JP6367069B2 - 混合装置、基板処理装置および混合方法 - Google Patents

Description

開示の実施形態は、混合装置、基板処理装置および混合方法に関する。

従来、半導体ウェハやガラス基板等の基板に対して処理液を供給することによって基板を処理する基板処理装置が知られている。

基板処理装置で使用される処理液は、複数の液体を所定の比率で混合して生成される場合がある。このような場合、基板処理装置は、複数の液体を混合して処理液を生成する混合装置を備える。

特許文献１に記載の混合装置は、複数の液体が混合される混合槽と、かかる混合槽に対し、複数の液体を予め設定された量だけ供給する流量制御手段と、各液体の混合槽への供給時間が同じになるよう制御する供給時間制御手段とを備える。

また、特許文献２には、全ての液体の流量が所定の流量に達した後で、各液体を混合槽に供給することで、液体の供給開始当初から所定の混合比率の処理液が生成されるようにした混合装置が開示されている。

特開２００３−２７５５６９号公報 特開２００９−１７２４５９号公報

しかしながら、上述した従来技術には、混合比率の精度を向上させるという点でさらなる改善の余地があった。

たとえば、流路を開閉するバルブに対して閉信号を出力してからバルブが完全に閉まりきるまでにはタイムラグが存在する。このため、このタイムラグ中に混合槽へ流入する液体の分だけ、混合比率が所望の値からずれてしまうおそれがある。

実施形態の一態様は、混合比率の精度を向上させることのできる混合装置、基板処理装置および混合方法を提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係る混合装置は、混合槽と、第１開閉弁と、第２開閉弁と、第１流量計測部と、第２流量計測部と、制御部とを備える。混合槽では、第１液と第１液よりも多量の第２液とが混合される。第１開閉弁は、第１液が流れる第１流路を開閉する。第２開閉弁は、第２液が流れる第２流路を開閉する。第１流量計測部は、第１流路を流れる第１液の流量を計測する。第２流量計測部は、第２流路を流れる第２液の流量を計測する。制御部は、第１開閉弁および第２開閉弁の開閉を制御する。また、制御部は、第１開閉弁および第２開閉弁を開くことによって第１液の混合槽への供給と第２液の混合槽への供給とを並行して行う供給処理と、供給処理の開始後、第１流量計測部によって計測された第１液の流量の積算および第２流量計測部によって計測された第２液の流量の積算を行う積算処理と、積算処理の開始後、第１流量計測部によって計測された第１液の流量の積算値が予め決められた目標値に達した場合に、第１開閉弁を閉じる第１閉処理と、第１開閉弁が閉まりきる前後における第１液の流量の積算値に基づき、混合槽に対する第２液の供給量の目標値を算出し、算出した目標値と第２流量計測部によって計測された第２液の流量の積算値とに基づき、第２開閉弁を閉じる第２閉処理とを実行する。

実施形態の一態様によれば、混合比率の精度を向上させることができる。

図１は、第１の実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。 図２は、第１の実施形態に係る処理ユニットの概略構成を示す図である。 図３は、第１の実施形態に係る処理流体供給源の構成を示す図である。 図４は、第１の実施形態に係る第２制御装置の構成を示すブロック図である。 図５は、第１の実施形態に係る混合処理の処理手順を示すフローチャートである。 図６は、変形例に係る流量変更処理の説明図である。 図７は、第２の実施形態に係る第２制御装置の構成を示すブロック図である。 図８は、第２の実施形態に係る混合処理の処理手順を示すフローチャートである。 図９は、第２の実施形態に係る遅延時間最適化処理の処理手順を示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照して、本願の開示する混合装置、基板処理装置および混合方法の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする。

図１に示すように、基板処理システム１は、搬入出ステーション２と、処理ステーション３とを備える。搬入出ステーション２と処理ステーション３とは隣接して設けられる。

搬入出ステーション２は、キャリア載置部１１と、搬送部１２とを備える。キャリア載置部１１には、複数枚の基板、第１の実施形態では半導体ウェハ（以下ウェハＷ）を水平状態で収容する複数のキャリアＣが載置される。

搬送部１２は、キャリア載置部１１に隣接して設けられ、内部に基板搬送装置１３と、受渡部１４とを備える。基板搬送装置１３は、ウェハＷを保持するウェハ保持機構を備える。また、基板搬送装置１３は、水平方向および鉛直方向への移動ならびに鉛直軸を中心とする旋回が可能であり、ウェハ保持機構を用いてキャリアＣと受渡部１４との間でウェハＷの搬送を行う。

処理ステーション３は、搬送部１２に隣接して設けられる。処理ステーション３は、搬送部１５と、複数の処理ユニット１６とを備える。複数の処理ユニット１６は、搬送部１５の両側に並べて設けられる。

搬送部１５は、内部に基板搬送装置１７を備える。基板搬送装置１７は、ウェハＷを保持するウェハ保持機構を備える。また、基板搬送装置１７は、水平方向および鉛直方向への移動ならびに鉛直軸を中心とする旋回が可能であり、ウェハ保持機構を用いて受渡部１４と処理ユニット１６との間でウェハＷの搬送を行う。

処理ユニット１６は、基板搬送装置１７によって搬送されるウェハＷに対して所定の基板処理を行う。

また、基板処理システム１は、制御装置４を備える。制御装置４は、たとえばコンピュータであり、制御部１８と記憶部１９とを備える。記憶部１９には、基板処理システム１において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部１８は、記憶部１９に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって基板処理システム１の動作を制御する。

なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置４の記憶部１９にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルディスク（ＭＯ）、メモリカードなどがある。

上記のように構成された基板処理システム１では、まず、搬入出ステーション２の基板搬送装置１３が、キャリア載置部１１に載置されたキャリアＣからウェハＷを取り出し、取り出したウェハＷを受渡部１４に載置する。受渡部１４に載置されたウェハＷは、処理ステーション３の基板搬送装置１７によって受渡部１４から取り出されて、処理ユニット１６へ搬入される。

処理ユニット１６へ搬入されたウェハＷは、処理ユニット１６によって処理された後、基板搬送装置１７によって処理ユニット１６から搬出されて、受渡部１４に載置される。そして、受渡部１４に載置された処理済のウェハＷは、基板搬送装置１３によってキャリア載置部１１のキャリアＣへ戻される。

次に、処理ユニット１６の構成について図２を参照して説明する。図２は、第１の実施形態に係る処理ユニット１６の概略構成を示す図である。

図２に示すように、処理ユニット１６は、チャンバ２０と、基板保持機構３０と、処理流体供給部４０と、回収カップ５０とを備える。

チャンバ２０は、基板保持機構３０と処理流体供給部４０と回収カップ５０とを収容する。チャンバ２０の天井部には、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）２１が設けられる。ＦＦＵ２１は、チャンバ２０内にダウンフローを形成する。

基板保持機構３０は、保持部３１と、支柱部３２と、駆動部３３とを備える。保持部３１は、ウェハＷを水平に保持する。支柱部３２は、鉛直方向に延在する部材であり、基端部が駆動部３３によって回転可能に支持され、先端部において保持部３１を水平に支持する。駆動部３３は、支柱部３２を鉛直軸まわりに回転させる。かかる基板保持機構３０は、駆動部３３を用いて支柱部３２を回転させることによって支柱部３２に支持された保持部３１を回転させ、これにより、保持部３１に保持されたウェハＷを回転させる。

処理流体供給部４０は、ウェハＷに対して処理流体を供給する。処理流体供給部４０は、処理流体供給源７０に接続される。

回収カップ５０は、保持部３１を取り囲むように配置され、保持部３１の回転によってウェハＷから飛散する処理液を捕集する。回収カップ５０の底部には、排液口５１が形成されており、回収カップ５０によって捕集された処理液は、かかる排液口５１から処理ユニット１６の外部へ排出される。また、回収カップ５０の底部には、ＦＦＵ２１から供給される気体を処理ユニット１６の外部へ排出する排気口５２が形成される。

第１の実施形態に係る処理ユニット１６は、処理流体供給源７０から供給されるＤＨＦ（希フッ酸）をウェハＷに対して供給することにより、ウェハＷ上に形成された膜をエッチング除去する。また、第１の実施形態に係る処理流体供給源７０は、ＨＦ（フッ酸）とＤＩＷ（２０℃程度の純水）とを混合することによってＤＨＦを生成し、生成したＤＨＦを各処理ユニット１６へ供給する。

次に、第１の実施形態に係る処理流体供給源７０の構成について図３を参照して説明する。図３は、第１の実施形態に係る処理流体供給源７０の構成を示す図である。

図３に示すように、第１の実施形態に係る処理流体供給源７０は、混合装置８０と、供給装置９０とを備える。

混合装置８０は、第１流路１００と、第２流路２００と、混合部３００と、混合槽４００と、第１循環ライン５００と、第２制御装置６００とを備える。また、供給装置９０は、第３流路７００と、貯留槽８００と、第２循環ライン９００とを備える。

まず、混合装置８０の構成について説明する。第１流路１００は、第１液であるＨＦが流れる流路である。かかる第１流路１００には、上流から下流に沿ってＨＦ温調機構１０１、第１流量計測部１０２、第１流量調整部１０３、第１捨てライン１０４および第１開閉弁１０５がこの順序で設けられる。

ＨＦ温調機構１０１は、第１流路１００を流れるＨＦの温度を調整する。ＨＦ温調機構１０１には、たとえばウォータージャケットが用いられる。第１流量計測部１０２は、第１流路１００を流れるＨＦの流量を計測する。第１流量計測部１０２による計測結果は、第２制御装置６００へ出力される。第１流量調整部１０３は、第２制御装置６００によって制御され、第１流路１００を流れるＨＦの流量を調整する。

第１捨てライン１０４は、第１流路１００から分岐する流路であり、たとえばＨＦの流量が安定するまでの間、ＨＦを流すために用いられる。かかる第１捨てライン１０４には、第３開閉弁１０６が設けられる。第１開閉弁１０５は、第１流路１００を開閉するバルブであり、第２制御装置６００によって制御される。

第２流路２００は、第２液であるＤＩＷが流れる流路である。かかる第２流路２００には、上流から下流に沿ってＤＩＷ温調機構２０１、第２流量計測部２０２、第２流量調整部２０３、第２捨てライン２０４および第２開閉弁２０５がこの順序で設けられる。

なお、ＤＩＷは、ＨＦを希釈するための希釈液であり、ＨＦよりも多量のＤＩＷが後述する混合槽４００に供給される。

ＤＩＷ温調機構２０１は、第２流路２００を流れるＤＩＷの温度を調整する。ＤＩＷ温調機構２０１には、たとえばウォータージャケットが用いられる。第２流量計測部２０２は、第２流路２００を流れるＤＩＷの流量を計測する。第２流量計測部２０２による計測結果は、第２制御装置６００へ出力される。第２流量調整部２０３は、第２制御装置６００によって制御され、第２流路２００を流れるＤＩＷの流量を調整する。

第２捨てライン２０４は、第２流路２００から分岐する流路であり、たとえばＤＩＷの流量が安定するまでの間、ＤＩＷを流すために用いられる。かかる第２捨てライン２０４には、第４開閉弁２０６が設けられる。第２開閉弁２０５は、第２流路２００を開閉するバルブであり、第２制御装置６００によって制御される。

第１流路１００と第２流路２００とは、それぞれ第１開閉弁１０５および第２開閉弁２０５よりも下流側の接続部において互いに接続され、この接続部よりもさらに下流側において混合部３００を介して混合槽４００に接続される。

混合部３００は、第１流路１００および第２流路２００と混合槽４００との間に設けられ、第１流路１００から供給されるＨＦと第２流路２００から供給されるＤＩＷとを混合したうえで混合槽４００へ供給する。

混合槽４００は、ＨＦとＤＩＷとの混合液であるＤＨＦを貯留する。ＨＦおよびＤＩＷは、混合部３００において混合されて混合槽４００へ供給された後、混合槽４００および後述する第１循環ライン５００においてさらに混合される。

なお、第１の実施形態では、ＨＦとＤＩＷとを混合部３００において混合したうえで混合槽４００へ供給する場合の例を示すが、混合部３００を省略し、混合槽４００に対してＨＦとＤＩＷとが個別に供給されるように構成してもよい。

第１循環ライン５００は、一端部および他端部がそれぞれ混合槽４００に接続された流路である。かかる第１循環ライン５００には、それぞれ第５開閉弁５０１、ＤＨＦ温調機構５０２およびポンプ５０３がこの順序で設けられる。

第５開閉弁５０１は、第１循環ライン５００を開閉するバルブであり、第２制御装置６００によって制御される。ＤＨＦ温調機構５０２は、第１循環ライン５００を流れるＤＨＦの温度を調整する。ＤＨＦ温調機構５０２には、たとえばクールニクスが用いられる。ポンプ５０３は、第１循環ライン５００内のＤＨＦを上流側から下流側へ押し出す。

ここで、従来の混合装置において、たとえばＤＨＦの冷却能力を高めたい場合には、第１循環ラインに対してＤＨＦ温調機構であるクールニクスを２台並列に設けるなどして対応していた。しかしながら、クールニクスは、温調精度は高いものの比較的高価であり、消費電力も大きいため、クールニクスの台数を増やすと混合装置８０のコストや消費電力が増加するおそれがある。

そこで、第１の実施形態に係る混合装置８０では、第１流路１００および第２流路２００にそれぞれＨＦ温調機構１０１およびＤＩＷ温調機構２０１を設けて、ＨＦとＤＩＷとが混合される前にＨＦおよびＤＩＷの温度を事前に調整することとした。ＨＦ温調機構１０１およびＤＩＷ温調機構２０１に用いられるウォータージャケットは、クールニクスよりも安価であり消費電力も小さいため、混合装置８０のコストダウンおよび消費電力の削減を図ることができる。

なお、ＤＨＦ温調機構５０２は、第１温調機構の一例に相当し、ＨＦ温調機構１０１およびＤＩＷ温調機構２０１は、第２温調機構の一例に相当する。ここでは、第１流路１００および第２流路２００にそれぞれＨＦ温調機構１０１およびＤＩＷ温調機構２０１を設けることとしたが、第１流路１００および第２流路２００のいずれか一方にのみ温調機構を設けてもよい。また、ＤＨＦの冷却能力を高める必要がない場合、混合装置８０は、ＨＦ温調機構１０１およびＤＩＷ温調機構２０１を必ずしも備えることを要しない。

混合槽４００に貯留されたＤＨＦは、第１循環ライン５００を循環しつつ、ＤＨＦ温調機構５０２によって所定の温度に調整される。

第２制御装置６００は、混合装置８０を制御する制御装置であり、後述する第２制御部と第２記憶部とを備える。第２記憶部には、混合装置８０において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。第２制御部は、第２記憶部に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって混合装置８０の動作を制御する。

なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から第２制御装置６００の第２記憶部にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルディスク（ＭＯ）、メモリカードなどがある。

なお、図３に示すように、混合装置８０では、ＤＩＷが流れる第２流路２００を本流とし、ＨＦが流れる第１流路１００を支流としている。したがって、ＨＦの供給を停止した後に本流である第２流路２００をＤＩＷが流れることで、第１流路１００と第２流路２００との接続部と第１開閉弁１０５との間に残留するＨＦをＤＩＷが引っ張って混合槽４００へ流すことができ、混合比率の精度を向上させることができる。

つづいて、供給装置９０の構成について説明する。第３流路７００は、第１循環ライン５００の中途部、たとえば第５開閉弁５０１とＤＨＦ温調機構５０２との間に接続され、第１循環ライン５００を流れるＤＨＦを貯留槽８００へ供給する。第３流路７００には、第６開閉弁７０１が設けられる。第６開閉弁７０１は、第３流路７００を開閉するバルブであり、第２制御装置６００によって制御される。

貯留槽８００は、混合装置８０から第３流路７００を介して供給されるＤＨＦを貯留する。第２循環ライン９００は、一端部および他端部がそれぞれ貯留槽８００に接続される。かかる第２循環ライン９００には、ポンプ９０１が設けられるとともに、複数の処理ユニット１６が第７開閉弁９０２を介して接続される。ポンプ９０１は、第２循環ライン９００のＤＨＦを上流側から下流側へ押し出す。

処理流体供給源７０は、上記のように構成されており、混合装置８０が、ＨＦとＤＩＷとを混合してＤＨＦを生成し、供給装置９０が、混合装置８０によって生成されたＤＨＦを各処理ユニット１６の処理流体供給部４０へ供給する。

次に、第１の実施形態に係る第２制御装置６００の構成について図４を参照して説明する。図４は、第１の実施形態に係る第２制御装置６００の構成を示すブロック図である。なお、図４では、第２制御装置６００の特徴を説明するために必要な構成要素のみを示しており、一般的な構成要素についての記載を省略している。

図４に示すように、第２制御装置６００は、第２制御部６０１と、第２記憶部６０２とを備える。

なお、第２制御部６０１は、たとえばＣＰＵ（Central Processing Unit）であり、第２記憶部６０２に記憶された図示しないプログラムを読み出して実行することにより、第１閉処理部６０１ａ、算出部６０１ｂおよび第２閉処理部６０１ｃとして機能する。なお、第２制御部６０１は、プログラムを用いずにハードウェアのみで構成されてもよい。

第２制御部６０１は、第１閉処理部６０１ａと、算出部６０１ｂと、第２閉処理部６０１ｃとを備える。また、第２記憶部６０２は、予め決められた量であるＨＦ目標値６０２ａと、予め決められた混合比率６０２ｂとを記憶する。

ＨＦ目標値６０２ａは、混合槽４００へのＨＦの供給量の目標値であり、作業者等によって予め第２記憶部６０２に記憶される。また、混合比率６０２ｂは、ＨＦとＤＩＷとの混合比率の目標値であり、ＨＦ目標値６０２ａと同様に作業者等によって予め第２記憶部６０２に記憶される。

第１閉処理部６０１ａは、混合槽４００へのＨＦの供給量が目標値に達した場合に、第１開閉弁１０５を閉じることによって、混合槽４００へのＨＦの供給を停止する。

具体的には、第１閉処理部６０１ａは、第１流路１００を流れるＨＦの流量を第１流量計測部１０２から取得し、取得したＨＦの流量からＨＦの流量の積算値を算出する。そして、第１閉処理部６０１ａは、算出した積算値が第２記憶部６０２に記憶されたＨＦ目標値６０２ａに達した場合に、第１開閉弁１０５を閉じる閉信号を第１開閉弁１０５の駆動部に出力する第１閉処理を行う。これにより、第１開閉弁１０５が閉鎖されてＨＦの混合槽４００への供給が停止する。

ここで、第１閉処理部６０１ａが閉信号を出力してから第１開閉弁１０５が閉まりきるまでにはタイムラグが存在する。このため、第１閉処理部６０１ａが閉信号を出力した後においても、ＨＦは僅かながら混合槽４００に供給される。この結果、混合槽４００へのＨＦの供給量は、ＨＦ目標値６０２ａから僅かにずれることとなる。

たとえば、ＨＦ目標値６０２ａが１００ｍＬである場合、第１閉処理部６０１ａは、ＨＦの流量の積算値が１００ｍＬに達した場合に第１開閉弁１０５の閉信号を出力する。しかしながら、上記のように第１閉処理部６０１ａが閉信号を出力してから第１開閉弁１０５が閉まりきるまでにはタイムラグが存在するため、実際には、１００ｍＬより多い量（たとえば１０１ｍＬ）のＨＦが混合槽４００に供給されることとなる。

このようにＨＦの供給量がＨＦ目標値６０２ａからずれると、ＨＦとＤＩＷとの混合比率も目標値からずれることとなる。混合比率のずれは、エッチング量に影響するため、混合比率のずれを極力少なくすることが好ましい。

なお、ＨＦの流量の積算値を算出する処理は、必ずしも第１閉処理部６０１ａが行うことを要しない。たとえば、第１流量計測部１０２や第１流量調整部１０３に流量の積算値を計測する機能が備わっている場合、第１閉処理部６０１ａは、第１流量計測部１０２や第１流量調整部１０３からＨＦの流量の積算値を直接取得してもよい。後述する第２閉処理部６０１ｃにおいても同様である。

第１閉処理部６０１ａは、第１閉処理後もＨＦの流量の積算値を算出し続け、算出した積算値を後述する算出部６０１ｂへ出力する。

算出部６０１ｂは、第１開閉弁１０５が閉まりきる前後におけるＨＦの流量の積算値、すなわち、実際に混合槽４００へ供給されたＨＦの量に基づき、混合槽４００に対するＤＩＷの供給量の目標値を算出する。

具体的には、算出部６０１ｂは、第１閉処理前後におけるＨＦの流量の積算値（以下、「ＨＦの実供給量」と記載する場合がある）を第１閉処理部６０１ａから取得する。そして、算出部６０１ｂは、第１閉処理部６０１ａから取得したＨＦの実供給量と、第２記憶部６０２に記憶された混合比率６０２ｂとを用いて、混合槽４００に対するＤＩＷの供給量の目標値を算出する。

たとえば、ＨＦの実供給量が１０１ｍＬであり、混合比率６０２ｂがＨＦ：ＤＩＷ＝１：１００であるとする。かかる場合、算出部６０１ｂは、１０１ｍＬ×１００＝１０１００ｍＬ（１０．１Ｌ）をＤＩＷの供給量の目標値として算出する。算出部６０１ｂは、算出したＤＩＷの目標値を第２閉処理部６０１ｃへ出力する。

第２閉処理部６０１ｃは、混合槽４００へのＤＩＷの供給量が、算出部６０１ｂによって算出された目標値に達した場合に、第２開閉弁２０５を閉じることによって、混合槽４００へのＤＩＷの供給を停止する。

具体的には、第２閉処理部６０１ｃは、第２流路２００を流れるＤＩＷの流量を第２流量計測部２０２から取得し、取得したＤＩＷの流量からＤＩＷの流量の積算値を算出する。そして、第２閉処理部６０１ｃは、算出した積算値が、算出部６０１ｂから取得した目標値に達した場合に、第２開閉弁２０５を閉じる閉信号を第２開閉弁２０５の駆動部に出力する第２閉処理を行う。これにより、第２開閉弁２０５が閉鎖されてＤＩＷの混合槽４００への供給が停止する。

このように、第１の実施形態に係る混合装置８０では、第１開閉弁１０５の閉信号が出力された後、第１開閉弁１０５が閉まりきるまでの間に混合槽４００に供給されるＨＦの量も加味して、ＤＩＷの供給量の目標値を決定することとした。

これにより、ＨＦの実供給量がＨＦ目標値６０２ａからずれた場合であっても、そのずれた値に基づいてＤＩＷの供給量の目標値が決定されるため、混合比率が混合比率６０２ｂからずれることを防止することができる。したがって、第１の実施形態に係る混合装置８０によれば、混合比率の精度を向上させることができる。

次に、第１の実施形態に係る混合処理の処理手順について図５を参照して説明する。図５は、第１の実施形態に係る混合処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、混合処理の開始時において、第１開閉弁１０５、第３開閉弁１０６、第２開閉弁２０５および第４開閉弁２０６は閉鎖された状態である。

図５に示すように、混合装置８０では、まず、第２制御部６０１が、ＨＦおよびＤＩＷの流量の積算値（前回値）をリセットした後（ステップＳ１０１）、予備捨て処理が行われる（ステップＳ１０２）。かかる予備捨て処理において、第２制御部６０１は、第１捨てライン１０４に設けられた第３開閉弁１０６と第２捨てライン２０４に設けられた第４開閉弁２０６とを一定時間開放する。これにより、ＨＦは、第１流路１００から第１捨てライン１０４を通って外部へ排出されるとともに、ＤＩＷは、第２流路２００から第２捨てライン２０４を通って外部へ排出される。予備捨て処理を終えると、第２制御部６０１は、第３開閉弁１０６および第４開閉弁２０６を閉鎖する。

つづいて、混合装置８０では、第２制御部６０１が第１開閉弁１０５と第２開閉弁２０５とを同時に開き（ステップＳ１０３）、ＨＦの流量およびＤＩＷの流量の積算を開始する（ステップＳ１０４）。このように、第１開閉弁１０５と第２開閉弁２０５とを同時に開くことで、ＨＦとＤＩＷとをほぼ同時に混合部３００へ供給することができる。したがって、ＨＦとＤＩＷとをより早く均一に混ぜ合わせることができる。

ここで、第２制御部６０１は、第１流量調整部１０３および第２流量調整部２０３を制御することにより、混合比率６０２ｂにおけるＨＦの割合よりも多い割合でＨＦが供給されるようにＨＦおよびＤＩＷの流量を調整する。たとえば、混合比率６０２ｂがＨＦ：ＤＩＷ＝１：１００である場合、第２制御部６０１は、ＨＦの流量とＤＩＷの流量との比率が１．５：１００になるように、ＨＦおよびＤＩＷの流量を調整する。

これにより、混合槽４００に対するＨＦの供給量の目標値がＤＩＷの供給量の目標値よりも先に達することとなるため、その後のＨＦの実供給量からＤＩＷの供給量の目標値を算出する処理を確実に行うことができる。

なお、第２制御部６０１は、第１流量調整部１０３および第２流量調整部２０３の少なくとも一方を制御することにより、混合比率６０２ｂよりもＨＦの割合を多くすることが可能である。第１流量調整部１０３および第２流量調整部２０３は、「流量調整部」の一例に相当する。

つづいて、第１閉処理部６０１ａは、ＨＦの流量の積算値がＨＦ目標値６０２ａに達したか否かを判定し（ステップＳ１０５）、ＨＦ目標値６０２ａに達した場合には（ステップＳ１０５，Ｙｅｓ）、第１開閉弁１０５の閉信号を出力する（ステップＳ１０６）。なお、第１閉処理部６０１ａは、ＨＦの流量の積算値がＨＦ目標値６０２ａに達していない場合には（ステップＳ１０５，Ｎｏ）、ＨＦの流量の積算値がＨＦ目標値６０２ａに達するまでステップＳ１０５の処理を繰り返す。

つづいて、算出部６０１ｂは、ＨＦの実供給量（第１閉処理の前後におけるＨＦの流量の積算値）と、混合比率６０２ｂとに基づき、ＤＩＷの供給量の目標値を算出する（ステップＳ１０７）。

つづいて、第２閉処理部６０１ｃは、ＤＩＷの流量の積算値が、ステップＳ１０７において算出された目標値から予め決められた補正値αを引いた値に達したか否かを判定する（ステップＳ１０８）。ここで、補正値αは、たとえば第２閉処理を開始してから、すなわち、第２開閉弁２０５を閉じる閉信号を出力してから第２開閉弁２０５が閉まるまでの時間に第２流路２００を流れるＤＩＷの流量の実測値である。作業者等は、上記の実測値を予め測定しておき、補正値αとして第２記憶部６０２等に記憶しておく。

ステップＳ１０８において、ＤＩＷの流量の積算値が、ステップＳ１０７において算出された目標値から予め決められた補正値αを引いた値に達した場合（ステップＳ１０８，Ｙｅｓ）、第２閉処理部６０１ｃは、第２開閉弁２０５の閉信号を出力して（ステップＳ１０９）、一連の混合処理を終了する。なお、第２閉処理部６０１ｃは、ＤＩＷの流量の積算値が、ステップＳ１０７において算出された目標値から予め決められた補正値αを引いた値に達していない場合には（ステップＳ１０８，Ｎｏ）、ステップＳ１０８の処理を繰り返す。

このように、第２閉処理部６０１ｃは、第２流量計測部２０２によって計測されるＤＩＷの流量の積算値が、算出部６０１ｂによって算出された目標値から予め決められた補正値αを減算した値に達した場合に、第２閉処理を実行する。

これにより、第２開閉弁２０５の閉信号が出力されてから第２開閉弁２０５が閉まりきるまでの間に混合槽４００に供給されるＤＩＷの量によって、ＨＦおよびＤＩＷの混合比率がずれることを防止することができる。

上述してきたように、第１の実施形態に係る混合装置８０は、混合槽４００と、第１開閉弁１０５と、第２開閉弁２０５と、第１流量計測部１０２と、第２流量計測部２０２と、第２制御部６０１とを備える。混合槽４００では、ＨＦとＨＦよりも多量のＤＩＷとが混合される。第１開閉弁１０５は、ＨＦが流れる第１流路１００を開閉する。第２開閉弁２０５は、ＤＩＷが流れる第２流路２００を開閉する。第１流量計測部１０２は、第１流路１００を流れるＨＦの流量を計測する。第２流量計測部２０２は、第２流路２００を流れるＤＩＷの流量を計測する。第２制御部６０１は、第１開閉弁１０５および第２開閉弁２０５の開閉を制御する。

そして、第２制御部６０１は、第１流量計測部１０２によって計測されたＨＦの流量の積算値がＨＦ目標値６０２ａに達した場合に、第１開閉弁１０５を閉じる第１閉処理を実行し、第１閉処理の前後におけるＨＦの流量の積算値に基づき、混合槽４００に対するＤＩＷの供給量の目標値を算出し、算出した目標値と第２流量計測部２０２によって計測されたＤＩＷの流量の積算値とに基づき、第２開閉弁２０５を閉じる第２閉処理を実行する。

したがって、第１の実施形態に係る混合装置８０によれば、混合比率の精度を向上させることができる。

（変形例）
上述した第１の実施形態では、第２開閉弁２０５を開いてから閉じるまでの間、ＤＩＷを一定の流量で供給し続ける場合の例について説明した。しかし、これに限らず、混合装置８０は、第１閉処理後にＤＩＷの流量を減らしてもよい。以下、かかる場合の変形例について図６を参照して説明する。図６は、変形例に係る流量変更処理の説明図である。

図６に示すように、第２制御部６０１は、第１閉処理の実行後、第２流量調整部２０３（図３参照）を制御することにより、ＤＩＷの流量を第１閉処理前の流量である第１流量から第１流量よりも少ない第２流量へ変更する。

これにより、ＤＩＷを第１流量のまま供給し続ける場合と比べ、第２開閉弁２０５の閉信号が出力されてから第２開閉弁２０５が閉まりきるまでの間に混合槽４００に供給される余分なＤＩＷを少量に抑えることができる。したがって、ＤＩＷを第１流量のまま供給し続ける場合と比べ、ＨＦおよびＤＩＷの混合比率がずれることを抑制することができる。

なお、ＤＩＷの流量を第１流量から第２流量へ変更するタイミングは、第１閉処理の実行と同時である必要はなく、第１閉処理後の任意のタイミングであればよい。また、第２制御部６０１は、第１閉処理後、ＤＩＷの流量を多段階で減少させてもよい。

第１流量および第２流量の各値は、第１流量でのＤＩＷの供給時間と、第２流量でのＤＩＷの供給時間との合計時間が、ＨＦの供給時間と、第１開閉弁１０５の閉信号が出力されてから第１開閉弁１０５が閉まりきるまでの時間との合計時間よりも長くなるように決定される。より具体的には、ＨＦの供給時間の予測値と、第１開閉弁１０５の閉信号が出力されてから第１開閉弁１０５が閉まりきるまでの時間の予測値との合計時間をＴ１とした場合に、第１流量の値は、ＤＩＷを第１流量で時間Ｔ１だけ供給した場合のＤＩＷの供給量が、混合槽４００に対するＤＩＷの供給量の目標値の予測値よりも少なくなるように決定される。また、第２流量の値は、決定された第１流量よりも少ない値に決定される。

これにより、混合槽４００に対するＨＦの供給量の目標値がＤＩＷの供給量の目標値よりも先に達することとなるため、その後のＨＦの実供給量からＤＩＷの供給量の目標値を算出する処理を確実に行うことができる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。図７は、第２の実施形態に係る第２制御装置の構成を示すブロック図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図７に示すように、第２の実施形態に係る第２制御装置６００Ａは、第２制御部６０１Ａと、第２記憶部６０２Ａとを備える。第２制御部６０１Ａは、第１閉処理部６０１ａＡと、算出部６０１ｂと、第２閉処理部６０１ｃとを備える。また、第２記憶部６０２Ａは、ＨＦ目標値６０２ａと、混合比率６０２ｂと、遅延時間６０２ｃとを記憶する。

遅延時間６０２ｃは、第１閉処理の実行後においてＨＦの流量の積算処理を継続させる時間を示す情報である。遅延時間６０２ｃは、たとえば作業者等によりキーボード等の図示しない入力部を介して入力される。なお、遅延時間６０２ｃとして設定される時間は、第１閉処理の実行後、第１開閉弁１０５が閉まりきるまでの時間であって、本実施形態では１秒未満、たとえば０．３秒である。

第１閉処理部６０１ａＡは、第１開閉弁１０５を閉じる閉信号を出力した後、遅延時間６０２ｃが経過するまでＨＦの流量の積算値を算出し続け、遅延時間６０２ｃが経過した場合に、遅延時間６０２ｃが経過した時点における積算値を算出部６０１ｂへ出力する。そして、算出部６０１ｂは、取得した積算値に基づき、混合槽４００に対するＤＩＷの供給量の目標値を算出する。

このように、第２の実施形態に係る混合装置８０では、ＨＦの流量の積算値が予め決められた目標値に達した場合に、予め決められた遅延時間６０２ｃが経過した後におけるＨＦの流量の積算値に基づき、混合槽４００に対するＤＩＷの供給量の目標値を算出することとした。

ＤＩＷの供給量の目標値を算出する手法の一つとして、たとえば、ＨＦの流量の積算処理を積算値の増加が停止するまで継続し、積算値の増加が停止した時点での積算値に基づいてＤＩＷの供給量の目標値を算出することが考えられる。しかしながら、この場合、第１開閉弁１０５の故障等によってＨＦの供給が停止しなくなると、ＨＦの流量の積算値が増加し続けるため、ＤＩＷの供給量の目標値が確定しないおそれがある。また、ＨＦの流量の積算値が増加し続けることで、混合槽４００に対するＤＩＷの供給量も増加し続けることとなり、この結果、混合槽４００からＤＨＦがオーバーフローしてしまうおそれもある。

そこで、第２の実施形態に係る混合装置８０では、遅延時間６０２ｃが経過した時点でＨＦの流量の積算処理を停止することとした。これにより、仮に、ＨＦの供給が停止しなくなったとしても、ＤＩＷの供給量の目標値が確定しない事態や、混合槽４００からＤＨＦがオーバーフローする事態を防止することができる。なお、この場合、たとえば第１循環ライン５００、第３流路７００あるいは第２循環ライン９００に設けられた図示しない濃度計によりＤＨＦの濃度異常を検出することで、第１開閉弁１０５の異常を検出することができる。また、第１流路１００にＨＦが流れ続けていることを第１流量計測部１０２を用いて検出することによっても第１開閉弁１０５の異常を検出することができる。

次に、第２の実施形態に係る混合処理の処理手順について図８を参照して説明する。図８は、第２の実施形態に係る混合処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図８に示すステップＳ２０１〜Ｓ２０６およびステップＳ２１１〜Ｓ２１３の処理は、図５に示すステップＳ１０１〜Ｓ１０６およびステップＳ１０７〜Ｓ１０９の処理と同様であるため、これらについては説明を適宜省略する。

図８に示すように、第１閉処理部６０１ａＡは、第１開閉弁１０５の閉信号を出力した後（ステップＳ２０６）、第２記憶部６０２Ａに記憶された遅延時間６０２ｃが経過したか否かを判定する（ステップＳ２０７）。この処理において、遅延時間６０２ｃが経過していない場合（ステップＳ２０７，Ｎｏ）、第１閉処理部６０１ａＡは、遅延時間６０２ｃが経過するまで、ＨＦの流量の積算値の算出処理を継続する（ステップＳ２０８）。

つづいて、遅延時間６０２ｃが経過したと判定すると（ステップＳ２０７，Ｙｅｓ）、第１閉処理部６０１ａＡは、ＨＦの流量の積算値の算出処理を停止し（ステップＳ２０９）、ＨＦの流量の積算値を算出部６０１ｂへ出力する（ステップＳ２１０）。そして、算出部６０１ｂは、第１閉処理部６０１ａＡから取得した積算値（ＨＦの実供給量）と、混合比率６０２ｂとに基づき、ＤＩＷの供給量の目標値を算出する（ステップＳ２１１）。

ところで、上述した例では、作業者等によって入力された遅延時間６０２ｃを用いることとしたが、混合装置８０は、第１閉処理を実行してからＨＦの流量の積算値の増加が停止するまでの時間に応じて、遅延時間６０２ｃを最適化する処理を行ってもよい。

この場合、第２制御部６０１Ａは、図８のステップＳ２０９において積算値の算出処理を停止せず、ステップＳ２１０において積算値を算出部６０１ｂへ出力した後も積算値の算出処理を継続して行うものとする。

ここで、遅延時間６０２ｃが経過する前に、ＨＦの供給が完全に停止していれば、遅延時間６０２ｃの経過後に、ＨＦの流量の積算値が増加することはない。つまり、遅延時間６０２ｃが経過した時点における積算値とＨＦの実供給量とは一致する。このため、遅延時間６０２ｃが経過した時点での積算値を用いて算出されるＤＩＷの供給量の目標値は、実際に供給すべき量と一致する。

一方、遅延時間６０２ｃが経過した後も、ＨＦが供給され続けたとすると、ＨＦの流量の積算値は、遅延時間６０２ｃの経過後も増加し続けることとなる。これにより、遅延時間６０２ｃが経過した時点における積算値よりもＨＦの実供給量が多くなってしまう。したがって、遅延時間６０２ｃが経過した時点での積算値を用いて算出されるＤＩＷの供給量の目標値は、実際に供給すべきＤＩＷの量からずれることとなる。

そこで、第２制御部６０１Ａは、第１閉処理を実行してからＨＦの流量の積算値の増加が停止するまでの時間（以下、「積算値増加時間」と記載する）が、遅延時間６０２ｃを超える場合には、遅延時間６０２ｃを長くしてもよい。これにより、ＤＩＷの供給量の目標値が、実際に供給すべき量からずれることを防止することができる。この場合、第２制御部６０１Ａは、次回の混合処理において、変更後の遅延時間６０２ｃを用いて第１閉処理を行ってもよい。このように、遅延時間６０２ｃを最適化することは、たとえば、開閉弁（ここでは、第１開閉弁１０５）の個体差によって、作業者等が設定した遅延時間６０２ｃ内に開閉弁が閉まりきらない場合に有効である。

次に、上述した遅延時間６０２ｃの最適化処理について図９を参照して具体的に説明する。図９は、第２の実施形態に係る遅延時間最適化処理の処理手順を示すフローチャートである。

図９に示すように、第２制御部６０１Ａは、積算値増加時間が遅延時間６０２ｃ未満であるか否かを判定する（ステップＳ３０１）。すなわち、第２制御部６０１Ａは、第１閉処理を実行してからＨＦの流量の積算値の増加が停止するまでに要した時間が、遅延時間６０２ｃ未満であるか否かを判定する。

この処理において、積算値増加時間が遅延時間６０２ｃ未満であると判定すると（ステップＳ３０１，Ｙｅｓ）、第２制御部６０１Ａは、遅延時間６０２ｃを短くする（ステップＳ３０２）。たとえば、積算値増加時間をＸ１、遅延時間をＸ２とすると、第２制御部６０１Ａは、Ｘ２−｛（Ｘ２−Ｘ１）×β｝を新たな遅延時間６０２ｃとして第２記憶部６０２Ａに記憶する。すなわち、第２制御部６０１Ａは、遅延時間６０２ｃと積算値増加時間との差に所定の係数β（０＜β＜１）を乗じて得られる時間だけ遅延時間６０２ｃを短くする。これにより、仮に、積算値増加時間に対して長すぎる遅延時間６０２ｃが設定された場合であっても、かかる遅延時間６０２ｃによる無駄な待機時間を削減することができる。

つづいて、第２制御部６０１Ａは、積算値増加時間が遅延時間６０２ｃ未満でない場合（ステップＳ３０１，Ｎｏ）、すなわち、積算値増加時間が遅延時間６０２ｃ以上である場合、積算値増加時間が予め決められた上限値以下であるか否かを判定する（ステップＳ３０３）。

この処理において、積算値増加時間が上限値以下であると判定すると（ステップＳ３０３，Ｙｅｓ）、第２制御部６０１Ａは、遅延時間を長くする（ステップＳ３０４）。たとえば、第２制御部６０１Ａは、積算値増加時間を新たな遅延時間６０２ｃとして第２記憶部６０２Ａに記憶する。これにより、ＤＩＷの供給量の目標値が、実際に供給すべきＤＩＷの量からずれることを防止することができる。

一方、第２制御部６０１Ａは、積算値増加時間が上限値以下でない場合（ステップＳ３０３，Ｎｏ）、すなわち、積算値増加時間が上限値を超えている場合、混合装置８０の異常を報知する処理を行う（ステップＳ３０５）。たとえば、第２制御部６０１Ａは、混合装置８０が備える図示しない表示灯を点灯させたり、混合装置８０の供給系に異常が発生した旨を図示しない表示部に表示させたりする。

ここで、混合装置８０の供給系とは、第１開閉弁１０５または第１流量計測部１０２のことである。すなわち、積算値増加時間が上限値を超えた場合、第１開閉弁１０５の異常によってＨＦが漏れ出ているおそれ、もしくは、第１流量計測部１０２の異常により、ＨＦの供給が完全に停止しているにもかかわらず積算値が増加し続けているおそれがある。

このように、積算値増加時間が上限値を超えた場合に、供給系の異常を報知することで、混合装置８０をいち早く正常な状態に復帰させることができる。

なお、ステップＳ３０１，Ｓ３０３の判定処理に用いられる積算値増加時間は、第２記憶部６０２Ａに蓄積された複数の積算値増加時間の平均値であってもよい。すなわち、第２制御部６０１Ａは、図８に示す一連の処理を実行する毎に、積算値増加時間を第２記憶部６０２Ａに蓄積し、蓄積した複数の積算値増加時間から積算値増加時間の平均値を算出して、算出した積算値増加時間の平均値を用いてステップＳ３０１，Ｓ３０３の判定処理を行ってもよい。

上述した実施形態では、混合槽４００に対してＨＦとＤＩＷとを同時に供給する場合の例について説明したが、混合槽４００に対するＨＦおよびＤＩＷの供給開始のタイミングは、必ずしも同時であることを要しない。

また、上述した実施形態では、ＤＩＷの流量の積算値が、算出部６０１ｂによって算出された目標値から補正値αを引いた値に達した場合に、第２開閉弁２０５を閉じることとしたが、補正値αは、必ずしも用いることを要しない。すなわち、第２閉処理部６０１ｃは、ＤＩＷの流量の積算値が、算出部６０１ｂによって算出された目標値に達した場合に、第２開閉弁２０５を閉じることとしてもよい。これは、ＤＩＷの供給量がＨＦよりも多いため、仮に、ＤＩＷの実供給量が目標値からずれたとしても、ＨＦの実供給量が目標値からずれる場合と比べて混合比率に与える影響が少ないためである。上述した実施形態においてＤＩＷよりも先にＨＦの供給を停止するのは、上記の理由からでもある。すなわち、ＨＦの実供給量を基準としてＤＩＷの供給量の目標値を決めることで、ＨＦの供給量にはずれがないものとみなせるため、ＤＩＷの実供給量を基準とした場合と比べて、混合比率の精度を向上させることができる。

また、上述した実施形態では、第１液がＨＦであり、第２液がＤＩＷである場合の例について説明したが、第１液および第２液は、上記以外の液体であってもよい。

また、上述した実施形態では、基板処理システム１の動作を制御する制御装置４（図１参照）とは別に、混合装置８０を制御する第２制御装置６００（図３参照）を備える場合の例を示したが、第２制御装置６００が備える機能を制御装置４に持たせて、第２制御装置６００を省略してもよい。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１ 基板処理システム
１６ 処理ユニット
７０ 処理流体供給源
８０ 混合装置
９０ 供給装置
１００ 第１流路
１０１ ＨＦ温調機構
１０２ 第１流量計測部
１０３ 第１流量調整部
１０４ 第１捨てライン
１０５ 第１開閉弁
２００ 第２流路
２０１ ＤＩＷ温調機構
２０２ 第２流量計測部
２０３ 第２流量調整部
２０４ 第２捨てライン
２０５ 第２開閉弁
３００ 混合部
４００ 混合槽
５００ 第１循環ライン

Claims (9)

1. 第１液と前記第１液よりも多量の第２液とが混合される混合槽と、
   前記第１液が流れる第１流路を開閉する第１開閉弁と、
   前記第２液が流れる第２流路を開閉する第２開閉弁と、
   前記第１流路を流れる前記第１液の流量を計測する第１流量計測部と、
   前記第２流路を流れる前記第２液の流量を計測する第２流量計測部と、
   前記第１開閉弁および前記第２開閉弁の開閉を制御する制御部と
   を備え、
   前記制御部は、
   前記第１開閉弁および前記第２開閉弁を同時に開くことによって前記第１液の前記混合槽への供給と前記第２液の前記混合槽への供給とを行う供給処理と、前記供給処理の開始後、前記第１流量計測部によって計測された前記第１液の流量の積算および前記第２流量計測部によって計測された前記第２液の流量の積算を行う積算処理と、前記積算処理の開始後、前記第１流量計測部によって計測された前記第１液の流量の積算値が予め決められた目標値に達した場合に、前記第１開閉弁を閉じる第１閉処理と、前記第１開閉弁が閉まりきる前後における前記第１液の流量の積算値に基づき、前記混合槽に対する前記第２液の供給量の目標値を算出し、算出した前記目標値と前記第２流量計測部によって計測された前記第２液の流量の積算値とに基づき、前記第２開閉弁を閉じる第２閉処理とを実行すること
   を特徴とする混合装置。
2. 前記制御部は、
   前記第１開閉弁を閉じるための閉信号を出力する前の時点から、前記閉信号の出力後予め決められた遅延時間が経過した時点までの前記第１液の流量の積算値に基づき、前記混合槽に対する前記第２液の供給量の目標値を算出すること
   を特徴とする請求項１に記載の混合装置。
3. 第１液と前記第１液よりも多量の第２液とが混合される混合槽と、
   前記第１液が流れる第１流路を開閉する第１開閉弁と、
   前記第２液が流れる第２流路を開閉する第２開閉弁と、
   前記第１流路を流れる前記第１液の流量を計測する第１流量計測部と、
   前記第２流路を流れる前記第２液の流量を計測する第２流量計測部と、
   前記第１開閉弁および前記第２開閉弁を開くことによって前記第１液の前記混合槽への供給と前記第２液の前記混合槽への供給とを並行して行う供給処理と、前記供給処理の開始後、前記第１流量計測部によって計測された前記第１液の流量の積算および前記第２流量計測部によって計測された前記第２液の流量の積算を行う積算処理と、前記積算処理の開始後、前記第１流量計測部によって計測された前記第１液の流量の積算値が予め決められた目標値に達した場合に、前記第１開閉弁を閉じる第１閉処理と、前記第１開閉弁が閉まりきる前後における前記第１液の流量の積算値に基づき、前記混合槽に対する前記第２液の供給量の目標値を算出し、算出した前記目標値と前記第２流量計測部によって計測された前記第２液の流量の積算値とに基づき、前記第２開閉弁を閉じる第２閉処理とを実行する制御部と、
   前記第１流路を流れる前記第１液の流量または前記第２流路を流れる前記第２液の流量を調整する流量調整部と
   を備え、
   前記制御部は、
   前記流量調整部を制御することにより、目標とする前記第１液と前記第２液との混合比率における前記第１液の割合よりも前記第１流路を流れる前記第１液と前記第２流路を流れる前記第２液との流量比率における前記第１液の流量の割合を多くすること
   を特徴とする混合装置。
4. 第１液と前記第１液よりも多量の第２液とが混合される混合槽と、
   前記第１液が流れる第１流路を開閉する第１開閉弁と、
   前記第２液が流れる第２流路を開閉する第２開閉弁と、
   前記第１流路を流れる前記第１液の流量を計測する第１流量計測部と、
   前記第２流路を流れる前記第２液の流量を計測する第２流量計測部と、
   前記第１開閉弁および前記第２開閉弁を開くことによって前記第１液の前記混合槽への供給と前記第２液の前記混合槽への供給とを並行して行う供給処理と、前記供給処理の開始後、前記第１流量計測部によって計測された前記第１液の流量の積算および前記第２流量計測部によって計測された前記第２液の流量の積算を行う積算処理と、前記積算処理の開始後、前記第１流量計測部によって計測された前記第１液の流量の積算値が予め決められた目標値に達した場合に、前記第１開閉弁を閉じる第１閉処理と、前記第１開閉弁が閉まりきる前後における前記第１液の流量の積算値に基づき、前記混合槽に対する前記第２液の供給量の目標値を算出し、算出した前記目標値と前記第２流量計測部によって計測された前記第２液の流量の積算値とに基づき、前記第２開閉弁を閉じる第２閉処理とを実行する制御部と、
   前記第２流路を流れる前記第２液の流量を調整する流量調整部と
   を備え、
   前記制御部は、
   前記第１閉処理後、前記流量調整部を制御することにより、前記第２液の流量を前記第１閉処理前の流量よりも少なくすること
   を特徴とする混合装置。
5. 前記制御部は、
   前記第２流量計測部によって計測された前記第２液の流量の積算値が、前記算出した目標値から予め決められた補正値を減算した値に達した場合に、前記第２閉処理を実行すること
   を特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の混合装置。
6. 前記補正値は、
   前記第２閉処理を開始してから前記第２開閉弁が閉まるまでの時間に前記第２流路を流れる前記第２液の流量に基づき決定されること
   を特徴とする請求項５に記載の混合装置。
7. 前記第１流路および前記第２流路と前記混合槽との間に設けられ、前記第１液と前記第２液とを混合して前記混合槽へ供給する混合部
   を備えること
   を特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の混合装置。
8. 請求項１〜７のいずれか一つに記載の混合装置と、
   前記混合装置によって混合された前記第１液と前記第２液との混合液を基板に対して供給することによって基板を処理する基板処理ユニットと
   を備えることを特徴とする基板処理装置。
9. 第１液と前記第１液よりも多量の第２液とを混合する混合方法であって、
   前記第１液が流れる第１流路を開閉する第１開閉弁および前記第２液が流れる第２流路を開閉する第２開閉弁を同時に開くことによって前記第１液の混合槽への供給と前記第２液の前記混合槽への供給とを行う供給工程と、
   前記供給工程の開始後、前記第１流路を流れる前記第１液の流量の積算および前記第２流路を流れる前記第２液の流量の積算を行う積算工程と、
   前記積算工程の開始後、前記第１液の流量の積算値が予め決められた目標値に達した場合に、前記第１開閉弁を閉じる第１閉工程と、
   前記第１開閉弁が閉まりきる前後における前記第１液の流量の積算値に基づき、前記混合槽に対する前記第２液の供給量の目標値を算出する算出工程と、
   前記第２液の流量の積算値と、前記算出工程において算出した前記目標値とに基づき、前記第２開閉弁を閉じる第２閉工程と
   を含むことを特徴とする混合方法。

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