JP2009142865A - レーザ加工装置、レーザ加工方法及びレーザ加工装置の設定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光の光軸方向の焦点位置を調整可能なZ軸スキャナ14cと、X軸スキャナ14a、Y軸スキャナ14bを備えるレーザ光走査部9と、レーザ発振部50およびレーザ光走査部9を制御するためのレーザ駆動制御部4と、所望の加工パターンに加工する加工条件として、レーザ光出力条件と加工パターンを設定するための加工条件設定部3Cと、加工条件設定部3Cで設定されたレーザ光出力条件に基づいて発生する熱レンズ効果に起因する光軸方向の焦点位置のずれを焦点位置補正量として特定する補正量特定手段80Bとを備え、レーザ光照射時に、加工条件設定部3Cで設定された加工条件に、補正量特定手段80Bにより特定された焦点位置補正量を加味して、レーザ駆動制御部4がレーザ光を走査する。
【選択図】図11
Description
(入力部3)
(レーザ制御部1)
(レーザ励起部6)
(レーザ出力部2)
(レーザ媒質8)
(2方向励起方式)
(レーザ光走査部9)
(Z軸スキャナ14c)
(ディスタンスポインタ)
(レーザマーカのシステム構成)
(レーザ加工データ設定装置)
(演算部80)
(レーザ加工データ設定プログラム)
(加工ブロック設定手段3F)
(印字ブロックの設定一覧表)
(ディレイ動作)
(レーザ加工データの設定手順)
(デフォーカス量の設定)
(デフォーカス量の連続変化)
(設定の保存・読み込み)
(加工条件)
(熱レンズ効果補正機能)
(熱平衡状態までの遷移期間)
(デフォーカス量の重畳)
(焦点位置に応じたディレイ量制御)
(補正量特定手段80B)
(加工条件設定データの流れ)
(焦点位置補正量を決定する手順)
1…レーザ制御部;1A…コントローラ;2…レーザ出力部
3…入力部;3A…加工面プロファイル入力手段;3B…加工パターン入力手段
3C…加工条件設定部;3F…加工ブロック設定手段;
4…レーザ駆動制御部;5…メモリ部;5A…記憶部;5B…参照テーブル
5a…設定情報用メモリ;5b…基本文字線分情報用メモリ;5c…展開情報用メモリ
6…レーザ励起部;7…電源;8…レーザ媒質;9…レーザ光走査部
10…レーザ励起光源;11…レーザ励起光源集光部
12…レーザ励起部ケーシング;13…光ファイバケーブル
14a…X軸スキャナ;14b…Y軸スキャナ
14c…Z軸スキャナ;14d…ポインタ用スキャナミラー
15…集光部;16…入射レンズ;18…出射レンズ;19…Qスイッチ
50…レーザ発振部;51a、51b…ガルバノモータ
52…スキャナ駆動回路;53…ビームエキスパンダ
60…ガイド用光源;62…ハーフミラー;64…ポインタ用光源;66…固定ミラー
80…演算部;80B…補正量特定手段;80K…加工データ生成部
82…表示部;83…加工イメージ表示部;84…ヘッドイメージ表示手段
150…マーキングヘッド;180…レーザ加工データ設定装置;190…外部機器
202…編集表示欄
204…印字パターン入力欄;204a…加工種類指定欄;204b…文字入力欄
204c…詳細設定欄;204d…文字データ指定欄;204e…「印字データ」タブ
204f…「サイズ・位置」タブ;204g…「印字条件」タブ
204h…「基本設定」タブ;204i…「形状設定」タブ
204j…「詳細設定」タブ;204k…選択肢
204l…加工パラメータ設定欄;204m…デフォーカス設定欄
204n…加工パラメータ設定欄;204o…デフォーカス設定欄
204q…種別指定欄
215…「転送・読出し」ボタン;216…ブロック番号選択欄
217…ブロック一覧画面
270…編集モード表示欄;272…編集モード切替ボタン
401…印字設定の入力値;402…基本文字線分情報;403…文字座標情報
404…印字パワー・スピード等情報;405…加工後文字線分情報
406…印字時参照メモリ;407…レジスタ;408…FIFOメモリ
L、L’…レーザ光;G…ガイド光;P…ポインタ光
WK…ワーク;WS…作業領域;WM…加工対象面を示す平面;WM’…補正面
Claims (12)
- 加工対象面に対してレーザ光を照射して、所望の加工パターンに加工可能なレーザ加工装置であって、
レーザ光を発生させるためのレーザ発振部と、
前記レーザ発振部より出射されるレーザ光を作業領域内において走査させるためのレーザ光走査部として、
入射レンズと出射レンズを備え、前記レーザ発振部から照射されるレーザ光の光軸に前記入射レンズ及び出射レンズの光軸を一致させた状態で、入射レンズと出射レンズ間の相対距離をこれらの光軸に沿って変化させてレーザ光の光軸方向の焦点位置を調整可能なZ軸スキャナと、
前記Z軸スキャナを透過するレーザ光を、X軸方向及びY軸方向に走査させるためのX軸スキャナ及びY軸スキャナと、
を備えるレーザ光走査部と、
前記レーザ発振部および前記レーザ光走査部を制御するためのレーザ駆動制御部と、
所望の加工パターンに加工する加工条件として、レーザ光出力条件と加工パターンを設定するための加工条件設定部と、
前記加工条件設定部で設定されたレーザ光出力条件に基づいて発生する熱レンズ効果に起因する光軸方向の焦点位置のずれを焦点位置補正量として特定する補正量特定手段と、
を備え、
レーザ光照射時に、前記加工条件設定部で設定された加工条件に、前記補正量特定手段により特定された焦点位置補正量を加味して、前記レーザ駆動制御部がレーザ光を走査するよう構成してなることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1に記載のレーザ加工装置において、さらに、
、前記レーザ光をパルス発振させるためのQスイッチを備えており、
前記加工条件設定部が、レーザ光出力条件として、レーザパワー、前記Qスイッチの周波数又は前記QスイッチのON/OFFのデューティ比の少なくともいずれかを設定可能であり、
前記補正量特定手段が、熱レンズ効果による光軸方向の焦点位置補正量を、
前記加工条件設定部でレーザパワーが大きくなる、Qスイッチ周波数が小さくなる又はON/OFFデューティ比が大きくなる方向に設定される場合は、焦点距離が長くなると判断して焦点位置を近付ける方向に焦点位置補正量を設定し、
前記加工条件設定部でレーザパワーが小さくなる、Qスイッチ周波数が大きくなる又はON/OFFデューティ比が小さくなる方向に設定される場合は、焦点距離が短くなると判断して焦点位置を遠ざける方向に焦点位置補正量を設定するよう構成してなることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1又は2に記載のレーザ加工装置において、さらに、
熱レンズ効果による光軸方向の焦点位置補正量を、レーザ光出力条件に対応させて予め記録した補正量記憶手段を備え、
前記補正量特定手段は、設定されたレーザ光出力条件に応じた焦点位置補正量を、前記補正量記憶手段から読み出すことで特定することを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1又は2に記載のレーザ加工装置において、
前記補正量特定手段は、熱レンズ効果による光軸方向の焦点位置補正量を、予め設定された演算式に基づく演算により特定することを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から4のいずれか一に記載のレーザ加工装置において、
前記加工条件設定部が、レーザ光の焦点位置を意図的にずらしたデフォーカス量を設定可能であり、
前記補正量特定手段は、さらに設定された該デフォーカス量に基づいて熱レンズ効果による光軸方向の焦点位置補正量を特定することを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から5のいずれか一に記載のレーザ加工装置において、
前記加工条件設定部がさらに加工条件として、加工対象面の3次元形状の加工パターンを、異なる条件に一以上設定可能に構成してなることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項6に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ駆動制御部がさらに、複数の異なる加工パターンの加工に際して、前記Z軸スキャナに対して動作命令を行った後、前記Z軸スキャナが該動作命令により指示された動作を完了するまでの間、レーザ光の出力開始を待機するための遅れ時間を、レーザ光出力条件及び/又は加工パターンに基づいて設定可能に構成してなることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1から7のいずれか一に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ駆動制御部が、複数の加工パターンを異なる加工条件で設定している場合における、前段の加工パターンにおける該加工パターン及び焦点位置補正量に応じて、遅れ時間を調整することを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項5に記載のレーザ加工装置において、
前記加工条件設定部で設定される加工条件が、経過時間に関するパラメータを有しており、
前記補正量特定手段は、前記経過時間に関するパラメータに基づいて焦点位置補正量を特定することを特徴とするレーザ加工装置。 - 加工対象面に対してレーザ光を照射して、所望の加工パターンに加工可能なレーザ加工装置であって、
光源と、
レーザ光の共振器内に配置され、前記光源からの光源光で励起されてレーザ光を発生するレーザ媒質と、
前記共振器内において前記レーザ媒質から出射されるレーザ光の光軸上に配置され、前記レーザ光をパルス発振させるためのQスイッチと、
前記Qスイッチから出射されたレーザ光の焦点位置を光軸方向に調整可能な焦点位置調整手段と、
前記焦点位置調整手段から出射されたレーザ光を2次元的に走査するレーザ光2次元走査系と、
前記Qスイッチから出射されるレーザ光のパワー、前記Qスイッチの周波数ならびに前記QスイッチのON/OFFのデューティ比の少なくともいずれかを設定するための加工条件設定部と、
前記加工条件設定部の設定に基づいて、発生する熱レンズ効果による光軸方向の焦点位置のずれを焦点位置補正量として特定する補正量特定手段と、
前記補正量特定手段によって特定された焦点位置補正量に基づいて焦点位置を調整するように前記焦点位置調整手段を制御するレーザ駆動制御部と
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 加工対象面に対してレーザ光を照射して、所望の加工パターンに加工するレーザ加工方法であって、
所望の加工パターンに加工する加工条件として、Qスイッチから出射されるレーザ光のパワー、前記Qスイッチの周波数ならびに前記QスイッチのON/OFFのデューティ比の少なくともいずれかを含むレーザ光出力条件と、加工パターンを設定する工程と、
前記設定されたレーザ光出力条件に基づいて、発生する熱レンズ効果に起因する光軸方向の焦点位置のずれを焦点位置補正量として特定する工程と、
前記特定された焦点位置補正量に基づいて、前記Qスイッチから出射されるレーザ光の焦点位置を光軸方向に調整しつつ、前記設定されたレーザ光出力条件及び加工パターンに基づいてレーザ光を照射して加工を行う工程と、
を含むことを特徴とするレーザ加工方法。 - 加工対象面に対してレーザ光を照射して、所望の加工パターンに加工するレーザ加工装置の設定方法であって、
所望の加工パターンに加工する加工条件として、Qスイッチから出射されるレーザ光のパワー、前記Qスイッチの周波数ならびに前記QスイッチのON/OFFのデューティ比の少なくともいずれかを含むレーザ光出力条件と、加工パターンを設定する工程と、
前記設定されたレーザ光出力条件に基づいて、発生する熱レンズ効果に起因する光軸方向の焦点位置のずれを特定し、加工時において加工パターンに応じた焦点位置を、該焦点位置のずれを焦点位置補正量として補正するよう設定する工程と、
を含むことを特徴とするレーザ加工方法。
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