen A, B und C, dass die Stammlösungen
A, B und C durch die A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 mit
einer Durchflussrate, die von der Steuereinheit 32 festgelegt
ist (d. h. eine festgelegte bzw. eingestellte Durchflussrate), fließen,
detektieren die Durchflussraten der Stammlösungen A, B
und C, welche durch die A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 fließen,
und schicken die detektierten Durchflussraten zurück an
die Steuereinheit 32. D. h. die LFC 20, 21 und 22 steuern
die Durchflussraten der Stammlösungen und detektieren ferner
die Durchflussraten der Stammlösungen.
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Die
Steuereinheit 32 steuert das Öffnen/Schließen
der Abgabeventile 23, 24 und 25 und der
Zufuhrventile 26 bis 31. Wenn die Abgabeventile 23, 24 und 25 offen
sind und die Zufuhrventile 26 bis 31 geschlossen sind,
werden die Stammlösungen A, B und C, welche durch die A-,
B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 fließen,
nach außen abgegeben. Im Gegensatz dazu, wenn die Abgabeventile 23, 24 und 25 geschlossen
sind und die Zufuhrventile 26 bis 31 geöffnet
sind, werden die Stammlösungen A, B und C, welche durch
die A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 fließen,
den ersten und zweiten Mischtanks 2 und 3 zugeführt.
D. h. durch Auswählen des Öffnens/Schließens
der Abgabeventile 23, 24 und 25 und der
Zufuhrventile 26 bis 31 können die Ausflusspunkte
der Stammlösungen A, B und C, welche durch die A-, B und
C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 fließen,
verändert werden. Ferner kann das Öffnen/Schließen
der Übergabeventile 17, 18 und 19 durch
die Steuereinheit 32 gesteuert werden.
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Die
hin- und hergehenden Strömungswege 4 und 5 enthalten
seitlich gehende Strömungswege 33 und 34 und
zurückkehrende Strömungswege 35 und 36.
An jedem der seitlich gehenden Strömungswege 33 und 34 sind
ein Heizer 37 und 38, eine Pumpe 39 und 40 und
ein Öffnungs-/Schließventil 41 und 42 sequentiell vorgesehen.
Die Heizer 37 und 38, die Pumpen 39 und 40 und
die Öffnungs-/Schließventile 41 und 42 sind
mit der Steuereinheit 32 verbunden und deren Betrieb oder
das Öffnen/Schließen wird von der Steuereinheit 32 gesteuert.
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Die
beginnenden Enden der Ausflusswege 6 und 7 sind
zwischen den Pumpen 39 und 40 und den Öffnungs-/Schließventilen 41 und 42 der
seitlich gehenden Strömungswege 33 und 34 verbunden.
Die Ausflusswege 6 und 7 enthalten Öffnungs-/Schließventile 43 und 44.
Die Öffnungs-/Schließventile 43 und 44 sind mit
der Steuereinheit 32 verbunden und deren Öffnen/Schließen
wird von der Steuereinheit 32 gesteuert.
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Ferner
sind die Anschlussenden der Einflusswege 8 und 9 mit
den zurückkehrenden Strömungswegen 35 und 36 verbunden
und die Strömungswege 8 und 9 sind mit Öffnungs-/Schließventilen 45 und 46 vorgesehen.
Die Öffnungs-/Schließventile 45 und 46 sind
mit der Steuereinheit 32 verbunden und deren Öffnen/Schließen
wird von der Steuereinheit 32 gesteuert.
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Die
Anschlussenden der Ausflusswege 6 und 7 sind miteinander
verbunden und ein beginnendes Ende des Umlaufstromwegs 10 ist
mit dem Verbindungsteil des Anschlussendes der Ausflusswege 6 und 7 verbunden.
Ferner sind die beginnenden Enden der Einflusswege 8 und 9 miteinander
verbunden und das Anschlussende des Umlaufstromwegs 10 ist
mit dem Verbindungsteil des beginnenden Endes der Einflusswege 8 und 9 verbunden.
Folglich steht der Umlaufstromweg 10 gemeinsam mit den
ersten und zweiten Mischtanks 2 und 3 über
die hin- und hergehenden Strömungswege 4 und 5,
den Ausflusswegen 6 und 7 und den Einflusswegen 8 und 9 in
Kommunikation.
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An
dem Anschlussende des Umlaufstromwegs 10 ist ein Dichtesensor 47 zum
Detektieren der Dichte der Bearbeitungsflüssigkeit in der
Substratbearbeitungsvorrichtung 1 vorgesehen. Der Dichtesensor 47 ist
mit der Steuereinheit 32 verbunden.
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Ferner
sind an einem Zwischenteil des Umlaufstromwegs 10 Zufuhrströmungswege 48 und 49 der
ersten und zweiten Bearbeitungseinheit der chemischen Lösung 12 und 13 verbunden.
Die Zufuhrströmungswege 48 und 49 sind
mit Öffnungs-/Schließventilen 50 und 51 vorgesehen.
Die Öffnungs-/Schließventile 50 und 51 und
die erste und zweite Bearbeitungseinheit der chemischen Lösung 12 und 13 sind
mit der Steuereinheit 32 verbunden und deren Öffnen/Schließen
wird von der Steuereinheit gesteuert.
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Die
Substratbearbeitungsvorrichtung 1 mischt und stellt die
Bearbeitungsflüssigkeit her und führt die Bearbeitungsflüssigkeit
den ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 gemäß einem
Bearbeitungsflüssigkeitszufuhrprogramm zu, das in einem
Speichermedium 32a (wie beispielsweise ein Speicher, eine
Festplatte, ein diskartiger Speicher und dergleichen) gespeichert
ist, das in der Steuereinheit 32 installiert ist.
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2 ist
ein Ablaufschema, welches die Bearbeitungsflüssigkeitszufuhr
der Substratbearbeitungsvorrichtung gemäß eines
Bearbeitungsflüssigkeitszufuhrprogramms gemäß einer
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Im
Folgenden wird mit Bezug auf 2 die Bearbeitungsflüssigkeitszufuhr
der Substratbearbeitungsvorrichtung gemäß dem
Bearbeitungsflüssigkeitszufuhrprogramm gemäß einer
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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Die
Substratbearbeitungsvorrichtung 1 arbeitet, um abwechselnd
zwischen einem Zustand, bei dem Bearbeitungsflüssigkeit
von dem ersten Mischtank 2 den ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten
der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird, und einem Zustand hin und her zu schalten, bei dem die Bearbeitungsflüssigkeit
von dem zweiten Mischtank 3 den ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten
der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird. Zum einfachen Erläutern zeigt 2 anhand
eines Beispiels, dass die Bearbeitungsflüssigkeit in dem
ersten Mischtank 2 hergestellt wird, und ein Umschalten
von dem Zustand, in dem die Bearbeitungsflüssigkeit von
dem ersten Mischtank 2 den ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten
der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird, in den Zustand stattfindet, in dem die Bearbeitungsflüssigkeit von
dem zweiten Mischtank 3 den ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten
der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird.
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[Zufuhrschritt vom ersten Mischtank (S1)]
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Gemäß dem
Bearbeitungslösungszufuhrprogramm wird die Bearbeitungsflüssigkeit
von dem ersten Mischtank 2 den ersten und zweiten chemischen
Bearbeitungseinheiten 12 und 13 zugeführt.
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Zu
der Zeit treibt die Steuereinheit 32 die Pumpe 39 an,
bringt das Öffnungs-/Schließventil 41 des
hin- und hergehenden Strömungswegs 4 in einen
geschlossenen Zustand, bringt das Öffnungs-/Schließventil 43 des
Ausflusswegs 6 und das Öffnungs-/Schließventil 45 des
Einflusswegs 8 in einen geöffneten Zustand und öffnet/schließt
die Öffnungs-/Schließventile 50 und 51 der
Zufuhrströmungswege 48 und 49. Folglich
wird die Bearbeitungsflüssigkeit in der Reihenfolge zirkuliert:
erster Mischtank 2 → seitlich gehender Strömungsweg 33 → Ausflussweg 6 → Umlaufstromweg 10 → Einflussweg 8 → zurückkehrender
Strömungsweg 35 → erster Mischtank 2.
Folglich wird die Bearbeitungsflüssigkeit von dem Umlaufstromweg 10 den
ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 durch
die Zufuhrströmungswege 48 und 49 zugeführt.
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[Herstellungsschritt der Bearbeitungsflüssigkeit
in dem zweiten Mischtank (S2)]
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Während
die Bearbeitungsflüssigkeit von dem ersten Mischtank 2 den
ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird, stellt der zweite Mischtank 3 die Bearbeitungsflüssigkeit
durch Mischen der Stammlösungen A, B und C in einem vorbestimmten
Verhältnis her und durchmischt die hergestellte Bearbeitungsflüssigkeit
bei einer regulierten Temperatur.
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Als
erstes stellt die Steuereinheit 32 eine vorbestimmte Durchflussrate
ein und bringt die Abgabeventile 23, 24 und 25 in
einen offenen Zustand und die Zufuhrventile 26 bis 31 in
einen geschlossenen Zustand. Die Stammlösungen A, B und
C, die von den Übergabeventilen 17, 18 und 19 übergeben
werden, werden durch die Abgabeventile 23, 24 und 25 nach
außen abgegeben.
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Wenn
die Abgabeventile 23, 24 und 25 offen
sind, erhöhen sich die Durchflussraten der Stammlösungen
A, B und C, welche durch die A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 fließen,
allmählich und erreichen die eingestellte Durchflussrate.
Wenn die LFC 20, 21 und 22 detektieren,
dass die Durchflussraten der Stammlösungen A, B und C die
eingestellte Durchflussrate erreichen, schließt die Steuereinheit 32 die
Abgabeventile 23, 24 und 25 und öffnet
gleichzeitig die Zufuhrventile 27, 29, 31,
um die Stammlösungen A, B und C dem zweiten Mischtank 3 zuzuführen.
Danach fahren die LFC 20, 21 und 22 fort,
die Durchflussraten der Stammlösungen A, B und C so zu
steuern, dass die Durchflussraten der Stammlösungen A,
B und C die eingestellte Durchflussrate beibehalten. Wenn ein vorbestimmter
Betrag der Bearbeitungsflüssigkeit in dem zweiten Mischtank 3 angesammelt
ist, beendet die Steuereinheit 32 die Zufuhr der Stammlösungen
A, B und C an den zweiten Mischtank 3 durch Schließen
der Zufuhrventile 27, 29 und 31. Der
Ablauf des Öffnens/Schließens der Abgabeventile 23, 24 und 25 und
der Zufuhrventile 27, 29 und 31 wird
später beschrieben.
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Wenn
der vorbestimmte Betrag von Bearbeitungsflüssigkeit in
dem zweiten Mischtank 3 angesammelt ist und die Zufuhr
der Stammlösungen A, B und C an den zweiten Mischtank 3 beendet
ist, treibt die Steuereinheit 32 den Heizer 38 und
die Pumpe 40 an, bringt das Öffnungs-/Schließventil 44 des
Ausflusswegs 7 und das Öffnungs-/Schließventil 46 des
Einflusswegs 9 in einen geschlossenen Zustand und bringt
das Öffnungs-/Schließventil 42 des hin-
und hergehenden Strömungswegs 5 in einen offenen
Zustand. Folglich wird die Bearbeitungsflüssigkeit in der
Reihenfolge zirkuliert: zweiter Mischtank 3 → seitlich
gehender Strömungsweg 34 → rückkehrender
Strömungsweg 36 → zweiter Mischtank 3;
und die Bearbeitungslösung wird bei einer regulierten Temperatur
durchmischt.
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[Umschaltschritt der Bearbeitungsflüssigkeitsquelle
(S3)]
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Wenn
ein Betrag der Bearbeitungsflüssigkeit in dem ersten Mischtank 2 unzureichend
wird, wird die Zufuhrquelle der Bearbeitungsflüssigkeit
von dem ersten Mischtank 2 zum zweiten Mischtank 3 umgeschaltet.
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Zu
der Zeit bringt die Steuereinheit 32 das Öffnungs-/Schließventil 41 des
seitlich gehenden Strömungswegs 33, der mit dem
ersten Mischtank 2 verbunden ist und das Öffnungs-/Schließventil 43 des
Ausflusswegs 6 in einen geschlossenen Zustand, bringt das Öffnungs-/Schließventil 42 des
seitlich gehenden Strömungswegs 34, der mit dem
zweiten Mischtank 3 verbunden ist in einen geschlossenen
Zustand und bringt das Öffnungs-/Schließventil 46 des
Einflusswegs 9 in einen geöffneten Zustand. Ferner
bringt die Steuereinheit 32 das Öffnungs-/Schließventil 45 des
Einflusswegs 8 in einen geschlossenen Zustand und bringt
das Öffnungs-/Schließventil 44 des Ausflusswegs 7,
der mit dem zweiten Mischtank 3 verbunden ist, in einen
offenen Zustand. Folglich wird die Bearbeitungsflüssigkeit
in der Reihenfolge zirkuliert: zweiter Mischtank 3 → seitlich
gehender Strömungsweg 34 → Ausflussweg 7 → Umlaufstromweg 10 → Einflussweg 9 → zurückkehrender Strömungsweg 36 → zweiter
Mischtank 3.
-
[Zufuhrschritt von dem zweiten Mischtank
(S4)]
-
Anschließend
wird die Bearbeitungsflüssigkeit von dem zweiten Mischtank 3 den
ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt.
-
Durch Öffnen/Schließen
der Öffnungs-/Schließventile 50 und 51 des
Zufuhrströmungswegs 48 und 49 wird die
Bearbeitungsflüssigkeit von dem Umlaufstromweg 10 den
ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 durch
die Zufuhrströmungswege 48 und 49 zugeführt.
-
[Herstellungsschritt der Bearbeitungsflüssigkeit
in dem ersten Mischtank (S5)]
-
Während
die Bearbeitungsflüssigkeit von dem zweiten Mischtank 3 zu
den ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird, stellt der erste Mischtank 2 Bearbeitungsflüssigkeiten
neu her, zirkuliert die hergestellte Bearbeitungsflüssigkeit
durch den hin- und hergehenden Strömungsweg 4 und
durchmischt die hergestellte Bearbeitungsflüssigkeit bei
einer regulierten Temperatur.
-
Als
erstes bringt die Steuereinheit 32 die Abgabeventile 23, 24 und 25 in
einen offenen Zustand. Zu der Zeit, da sich die Zufuhrventile 26 bis 31 in
einem geschlossenen Zustand befinden, werden die Stammlösungen
A, B und C, die von den Übergabeventilen 17, 18 und 19 zugestellt
werden, über die Abgabeventile 23, 24 und 25 nach
außen abgegeben.
-
Wenn
die Abgabeventile 23, 24 und 25 offen
sind, erhöhen sich die Durchflussraten der Stammlösungen
A, B und C, welche durch die A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 fließen,
allmählich und erreichen die eingestellte Durchflussrate.
Wenn die LFC 20, 21 und 22 detektieren,
dass die Durchflussraten der Stammlösungen A, B und C die
eingestellte Durchflussrate erreichen, schließt die Steuereinheit 32 die
Abgabeventile 23, 24 und 25 und öffnet
gleichzeitig die Zufuhrventile 26, 28 und 30,
um die Stammlösungen A, B und C zu dem Mischtank 2 zuzuführen.
Danach fahren die LFC 20, 21 und 22 mit
dem Steuern der Durchflussraten der Stammlösungen A, B
und C so fort, dass die Durchflussraten der Stammlösungen
A, B und C die eingestellte Durchflussrate beibehalten. Wenn eine
vorbestimmte Bearbeitungsflüssigkeitsmenge in dem ersten
Mischtank 2 angesammelt ist, beendet die Steuereinheit 32 die
Zufuhr der Stammlösungen A, B und C zu dem ersten Mischtank 2 durch
Schließen der Zufuhrventile 26, 28 und 30.
Die detaillierten Folgen des Öffnens/Schließens
der Abgabeventile 23, 24 und 25 und der
Zufuhrventile 26, 28 und 30 sind gleich
denen wie in dem Herstellungsschritt der Bearbeitungsflüssigkeit
in dem zweiten Mischtank (S2).
-
Wenn
die vorbestimmte Bearbeitungsflüssigkeitsmenge in dem ersten
Mischtank 2 angesammelt ist und die Zufuhr der Stammlösungen
A, B und C zu dem ersten Mischtank 2 beendet ist, treibt
die Steuereinheit 32 den Heizer 37 und die Pumpe 39 an,
bringt das Öffnungs-/Schließventil 43 des
Ausflusswegs 6 und das Öffnungs-/Schließventil 45 des
Einflusswegs 8 in einen geschlossenen Zustand und bringt
das Öffnungs-/Schließventil 41 des hin-
und hergehenden Strömungswegs 4 in einen offenen
Zustand. Folglich wird die Bearbeitungsflüssigkeit in der
Reihenfolge zirkuliert: erster Mischtank 2 → seitlich
gehender Strömungsweg 33 → zurückkehrender
Strömungsweg 35 → erster Mischtank 2;
und die Bearbeitungsflüssigkeit wird bei einer regulierten
Temperatur durchmischt.
-
Wie
es oben beschrieben ist, wird zum Zweck der Erläuterung
die Bearbeitungsflüssigkeitszufuhr durch Herstellen der
Bearbeitungsflüssigkeit in dem zweiten Mischtank 3,
während die Bearbeitungsflüssigkeit im ersten
Mischtank 2 an die ersten und zweiten Bearbeitungseinheiten
der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird, Umschalten der Zufuhrquelle der Bearbeitungsflüssigkeit
von dem ersten Mischtank 2 zum Mischtank 3 und
Herstellen der Bearbeitungsflüssigkeit in dem ersten Mischtank 2 durchgeführt,
während die Bearbeitungsflüssigkeit in dem zweiten
Mischtank 3 abermals zu den Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 zugeführt
wird. In dem Fall eines kontinuierlichen Betriebs der Substratbearbeitungsvorrichtung 1 wird
die Zufuhrquelle der Bearbeitungsflüssigkeit von dem ersten
Mischtank 2 zum zweiten Mischtank 3 umgeschaltet und anschließend
wird die Bearbeitungsflüssigkeit in dem zweiten Mischtank 3 mehrmals
hergestellt, während die Bearbeitungsflüssigkeit
in dem ersten Mischtank den Bearbeitungseinheiten der chemischen
Lösung 12 und 13 zugeführt wird.
D. h. durch abwechselndes Verwenden des ersten Mischtanks 2 und des
zweiten Mischtanks 3 wird die Bearbeitungsflüssigkeit
in einem Mischtank hergestellt, während die Bearbeitungsflüssigkeit
in dem anderen Mischtank den Bearbeitungseinheiten der chemischen
Lösung 12 und 13 zugeführt wird.
-
Bevor
Beispiele der detaillierten Bedienfolge von jedem Ventil beim Herstellungsschritt
der Bearbeitungsflüssigkeit in dem zweiten Mischtank (S2)
beschrieben werden, sei angenommen, dass eine Vorbedingung zum Bestimmen
der Bedienfolge wie folgt ist.
- <1> Die Bearbeitungsflüssigkeit,
die in der Substratbearbeitungsvorrichtung 1 verwendet
wird, wird durch Mischen der Stammlösungen A, B und C in
dem Volumenverhältnis von 3:6:8 hergestellt.
- <2> Um die Stammlösungen
A, B und C in dem oben beschriebenen Verhältnis zu mischen,
werden die Stammlösungen A, B und C im Verhältnis
von 12:24:32 Liter/Minute dem ersten und zweiten Mischtank 2 und 3 zugeführt.
- <3> Es dauert ungefähr
5 Sekunden, um das Übergabeverhältnis von 12 Liter/Minute
nach dem Start der Übergabe der Stammlösung A
zu erreichen. Es dauert ungefähr 20 Sekunden, um das Übergabeverhältnis von
24 Liter/Minute nach dem Start der Übergabe der Stammlösung
B zu erreichen. Es dauert ungefähr 20 Sekunden, um das Übergabeverhältnis
von 32 Liter/Minute zu erreichen und nach dem Start der Übergabe der
Stammlösung C stabilisiert ist.
-
3 ist
ein Ablaufschema, welches eine detaillierte Bedienfolge jedes Ventils
beim Herstellungsschritt der Verarbeitungsflüssigkeit in
einem zweiten Mischtank (S2) gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt. 4 ist ein
Zeitablaufdiagramm, welches Beziehungen zwischen den Durchflussratenänderungen
der Stammlösungen A, B und C mit Zeiten und das Bedienungstiming
aller Ventile in dem Herstellungsschritt der Bearbeitungsflüssigkeit
in einem zweiten Mischtank (S2) gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Im Folgenden wird mit Bezug auf
die 3 und 4 die detaillierte Bedienfolge
der entsprechenden Ventile beschrieben.
-
[Durchflussrateneinstellschritt (S21)]
-
Die
Steuereinheit 32 stellt die LFC 20, 21 und 22 so
ein, dass die LFC 20, 21 und 22 die Stammlösungen
A, B und C in dem Verhältnis von 12:24:32 Liter/Minute
entsprechend übergeben. Dieser Durchflussrateneinstellschritt
muss nicht jedes Mal ausgeführt werden, wenn die Substratbearbeitungsvorrichtung 1 mit
derselben eingestellten Durchflussrate kontinuierlich betrieben
wird.
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[Übergabestartschritt (S22)]
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Anschließend öffnet
die Steuereinheit 32 die Abgabeventile 23, 24 und 25.
Zu der Zeit, da sich die Zufuhrventile 27 bis 31 in
einem geschlossenen Zustand befinden, werden die Stammlösungen
A, B und C, die von den Übergabeventilen 17, 18 und 19 übergeben
werden, über die Abgabeventile 23, 24 und 25 nach
außen abgegeben.
-
Ferner,
wenn die Abgabeventile 23, 24 und 25 offen
sind, erhöhen sich die Durchflussraten der Stammlösungen
A, B und C, welche durch die A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswege 14, 15 und 16 via der
LFC 20, 21 und 22 fließen allmählich
und erreichen die eingestellte Durchflussrate.
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[Zufuhrstartschritt (S23)]
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Wenn
alle Durchflussraten der Stammlösungen in den A-, B- und
C-Lösungszufuhrströmungswegen 14, 15 und 16,
die von den LFC 20, 21 und 22 detektiert
werden, die eingestellte Durchflussrate erreichen, schließt
die Steuereinheit 32 die Abgabeventile 23, 24 und 25 und öffnet
gleichzeitig die Zufuhrventile 27, 29 und 31,
um die Stammlösungen A, B und C dem zweiten Mischtank 3 zuzuführen.
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Wie
es oben beschrieben ist, da die Substratbearbeitungsvorrichtung 1 die
Stammlösungen A, B und C von den A-, B- und C-Lösungszufuhrströmungswegen 14, 15 und 16 dem
zweiten Mischtank 3 zuführt, nachdem die Durchflussrate
von jeder der Stammlösungen A, B und C in den A-, B- und
C-Lösungszufuhrströmungswegen 14, 15 und 16 die
eingestellte Durchflussrate erreicht, kann der zweite Mischtank 3 die
Bearbeitungsflüssigkeit eines vorbestimmten Mischverhältnisses
(d. h. Dichte) direkt nachdem die Zufuhr beginnt herstellen. Folglich
wird das Mischverhältnis (d. h. Dichte) der Bearbeitungsflüssigkeit
in dem zweiten Mischtank in einer kurzen Zeit einheitlich bzw. gleichförmig
und folglich kann die Zufuhr der Bearbeitungsflüssigkeit
zu den Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung 12 und 13 unmittelbar
beginnen.
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Allerdings öffnen
sich in dem oben beschriebenen Übergabestartschritt (S22)
die Abgabeventile 23, 24 und 25 gleichzeitig.
Auf der anderen Seite ist die Zeit, die für die Durchflussraten
benötigt wird, um die vorbestimmte Durchflussrate von dem
Start der Übergabe der LFC 20, 21 und 22 zu
erreichen, verlängert, wenn sich die eingestellte Durchflussrate
erhöht. Beispielsweise beträgt die Zeit, wie es
oben beschrieben ist, die für die Durchflussrate der Stammlösung
A benötigt wird, die durch die LFC 20 übergeben
wird, um 20 Liter/Minute zu erreichen und stabilisiert zu werden,
5 Sekunden, nachdem das Übergabeventil 17 geöffnet
ist. Demgegenüber betragen die Zeit, die für die
Durchflussrate der Stammlösung B benötigt wird,
die durch die LFC 21 übergeben wird, um 24 Liter/Minute
zu erreichen und stabilisiert zu werden, und die Zeit, die für
die Durchflussrate der Stammlösung C benötigt
wird, die durch die LFC 22 übergeben wird, um
32 Liter/Minute zu erreichen und stabilisiert zu werden, alle ungefähr
20 Sekunden. Folglich sollte die Stammlösung A durch öffnen
des Abgabeventils 23 in dem A-Lösungszufuhrströmungsweg 14 kontinuierlich
nach außen abgegeben werden, bis die Durchflussraten der
Stammlösungen B und C die vorbestimmte Durchflussrate erreichen,
selbst nachdem die Durchflussrate der Stammlösung A die
vorbestimmte Durchflussrate (beispielsweise 12 Liter/Minute) erreicht hat.
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Folglich
kann, wenn die Übergabeventile 17, 18 und 19 offen
sind mit Zeitdifferenzen gemäß den eingestellten
bzw. festgelegten Durchflussraten der LFC 20, 21 und 22 und
den Zeitablaufratencharakteristiken, sodass die Durchflussraten
der Stammlösungen A, B und C gleichzeitig die vorbestimmte Durchflussrate
erreichen, die Menge der Stammlösung A, die nach außen
abgegeben wird, verringert werden.
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Beispielsweise,
wie es in 5 dargestellt ist, wenn die Übergabe
der Stammlösungen B und C durch Öffnen der Abgabeventile 24 und 25 beginnt
und anschließend die Übergabe der Stammlösung
A durch Öffnen des Abgabeventils 23 nach 15 Sekunden
beginnt, erreichen die Durchflussraten der Stammlösungen
A, B und C die eingestellte Durchflussrate beinahe gleichzeitig
nach ungefähr 20 Sekunden von dem Öffnen der Abgabeventile 24 und 25.
Folglich kann die Zufuhr der Stammlösungen A, B und C zu
dem Mischtank 3 beginnen. Folglich ist die Abgabezeit der
Stammlösung A verglichen mit der Bedienfolge, wie es in 4 dargestellt
ist, verkürzt und folglich kann ein Verlust der Stammlösung
A verringert werden.
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Obwohl
beispielhaft ausgeführt ist, dass die Zufuhr der Stammlösungen
A, B und C zu den Mischtanks beginnt, wenn alle Durchflussraten
der Stammlösungen A, B und C die eingestellte Durchflussrate
erreichen, kann die Zufuhr der Stammlösungen zu den Mischtanks
beginnen, wenn eine vorbestimmte Zeit abläuft, nachdem
alle Durchflussraten der Stammlösungen A, B und C die eingestellte
Durchflussrate erreichen. In diesem Fall werden die Durchflussraten
der Stammlösungen A, B und C beide stabilisiert und folglich
wird die Einheitlichkeit bzw. Gleichförmigkeit des Mischverhältnisses
(d. h. Dichte) der Bearbeitungsflüssigkeit weiter verbessert.
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In
den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist beispielhaft
ausgeführt, dass zwei Mischtanks vorgesehen sind und abwechselnd
verwendet werden, um Bearbeitungsflüssigkeit herzustellen. Allerdings
kann die vorliegende Erfindung für die Substratbearbeitungsvorrichtung
angewendet werden, welche mit lediglich einem Mischtank vorgesehen
ist.
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Ferner,
gemäß der Bearbeitungsflüssigkeitsmischvorrichtung
der vorliegenden Erfindung, da die gemischte Bearbeitungsflüssigkeit
in einer kurzen Zeit einheitlich bzw. gleichförmig gemacht
wird, kann die Bearbeitungsflüssigkeit in einer kurzen
Zeit den Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung zugeführt
werden, nachdem die Zufuhr der Stammlösungen abgeschlossen
ist. Ferner kann die Bearbeitungsflüssigkeit von dem Mischtank
den Bearbeitungseinheiten der chemischen Lösung gleichzeitig
mit der Zufuhr der Stammlösungen zu dem Mischtank zugeführt
werden. Folglich, selbst wenn lediglich ein Mischtank vorgesehen
ist oder einer der beiden Mischtanks außer Betrieb ist,
kann die Unterbrechungszeit der Bearbeitung der chemischen Lösung
minimiert werden oder die Bearbeitungsvorrichtung der chemischen
Lösung kann ohne Unterbrechung betrieben werden.
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Aus
dem Vorangegangenen ist ersichtlich, dass verschiedene Ausführungsformen
der vorliegenden Offenbarung hierin zum Zwecke der Darstellung beschrieben
wurden und dass verschiedene Modifikationen durchgeführt
werden können, ohne sich vom Gegenstand der vorliegenden
Erfindung zu entfernen. Folglich sind die verschiedenen Ausführungsformen,
die hierin offenbart sind, nicht beabsichtigt, beschränkend
zu sein, wobei der tatsächliche Gegenstand durch die folgenden
Ansprüche gekennzeichnet ist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2003-275569 [0004, 0005, 0007]