JP2009164181A - ダイシング用基体フイルム及びダイシングフイルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含むA層を有するダイシング用基体フイルム、並びにダイシングフイルムに関する。
【選択図】なし
Description
本発明のダイシング用基体フイルムは、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含む層(A層)を少なくとも有することを特徴とする。そのため、上記A層を有する単層又は2層以上のダイシング用基体フイルムを含むものである。
(1)単層フイルム
本発明のダイシング用基体フイルムが単層の場合、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含む。
(2)多層フイルム
本発明のダイシング用基体フイルムが多層の場合、次のA層/B層からなる2層ダイシング用基体フイルムが例示されるが、これに限定されない。
A層:
A層で用いられるスチレン−共役ジエンブロック共重合体水素添加物、及びエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体としては、上記単層フイルムで記載したものが挙げられる。
B層で用いられるはゴム弾性を有する熱可塑性樹脂は、エキスパンドリングと接して一様にエキスパンドされる。該ゴム弾性を有する熱可塑性樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、エチレン−α−オレフィン共重合体である直鎖状低密度ポリエチレン若しくは超低密度ポリエチレンであって、α−オレフィンがプロピレン、ブテン−1、オクテン−1、4メチルペンテン−1、ヘキセン−1、オクテン−1である樹脂、スチレン系共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン−アクリル酸メチル共重合体(EMA)、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸ブチル共重合体、エチレン−メタアクリル酸メチル共重合体(EMMA)、エチレン−メタアクリル酸共重合体(EMAA)、エチレン−メタアクリル酸エチル共重合体、これらの樹脂の混合物等が挙げられる。これらのうち、EMA,EMAA又はEMMAが好ましく、EMAが特に好ましい。
カチオン系、ノニオン系等の公知の界面活性剤を選択できるが、とりわけ持続性,耐久性の点から、ポリエーテルエステルアミド樹脂(以下「PEEA樹脂」と表記する)、親水性ポリオレフィン樹脂(以下「親水性PO樹脂」と表記する)等のノニオン系界面活性剤が好適である。
は、前記いずれの層の樹脂とも相溶性が良く、ブリードアウトするような現象は一切ない。
A層及びB層からなる2層ダイシング用基体フイルムの厚さは、ダイシングブレードの切り込み深さよりも厚くし、且つ容易にロ−ル状に巻くことができる程度であれば良く、例えば50〜300μmであり、好ましくは60〜250μm、より好ましくは70〜200μmである。
II.ダイシング用基体フイルムの製法
本発明のダイシング用基体フイルムは、樹脂を共押出成形して製造する。具体的には、単層(A層)からなるダイシング用基体フイルムは、ビニル芳香族化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含む樹脂(A層用樹脂)を、押出成形することにより製造することができる。
III.ダイシングフイルム
上記により得られるダイシング用基体フイルムは、そのフイルム上に公知のアクリル系粘着剤をコートして粘着剤層が形成され、さらに必要に応じ該アクリル系粘着剤層(粘着剤層)上に離型フイルムが設けられて、ダイシングフイルムが製造される。つまり、ダイシング用基体フイルムのA層上に、アクリル系粘着剤層及び離型フイルムが形成される。
・スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物:クレイトンポリマージャパン株式会社製 MD6945(スチレン含有量 15重量%)
・スチレン−イソプレンブロック共重合体水素添加物:株式会社クラレ製 ハイブラー7311
・エチレン−メタアクリル酸共重合体:三井デュポンポリケミカル株式会社製 ニュクレルN1207C
・エチレン−アクリル酸メチル共重合体:アトフィナジャパン株式会社製 ロトリル9MA
・親水性PO樹脂系帯電防止剤:三洋化成株式会社製 ペレスタット230
実施例1(単層)
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物(スチレン含有量15重量%)35重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体65重量%をブレンドして原料樹脂とした。原料樹脂をバレル温度180〜220℃の押出機に投入し、230℃のTダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られたフイルムの厚さは、150μmであった。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物(スチレン含有量15重量%)95重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体5重量%をブレンドして原料樹脂とした。原料樹脂をバレル温度180〜220℃の押出機に投入し、230℃のTダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られたフイルムの厚さは、150μmであった。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物(スチレン含有量15重量%)25重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体75重量%をブレンドしてA層用樹脂とした。エチレン−アクリル酸メチル共重合体100重量%をB層用樹脂とした。A層用樹脂及びB層用樹脂をバレル温度180〜220℃の押出機にそれぞれ投入し、230℃の多層Tダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られた多層フイルムの厚さは、A層120μm、B層30μm、全体厚み150μmであった。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物(スチレン含有量15重量%)75重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体25重量%をブレンドしてA層用樹脂とした以外は、実施例2と同様にして多層フイルムを得た。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物(スチレン含有量15重量%)25重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体75重量%をブレンドしてA層用樹脂とした。エチレン−アクリル酸メチル共重合体100重量部に対して、親水性PO樹脂系帯電防止剤25重量部をブレンドしてB層用樹脂とした。A層用樹脂とB層用樹脂をバレル温度180〜220℃の押出機にそれぞれ投入し、230℃の多層Tダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られた多層フイルムの厚さは、A層120μm、B層30μm、全体厚み150μmであった。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物に代えてスチレン−イソプレンブロック共重合体水素添加物を使用した以外は、実施例4と同様にして多層フイルムを得た。得られた多層フイルムの厚さは、A層120μm、B層30μm、全体厚み150μmであった。
エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体100重量%をA層用樹脂とした。エチレン−アクリル酸メチル共重合体100重量%をB層用樹脂とした。A層用樹脂及びB層用樹脂をバレル温度180〜220℃の押出機にそれぞれ投入し、230℃の多層Tダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られた多層フイルムの厚さは、A層120μm、B層30μm、全体厚み150μmであった。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物(スチレン含有量15重量%)100重量%をA層用樹脂とした。エチレン−アクリル酸メチル共重合体100重量%をB層用樹脂とした。A層用樹脂及びB層用樹脂をバレル温度180〜220℃の押出機にそれぞれ投入し、230℃の多層Tダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られた多層フイルムの厚さは、A層120μm、B層30μm、全体厚み150μmであった。
上記実施例1〜5及び比較例1〜3で得られた多層フイルムの一部を直径180mmの大きさの円形にカットして測定用試料とし、研削装置(株式会社ディスコ製 AUTOMATIC DICING SAW DAD-2H/6)にセットし、以下の条件で基体フイルムへの切削を行い、次に試料を研削装置から取り外し、クリーンブース内で24時間常温乾燥させた後、株式会社キーエンス製デジタルマイクロスコープ(VHX−100)を用いて、倍率150倍で切削屑の有無の評価を行った。
(切削条件)
回転数:30000rpm
速度:80mm/sec
カットモード:10mm□のフルオートダイシング
カット深さ:100μm
ブレード:株式会社ディスコ製 B1A801 SDC 400N50M51(外径56mm×厚み0.2mm×内径40mm)
水量:1.2L/min
試験例2(耐ブロッキング性)
上記実施例1〜5及び比較例1〜3で得られた多層フイルムの一部を30×100mmの大きさに2枚カットしてサンプルを得た。図1に示すように、2枚のサンプルを両端部40mmの位置で重ね合わせ、その重ね合わせた部分の面積30×40mmに、50g/cm2の錘を載せ加圧する。この状態で40℃の部屋に24時間放置しておく。次にその加圧状態を解放し、両端を把持し、引張試験機(株式会社島津製作所製 タイプAGS100A)にて200mm/分の速度で引っ張る。重ね合わせた部分が離れた瞬間の強度(kg/30mm)を測定する。6kg/30mm以下であれば実用上問題のないブロッキングであるとして「○」とし、6kg/30mmを超えれば問題のあるブロッキングとして「×」とする。結果を表1にまとめた。
Claims (9)
- ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含むA層を有するダイシング用基体フイルム。
- 前記ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物のビニル芳香族炭化水素単位の含有量が5〜20重量%である請求項1に記載のダイシング用基体フイルム。
- A層/B層からなるダイシング用基体フイルムであって、A層はビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含み、B層はゴム弾性を有する熱可塑性樹脂を含む請求項1に記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記B層が前記ゴム弾性を有する熱可塑性樹脂100重量部に対しさらに帯電防止剤を10〜45重量部含む請求項3に記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記ダイシング用基体フイルムの全厚さが50〜300μmである請求項1、2、3又は4に記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記ダイシング用基体フイルムの全厚さが50〜300μmであり、A層とB層の厚さの比が20/1〜1/1である請求項3又は4に記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記請求項1〜6のいずれかに記載のダイシング用基体フイルムのA層上にさらに粘着剤層を有するダイシングフイルム。
- 単層からなるダイシング用基体フイルムの製造方法であって、ビニル芳香族化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含む樹脂を、押出成形することを特徴とする製造方法。
- A層/B層からなるダイシング用基体フイルムの製造方法であって、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含むA層用樹脂、及びゴム弾性を有する熱可塑性樹脂を含むB層用樹脂を、共押出成形することを特徴とする製造方法。
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