JP2009129967A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板10と、基板10に設けられた端子12と、コントローラチップ30をメモリチップ20に、メモリチップ20に設けられた端子22と重ならないようにフリップチップボンディングして構成されたユニット40と、端子12と端子22とを電気的に接続するボンディングワイヤ24と、を具備した半導体装置及びその製造方法である。
【選択図】図8
Description
12、22a、22b、22c、22d 端子
14 接着剤
20a、20b、20c、20d メモリチップ
30a、30b、30c、30d コントローラチップ
40a、40b、40c、40d ユニット
50 封止樹脂
100、110、120、130 半導体装置
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上にフェースアップで搭載された第1半導体チップと、
前記第1半導体チップ上に設けられ、前記基板とボンディングワイヤで電気的に接続された第1端子と、
前記第1半導体チップ上に、前記第1端子に重ならないようにフリップチップボンディングされた第2半導体チップと、
前記第1半導体チップ上に、前記第1端子と前記第2半導体チップとに重ならないように、フェースアップで搭載された第3半導体チップと、
前記第3半導体チップ上に設けられ、前記基板とボンディングワイヤで電気的に接続された第2端子と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記第3半導体チップ上に、前記第2端子に重ならないようにフェースアップで搭載された第4半導体チップと、
前記第4半導体チップ上に設けられ、前記基板とボンディングワイヤで電気的に接続された第3端子と、
を具備することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記第4半導体チップは、前記第2半導体チップ及び前記第3半導体チップ上に搭載されていることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記第4半導体チップは、前記第1端子に重ならないように搭載されていることを特徴とする請求項2または3記載の半導体装置。
- 前記第3半導体チップの前記第2端子が設けられている部分の下、及び前記第4半導体チップの前記第3端子が設けられている部分の下には、各々前記第1半導体チップ及び前記第3半導体チップが設けられていることを特徴とする請求項2から4いずれか一項記載の半導体装置。
- 複数の前記第1端子、複数の前記第2端子及び複数の前記第3端子は、各々前記第1半導体チップの一辺、前記第3半導体チップの一辺及び前記第4半導体チップの一辺に沿って設けられていることを特徴とする請求項2から5いずれか記載の半導体装置。
- 前記基板を上面から見た場合に、前記第1半導体チップの前記複数の第1端子が設けられた一辺と、前記第4半導体チップの前記複数の第3端子が設けられた一辺とは、隣り合い並んでいることを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
- 前記基板を上面から見た場合に、前記第1半導体チップの前記複数の第1端子が設けられた一辺と前記第3半導体チップの前記複数の第2端子が設けられた一辺とは隣り合い並び、かつ前記第3半導体チップの前記複数の第2端子が設けられた一辺と前記第4半導体チップの前記複数の第3端子が設けられた一辺とは隣り合い並んでいることを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
- 第2半導体チップを第1半導体チップ上に、前記第1半導体チップ上に設けられた第1端子に重ならないようにフリップチップボンディングする工程と、
前記第1半導体チップを基板上にフェースアップで搭載する工程と、
第3半導体チップを前記第1半導体チップ上に、前記第1端子と前記第2半導体チップとに重ならないようにフェースアップで搭載する工程と、
前記第1端子、及び前記第3半導体チップ上に設けられた第2端子を、前記基板にボンディングワイヤで電気的に接続する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1端子及び前記第2端子を前記基板にボンディングワイヤで電気的に接続する工程の前に、第4半導体チップを前記第3半導体チップ上に前記第1端子と前記第2端子とに重ならないようにフェースアップで搭載する工程を有し、
前記第1端子及び前記第2端子を前記基板にボンディングワイヤで電気的に接続する工程は、前記第4半導体チップ上に設けられた第3端子を前記基板にボンディングワイヤで電気的に接続する工程を含むことを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
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