JP2009130209A - 放射線撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被写体を透過した放射線に対応した信号電荷を出力するための行列状に配置された放射線センサと該センサからの信号読み出すための電界効果型トランジスタを備えた放射線撮像素子であって、
前記電界効果型トランジスタが、少なくとも、ゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極及びドレイン電極を有し、前記活性層が少なくとも第1の領域と該第1の領域より電気伝導度が大きい第2の領域とを有し、該第2の領域が前記ゲート絶縁膜と接し、該第2の領域と前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方との間に該第1の領域が電気的に接続して配されていることを特徴とする放射線撮像素子。
【選択図】なし
Description
しかしながら、直接変換型放射線撮像素子では、ノイズが多いため高画質の画像を得るためには放射線の曝線量が増大する問題があり、改良が求められている。
しかし、従来のシリコン薄膜を用いるトランジスタの製造は、比較的高温の熱工程を要し、一般的に耐熱性の低い樹脂基板上に直接形成することは困難である。
前記電界効果型トランジスタが、少なくとも、ゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極及びドレイン電極を有し、前記活性層が少なくとも第1の領域と該第1の領域より電気伝導度が大きい第2の領域とを有し、該第2の領域が前記ゲート絶縁膜と接し、該第2の領域と前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方との間に該第1の領域が電気的に接続して配されていることを特徴とする放射線撮像素子。
<2> 前記基板上に少なくとも前記第1の領域と前記第2の領域を層状に有し、前記第2の領域の層が前記ゲート絶縁膜と接し、前記第1の領域の層が前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方と接することを特徴とする<1>に記載の放射線撮像素子。
<3> 前記第1の領域の層の膜厚が前記第2の領域の層の膜厚より厚いことを特徴とする<2>に記載の放射線撮像素子。
<4> 前記活性層において前記第1の領域と前記第2の領域の間の電気伝導度が連続的に変化していることを特徴とする<1>または<2>に記載の放射線撮像素子。
<5> 前記活性層が酸化物半導体を含有することを特徴とする<1>〜<4>のいずれかに記載の放射線撮像素子。
<6> 前記酸化物半導体が非晶質酸化物半導体であることを特徴とする<5>に記載の放射線撮像素子。
<7> 前記第2の領域の酸素濃度が前記第1の領域の酸素濃度より低いことを特徴とする<5>又は<6>に記載の放射線撮像素子。
<8> 前記酸化物半導体がIn、GaおよびZnからなる群より選ばれる少なくとも1種若しくはこれらの複合酸化物を含むことを特徴とする<5>〜<7>のいずれかに記載の放射線撮像素子。
<9> 前記酸化物半導体が前記InおよびZnを含有し、前記第1の領域のZnとInの組成比(Inに対するZnの比率Zn/Inで表す)が前記第2の領域の組成比Zn/Inより大きいことを特徴とする<8>に記載の放射線撮像素子。
<10> 前記第2の領域の電気伝導度が10-1Scm−1以上102Scm−1未満であることを特徴とする<1>〜<9>のいずれかに記載の放射線撮像素子。
<11> 前記第1の領域の電気伝導度に対する前記第2の領域の電気伝導度の比率(前記第2の領域の電気伝導度/前記第1の領域の電気伝導度)が、102以上108以下であることを特徴とする<1>〜<10>のいずれかに記載の放射線撮像素子。
<12> 前記基板が可撓性樹脂基板であることを特徴とする<1>〜<11>のいずれかに記載の放射線撮像素子。
図4は、本発明の一実施形態である放射線撮像素子の4画素部分の構成を概略的に示す断面模式図である。
放射線センサ部は、放射線に有感なセレン系アモルファス半導体膜(a−Se系半導体膜)1と、a−Se系半導体膜1の表面へ面状に積層形成されているバイアス電圧印加用の共通電極2を備えている。
発生した電荷を収集する収集電極4は、放射線検出有効エリアSA内に設定された2次元状マトリックス配列でもって表面に形成されている。
各収集電極4で収集された電荷の蓄積・読み出し用電気回路5が配設されている。
これらの要素はアクティブマトリックス基板3に配設され、a−Se系半導体膜1がアクティブマトリックス基板3の収集電極4の形成面側に積層されている。
<放射線センサ部>
本発明に係る放射線センサ部は、放射線に有感なセレン系アモルファス半導体膜と、このセレン系アモルファス半導体膜の表側に面状に広く積層形成されているバイアス電圧印加用の共通電極とを備え、共通電極にバイアス電圧が印加された状態で検出対象の放射線が入射するのに伴い放射線に有感なセレン系アモルファス半導体膜の内部に電荷が発生する。セレン系アモルファス半導体膜は大面積化適性に優れるので、広い放射線検出有効エリアが容易に確保できる。
各画素部の収集電極4下方の基板3の表面には信号出力部5が形成されている。信号出力部5は、収集電極4により収集された電荷を蓄積するコンデンサ5Aと、コンデンサ5Aに蓄積された電荷を電圧信号に変換して出力する電界効果型薄膜トランジスタ(以下、単に薄膜トランジスタまたはTFTという場合がある。)5Bより構成されている。コンデンサ5A及び薄膜トランジスタ5Bの形成された領域は、平面視において下収集電極4と重なる部分を有しており、このような構成とすることで、各画素部における信号出力部と放射線センサ部とが厚さ方向で重って配置され放射線センサ部の面積を広く配置することができる。
本発明に用いられる薄膜電界効果型トランジスタは、少なくとも、ゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極及びドレイン電極を順次有し、ゲート電極に電圧を印加して、活性層に流れる電流を制御し、ソース電極とドレイン電極間の電流をスイッチングする機能を有するアクテイブ素子である。TFT構造として、スタガ構造(トップゲート型とも呼ばれる)及び逆スタガ構造(ボトムゲート型とも呼ばれる)のいずれをも形成することができる。
好ましい態様の1つは、図1に概略断面図が示されるような基板上に少なくとも第1の領域と第2の領域を層状に有し、前記第2の領域の層がゲート絶縁膜と接し、前記第1の領域の層がソース電極及びドレイン電極と接する構造である。
また、動作安定性の観点から、第2の領域の層の膜厚が第1の領域の層の膜厚より厚いことが好ましい。
また、別の態様として、活性層において第1の領域と第2の領域の間の電気伝導度が連続的に変化している態様も好ましい。
好ましくは、第2の領域の酸素濃度が第1の領域の酸素濃度より低い。
好ましくは、活性層が酸化物半導体を含有し、該酸化物半導体がIn、GaおよびZnからなる群より選ばれる少なくとも1種若しくはこれらの複合酸化物を含む非晶質酸化物半導体である。より好ましくは、前記酸化物半導体がInおよびZnを含有し、第1の領域のZnとInの組成比(Inに対するZnの比率Zn/Inで表す)が第2の領域の組成比Zn/Inより大きい。
好ましくは、第2の領域の電気伝導度が10−1Scm−1以上102Scm−1未満である。より好ましくは、第1の領域の電気伝導度に対する第2の領域の電気伝導度の比率(第2の領域の電気伝導度/第1の領域の電気伝導度)が、102以上108以下である。
第2の領域の電気伝導度が10−4Scm−1を下まわると電界効果移動度としては高移動度が得られず、102Scm−1以上ではOFF電流が増加し、良好なON/OFF比が得られないので、好ましくない。
次に、図面を用いて、詳細に本発明における薄膜電界効果型トランジスタの構造を説明する。
図1は、本発明の薄膜電界効果型トランジスタであって、逆スタガ構造の一例を示す模式図である。基板100がプラスチックフィルムなどの可撓性基板の場合、基板100の一方の面に絶縁層106を配し、その上にゲート電極102、ゲート絶縁膜103、第2の領域104−1、第1の領域104−2を積層して有し、その表面にソース電極105−1とドレイン電極105−2が設置される。第2の領域104−1はゲート絶縁膜103に接し、第1の領域104−2はソース電極105−1およびドレイン電極105−2に接する。ゲート電極に電圧が印加されていない状態での第2の領域104−1の電気伝導度が第1の領域104−2の電気伝導度より大きくなるように、第2の領域104−1および第1の領域104−2の組成が決定される。
また、膜の電子移動度を上げるために、活性層114の酸化物半導体の電子キャリア濃度を上げると、活性層114の電気伝導度が増し、OFF電流が増加し、ON/OFF比特性は悪くなる。
1.活性層の作製
<条件1>
InGaZnO4の組成を有する多結晶焼結体をターゲットとして、RFマグネトロンスパッタ真空蒸着法により、Ar流量12sccm、O2流量0.2sccm、RFパワー200W、圧力0.4Paの条件で行った。
<条件2>
条件1と同様に、但しO2流量を0.6sccmに変更して行った。
<条件3>
条件1と同様に、但しO2流量を1.4sccmに変更して行った。
<条件4> 条件1と同様に、但しO2流量を1.5sccmに変更して行った。
<条件5>
条件1と同様に、但しO2流量を1.8sccmに変更して行った。
物性測定用サンプルの電気伝導度は、サンプルの測定されたシート抵抗と膜厚から計算し求めた。ここで、シート抵抗をρ(Ω/□)、膜厚をd(cm)とすると、電気伝導度σ(Scm−1)は、σ=1/(ρ*d)として算出される。
本実施例において、物性測定用サンプルのシート抵抗107Ω/□未満の領域ではロレスタ−GP(三菱化学社製)、シート抵抗107Ω/□以上の領域ではハイテスタ−UP(三菱化学社製)を用いて20℃の環境下で行った。物性測定用サンプルの膜厚測定には触針式表面形状測定器DekTak−6M(ULVAC社製)を用いた。
物性測定用サンプルのキャリア濃度の測定には、ResiTest8300型(東陽テクニカ社製)を用いてホール効果測定を行うことにより求めた。ホール効果測定は20℃の環境下で行った。尚、ホール効果測定を行うことにより、キャリア濃度だけではなく、キャリアのホール移動度も求めることができる。
物性測定用サンプルの組成比のRBS(ラザフォード後方散乱)分析により、組成比を求めた。
図1の構成の本発明のTFT素子1,2および比較のTFT素子1,2を作製した。
基板としては、無アルカリガラス板(コーニング社、品番NO.1737)を用いた。純水15分→アセトン15分→純水15分の順で超音波洗浄を行った前記基板上に、SnO2含有率が10質量%である酸化インジウム錫(ITO)タ−ゲット(インジウム:錫=95:5(モル比))を用いて、RFマグネトロンスパッタ(条件:成膜温度43℃、スパッタガスAr=12sccm、RFパワー40W、成膜圧力0.4Pa)により、ゲート電極としてのITO薄膜(厚み30nm)を形成した。ゲート電極ITOのパターニングには、スパッタ時にシャドウマスクを用いることにより行った。
ゲート絶縁膜:SiO2をRFマグネトロンスパッタ真空蒸着法(条件:ターゲットSiO2、成膜温度54℃、スパッタガスAr/O2=12/2sccm、RFパワー400W、成膜圧力0.4Pa)にて200nm形成し、ゲート絶縁膜を設けた。ゲート絶縁膜SiO2のパターニングには、スパッタ時にシャドウマスクを用いることにより行った。
同様にして、表2に示すようにゲート電極および基板を変更して本発明の素子3,4を作製した。
得られた各TFT素子について、飽和領域ドレイン電圧Vd=40V(ゲート電圧−20V≦Vg≦40V)でのTFT伝達特性の測定を行い、TFTの電界効果移動度およびON/OFF比を評価した。TFT伝達特性の測定は、半導体パラメータ・アナライザー4156C(アジレントテクノロジー社製)を用いて行った。
飽和領域における電界効果移動度μは、TFT伝達特性から次式で求められる。
μ=(2L/W*Cox)*(∂Id1/2/∂Vg)
ここで、Lはチャネル長、Wはチャネル幅、Coxはゲート絶縁膜の静電容量、Idはドレイン電流、Vgはゲート電圧を示す。
ON/OFF比はTFT伝達特性からドレイン電流Idにおける最大値Idmaxと最小値Idminとの比Idmax/Idminから求めた。
実施例1で作製した本発明および比較の薄膜電界効果型トランジスタを用いて図4に示す放射線撮像素子を組立て、性能を評価した。その結果、薄膜電界効果型トランジスタの性能を反映して、高いキャリア移動度と優れたON/OFF比の本発明による薄膜電界効果型トランジスタを用いた放射線撮像素子は、ノイズが少なく、高画質の放射線画像を与えた。
2:(バイアス電圧印加用の)共通電極
3:アクティブマトリックス基板
4:収集電極
5:信号出力部
5A:コンデンサ
5B:薄膜電界効果型トランジスタ
10:キャリア選択性の中間膜
SA:放射線検出有効エリア
22:ゲート電極
23:ゲート絶縁膜
24:活性層
25:ソース電極
26:ドレイン電極
31:コンデンサ下部電極
32:コンデンサ上部電極
100:TFT基板
102、122:ゲート電極
103、113、123:ゲート絶縁膜
104、114:活性層
104−1:第2の領域
104−2:第1の領域
105−1、105−21:ソース電極
105−2、105−22:ドレイン電極
106:絶縁層
107:高酸素濃度層
108:低酸素濃度層
Claims (12)
- 被写体を透過した放射線に対応した信号電荷を出力するための行列状に配置された放射線センサと該センサからの信号を読み出すための電界効果型トランジスタを備えた放射線撮像素子であって、
前記電界効果型トランジスタが、少なくとも、ゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極及びドレイン電極を有し、前記活性層が少なくとも第1の領域と該第1の領域より電気伝導度が大きい第2の領域とを有し、該第2の領域が前記ゲート絶縁膜と接し、該第2の領域と前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方との間に該第1の領域が電気的に接続して配されていることを特徴とする放射線撮像素子。 - 前記基板上に少なくとも前記第1の領域と前記第2の領域を層状に有し、前記第2の領域の層が前記ゲート絶縁膜と接し、前記第1の領域の層が前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方と接することを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像素子。
- 前記第1の領域の層の膜厚が前記第2の領域の層の膜厚より厚いことを特徴とする請求項2に記載の放射線撮像素子。
- 前記活性層において前記第1の領域と前記第2の領域の間の電気伝導度が連続的に変化していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の放射線撮像素子。
- 前記活性層が酸化物半導体を含有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の放射線撮像素子。
- 前記酸化物半導体が非晶質酸化物半導体であることを特徴とする請求項5に記載の放射線撮像素子。
- 前記第2の領域の酸素濃度が前記第1の領域の酸素濃度より低いことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の放射線撮像素子。
- 前記酸化物半導体がIn、GaおよびZnからなる群より選ばれる少なくとも1種若しくはこれらの複合酸化物を含むことを特徴とする請求項5〜請求項7のいずれか1項に記載の放射線撮像素子。
- 前記酸化物半導体が前記InおよびZnを含有し、前記第1の領域のZnとInの組成比(Inに対するZnの比率Zn/Inで表す)が前記第2の領域の組成比Zn/Inより大きいことを特徴とする請求項8に記載の放射線撮像素子。
- 前記第2の領域の電気伝導度が10-1Scm−1以上102Scm−1未満であることを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の放射線撮像素子。
- 前記第1の領域の電気伝導度に対する前記第2の領域の電気伝導度の比率(前記第2の領域の電気伝導度/前記第1の領域の電気伝導度)が、102以上108以下であることを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の放射線撮像素子。
- 前記基板が可撓性樹脂基板であることを特徴とする請求項1〜請求項11のいずれか1項に記載の放射線撮像素子。
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