KR20150114429A - 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 및 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 - Google Patents

기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 및 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 Download PDF

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Abstract

기판의 액처리에 이용되는 처리액을 열화시키는 일없이 청정(파티클 제거)하는 것.
본 발명에서는, 기판(3)을 처리액으로 액처리하는 기판 액처리 장치(1) 및 기판 액처리 방법 및 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체(12)에 있어서, 제1 약액 공급부(17)로부터 처리액 저류부(14)에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정(S1, S6, S12)을 행하고, 그 후, 제1 약액을 약액 청정부(51)에서 청정하는 제1 약액 청정 공정(S2, S7, S13)을 행하며, 그 후, 제2 약액 공급부(18)로부터 처리액 저류부(14)에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정(S3, S8, S14)을 행하고, 그 후, 제1 약액과 제2 약액을 혼합시킨 처리액을 처리액 공급부(38)로부터 기판 액처리부(10)에 공급하는 처리액 공급 공정(S5, S11, S17)을 행하는 것으로 하였다.

Description

기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 및 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체{SUBSTRATE LIQUID PROCESSING APPARATUS AND METHOD, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM WITH SUBSTRATE LIQUID PROCESSING PROGRAM RECORDED THEREIN}
본 발명은 기판을 처리액으로 액처리하는 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 및 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 부품이나 플랫 패널 디스플레이 등을 제조할 때에는, 기판 액처리 장치를 이용하여 반도체 웨이퍼나 액정 기판 등의 기판에 대하여 세정이나 에칭 등의 각종 처리를 실시한다.
기판 액처리 장치에서는, 세정액이나 에칭액 등의 처리액을 이용하여 기판을 액처리한다. 처리액으로서는, 예컨대, SC-1(Standard Clean 1)액(과산화수소와 수산화암모늄과 순수의 혼합액) 등과 같이, 복수 종류의 약액을 소정의 혼합 비율(농도)로 혼합시켜 생성한 것이 많이 이용되고 있다.
그리고, 종래의 기판 액처리 장치에서는, 소정 농도의 처리액을 생성하기 위해, 탱크에 각 약액을 소정의 혼합 비율로 동시에 공급하여 처리액을 생성한다. 그 후, 처리액에 함유되는 파티클을 제거하기 위해, 탱크에 마련한 순환 유로를 이용하여 처리액을 소정 시간 이상 순환시켜, 순환 유로에 마련한 필터로 처리액의 청정을 행한다. 그 후, 처리액을 이용하여 기판의 액처리를 행한다(예컨대, 특허문헌 1 참조.).
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2009-172459호 공보
그런데, 상기 종래의 기판 액처리 장치에서는, 약액을 혼합하여 처리액을 생성한 후에, 처리액을 청정하고, 그 후, 처리액으로 기판을 액처리하고 있기 때문에, 약액의 혼합(처리액의 생성)부터 사용(액처리)까지의 시간이 길어진다.
그 때문에, 혼합되는 약액끼리의 화학적인 반응이나 시간적인 변화 등에 의해 약액(처리액)이 열화하거나 분해되거나 하여, 처리액으로서의 바라는 능력을 발휘할 수 없게 될 우려가 있다.
그래서, 본 발명에서는, 기판 액처리 장치에 있어서, 기판을 처리액으로 처리하는 기판 액처리부와, 상기 처리액을 저류하는 처리액 저류부와, 상기 처리액 저류부로부터 상기 기판 액처리부에 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급부와, 상기 처리액 저류부에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급부와, 상기 처리액 저류부에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급부와, 상기 처리액 저류부에 저류된 약액을 순환시키면서 청정하는 약액 청정부와, 상기 처리액 공급부와 제1 약액 공급부와 제2 약액 공급부와 약액 청정부를 제어하는 제어부를 가지고, 상기 제어부는, 상기 제1 약액 공급부로부터 상기 처리액 저류부에 상기 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정을 행하며, 그 후, 상기 제1 약액을 상기 약액 청정부에서 청정하는 제1 약액 청정 공정을 행하고, 그 후, 상기 제2 약액 공급부로부터 상기 처리액 저류부에 상기 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정을 행하며, 그 후, 제1 약액과 제2 약액을 혼합한 처리액을 상기 처리액 공급부로부터 상기 기판 액처리부에 공급하는 처리액 공급 공정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 상기 처리액 저류부에 저류된 약액을 가열하는 가열 수단을 마련하고, 상기 제어부는, 상기 제2 약액 공급 공정을 개시한 후에 상기 가열 수단을 구동시키는 것으로 하였다.
또한, 상기 제어부는, 상기 제2 약액 공급 공정과 상기 처리액 공급 공정 사이에 제1 약액과 제2 약액을 혼합하여 처리액을 생성하는 처리액 생성 공정을 행하고, 그 처리액 생성 공정의 도중에 상기 가열 수단을 구동시키는 것으로 하였다.
또한, 상기 제어부는, 상기 가열 수단을 구동시키는 타이밍을 기준으로 하여, 상기 타이밍보다 제1 소정 시간 전에 제1 약액 공급 공정을 행하며, 상기 타이밍보다 제2 소정 시간 전에 제2 약액 공급 공정을 행하고, 상기 처리액 생성 공정에서 처리액이 소정 온도에 도달하였을 때에 상기 처리액 공급 공정을 개시하는 것으로 하였다.
또한, 상기 제어부는, 상기 제2 약액 공급 공정의 개시부터 상기 처리액 공급 공정의 개시까지 동안의 시간보다 길게 상기 제1 약액 청정 공정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 상기 처리액 저류부는, 제1 및 제2 저류 탱크를 가지고, 상기 제어부는, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고 있는 동안에, 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정, 제1 약액 청정 공정, 제2 약액 공급 공정을 행하며, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정을 종료한 후에 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 상기 약액 청정부는, 상기 제1 및 제2 저류 탱크에 직결된 공통의 제1 약액 청정 유로와, 상기 제1 및 제2 저류 탱크와 상기 처리액 공급부 사이에 마련한 제2 약액 청정 유로를 가지고, 상기 제어부는, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고 있는 동안에, 상기 제1 약액 청정 유로에서 상기 제2 저류 탱크에 저류한 제1 약액의 청정을 행하며, 상기 제2 약액 청정 유로에서 상기 제1 저류 탱크에 저류한 처리액의 청정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 상기 제어부는, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정 후에, 상기 제1 저류 탱크에 저류된 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정을 행하며, 그 후, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정을 행하고, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정의 소정 시간 전에, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제2 약액 공급 공정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 본 발명에서는, 기판 액처리 방법에 있어서, 저류 탱크에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정을 행하고, 그 후, 제1 약액을 청정하는 제1 약액 청정 공정을 행하며, 그 후, 상기 저류 탱크에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정을 행하고, 그 후, 제1 약액과 제2 약액을 혼합한 처리액을 공급하는 처리액 공급 공정을 행하여 상기 처리액으로 기판을 액처리하는 것으로 하였다.
또한, 상기 제2 약액 공급 공정을 개시한 후에 상기 제1 및 제2 약액(처리액)을 가열하는 것으로 하였다.
또한, 상기 제2 약액 공급 공정과 상기 처리액 공급 공정 사이에 제1 약액과 제2 약액을 혼합하여 처리액을 생성하는 처리액 생성 공정을 행하고, 그 처리액 생성 공정 도중에 상기 처리액을 가열하는 것으로 하였다.
또한, 상기 처리액을 가열하는 타이밍을 기준으로 하여, 상기 타이밍보다 제1 소정 시간 전에 제1 약액 공급 공정을 행하며, 상기 타이밍보다 제2 소정 시간 전에 제2 약액 공급 공정을 행하고, 상기 처리액 생성 공정에서 처리액이 소정 온도에 도달하였을 때에 상기 처리액 공급 공정을 개시하는 것으로 하였다.
또한, 상기 제2 약액 공급 공정의 개시부터 상기 처리액 공급 공정의 개시까지 동안의 시간보다 길게 상기 제1 약액 청정 공정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 상기 저류 탱크로서 제1 및 제2 저류 탱크를 이용하고, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고 있는 동안에, 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정, 제1 약액 청정 공정, 제2 약액 공급 공정을 행하며, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정을 종료한 후에 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정 후에, 상기 제1 저류 탱크에 저류된 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정을 행하며, 그 후, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정을 행하고, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정의 소정 시간 전에, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제2 약액 공급 공정을 행하는 것으로 하였다.
또한, 본 발명에서는, 기판 액처리 장치에 기판의 액처리를 실행시키는 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 있어서, 저류 탱크에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정을 행하고, 그 후, 제1 약액을 청정하는 제1 약액 청정 공정을 행하며, 그 후, 상기 저류 탱크에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정을 행하고, 그 후, 제1 약액과 제2 약액을 혼합한 처리액을 공급하는 처리액 공급 공정을 행하여 상기 처리액으로 기판을 액처리시키는 것으로 하였다.
본 발명에서는, 처리액을 열화시키는 일없이 청정(파티클 제거)할 수 있어, 기판을 양호하게 액처리할 수 있다.
도 1은 기판 액처리 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 처리액 공급 기구를 나타내는 설명도이다.
도 3은 기판 액처리 장치의 동작을 나타내는 흐름도이다.
도 4는 기판 액처리 장치의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 5는 기판 액처리 장치의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 6은 기판 액처리 장치의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 7은 기판 액처리 장치의 동작을 나타내는 타이밍 차트이다.
이하에, 본 발명에 따른 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 및 기판 액처리 프로그램의 구체적인 구성에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 액처리 장치(1)는, 전단부에 반입출부(2)를 형성한다. 반입출부(2)에는, 복수매(예컨대, 25장)의 기판(3)(여기서는, 반도체 웨이퍼)을 수용한 캐리어(4)가 반입 및 반출되며, 좌우에 배열되어 배치된다.
또한, 기판 액처리 장치(1)는, 반입출부(2)의 후방부에 반송부(5)를 형성한다. 반송부(5)는, 전방측에 기판 반송 장치(6)를 배치하며, 후방측에 기판 전달대(7)를 배치한다. 이 반송부(5)에서는, 반입출부(2)에 배치된 어느 하나의 캐리어(4)와 기판 전달대(7) 사이에서 기판 반송 장치(6)를 이용하여 기판(3)을 반송한다.
또한, 기판 액처리 장치(1)는, 반송부(5)의 후방부에 처리부(8)를 형성한다. 처리부(8)는, 중앙에 앞뒤로 신연하는 기판 반송 장치(9)를 배치하며, 기판 반송 장치(9)의 좌우 양측에 기판(3)을 액처리하기 위한 기판 액처리부(10)(기판 처리 장치)를 앞뒤로 배열하여 배치한다. 이 처리부(8)에서는, 기판 전달대(7)와 각 기판 액처리부(10) 사이에서 기판 반송 장치(9)를 이용하여 기판(3)을 반송하고, 1 또는 복수의 기판 액처리부(10)를 이용하여 기판(3)의 액처리를 행한다.
이 기판 액처리 장치(1)는, 제어부(11)(컴퓨터)를 가지고 있고, 제어부(11)에 마련한 기록 매체(12)에 기록된 각종 프로그램에 따라 제어된다. 또한, 기록 매체(12)는, 각종 설정 데이터나 프로그램을 저장하고 있으며, ROM이나 RAM 등의 메모리나, 하드디스크, CD-ROM, DVD-ROM이나 플렉시블 디스크 등의 디스크형 기록 매체 등의 공지의 것으로 구성된다.
기판 액처리부(10)에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 처리액을 공급하기 위한 처리액 공급 기구(13)가 접속되어 있다.
처리액 공급 기구(13)는, 처리액을 저류하기 위한 처리액 저류부(14)를 갖는다. 이 처리액 저류부(14)는, 제1 저류 탱크(15)와 제2 저류 탱크(16)로 구성한다. 여기서는, 처리액 저류부(14)를 2개의 저류 탱크로 구성하고 있지만, 1개 또는 3개 이상의 저류 탱크로 구성할 수도 있다. 또한, 처리액으로서는, 글리콜에테르류 등의 유기 약액(수용액)을 제1 약액으로 하고, 과산화수소수를 제2 약액으로 하며, 제1 약액과 제2 약액을 소정 농도로 혼합한 혼합액을 이용하고 있다.
또한, 처리액 공급 기구(13)는, 처리액 저류부(14)에 제1 약액·제2 약액·순수를 각각 공급하기 위한 제1 약액 공급부(17)·제2 약액 공급부(18)·순수 공급부(19)를 갖는다. 제1 약액 공급부(17)는, 제1 저류 탱크(15)에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 유로(20)와, 제2 저류 탱크(16)에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 유로(21)를 갖는다. 각 제1 약액 공급 유로(20, 21)에는, 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급원(22, 23)이 유량 조정기(24, 25)를 통해 접속되어 있다. 마찬가지로, 제2 약액 공급부(18)도, 제1 저류 탱크(15)에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 유로(26)와, 제2 저류 탱크(16)에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 유로(27)를 가지고, 각 제2 약액 공급 유로(26, 27)에는, 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급원(28, 29)이 유량 조정기(30, 31)를 통해 접속되어 있다. 또한, 순수 공급부(19)도, 제1 저류 탱크(15)에 순수를 공급하는 순수 공급 유로(32)와, 제2 저류 탱크(16)에 순수를 공급하는 순수 공급 유로(33)를 가지고, 각 순수 공급 유로(32, 33)에는, 순수를 공급하는 순수 공급원(34, 35)이 유량 조정기(36, 37)를 통해 접속되어 있다. 또한, 제1 약액 공급원(22, 23)이나 제2 약액 공급원(28, 29)이나 순수 공급원(34, 35)은, 저류 탱크마다 별개의 것을 이용하여도 좋고, 1개의 공통의 것을 이용하여도 좋다.
또한, 처리액 공급 기구(13)는, 처리액 저류부(14)로부터 기판 액처리부(10)에 처리액을 공급하기 위한 처리액 공급부(38)를 갖는다. 이 처리액 공급부(38)는, 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 처리액 공급 유로(39)를 유로 전환기(40, 41)를 통해 접속하며, 처리액 공급 유로(39)를 개폐 밸브(64, 65)를 통해 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 접속하고, 처리액 공급 유로(39)를 도중에 분기하여 기판 액처리부(10)에 개폐 밸브(66, 67)를 통해 접속하고 있다. 처리액 공급 유로(39)에는, 펌프(42)와 필터(43)와 히터(44)가 순서대로 마련되어 있다. 여기서는, 처리액 공급부(38)로부터 2개의 기판 액처리부(10)에 처리액을 공급하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 처리액 공급부(38)로부터 1개 또는 3개 이상의 기판 액처리부(10)에 처리액을 공급하도록 하여도 좋다.
또한, 처리액 공급 기구(13)는, 기판 액처리부(10)로부터 처리액을 회수하기 위한 처리액 회수부(45)를 갖는다. 이 처리액 회수부(45)는, 1 또는 복수의 기판 액처리부(10)에 처리액 회수 유로(46)를 개폐 밸브(47, 48)를 통해 접속하며, 처리액 회수 유로(46)를 도중에 분기하여 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 개폐 밸브(49, 50)를 통해 접속하고 있다.
또한, 처리액 공급 기구(13)는, 제1 약액이나 제2 약액에 함유되는 파티클 등을 제거하여 약액을 청정하기 위한 약액 청정부(51)를 갖는다. 이 약액 청정부(51)는, 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 직결한 공통의 제1 약액 청정 유로(52)와, 제2 약액 청정 유로(53)를 갖는다. 제2 약액 청정 유로(53)는, 필터(43)를 교환한 후 등의 세정액에 의한 필터 세정 작업 시에, 처리액 공급 유로(39) 전체에 세정액이 유통하여, 처리액 공급 유로(39)를 오염하는 것을 막아, 필터 세정 작업 시간의 단축을 위해 유효한 유로이다. 제1 약액 청정 유로(52)는, 상류부가 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 유로 전환기(40, 41)를 통해 각각 접속되며, 도중에 펌프(54)와 필터(55)와 히터(56)가 순서대로 마련되고, 하류부가 분기되어 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 개폐 밸브(57, 58)를 통해 접속되어 있다. 제2 약액 청정 유로(53)는, 상류부가 처리액 공급 유로(39)와 겸용으로 되어 있고, 중도부에서 처리액 공급 유로(39)로부터 분기되며, 하류부가 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 개폐 밸브(59, 60)를 통해 접속되어 있다. 도시하고 있지 않지만, 처리액 공급 유로(39)와 제2 약액 청정 유로(53)의 분기부와, 기판 액처리부의 분기부와의 사이의 처리액 공급 유로(39)에 개폐 밸브를 마련하여도 좋다. 약액 청정부(51)는, 제1 약액 청정 유로(52)에 마련된 필터(55)와 제2 약액 청정 유로(53)의 처리액 공급 유로(39)와 겸용하는 부분에 마련된 필터(43)로 약액(처리액)의 청정화를 행한다. 여기서는, 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 직결한 공통의 제1 약액 청정 유로(52)를 형성하고 있지만, 제1 저류 탱크(15)와 제2 저류 탱크(16)에 각각 직결한 각각의 약액 청정 유로를 형성하도록 하여도 좋다. 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 각각 약액 청정 유로를 형성하는 것보다, 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 공통의 약액 청정 유로를 형성한 쪽이, 기판 액처리 장치(1)의 소형화나 저비용화를 도모할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 직결한 공통의 제1 약액 청정 유로(52)와, 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)와 처리액 공급부(38) 사이에 마련한 제2 약액 청정 유로(53)를 마련함으로써, 한쪽의 제1 또는 제2 저류 탱크(15, 16)로부터 청정화된 처리액을 기판 액처리부(10)에 공급 중에 제2 약액 청정 유로(53)에 청정화된 처리액을 유통시킬 수 있어, 다른쪽의 제1 또는 제2 저류 탱크(15, 16)에 있어서 제1 약액 청정 유로(52)에서 약액의 청정을 동시에 행할 수 있다.
또한, 처리액 공급 기구(13)는, 처리액을 폐기하기 위한 처리액 폐기부(61)를 갖는다. 이 처리액 폐기부(61)는, 제1 및 제2 저류 탱크(15, 16)에 드레인(62, 63)을 유로 전환기(40, 41)를 통해 접속하고 있다.
기판 액처리 장치(1)는, 이상에서 설명한 바와 같이 구성하고 있으며, 기록 매체(12)에 기록된 기판 액처리 프로그램(도 3 참조.)에 따라 이하에 설명한 바와 같이 제어부(11)가 각 부를 제어함으로써 기판(3)의 액처리를 행한다.
우선, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정(S1)을 행한다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S1)에서는, 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 유로 전환기(40)를 폐색 상태로 하며, 유량 조정기(24)를 제어하여, 미리 설정된 혼합 비율에 기초하여 소정량의 제1 약액을 제1 약액 공급원(22)으로부터 제1 저류 탱크(15)에 공급한다. 이에 의해, 제1 저류 탱크(15)에 소정량의 제1 약액이 저류된다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)에 저류한 제1 약액을 청정하는 제1 약액 청정 공정(S2)을 행한다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 청정 공정(S2)에서는, 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 유로 전환기(40)를 제1 약액 청정 유로(52)와 연통 상태로 하고, 제1 저류 탱크(15)에 연통하는 개폐 밸브(57)를 개방 상태로 하며, 제2 저류 탱크(16)에 연통하는 개폐 밸브(58)를 폐색 상태로 하여, 펌프(54)를 구동시킨다. 이에 의해, 제1 저류 탱크(15)에 저류된 제1 약액은, 제1 저류 탱크(15)와 제1 약액 청정 유로(52) 사이를 연속하여 순환되어, 필터(55)에서 파티클 등이 제거됨으로써 청정된다. 그때에, 가열 수단으로서의 히터(56)는 구동시키지 않고, 제1 약액을 저온(상온)인 채로 순환시켜, 제1 약액의 열에 의한 열화를 방지한다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정(S3)을 행한다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제2 약액 공급 공정(S3)에서는, 도 4의 (c)에 나타내는 바와 같이, 유량 조정기(30)를 제어하여, 미리 설정된 혼합 비율에 기초하여 소정량의 제2 약액을 제2 약액 공급원(28)으로부터 제1 저류 탱크(15)에 공급한다. 이에 의해, 제1 저류 탱크(15)에 앞서 저류한 소정량의 제1 약액에 더하여 소정량의 제2 약액이 저류되고, 제1 저류 탱크(15)에 저류되는 제1 약액과 제2 약액의 양은, 소정의 혼합 비율이 된다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제2 약액 공급 공정(S3)에서는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 청정 공정(S2)에 이어서, 유로 전환기(40)를 제1 약액 청정 유로(52)와 연통 상태로 하고, 제1 저류 탱크(15)에 연통하는 개폐 밸브(57)를 개방 상태로 하며, 제2 저류 탱크(16)에 연통하는 개폐 밸브(58)를 폐색 상태로 하여, 히터(56)를 구동시키지 않고 펌프(54)를 구동시키고 있다. 이에 의해, 제1 약액과 제2 약액이 저온(상온)에서 서서히 교반 혼합된다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)에 저류한 제1 약액과 제2 약액을 혼합하면서 가열하여 소정 온도의 처리액을 생성하는 처리액 생성 공정(S4)을 행한다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 생성 공정(S4)에서는, 도 4의 (d)에 나타내는 바와 같이, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제2 약액 공급 공정(S3)에 이어서, 유로 전환기(40)를 제1 약액 청정 유로(52)와 연통 상태로 하고, 제1 저류 탱크(15)에 연통하는 개폐 밸브(57)를 개방 상태로 하며, 제2 저류 탱크(16)에 연통하는 개폐 밸브(58)를 폐색 상태로 하여, 펌프(54)를 구동시킨다. 또한, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 생성 공정(S4)에서는, 히터(56)를 구동 개시시킨다. 이에 의해, 제1 약액과 제2 약액이 교반 혼합되면서 히터(56)로 가열되어, 소정 온도의 처리액이 생성된다. 또한, 가열에 의해 처리액에 함유되는 수분이나 과산화수소수가 증발하기 때문에, 유량 조정기(30, 36)를 제어하여 소정량의 제2 약액이나 순수를 제1 저류 탱크(15)에 공급하여도 좋다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)로부터 처리액을 기판 액처리부(10)에 공급하는 처리액 공급 공정(S5)을 행한다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)에서는, 도 4의 (e)에 나타내는 바와 같이, 유로 전환기(40)를 처리액 공급 유로(39)와 연통 상태로 하고, 펌프(42)와 가열 수단으로서의 히터(44)를 구동시킨다. 이에 의해, 제1 저류 탱크(15)에 저류된 처리액은, 필터(43)로 파티클 등을 제거하여 청정화한 후에 개폐 밸브(66, 67)를 통해 기판 액처리부(10)에 공급된다. 또한, 각 기판 액처리부(10)에 공급되는 유량은 각 기판 액처리부(10)에 마련된 유량 조정기로 조정된다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)에서는, 제1 저류 탱크(15)에 연통하는 개폐 밸브(59, 64)를 개방 상태로 하며, 제2 저류 탱크(16)에 연통하는 개폐 밸브(60, 65)를 폐색 상태로 하여, 일부의 처리액이 기판 액처리부(10)에 공급되지 않고 제1 저류 탱크(15)로 되돌아가도록 하고 있다. 이에 의해, 제1 저류 탱크(15)에 저류된 처리액이 제1 저류 탱크(15)와 제2 약액 청정 유로(53) 사이를 연속하여 순환되어, 필터(43)에서 파티클 등을 제거함으로써 청정되도록 하고 있다. 또한, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)에서는, 처리액 회수 유로(46)에 마련한 개폐 밸브(47, 48)를 개방 상태로 하고, 제1 저류 탱크(15)에 연통하는 개폐 밸브(49)를 개방 상태로 하며, 제2 저류 탱크(16)에 연통하는 개폐 밸브(50)를 폐색 상태로 하여, 기판 액처리부(10)로부터 처리액을 회수한다.
이상에서 설명한 바와 같이 하여 처리액을 제1 저류 탱크(15)로부터 각 기판 액처리부(10)에 공급하고, 각 기판 액처리부(10)에서 기판(3)을 처리액으로 액처리한다. 이 기판(3)의 액처리를 행하여 가면, 가열에 의해 처리액에 함유되는 수분이나 과산화수소수가 증발한다. 그래서, 처리한 기판(3)의 매수 등에 따라 유량 조정기(30, 36)를 제어하여 소정량의 제2 약액이나 순수를 제1 저류 탱크(15)에 공급한다. 또한, 기판(3)의 액처리를 행하여 가면, 제1 저류 탱크(15)에 저류한 처리액의 처리 능력이 저하하거나 저류량이 감소한다. 그래서, 기판 액처리 장치(1)에서는, 이하에 설명하는 바와 같이, 제1 저류 탱크(15)에 저류한 처리액을 폐기한 후에, 제1 저류 탱크(15)에 신규의 처리액을 보충함으로써, 제1 저류 탱크(15)의 처리액을 교환한다.
우선, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)에 저류된 처리액을 폐기한다. 그 경우, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)를 실행 중에, 제2 저류 탱크(16)에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정(S6)을 행한다. 이 제2 저류 탱크(16)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S6)은, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S1)과 동일한 제어로 되어 있고, 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 소정량의 제1 약액을 제1 약액 공급원(23)으로부터 제2 저류 탱크(16)에 공급한다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제2 저류 탱크(16)에 저류한 제1 약액을 청정하는 제1 약액 청정 공정(S7)을 행한다. 이 제2 저류 탱크(16)를 이용한 제1 약액 청정 공정(S7)은, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 청정 공정(S2)과 동일한 제어로 되어 있고, 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제2 저류 탱크(16)에 저류된 제1 약액을 제2 저류 탱크(16)와 제1 약액 청정 유로(52) 사이에서 연속하여 순환시킴으로써 필터(55)로 파티클 등을 제거한다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제2 저류 탱크(16)에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정(S8)을 행한다. 이 제2 저류 탱크(16)를 이용한 제2 약액 공급 공정(S8)은, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제2 약액 공급 공정(S3)과 동일한 제어로 되어 있고, 도 5의 (c)에 나타내는 바와 같이, 소정량의 제2 약액을 제2 약액 공급원(29)으로부터 제2 저류 탱크(16)에 공급한다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제2 저류 탱크(16)에 저류한 제1 약액과 제2 약액을 혼합하면서 가열하여 소정 온도의 처리액을 생성하는 처리액 생성 공정(S9)을 행한다. 이 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 생성 공정(S9)에서는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 생성 공정(S4)과 동일한 제어로 되어 있고, 도 5의 (d)에 나타내는 바와 같이, 제1 약액과 제2 약액을 교반 혼합하면서 히터(56)로 가열하여 소정 온도의 처리액을 생성한다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)에 저류한 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정(S10)을 행한다. 이 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 배출 공정(S10)에서는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)의 실행을 중지하고, 도 5의 (e)에 나타내는 바와 같이, 유로 전환기(40)를 드레인(62)과 연통 상태로 하여, 제1 저류 탱크(15)에 저류된 처리액을 드레인(62)을 통해 외부에 폐기한다. 이에 의해, 제1 저류 탱크(15)는, 처리액이 배출되어 빈 상태가 된다.
다음에, 기판 액처리 장치(1)는, 제2 저류 탱크(16)로부터 처리액을 기판 액처리부(10)에 공급하는 처리액 공급 공정(S11)을 행한다. 이 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)에서는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)과 동일한 제어로 되어 있고, 도 5의 (f)에 나타내는 바와 같이, 제2 저류 탱크(16)에 저류된 처리액을 기판 액처리부(10)에 공급한다.
이와 같이 하여 기판 액처리 장치(1)에서는, 제1 저류 탱크(15)에 저류한 처리액을 폐기한다. 그때에, 기판 액처리 장치(1)에서는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)을 실행 중에, 제2 저류 탱크(16)를 이용하여 제1 약액 공급 공정(S6), 제1 약액 청정 공정(S7), 제2 약액 공급 공정(S8), 처리액 생성 공정(S9)을 실행하고 있다. 그 때문에, 그 후에 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 배출 공정(S10)을 실행한 후에 즉시 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)을 실행할 수 있다. 이에 의해, 기판 액처리 장치(1)의 기판 액처리부(10)에서 기판(3)을 처리할 수 없는 시간을 단축할 수 있어, 기판 액처리 장치(1)의 작업 처리량을 향상시킬 수 있다.
기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)에 저류한 처리액을 폐기한 후에 신규의 처리액을 보충한다. 그 경우, 기판 액처리 장치(1)는, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)을 실행 중에, 도 6의 (a)∼(d)에 나타내는 바와 같이, 제1 저류 탱크(15)를 이용하여 제1 약액 공급 공정(S12), 제1 약액 청정 공정(S13), 제2 약액 공급 공정(S14), 처리액 생성 공정(S15)을 행한다. 또한, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S12), 제1 약액 청정 공정(S13), 제2 약액 공급 공정(S14), 처리액 생성 공정(S15)은, 상기 제1 약액 공급 공정(S1), 제1 약액 청정 공정(S2), 제2 약액 공급 공정(S3), 처리액 생성 공정(S4)과 동일한 제어로 되어 있다.
그 후, 기판 액처리 장치(1)는, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)의 실행을 중지하고, 도 6의 (e), (f)에 나타내는 바와 같이, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 배출 공정(S16)과 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S17)을 행한다. 이에 의해, 제2 저류 탱크(16)에 저류한 처리액을 폐기한 후에 즉시 제1 저류 탱크(15)로부터 처리액을 기판 액처리부(10)에 공급한다. 또한, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 배출 공정(S16), 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S17)은, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 배출 공정(S10), 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)과 동일한 제어로 되어 있다.
이와 같이, 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S5)을 실행 중에, 제2 저류 탱크(16)를 이용하여 제1 약액 공급 공정(S6), 제1 약액 청정 공정(S7), 제2 약액 공급 공정(S8), 처리액 생성 공정(S9)을 실행하고, 그 후, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 배출 공정(S10)을 실행하며, 그 후, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)을 실행함으로써, 제2 저류 탱크(16)에 저류하는 처리액의 교환을 행한다. 또한, 기판 액처리 장치(1)는, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)을 실행 중에, 제1 저류 탱크(15)를 이용하여 제1 약액 공급 공정(S12), 제1 약액 청정 공정(S13), 제2 약액 공급 공정(S14), 처리액 생성 공정(S15)을 실행하고, 그 후, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 배출 공정(S16)을 실행하며, 그 후, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S17)을 실행함으로써, 제1 저류 탱크(15)에 저류하는 처리액의 교환을 행한다.
그리고, 상기 기판 액처리 장치(1)는, 제1 저류 탱크(15)의 처리액 교환과 제2 저류 탱크(16)의 처리액 교환을 연속하여 교대로 행하고 있다. 이 경우에, 제2 저류 탱크(16)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S6)이나 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S12)의 실행 개시는, 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 공급 공정(S17)이나 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 공급 공정(S11)의 실행개시 후이면 좋다. 예컨대, 제1 저류 탱크(15)로부터 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정(S10)이나 제2 저류 탱크(16)로부터 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정(S16)의 실행 개시 시간을 앞서 인위적 또는 자동적으로 설정하고, 그 설정 시간보다 소정 시간(예컨대, 20시간) 전에 제2 저류 탱크(16)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S6)이나 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제1 약액 공급 공정(S12)의 실행을 개시하도록 하여도 좋다. 또한, 설정 시간보다 소정 시간(예컨대, 1시간) 전에 제2 저류 탱크(16)를 이용한 제2 약액 공급 공정(S8)이나 제1 저류 탱크(15)를 이용한 제2 약액 공급 공정(S14)의 실행을 개시하고, 그 후, 설정 시간보다 소정 시간(예컨대, 30분) 전에 제2 저류 탱크(16)를 이용한 처리액 생성 공정(S9)이나 제1 저류 탱크(15)를 이용한 처리액 생성 공정(S15)의 실행을 개시하도록 하여도 좋다. 그때에, 제2 약액 공급 공정(S8, S14)의 개시부터 처리액 공급 공정(S11, S17)의 개시까지 동안의 시간보다 길게 제1 약액 청정 공정(S7, S13)을 행하면, 제1 약액에 함유되는 파티클 등의 제거가 촉진되어, 제1 약액을 양호하게 청정할 수 있다. 또한, 제1 약액 공급 공정의 개시는, 상기한 바와 같이 설정 시간을 기준으로 하여 그 설정 시간보다 소정 시간 전에 행해지도록 설정하고, 제2 약액 공급 공정이나 처리액 생성 공정은, 제1 약액 공급 공정을 개시하는 시간을 기준으로 하여 그 제1 약액 공급 공정의 개시로부터 미리 설정한 일정 시간 경과 후(설정 시간보다 전)에 행해지도록 설정하여도 좋다.
이상에서 설명한 바와 같이, 상기 기판 액처리 장치(1)에서는, 저류 탱크(15, 16)에 제1 약액을 공급한 후에 제1 약액을 청정하고, 그 후, 저류 탱크(15, 16)에 제2 약액을 공급하여, 제1 약액과 제2 약액을 혼합하여 처리액 생성하고 있기 때문에, 처리액을 열화시키는 일없이 청정(파티클 제거)할 수 있어, 기판(3)을 양호하게 액처리할 수 있다.
또한, 상기 기판 액처리 장치(1)에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 약액 공급 공정, 제1 약액 청정 공정, 제2 약액 공급 공정, 처리액 생성 공정, 처리액 공급 공정을 순서대로 행하는 중에, 제2 약액 공급 공정을 개시한 후에(처리액 생성 공정의 도중에) 가열 수단에 의한 가열을 개시한다. 이에 의해, 제1 또는 제2 약액의 열에 의한 열화를 방지할 수 있다. 상기 기판 액처리 장치(1)에서는, 제어부(11)가 가열 수단에 의한 가열을 개시하는 타이밍을 기준으로 하여, 그 타이밍보다 제1 소정 시간 전에 제1 약액 공급 공정(제1 약액의 공급)을 개시하며, 상기 타이밍보다 제2 소정 시간 전에 제2 약액 공급 공정(제2 약액의 공급)을 개시하고, 또한, 가열 개시 후에 처리액이 소정 온도에 도달하였을 때에 처리액 공급 공정을 개시하도록 제어할 수도 있다. 이 경우에는, 제1 및 제2 약액뿐만 아니라 처리액도 필요 이상으로 가열하는 일이 없어, 제1 약액, 제2 약액, 처리액 중 어느 것에 대해서도 열에 의한 열화를 방지할 수 있으며, 제1 약액과 제2 약액의 반응을 방지할 수 있기 때문에, 기판(3)을 한층 더 양호하게 액처리할 수 있다.
또한, 처리액으로서는, 제1 약액과 제2 약액의 혼합액이면 세정액이어도 에칭액 등이어도 좋다. 또한, 제1 약액이나 제2 약액은, 1종류의 유기 약액(수용액을 포함한다.)에 한정되지 않고, 복수 종류의 유기 약액의 혼합액이어도 좋다. 제1 약액으로서는, 제2 약액보다 함유되는 파티클 등의 양이 많은 약액이거나, 시간의 경과나 제2 약액과의 반응 등에 의해 열화하기 쉬운 약액이 바람직하다.
1 기판 액처리 장치
10 기판 액처리부
11 제어부
13 처리액 공급 기구
14 처리액 저류부
15 제1 저류 탱크
16 제2 저류 탱크
17 제1 약액 공급부
18 제2 약액 공급부
51 약액 청정부

Claims (15)

  1. 기판을 처리액으로 처리하는 기판 액처리부와,
    상기 처리액을 저류하는 처리액 저류부와,
    상기 처리액 저류부로부터 상기 기판 액처리부에 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급부와,
    상기 처리액 저류부에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급부와,
    상기 처리액 저류부에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급부와,
    상기 처리액 저류부에 저류된 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액을 순환시키면서 청정하는 약액 청정부와,
    상기 처리액 공급부, 상기 제1 약액 공급부, 상기 제2 약액 공급부, 및 상기 약액 청정부를 제어하는 제어부를 가지고,
    상기 제어부는, 상기 제1 약액 공급부로부터 상기 처리액 저류부에 상기 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정과, 그 후, 상기 제1 약액을 상기 약액 청정부에서 청정하는 제1 약액 청정 공정과, 그 후, 상기 제2 약액 공급부로부터 상기 처리액 저류부에 상기 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정과, 그 후, 상기 제1 약액과 상기 제2 약액을 혼합하여 생성된 처리액을 상기 처리액 공급부로부터 상기 기판 액처리부에 공급하는 처리액 공급 공정을 실행시키는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 처리액 저류부에 저류된 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액을 가열하는 가열 수단을 마련하고, 상기 제어부는, 상기 제2 약액 공급 공정을 개시한 후에 상기 가열 수단을 구동 개시시키는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제2 약액 공급 공정과 상기 처리액 공급 공정 사이에 제1 약액과 제2 약액을 혼합하여 처리액을 생성하는 처리액 생성 공정을 실행시키고, 그 처리액 생성 공정의 도중에 상기 가열 수단을 구동 개시시키는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 가열 수단을 구동 개시시키는 타이밍을 기준으로 하여, 상기 타이밍보다 제1 소정 시간 전에 제1 약액 공급 공정을 실행시키며, 상기 타이밍보다 제2 소정 시간 전에 제2 약액 공급 공정을 실행시키고, 상기 처리액 생성 공정에서 처리액이 미리 정해진 온도에 도달하였을 때에 상기 처리액 공급 공정을 개시시키는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제2 약액 공급 공정의 개시로부터 상기 처리액 공급 공정의 개시까지 동안의 시간보다 길게 상기 제1 약액 청정 공정을 실행시키는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액 저류부는, 제1 및 제2 저류 탱크를 가지고,
    상기 제어부는, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고 있는 동안에, 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정, 제1 약액 청정 공정, 제2 약액 공급 공정을 실행시키며, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정을 종료한 후에 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 실행시키는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 약액 청정부는, 상기 제1 및 제2 저류 탱크에 접속되는 공통의 제1 약액 청정 유로와, 상기 제1 및 제2 저류 탱크에 접속되는 상기 처리액 공급부로부터 분기하여, 상기 제1 및 제2 저류 탱크에 접속하는 제2 약액 청정 유로를 가지고,
    상기 제어부는, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고 있는 동안에, 상기 제2 약액 청정 유로에 청정화된 처리액을 유통시키며,
    상기 제1 약액 청정 유로에서 상기 제2 저류 탱크에 저류된 제1 약액의 청정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 실행시키고,
    상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정 후에, 상기 제1 저류 탱크에 저류된 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정을 실행시키며, 그 후, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정을 행하고,
    상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정의 미리 정해진 시간 전에, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제2 약액 공급 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  9. 저류 탱크에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정과, 그 후, 제1 약액을 청정하는 제1 약액 청정 공정과, 그 후, 상기 저류 탱크에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정과, 그 후, 제1 약액과 제2 약액을 혼합한 처리액을 기판에 공급하는 처리액 공급 공정을 행하여 상기 처리액으로 상기 기판을 액처리하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 약액 공급 공정을 개시한 후에 상기 제1 및 제2 약액을 가열 개시하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2 약액 공급 공정과 상기 처리액 공급 공정 사이에 상기 제1 약액과 상기 제2 약액을 혼합하여 상기 처리액을 생성하는 처리액 생성 공정을 행하고, 상기 처리액 생성 공정의 도중에 상기 처리액을 가열 개시하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 처리액을 가열 개시하는 타이밍을 기준으로 하여, 상기 타이밍보다 미리 정해진 제1 소정 시간 전에 상기 제1 약액 공급 공정을 행하며, 상기 타이밍보다 미리 정해진 제2 소정 시간 전에 상기 제2 약액 공급 공정을 행하고, 상기 처리액 생성 공정에서 상기 처리액이 미리 정해진 온도에 도달하였을 때에 상기 처리액 공급 공정을 개시하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 방법.
  13. 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 약액 공급 공정의 개시로부터 상기 처리액 공급 공정의 개시까지 동안의 시간보다 긴 시간, 상기 제1 약액 청정 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 방법.
  14. 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 저류 탱크로서 제1 및 제2 저류 탱크를 이용하고, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하고 있는 동안에, 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정, 제1 약액 청정 공정, 제2 약액 공급 공정을 행하며, 상기 제1 저류 탱크를 이용한 상기 처리액 공급 공정을 종료한 후에 상기 제2 저류 탱크를 이용하여 상기 처리액 공급 공정을 행하며, 상기 제1 저류 탱크에 저류된 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정을 행하고, 그 후 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제1 약액 공급 공정을 행하며,
    상기 제1 저류 탱크를 이용한 다음번의 처리액 공급 공정의 미리 정해진 시간 전에, 상기 제1 저류 탱크를 이용하여 상기 제2 약액 공급 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 방법.
  15. 기판 액처리 장치에 기판의 액처리를 실행시키는 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 있어서,
    저류 탱크에 제1 약액을 공급하는 제1 약액 공급 공정과, 그 후, 제1 약액을 청정하는 제1 약액 청정 공정과, 그 후, 상기 저류 탱크에 제2 약액을 공급하는 제2 약액 공급 공정과, 그 후, 제1 약액과 제2 약액을 혼합한 처리액을 기판에 공급하는 처리액 공급 공정을 행하여 상기 처리액으로 상기 기판을 액처리시키는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.
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