JPH06275597A - エッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エッチング作業を中断することなく、フィル
ターの再生や交換を可能にしたエッチング装置を提供す
ること目的とする。 【構成】 エッチング液１を循環させる循環路６の中間
部を複数に分岐し、各分岐路６Ａ，６Ｂにフィルター８
Ａ，８Ｂを挿入すると共に、各分岐路６Ａ，６Ｂにフィ
ルターに付着した堆積物を除去得る薬液を供給する薬液
供給路１０Ａ，１０Ｂを設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エッチング装置に関
し、特にエッチング液を循環させて、フィルターによ
り、エッチング中の残留物を除去するようにしたエッチ
ング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエッチング装置を図２に示す。

【０００３】エッチング液１を収容するエッチング槽２
の中を隔壁３により内槽４と外槽５に分離し、外槽５の
底部５Ａより内槽４の循環する循環路６を設けると共に
循環路６の途中にエッチング液１を圧送するポンプ７と
エッチング液１に含まれる残留物を除去するフィルター
８を配置している。

【０００４】この装置のポンプ７を作動させると外槽５
のエッチング液１を内槽４に送り込み、内槽４からあふ
れ出たエッチング液１が外槽５にいくことにより、循環
が継続される。この時、フィルター８により、エッチン
グ液１中の残留物が除去され、エッチング槽２内のエッ
チング液１の洗浄度が保たれる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この装置で
は、フィルター８が目づまりすると装置を停止させ、フ
ィルターを取りはずし、新しいフィルターと交換して古
いフィルターを廃棄していた。そのためエッチング作業
が中断され、フィルターの費用も高くつくという問題が
あった。

【０００６】特にエッチング液１を図示していないが加
熱手段で高温に保ってエッチングを行う場合、例えば半
導体装置の製造工程におけるシリコン窒化膜のエッチン
グは１６０℃程度のリン酸を用いてエッチングするが循
環路では温度が低下し、エッチングされたシリコン窒化
膜がシリコン酸化物（ＳｉＯ₂ ）として析出することが
あり、したがってエッチングの残留物のみならず析出物
もフィルターを目づまりさせ、特にフィルター８の寿命
を短くしている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題の解
決を目的として、提案されたもので、エッチング液の循
環路に複数の分岐路を設け、各分岐路にそれぞれのフィ
ルターを挿入すると共に各分岐路にフィルターにつまっ
た堆積物を除去する薬液を供給する薬液供給路を設ける
こと特徴とする。

【０００８】

【作用】本発明によれば、エッチング液の循環路に複数
の分岐路を設け、各分岐路にそれぞれフィルターを挿入
すると共に、各分岐路にフィルターにつまった残留物を
除去する薬液を供給する薬液供給路を設けたから、エッ
チング装置を停止させることなく堆積物がつまったフィ
ルターを洗浄再生することができる。

【０００９】

【実施例】以下に本発明を図１から説明する。図１，図
２で同一符号は同一物を示し、説明を省略する。

【００１０】図中の相違するのは循環路６の途中に分岐
路６Ａ，６Ｂを設け、各分岐路６Ａ，６Ｂにそれぞれフ
ィルター８Ａ，８Ｂを挿入し、さらに各フィルターに薬
液供給路１０Ａ，１０Ｂを設け、各分岐路８Ａ，８Ｂお
よび薬液供給路１０Ａ，１０Ｂにバルブ９Ａ，９Ｂ，１
１Ａ，１１Ｂを設けたことである。

【００１１】１２は薬液供給路１０Ａ，１０Ｂに供給す
る薬液１３を収容した薬液槽である。１４は薬液供給路
１０Ａ，１０Ｂに供給する薬液１３を循環するポンプで
ある。

【００１２】以下にこの装置の動作を説明する。

【００１３】まず、バルブ９Ａを開き、他のバルブはす
べて閉じた状態でこのエッチング装置を動作させる。こ
れによってエッチング液は循環路６を通り、ポンプ７に
よって圧送され分岐路６Ａを経由して、一方のフィルタ
ー８Ａを通りエッチング槽２にもどる。エッチング処理
を継続すると、一方のフィルター８Ａにエッチング液内
の残留物，析出物，異物等が付着堆積して、フィルター
８Ａが目づまりをおこす。フィルター８Ａが目づまりを
起こすとエッチング液１の循環が止まり、エッチング槽
２内に残留物が滞留するため、この残留物が被エッチン
グ材に付着して、異物となりエッチング不良となる。

【００１４】図示しないが循環路に挿入した圧力計によ
ってこの様な状態になる前に他の分岐路６Ｂのバルブ９
Ｂを開き、他のフィルター８Ｂ側にエッチング液を流入
させ、一方のバルブ９Ａを閉じて、一方のフィルター８
Ａを循環路から遮断する。バルブ１１Ａを開きポンプ１
４を作動させ、堆積物を除去する薬液１３を一方のフィ
ルター８Ａに通して、目づまりそた堆積物を溶解し、除
去して一方のフィルター８Ａを正常な状態に戻す。

【００１５】次に薬液槽１２を水にかえて薬液１３を洗
浄する。その後、ポンプ１４を停止させ、バルブ１１Ａ
を閉じ、待機させる。以下、他のフィルター８Ｂが目づ
まりを生じたら、上記動作と同様にしてフィルター８Ｂ
を正常な状態にもどす。これにより、エッチング装置を
まったく停止させずにフィルターの交換および正常作業
が行える。そのため、エッチング作業の中断がなく、フ
ィルターを廃棄するという無駄もなくすことができる。

【００１６】なお、本発明は上記実施例にのみ限定され
るものではなく、例えば薬液供給路は残留物を除去する
薬液だけでなく、洗浄液を切り換え可能に供給してもよ
い。

【００１７】上記の装置による具体的なエッチング作業
の例を説明する。

【００１８】例えば、リン酸液にて窒化シリコン膜を除
去するようなエッチングの場合、主な堆積物は析出物で
あるＳｉＯ₂ なので、溶解する薬液としてはフィルター
水素水を用いることができるが、この組み合わせに限定
されるものではない。

【００１９】また、堆積物が複数種の物質である場合
は、それらを溶解する薬液をかえて複数回洗浄すればよ
い。

【００２０】上記の実施例によればエッチング液１の循
環路の圧力により、フィルターのつまりを確認して、フ
ィルターの再生洗浄を行ったが、ポンプ７の運転時間を
さだめて時間がきたら自動的に分岐路６Ａ，６Ｂを切り
換えると共にフィルター洗浄を行うように変更すること
もできる。

【００２１】以上の説明は、エッチング装置を停止する
ことなくフィルターの再生を行うことについて説明した
が、再生作業を繰り返し、ついにはフィルターを新しい
ものと交換する必要が生じた時も装置を停止することな
く変換できることは明らかである。

【００２２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、エッチン
グ装置をまったく停止させずに、再生およびフィルター
の交換が行える。そのため、エッチング作業の中断がな
く、フィルターを廃棄するという無駄もなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示すエッチング装置の配管
系統図。

【図２】 従来のエッチング装置の配管系統図。

【符号の説明】

１ エッチング液 ２ エッチング槽 ３ 隔壁 ４ 内槽 ５ 外槽 ５Ａ 外槽の底部 ６ 循環路 ６Ａ，６Ｂ 分岐路 ７ ポンプ ８Ａ，８Ｂ フィルター ９Ａ，９Ｂ バルブ １０Ａ，１０Ｂ 薬液供給路 １１Ａ，１１Ｂ バルブ １２ 薬液槽 １３ 堆積物を除去する薬液 １４ ポンプ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】エッチング装置のエッチング液を循環させ
   る循環路の途中にフィルターを挿入し、エッチング液内
   の異物を除去するようにしたエッチング装置において、
   上記循環路の中間部を複数に分岐し、各分岐路にフィル
   ターを挿入すると共に、各分岐路にフィルターに付着し
   た堆積物を除去する薬液を供給する薬液供給路を設け、
   一つの分岐路を循環路に接続した時、他の分岐路を循環
   路から分離すると共に薬液供給路に接続するようにした
   ことを特徴とするエッチング装置。
2. 【請求項２】薬液供給路に供給される液が、残留物を除
   去する薬液と洗浄液として切り換え可能にしたことを特
   徴とする請求項１のエッチング装置。
3. 【請求項３】上記エッチング液が加温した液を使用する
   ものである請求項１または２のエッチング装置。