JP2009016523A - 接合膜貼付装置 - Google Patents

Abstract

【課題】接合膜貼付装置において、小型化、機構の簡素化等を図る。
【解決手段】ＡＣＦ貼付装置１は、ＡＣＦテープ供給部１２、保護シート供給部１４、加熱加圧部１３、及び弛み取り機構８１を備える。ＡＣＦテープ供給部１２のＡＣＦテープの送り方向Ａ１と保護シート供給部１４による保護シート６１の送り方向Ａ２は互いに直交している。加熱加圧部１３は、ツール５４によって保護シート６１を介してＡＣＦテープ７を加熱しつつバックアップステージ１１上の表示パネル３の貼付位置３ａに対して加圧する。弛み取り機構８１は保護シート６１の送り方向Ａ２と直交方向に対向する一対の側部間に同一方向の荷重を作用させて弛みを除去する。
【選択図】図１

Description

本発明は、被接合物を接合するための接合膜を対象物に貼り付ける接合膜貼付装置に関する。

接合膜を使用して対象物に対して被接合物を接合する工程が知られている。例えば、異方性導電膜（ＡＣＦ：Anisotropic Conductive Film Sheet）を使用して液晶表示パネル（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）、プラズマ表示パネル（Plasma Display Panel）等の基板に電子部品を実装する工程が知られている。この実装は概ね以下の工程により実行される。第１に、ＡＣＦを表示パネルに貼り付ける。第２に、電子部品をアラインメント後に表示パネル上のＡＣＦに仮圧着する。第３に、電子部品を表示パネルに本圧着する。

特許文献１には、表示パネルにＡＣＦを貼り付けるためのＡＣＦ貼付装置が開示されている。このＡＣＦ貼付装置は、ＡＣＦテープとＡＣＦテープを加熱しつつ表示パネルに対して加圧するためのツールとの間に保護シートを供給する機構を備えている。保護シートは、加熱及び加圧時にＡＣＦテープからはみ出したＡＣＦのツールへの付着を防止してツールを保護する機能と、加熱及び加圧時の平坦度を確保する機能とを有する。

しかし、特許文献１に開示されたＡＣＦ貼付装置では、ＡＣＦテープの送り方向と保護シートの送り方向が同一方向である。そのため、ＡＣＦテープの蓄積、案内、回収等を行うＡＣＦテープ供給部と保護シートの蓄積、案内、回収等を行う保護シート供給部とを同一垂直面上に設け、かつＡＣＦテープ供給部を保護シート供給部の外側に配置する必要がある。この配置により、ＡＣＦテープの送り方向のＡＣＦ貼付装置の寸法が大型化する。また、ＡＣＦテープの送り方向と保護シートの送り方向が同一であると、ＡＣＦ貼付装置の機構が複雑化すると共に、ＡＣＦテープや保護シートの交換作業が煩雑である。具体的には、ＡＣＦテープと保護シートのうちの一方を送った際に他方が引っ張られて位置ずれを生じないようにするために、比較的複雑な機構を設ける必要がある。また、接合シートや保護シートの交換の際に、両者の干渉が生じやすいので作業性が良好でない。

特許文献２には、前述の本圧着を行うための本圧着装置であってツールと仮圧着済みの電子部品との間に保護シートを介在させるものが開示されている。この本圧着装置では、電子部品を仮圧着済みのＡＣＦの上に弛ませた保護シートを載せ、その後に保護シートを介してツールによる加熱及び加圧を行う。

しかし、特許文献２の本圧着装置では、保護シートの弛みに起因して加圧中に保護シートの位置ずれが生じやすく、この保護シートの位置ずれは表示パネルに対するＡＣＦの位置ずれの原因となり、貼付位置精度が低下する。一方、特許文献１のＡＣＦ貼付装置では、ツールによる加圧時の保護シートの位置ずれを防止するために、ばね、可動アーム、チャック等の多数の要素により構成された比較的複雑な機構が設けられている。

保護シートを介してツールによるＡＣＦテープの加熱及び加圧を行う場合、ツール（通常８０℃〜１５０℃程度に加熱される。）からＡＣＦへの熱伝導が保護シートにより阻害される。ＡＣＦが所望の温度まで十分に上昇していない状態でツールによる加圧を実行すると、ＡＣＦの貼付品質が低下する。また、保護シートを介したツールからの伝熱によってＡＣＦが所望の温度に上昇するにはある程度の時間を要するため、ＡＣＦの貼付に要する時間が延びてタクトロスにつながる。しかし、特許文献１，２に記載のものを含め、従来のこの種の装置では、保護シートを使用することによる伝熱効率の低下に関して十分な考慮がなされていない。

特開２００３−１９８１９７号公報 特開平８−１８４８４７号公報

本発明は、接合膜貼付装置において、小型化、機構の簡素化、接合シートや保護シートの交換作業の作業性向上、接合膜の貼付位置精度の向上、接合膜の貼付品質やタクトの向上等を図ることを課題とする。

本発明は、対象物を支持するステージと、前記対象物に被接合物を接合するための接合膜の背面にセパレータを設けた接合シートを、交換可能かつ送り出し可能に蓄積する接合シート蓄積部を備え、前記接合シートを前記接合シート蓄積部から第１の送り方向に送って前記対象物の予め定められた部位に供給する接合シート供給部と、保護シートを交換可能かつ送り出し可能に蓄積した保護シート蓄積部を備え、前記保護シートを前記保護シート蓄積部から前記第１の送り方向と交差する第２の送り方向に送って前記接合シートの上方に供給する保護シート供給部と、前記保護シートを介してツールによって前記接合シートを加熱しつつ前記対象物に対して加圧し、前記接合膜を前記対象物に貼り付ける加熱加圧部とを備える接合膜貼付装置。

例えば、接合シートは、接合膜である異方性導電膜（ＡＦＣ）の背面にセパレータを設けたＡＣＦテープである。対象物と被接合物は、液晶表示パネル、プラズマ表示パネル等の表示パネル、ＰＣＢ（Printed Circuit Board、）及びＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）基板を含む基板、筐体、並びにＩＣ、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）、ＣＯＧ（Chip On Glass）等の電子部品、機械部品、及び光学部品を含む部品のいずれであってもよい。

保護シート供給部が保護シートを送る第２の送り方向は、接合シート供給部が接合シートを送る第１の送り方向に対して交差しており、同一方向ではない。換言すれば、第１の送り方向と第２の送り方向は同一垂直面上にない。そのため、接合シート供給部を保護シート供給部と同一垂直面上の外側に並べて配置する必要がなく、接合シート供給部と保護シート供給部は互いに異なる垂直面上に配置される。その結果、接合膜貼付装置の第１の送り方向の寸法を小型化できる。

仮に接合シートと保護シートを同方向に送る構成、すなわち第１の送り方向と第２の送り方向が同一方向となる構成であると、接合シートと保護シートのうちの一方を送った際に他方が引っ張られて位置ずれを生じないようにする機構が必要となる。しかし、本発明の接合膜貼付装置では第１の送り方向と第２の送り方向が交差しているので、かかる位置ずれ防止の機構を設ける必要がない。この点で、本発明の接合膜貼付装置では、接合シート供給部や保護シート供給部の機構を簡素化できる。

前述のように、保護シートを送る第２の送り方向が接合シートを送る第１の送り方向に対して交差しているので、接合シート供給部と保護シート供給部は互いに異なる垂直面上に配置される。そのため、接合シート蓄積部の接合シートの交換や、保護シート蓄積部の保護シートの交換の際に、接合シートと保護シートの干渉が生じにくく、使用済みの接合シートや保護シートの取り外しや、新たな接合シートや保護シートの取り付けが容易である。換言すれば、接合シートや保護シートの交換作業の作業性が良好で、容易かつ効率的にこれらの交換作業を実行できる。

第１及び第２の送り方向は、実質的に直交していることが好ましいが、必ずしも直交している必要はなく、例えば８０度から１００度程度の角度をなしていればよい。

前記保護シート供給部は、前記保護シート蓄積部として機能する、前記保護シートを巻回した保護シート供給リールと、前記加熱加圧部の前記ツールを通過した前記保護シートを回収するための保護シート巻取リールと、前記保護シート巻取リールを回転駆動して前記保護シートを予め定められた量ずつ、あるいは前記保護シート巻取リールの回転駆動角度に応じた量ずつ巻き取らせ、それによって前記保護シートを前記第２の送り方向に送る保護シート送り部と、前記保護シート供給リールから前記ツールを介して前記保護シート巻取リールまで前記保護シートを案内する保護シート案内部と、前記保護シート案内部の前記ツールよりも前記保護シート巻取リール側に配置され、前記保護シートの対向する側部間に同一方向の荷重を作用させて前記保護シートの弛みを除去する弛み取り機構とを備える。

弛み取り機構が保護シートの対向する側部間に同一方向の荷重を作用させることにより、保護シートは弛みのない状態で維持される。そのため、加熱加圧部のツールが保護シートを介して接合シートを加熱しつつ対象物に対して加圧する際に、保護シートはツールの先端に密接し、ツールの先端に対する位置ずれが生じない。その結果、対象物に対する接合膜の貼付位置精度が向上する。

前記弛み取り機構は、前記保護シート案内部の一部を構成し、下側部に前記保護シートが巻き掛けられた弛み取りローラと、回転自在、かつ両端が予め定められた範囲で互いに独立して鉛直方向に移動自在に前記弛み取りローラを保持するローラ保持構造とを備え、前記弛み取りローラの自重が前記同一方向の荷重として前記保護シートに作用する。

保護シートの両側部のうちの一方側に弛みが生じた場合、弛み取りローラの両端のうち弛みが生じた側の保護シートの側部に対応する端部が自重により下向きに変位する。その結果、保護シートの弛みが発生した側の側部に張力が作用して弛みがなくなる。換言すれば、弛み取りローラが上下に傾くことにより、自動的に弛みが吸収される。この弛み取りローラの自重を利用した弛み取り機構は、センサ等が不要で構造が簡易である。

前記弛み取り機構は、前記弛み取りローラの両端に着脱可能に取り付けられた錘体をさらに備えることが好ましい。

弛み取りローラの両端に取り付ける錐体の重量や個数を変えることにより、保護シートの両側部間に作用する荷重を調整でき、より確実に保護シートの弛みを除去できる。

ツールによる接合シートの加熱温度が保護シートの連続耐熱温度未満である場合には、前記保護シート供給部は、前記ツールの先端に前記保護シートを常時接触させることが好ましい。この構成により、保護シートは常に十分に加熱された状態に維持される。従って、加熱加圧部のツールが保護シートを介して接合シートを加熱及び加圧する際に、接合膜の温度を短時間で確実に所望の温度まで上昇させることができる。その結果、接合膜の貼付品質が向上し、タクトも向上できる。

一方、ツールによる接合シートの加熱温度が保護シートの連続耐熱温度以上である場合には、前記保護シート供給部は、前記ツールによる前記接合シートの対象物への加熱及び加圧の開始より予め定められた時間前から、この加熱及び加圧が終了するまでの間のみ前記ツールの先端に前記保護シートを接触させることが好ましい。ツールによる接合シートの加熱及び加圧よりも前に保護シートをツールに接触させておくことにより、保護シートの温度が十分に上昇した状態で加熱及び加圧を開始し、接合シートの温度を短時間で確実に所望の温度まで上昇させ、貼付品質とタクトの向上を図ることができる。一方、加熱及び加圧終了前後の保護シートはツールに対して非接触となるので、保護シートの温度が連続耐熱温度以上となるのを防止できる。

本発明の接合膜貼付装置は、接合シート供給部が接合シートを送る第１の送り方向と、保護シート供給部が保護シートを送り第２の送り方向とが交差しているので、第１の送り方向の寸法の小型化、接合シート供給部や保護シート供給部の機構を簡素化、及び接合シートや保護シートの交換作業の作業性の向上を図ることができる。

また、弛み取りローラの自重を利用した弛み取り機構を設けることにより、センサ等を使用しなくても良い簡易な構成で確実に保護シートの弛みを除去し、対象物に対する接合膜の貼付位置精度を向上できる。

さらに、保護シートをツールに対して常時接触させ、ないしはツールによる接合シートの対象物の加熱前の予め定められた時間前から保護シートをツールに対して接触させることにより、対象物に対する接合膜の貼付品質やタクトの向上を図ることができる。

次に、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態にかかるＡＣＦ貼付装置（接合膜貼付装置）１を示す。このＡＣＦ貼付装置１は、図２に示す実装設備２の一部を構成する。この実装設備２は、液晶表示パネル、あるいはプラズマ表示パネル等である表示パネル（対象物）３に電子部品を実装するためのものである。実装設備２は、ＡＣＦ貼付装置１、仮圧着装置４、本圧着装置５、及びガイドレール６ａに沿ってこれの装置に表示パネル３を順に搬送する搬送装置６を備える。ＡＣＦ貼付装置１は、表示パネル３の所定の貼付位置３ａに異方性導電膜テープ（ＡＣＦテープ）７の異方性導電膜（ＡＣＦ）７ａを貼り付ける。ＡＣＦテープ７はＡＣＦ７ａの背面にセパレータ７ｂを設けたものである（例えば図３参照）。仮圧着装置４は、ＡＣＦ貼付装置１によって表示パネル３に貼り付け済のＡＣＦ７ａに対して電子部品を位置決めし、加熱しつつ加圧して表示パネル３に仮圧着する。本圧着装置５は仮圧着装置４で仮圧着済みの電子部品をさらに加熱しつつ加圧してＡＣＦ７ａにより表示パネル３に固定する。コントローラ８は、各種センサからの入力や操作盤からの入力に基づいて、ＡＣＦ貼付装置１、仮圧着装置４、本圧着装置５、及び搬送装置６の動作を制御する。

図１、図３、及び図４を参照してＡＣＦ貼付装置１を詳細に説明する。以下の説明において、必要があるときは、ＡＣＦ貼付装置１を正面側から見たときの左右水平方向をＸ軸方向、Ｘ軸と直交する水平方向（奥行き方向）をＹ軸方向、鉛直方向をＺ軸方向と呼ぶ。

ＡＣＦ貼付装置１は、表示パネル３の貼付位置３ａの下面側を支持するバックアップステージ１１、ＡＣＦテープ供給部（接合シート供給部）１２、加熱加圧部１３、及び保護シート供給部１４を備える。

まず、ＡＣＦテープ供給部１２について説明する。ＡＣＦテープ供給部１２は、ＡＣＦテープ７をＸ軸方向に送りつつ表示パネル３の貼付位置３ａに供給する。ＡＣＦテープ供給部１２は、ＡＣＦテープ７を交換可能かつ送り出し可能に蓄積したＡＣＦテープ蓄積部２１と、ＡＣＦ７ａから剥離済みのセパレータ７ｂを回収するＡＣＦテープ回収部２２とを備える。また、ＡＣＦテープ供給部１２は、ＡＣＦテープ蓄積部２１からバックアップステージ１１（表示パネル３の貼付位置３ａ）の上方を経てＡＣＦテープ回収部２２へＡＣＦテープ７を案内するＡＣＦテープ案内部２３を備える。さらに、ＡＣＦテープ供給部１２はＡＣＦテープ案内部２３に沿ってＡＣＦテープ蓄積部２１からＡＣＦテープ回収部２２へＡＣＦテープ７を送るＡＣＦテープ送り部２４を備える。さらにまた、ＡＣＦテープ供給部１２は、貼付位置３ａの長さに応じた間隔でＡＣＦテープ７のＡＣＦ７ａに切込を形成する切断部２６と、貼付位置３ａに貼り付けられたＡＣＦ７ａからセパレータ７ｂを剥離する剥離部２７とを備える。

ＡＣＦテープ蓄積部２１は、ＡＣＦテープ７を多数回巻回したＡＣＦテープリール２８を着脱可能に装着したリール駆動軸２９を、正面から見てバックアップステージ１１の左側に位置する固定フレーム３１Ａ上に備える。このリール駆動軸２９がモータ等を備える図示しない駆動装置により回転駆動されることにより、ＡＣＦテープリール２８からＡＣＦテープ７が巻き出される。また、ＡＣＦテープ供給部１２は、固定フレーム３１Ａ上に、略同一高さで水平方向に間隔をあけて配置された一対の固定ローラ３２Ａ，３２Ｂと、これらの固定ローラ３２Ａ，３２Ｂの間に配置された鉛直方向に移動可能な可動ローラ３３を備える。可動ローラ３３の自重により固定ローラ３２Ａ，３２Ｂ間のＡＣＦテープ７が下向きに引っ張られ、ＡＣＦテープ７に張力が付与される。下流側の固定ローラ３２Ｂ付近に前述の切断部２６と、ＡＣＦテープ７の継ぎ目を検出するためセンサ３４が配置されている。

ＡＣＦテープ回収部２２は、正面から見てバックアップステージ１１の右側の固定フレーム３１Ｂ上に吸込槽３６を備える。この吸込槽３６は真空ポンプ（図示せず）に接続されており、ＡＣＦ７ａから剥離済みのセパレータ７ｂはこの吸引槽３６内に吸い込まれて回収される。

ＡＣＦテープ蓄積部２１が設けられた固定フレーム３１Ａの下側と、ＡＣＦテープ回収部２２が設けられた固定フレーム３１Ｂの下側には、それぞれ可動フレーム３７Ａ，３７Ｂが配置されている。これらの可動フレーム３７Ａ，３７Ｂは、図示しない昇降機能により相対的高さ位置を維持しつつ昇降する。ＡＣＦテープ案内部２３は、これら可動フレーム３７Ａ，３７Ｂにそれぞれ配置された固定の従動ローラである案内ローラ３８Ａ，３８Ｂを備える。案内ローラ３８Ａ，３８ＢによりＡＣＦテープ７は水平方向（Ｘ軸方向）に延び、かつＡＣＦ７ａが鉛直方向下向きとなる姿勢でバックアップステージ１１上方に案内される。

ＡＣＦテープ送り部２４は、固定フレーム３１Ｂ上の吸込槽３６付近に配置された一対の送りローラ３９Ａ，３９Ｂを備え、これら送りローラ３９Ａ，３９Ｂ間のニップ部にＡＣＦ７ａを剥離済みのセパレータ７ｂが挟み込まれている。送りローラ３９Ａ，３９Ｂは図示しない駆動機構に回転駆動され、送りローラ３９Ａ，３９Ｂの回転量に応じた量だけ、図１において矢印Ａ１で示すようにＡＣＦテープ７がバックアップステージ１１の上方でＸ軸方向に送られる。

剥離部２７は、可動フレーム３７Ｂからバックアップステージ１１の上方に向けてＸ軸方向に進退可能なスライダ４１を備える。このスライダ４１には２つの従動ローラ４２Ａ，４２Ｂが配置されており、バックアップステージ１１側の従動ローラ４２Ａの下側部と可動フレーム３７Ｂ側の従動ローラ４２Ｂの上側部にＡＣＦテープ７（セパレータ７ｂ）が巻き掛けられている。

固定フレーム３１Ｂと可動フレーム３７ＡにはＡＣＦテープ７を必要に応じて固定ないしは保持するための電動式のチャック４３Ａ，４３Ｂがそれぞれ配置されている。

次に、加熱加圧部１３について説明する。加熱加圧部１３は、バックアップステージ１１の直上に配置された貼付ヘッド５１を備え、この貼付ヘッド５１は固定のヘッドフレーム５２に設置されたヘッド駆動機構５３により鉛直方向に昇降する。貼付ヘッド５１の下端には、表示パネル３の貼付位置３ａに対応するＸ軸方向の長さを有するツール５４が装着されている。貼付ヘッド５１にはＡＣＦ７ａの貼り付けに必要な予め定められた温度にツール５４を加熱するためのヒータ５６が内蔵されている。

次に、保護シート供給部１４について説明する。保護シート供給部１４は、後述するツール５４によるＡＣＦテープ７の加熱及び加圧時にＡＣＦテープ７とツール５４の先端との間に介在するように、ＡＣＦテープ７の上方（ＡＣＦテープ７とツール５４との間）に保護シート６１を供給する。

保護シート６１には、ツール５４による加熱及び加圧時にＡＣＦテープ７からはみ出したＡＣＦ７ａの付着を防止してツール５４を保護する機能と、ツール５４による加熱及び加圧時にＡＣＦ７ａの表示パネル３に対する押圧の均一性ないしは平坦度を確保する機能とがある。保護シート６１の材質は特に限定されないが、はみ出たＡＣＦが付着しにくいこと、熱伝導性と耐熱性が良好であること、及び弾力性ないしは緩衝性に富むことが好ましい。例えば、ＡＣＦ７ａが付着しにくいポリテトラフルオルエチレン製のシート、緩衝性を有するシリコンゴム製のシート、耐熱性が高いポリイミド製のシート、又はこれらの材料からなるシートを積層した複合シートを保護シート６１として使用できる。また、保護シート６１の厚さは、選択する材料等の条件により異なるが、一般的には熱伝導性と緩衝性が両立できるように０．０５〜０．３mm程度の範囲で設定される。本実施形態では、保護シート６１の連続耐熱温度はツール５４によるＡＣＦ７ａの加熱温度を上回っている（ツール５４によるＡＣＦ７ａの加熱温度が保護シート６１の連続耐熱温度未満である。）。

保護シート供給部１４は、保護シート６１を送り出し可能かつ交換可能に蓄積した保護シート蓄積部として機能する保護シート供給リール６２から保護シート６１を巻き出し、一定方向に送りつつＡＣＦテープ７の上方に供給する。保護シート供給部１４により保護シート６１の送り方向（矢印Ａ２）は、ＡＣＦテープ供給部１２によるＡＣＦテープ７の送り方向（矢印Ａ１）に対して、同一方向ではなく直交している。保護シート６１の送り方向Ａ２は、ＡＣＦテープ７の送り方向Ａ１に対して必ずしも厳密に直交している必要はなく、実質的に直交していればよい。また、送り方向Ａ１，Ａ２は８０度から１００度程度の角度をなしていればよい。後に詳述するように、本実施形態における保護シート供給部１４は、ツール５４の先端に常時接触するように保護シート６１を供給する。

図１、図３、図４、及び図８Ａを参照すると、保護シート供給部１４は、フレームとして機能する一対の支持板６３Ａ，６３Ｂを備える。これらの支持板６３Ａ，６３Ｂは、ＡＣＦテープ７の送り方向Ａ１であるＸ軸方向に対向するように、間隔をあけて平行に配置されている。ＡＣＦ貼付装置１を正面から見ると（図１及び図３参照）、これらの支持板６３Ａ，６３Ｂは加熱加圧部１３の貼付ヘッド５１の左右両側に配置されている。また、これらの支持板６３Ａ，６３Ｂは、正面から見て加熱加圧部１３の貼付ヘッド５１よりも手前側から貼付ヘッド５１よりも奥側までＹ軸方向に延びており、支持板６３Ａ，６３Ｂ間に空間に加熱加圧部１３のツール５４が配置されている。

本実施形態では、支持板６３Ａ，６３Ｂは図示しない機構により加熱加圧部１３の貼付ヘッド５１に対して機械的に連結されており、加熱加圧部１３の貼付ヘッド５１及びツール５４に対する保護シート供給部１４の鉛直方向の位置が固定されている。

支持板６３Ａ，６３Ｂの最も奥側の位置には、供給リール保持軸６４の両端が取り付けられており、この供給リール保持軸６４に対して保護シート６１を多数回数巻回した前述の保護シート供給リール６２が回転自在かつ着脱可能に装着されている。供給リール保持軸６４の支持板６３Ａ，６３Ｂに対する位置は固定されている。

支持板６３Ａ，６３Ｂの最も手前側の位置には、保護シート巻取リール６５が着脱可能に配置されている。保護シート巻取リール６５の支持板６３Ａ，６３Ｂに対する位置は固定されている。保護シート供給リール６２から巻き出された保護シート６１は、ＡＣＦ貼付装置１の奥側から手前側へ向けてＹ軸方向に送られ、ツール５４の先端を接触状態で通過して保護シート巻取リール６５に巻き取られて回収される。本実施形態では、保護シート６１は保護シート供給リール６２の下側から巻き出され、かつ保護シート巻取リール６５の下側から巻き取られる。

保護シート供給部１４は、保護シート巻取リール６５を回転駆動して保護シート６１を予め定めた量ずつ、あるいは保護シート巻取リール６５の回転駆動角度に応じた量ずつ巻き取らせ、それによって前述のように保護シート６１を矢印Ａ２の方向（ＡＣＦテープ７の送り方向であるＸ軸方向と直交するＹ軸方向）に送る保護シート送り機構（保護シート送り部）６７を備える。

この保護シート送り機構６７は、支持板６３Ａ，６３Ｂと保護シート巻取リール６５との間に介装されたワンウェイクラッチ６８を備える。ワンウェイクラッチ６８の入力側（駆動側）と出力側（従動側）のうち出力側に保護シート巻取リール６５が連結されている。このワンウェイクラッチ６８は、矢印Ｒ１で示す巻取方向にのみ入力側から出力側（保護シート巻取リール６５）に対して回転を伝達する。ワンウェイクラッチ６８の入力側には、短円柱状の被操作部６９が設けられている。この被操作部６９の直上にはロッド７１ａが鉛直方向下向きに突出する姿勢でエアシリンダ７１が配置されている。このエアシリンダ７１の位置は支持板６３Ａ，６３Ｂに対して固定されている。また、保護シート送り機構６７はワンウェイクラッチ６８の入力側と支持板６３Ｂを連結する引張ばね７２を備える。この引張ばね７２は巻取方向Ｒ１とは反対方向にワンウェイクラッチ６８の入力側を付勢する。

エアシリンダ７１のロッド７１ａが下方にストロークするとロッド７１ａの下端面により被操作部６９が押し下げられてワンウェイクラッチ６８の入力側が巻取方向Ｒ１に回転し、この回転はワンウェイクラッチ６８から保護シート巻取リール６５に伝達される。保護シート巻取リール６５の回転により保護シート６１が巻き取られると共に、保護シート供給リール６２が従動回転して新たな保護シート６１が巻き出され、送り方向Ａ２に送られる。ロッド７１ａが上昇位置に戻ると、引張ばね７２の付勢力によりワンウェイクラッチ６８の入力側が巻取方向Ｒ１とは逆方向に回転して初期位置に戻る。１回の巻取動作による保護シート６１の巻取量及び送り量は、ロッド７１ａのストローク量により調整できる。すなわち、ロッド７１ａの１回のストローク量に対応する予め定められた量だけ保護シート６１が保護シート巻取リール６５に巻き取られ、かつ新たな保護シート６１が保護シート供給リール６２から巻き出される。本実施形態では保護シート巻取リール６５の駆動アクチュエータとしてエアシリンダ７１を採用しているが、保護シート巻取リール６５を回転駆動するモータ（図示せず）を駆動アクチュエータとして採用してもよい。

保護シート供給部１４は、保護シート供給リール６２からツール５４の先端を介して保護シート巻取リール６５まで保護シート６１を案内する保護シート案内機構（保護シート案内部）７３を備える。本実施形態における保護シート案内機構７３は、保護シート６１の送り方向Ａ２の上流側から順に２本の案内ローラ７４Ａ，７４Ｂと、１本の弛み取りローラ７６を備える。案内ローラ７４Ａ，７４Ｂと弛み取りローラ７６は、両端が支持板６３Ａ，６３Ｂに回転自在に支持されており、いずれも保護シート６１の移動に対して従動回転する。案内ローラ７４Ａ，７４Ｂの支持板６３Ａ，６３Ｂに対する位置は固定されている。弛み取りローラ７６は、後述するように支持板６３Ａ，６３Ｂに対する位置が可動である。案内ローラ７４Ｂと弛み取りローラ７６は、後述する弛み取り機構８１としても機能する。

図４及び図８Ａに明瞭に表れているように、最も保護シート６１の送り方向Ａ２の上流側に位置する案内ローラ７４Ａはツール５４に対して保護シート６１の送り方向Ａ２に隣接して配置されている。案内ローラ７４Ａの下側に保護シート６１が巻き掛けられている。この案内ローラ７４Ａと保護シート供給リール６２はツール５４の先端より上方に配置されており、ツール５４の先端に保護シート６１が接触した状態を維持するようになっている。案内ローラ７４Ｂは案内ローラ７４Ａに対して保護シート６１の送り方向Ａ２の下流側に隣接して配置されている。案内ローラ７４Ｂは案内ローラ７４Ａよりも上方に位置しており、上側に保護シート６１が巻掛けられている。弛み取りローラ７６は案内ローラ７４Ｂと保護シート巻取リール６５の間に配置されており、下側に保護シート６１が巻掛けられている。

次に、弛み取り機構８１について説明する。弛み取り機構８１は保護シート案内機構７３のツール５４より保護シート巻取リール６５側に配置されている。本実施形態における弛み取り機構８１は、前述した固定の案内ローラ７４Ｂと弛み取りローラ７６を備える。

弛み取りローラ７６は両端が支持板６３Ａ，６３Ｂに対して回転自在かつ鉛直方向に移動自在に支持されている。具体的には、支持板６３Ａ，６３ＢはＸ軸方向に対向する位置に鉛直方向に延びる溝孔（ローラ保持構造）８２Ａ，８２Ｂが設けられており、これらの溝孔８２Ａ，８２Ｂに弛み取りローラ７６の軸７６ａ（図５参照）が貫通している。溝孔８２Ａ，８２Ｂの幅は軸７６ａの外径よりも大きく設定されており、弛み取りローラ７６の軸７６ａの両端は溝孔８２Ａ，８２Ｂの長さで決まる範囲で互いに独立して鉛直方向に移動自在である。溝孔８２Ａ，８２Ｂの上端位置は、弛み取りローラ７６は保護シート６１の送り方向Ａ２の上流側に隣接して配置された案内ローラ７４Ｂより下方に位置している。

前述のように、弛み取りローラ７６の下側に保護シート６１が巻き掛けられており、かつ弛み取りローラ７６の軸７６ａの両端は溝孔８２Ａ，８２Ｂに沿って互いに独立して鉛直方向に移動自在である。そのため、図６において矢印Ｆで模式的に示すように、保護シート６１の弛み取りローラ７６に巻き掛けられている部分では、一方の側部６１ａから他方の側部６１ｂにわたって弛み取りローラ７６の自重が鉛直方向下向きの荷重（同一方向の荷重）として作用する。後に詳述するように、この弛み取りローラ７６の自重による鉛直方向下向きの荷重により、保護シート６１は弛みが除去されて弛みのない状態で維持される。

図５を参照すると、弛み取りローラ７６の軸７６ａには錐体８３を着脱可能に取り付けることができる。本実施形態では、溝孔８２Ａ，８２Ｂを介して支持板６３Ａ，６３Ｂの外側に突出している弛み取りローラ７６の軸７６ａの両端に雄ねじ部７６ｂが設けられている。一方、錐体８３には厚み方向に貫通する雌ねじ孔８３ａが形成されている。弛み取りローラ７６の軸７６ａの雄ねじ部７６ｂに錐体８３の雌ねじ孔８３ａを螺合することにより、錐体８３を軸７６ａに対して着脱可能に取り付けることができる。

次に、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１の動作を説明する。図７Ａは搬送装置６（図２参照）によりＡＣＦ貼付装置１内に搬入された表示パネル３の貼付位置３ａがバックアップステージ１１で支持され、かつＡＣＦ７ａの先端が貼付位置３ａの端部に達するまで送り方向Ａ１にＡＣＦテープ７の送り動作が実行された状態のＡＣＦテープ供給部１２を示す。このとき、加熱加圧部１３の貼付ヘッド５１は図８Ａに示すように上方位置にあり、ツール５４はＡＣＦテープ７の上方に間隔をあけて位置している。保護シート６１はツール５４の先端に接触した状態にある。

次に、ＡＣＦ７ａの貼付動作が実行される。具体的には、可動フレーム３７Ａ，３７Ｂ（図１参照）が降下することにより、図７Ａにおいて矢印Ｂで示すように、ＡＣＦテープ７の水平に延びた部分が表示パネル３の貼り付け位置へ向けて降下する。その結果、図７Ｂに示すようにＡＣＦテープ７の下面側のＡＣＦ７ａが表示パネル３の貼付位置３ａに貼り付けられる。このＡＣＦ７ａの貼付動作中は加熱加圧部１３の貼付ヘッド５１は上方位置（図８Ａ）で保持されている。

次に、ＡＣＦ７ａの加熱及び加圧動作が実行される。具体的には、図７Ｃ及び図８Ｂに示すように、ヘッド駆動機構５３により駆動された加熱加圧部１３の貼付ヘッド５１が降下し、ツール５４が保護シート６１を介してＡＣＦテープ７のＡＣＦ７ａを表示パネル３の貼付位置３ａに対して加圧する。また、加圧と同時に、ツール５４から保護シート６１を介してＡＣＦテープ７に伝わる熱より、ＡＣＦ７ａが加熱される。この加熱及び加圧によりＡＣＦ７ａが表示パネル３の貼付位置３ａに接合される。所定時間の加熱及び加圧を実行した後、ヘッド駆動機構５３が貼付ヘッド５１を上昇位置（図８Ａ）まで上昇させ、ツール５４はＡＣＦテープ７から離れる。この加熱及び加圧動作の開始から終了までの間、保護シート６１はツール５４の先端に接触した状態にある。

次に、ＡＣＦテープ７のセパレータ７ｂを剥離する動作が実行される。具体的には、図７Ｄに示すように、スライダ４１が貼付位置を横切るようにＸ軸方向に移動し、これによって貼付位置３ａに接合されたＡＣＦ７ａからセパレータ７ｂが剥離し、貼付位置３ａにはＡＣＦ７ａのみが残る。セパレータ７ｂの隔離後、スライダ４１は逆向きに移動して初期位置に戻る。この剥離動作中も、保護シート６１はツール５４の先端に接触した状態にある。剥離動作後、ＡＣＦ７ａを貼り付け済の表示パネル３が搬送装置６１によってＡＣＦ貼付装置１から搬出され、仮圧着装置４（図２参照）へ送られる。剥離動作中も保護シート６１はツール５４の先端に接触した状態にある。

以上のＡＣＦテープ７の送り動作、貼付動作、加熱及び加圧動作、及び剥離動作を予め定められた回数（例えば１０回から１５回程度）実行した後、保護シート６１の送り動作が実行される。具体的には、図８Ｃに示すように、エアシリンダ７１のロッド７１ａが１回だけ下方にストロークしてワンウェイクラッチ６８を介して保護シート巻取リール６５を回転させ、所定量の保護シート６１を巻き取る。巻き取られた量だけ保護シート６１が送り方向Ａ２に移動する。この送り動作中も保護シート６１はツール５４の先端に接触した状態にある。

次に、弛み取り機構８１による弛み取り動作について説明する。

交換等のための新たな保護シート供給リール６２の保護シート供給部へのセットの際（図４参照）、すなわち新たな保護シート供給リール６２を供給リール保持軸６４に装着し、巻き出した保護シート６１を保護シート案内機構７３を経て保護シート巻取リール６５まで配置した際、保護シート６１の２つの側部６１ａ，６１ｂに作用する張力が不均一となる場合がある。側部６１ａ，６１ｂに作用する張力が不均一であると、保護シート供給リール６２に巻回された保護シート６１の両端間で直径に差が生じる。この直径の差があると、一定角度の保護シート供給リール６２の回転に対する保護シート６１の送り出し量にも側部６１ａ，６１ｂ間で差異が生じ、側部６１，６１ｂのうち送り出し量が過大である側に弛みが生じる。１回の保護シート６１の送り量以上にたるみが成長すると、次第にツールからの垂れ量が大きくなり、貼り付け済のＡＣＦ７ａや剥離部２７のスライダ６５等の他の機構と干渉し、ＡＣＦ７ａの貼付位置精度低下の原因となる。また、本実施形態のようにツール５４の先端に接触した状態のままで保護シート６１の送り動作を実行する場合、ツール５４の先端と摩擦により保護シート６１の移動に対する抵抗は、ツール５４の幅方向に不均一となりやすい。この不均一な抵抗は保護シート６１の弛みの成長を助長する。

しかし、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１では、弛み取り機構８１の弛み取りローラ７６の自重が保護シート６１の対向する側部６１ａ，６１ｂ間に鉛直方向下向きの荷重として作用するので（図６の矢印Ｆ参照）、保護シート６１は弛みのない状態で維持される。そのため、特に前述の加熱加圧部１３によるＡＣＦ７ａの加熱及び加圧動作時に、保護シート６１がツール５４の先端に確実に密接し、保護シート６１のツール５４の先端に対する位置ずれが生じず、表示パネル３の貼付位置３ａに対するＡＣＦ７ａの貼付位置精度が向上する。

具体的には、図３及び図８Ｄを参照すると、保護シート６１の一方の側部６１ａ，６１ｂに弛みが発生した場合、弛み取りローラ７６の両端のうちの弛みが生じた側の保護シート６１の側部６１ａ，６１ｂに対応する端部が自重により下向きに変位する。その結果、保護シート６１の弛みが発生した側の側部６１ａ，６１ｂに張力が作用して弛みがなくなる。一方、弛み取りローラ７６の両端のうち弛みが生じていない側の保護シート６１の側部６１ａ，６１ｂに対応する端部は、上下方向の位置を維持する。換言すれば、弛み取りローラ７６が上下に傾くことにより、自動的に弛みが吸収される。このように本実施形態の弛み取り機構８１は弛み取りローラ７６の自重を利用して弛みを除去するものであり、センサ等が不要でも良く、構造が簡易である。

また、弛み取りローラ７６の軸７６ａの両端に取り付ける錐体８３の重量や個数を変えることにより、保護シート６１の両側部６１ａ，６１ｂ間に作用する荷重を調整でき、より確実に保護シート６１の弛みを除去できる。

前述のように、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１では、保護シート供給部１４が保護シート６１を送る送り方向Ａ２は、ＡＣＦテープ供給部１２がＡＣＦテープ７を送る送り方向Ａ１に対して同一方向ではなく直交しており、送り方向Ａ１，Ａ２は同一垂直面上にない。そのため、保護シート供給部１４をＡＣＦテープ供給部１２と同一垂直面上の外側に並べて配置する必要はなく、ＡＣＦテープ供給部１２と保護シート供給部１４は互いに異なる垂直面上に配置される。具体的には、ＡＣＦテープ供給部１２がＸ軸方向に拡がる垂直面上に配置され、保護シート供給部１４はＹ軸方向に拡がる垂直面上に配置される。その結果、ＡＣＦ貼付装置１のＡＣＦテープ７の送り方向Ａ１（Ｘ軸方向）の寸法を小型化できる。

仮にＡＣＦテープ７と保護シート６１を同方向に送る構成（送り方向Ａ１，Ａ２が同方向）であると、ＡＣＦテープ７と保護シート６１のうちの一方を送った際に他方が引っ張られて位置ずれを生じないようにする機構が必要となる。しかし、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１では、送り方向Ａ１，Ａ２が直交しているので、かかる位置ずれ防止の機構を設ける必要がない。この点で、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１では、ＡＣＦテープ供給部１２や保護シート供給部１４の機構を簡素化できる。

また、ＡＣＦテープ７と保護シート６１の送り方向Ａ１，Ａ２が直交し、ＡＣＦテープ供給部１２と保護シート供給部１４が互いに異なる垂直面上に配置されるので、ＡＣＦテープ７（ＡＣＦテープリール２８）の交換や、保護シート６１（保護シート供給リール６２）の交換の際に、ＡＣＦテープ７と保護シート６１の干渉が生じにくく、使用済みのＡＣＦテープリール２８や保護シート供給リール６２の取り外しや、新たなＡＣＦテープリール２８や保護シート供給リール６２の取り付けが容易である。従って、ＡＣＦテープ７や保護シート６１の交換作業の作業性が良好で、容易かつ効率的にこれらの交換作業を実行できる。

前述のように本実施形態のＡＣＦ貼付装置１では、ツール５４の先端に保護シート６１を常時接触させているので、保護シート６１を常に十分に加熱された状態に維持できる。従って、ツール５４が保護シート６１を介してＡＣＦテープ７を加熱及び加圧する際に、ＡＣＦ７ａの温度を短時間で確実に所望の温度まで上昇させることができる。その結果、ＡＣＦ７ａの貼付品質が向上し、タクトも向上できる。

（第２実施形態）
第１実施形態では、前述のようにツール５４によるＡＣＦ７ａの加熱温度は保護シート６１の連続耐熱温度未満である。しかし、本実施形態では、ツール５４によるＡＣＦ７ａの加熱温度が保護シート６１の連続耐熱温度以上の場合である（保護シート６１の連続耐熱温度はツール５４によるＡＣＦ７ａの加熱温度以下）。従って、第１実施形態のように保護シート６１を常時ツール５４の先端に接触させておくと、保護シート６１の温度が連続耐熱温度以上に上昇するおそれがある。そこで、本実施形態では、保護シート６１がツール５４に接触した状態にある時間を制限している。

図９Ａ及び図９Ｂに模式的に示すように、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１は保護シート供給部１４を加熱加圧の貼付ヘッド５１に対して相対的に昇降させる昇降機構８４を備える。

図９Ａ及び図１０Ａに示すように、ＡＣＦテープ７の送り動作中の保護シート供給部１４は保護シート６１がツール５４の先端に対して間隔をあけて下方に位置するように、貼付ヘッド５１に対する相対的な高さ位置が設定されている。また、図１０Ｂに示すように、ＡＣＦテープ７の水平に延びた部分が表示パネル３の貼付位置３ａへ降下中でＡＣＦ７ａのツール５４による加熱及び加圧前の動作中も、保護シート６１はツール５４の先端に対して間隔をあけて下方に位置している。

加熱加圧部１３によるＡＣＦ７ａの加圧及び加熱の開始より予め定められた時間前になると、図９Ｂ及び図１０Ｃに示すように昇降機構８４により保護シート供給部１４は貼付ヘッド５１に対して相対的に高さ位置が移動し、保護シート６１がツール５４の先端に接触した状態となる。続いて、図１０Ｄに示すように、貼付ヘッド５１が保護シート供給と共に降下し、ツール５４よって保護シート６１を介してＡＣＦ７ａが表示パネル３の貼付位置３ａに対して加圧しつつ加熱される。所定時間の加熱及び加圧を実行した後、貼付ヘッド５１が上昇してツール５４がＡＣＦテープ７から離れると、昇降機構８４により保護シート供給部１４は、貼付ヘッド５１に対して相対的に高さ位置が移動し、保護シート６１はツール５４の先端から下方側に離れる。

このように、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１では、ＡＣＦテープ７の表示パネル３への加熱及び加圧の開始より予め定められた時間前から、この加熱及び加圧が終了するまでの間のみツール５４の先端に保護シート６１を接触させている。

図１１はＡＣＦ７ａの加熱及び加圧動作の実行前から実行中の保護シート６１の温度を模式的に示している。図において時刻ｔ２から時刻ｔ２’まで加熱及び加圧動作が実行され、時刻ｔ２より予め定められた時間Δｔだけ前の時刻ｔ１に保護シート６１がツール５４との接触を開始する。温度ＴａはＡＣＦ７ａの貼付温度であり、この貼付温度Ｔａの±δＴの範囲で十分な貼付品質でＡＣＦ７ａの貼り付けが可能である。この図１１に示すように、ツール５４によるＡＣＦ７ａの加熱及び加圧よりも前に保護シート６１をツール５４に接触させておくことにより、貼付品質が確保される温度まで保護シート６１が加熱された状態でＡＣＦ７ａの加熱及び加圧を開始できる。その結果、ＡＣＦ７ａの温度を短時間で確実に所望の温度まで上昇させることができタクトの向上（貼付に要する時刻ｔ２〜ｔ２’間の時間の短縮）と、貼付品質の向上を図ることができる。一方、加熱及び加圧終了後の保護シート６１はツール５４に対して非接触となるので、保護シートの温度が連続耐熱温度以上となるのを防止できる。

第２実施形態のその他の構成及び作用は第１実施形態と同様である。

本発明は前記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、ＡＣＦテープ供給部１２、保護シート供給部１４、加熱加圧部１３、及び弛み取り機構８１の具体的な構造は実施形態のものに限定されず、同一ないしは同様の機能を有する他の構造を作用できる。

また、本発明は、ＡＣＦテープ以外の他の接合シートが備える接合膜を対象物に貼り付ける場合にも適用できる。また、接合膜を貼り付ける対象物や、対象物に貼り付けた接合膜により対象物に対して接合される被接合物は、液晶表示パネル、プラズマ表示パネル等の表示パネル、ＰＣＢ（Printed Circuit Board、）及びＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）基板を含む基板、筐体、並びにＩＣ、、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）、ＣＯＧ（Chip On Glass）等の電子部品、機械部品、及び光学部品を含む部品のいずれであってもよい。

本発明の第１実施形態にかかるＡＣＦ貼付装置の前面側から見た斜視図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置を備える実装設備のブロック図。 図１のＡＣＦ貼付装置の正面図。 保護シート供給部の斜視図。 弛み取りローラの端部を示す部分斜視図。 弛み取りローラの機能を説明するための模式的な斜視図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（ＡＣＦテープ送り時）の部分正面図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（ＡＣＦテープ貼付時）の部分正面図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（加熱及び加圧時）の部分正面図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（セパレータ剥離時）の部分正面図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（加熱及び加圧前）の模式的な部分右側面図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（加熱及び加圧時）の模式的な部分右側面図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（保護シート送り時）の模式的な部分右側面図。 第１実施形態のＡＣＦ貼付装置（保護シートの弛み取り時）の模式的な部分右側面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置（加圧前）の模式的な部分右側面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置（加圧時）の模式的な部分右側面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置（ＡＣＦテープ貼付時）の模式的な部分正面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置（ＡＣＦテープ降下時）の模式的な部分正面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置（ツールと保護シートの接触開始時）の模式的な部分正面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置（加熱及び加圧時）の模式的な部分正面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置（セパレータ剥離時）の模式的な部分正面図。 第２実施形態のＡＣＦ貼付装置における保護シートの温度上昇を模式的に示す線図。

符号の説明

１ ＡＣＦ貼付装置
２ 実装設備
３ 表示パネル
３ａ 貼付位置
４ 仮圧着装置
５ 本圧着装置
６ 搬送装置
６ａ ガイドレール
７ ＡＣＦテープ
７ａ ＡＣＦ
７ｂ セパレータ
８ コントローラ
１１ バックアップステージ
１２ ＡＣＦテープ供給部
１３ 加熱加圧部
１４ 保護シート供給部
２１ ＡＣＦテープ蓄積部
２２ ＡＣＦテープ回収部
２３ ＡＣＦテープ案内部
２４ ＡＣＦテープ送り部
２６ 切断部
２７ 剥離部
２８ ＡＣＦテープリール
２９ リール駆動軸
３１Ａ，３１Ｂ 固定フレーム
３２Ａ，３２Ｂ 固定ローラ
３３ 可動ローラ
３４ センサ
３６ 吸込槽
３７Ａ，３７Ｂ 可動フレーム
３８Ａ，３８Ｂ 案内ローラ
３９Ａ，３９Ｂ 送りローラ
４１ スライダ
４２Ａ，４２Ｂ 従動ローラ
４３Ａ，４３Ｂ チャック
５１ 貼付ヘッド
５２ ヘッドフレーム
５３ ヘッド駆動機構
５４ ツール
５６ ヒータ
６１ 保護シート
６１ａ，６１ｂ 側部
６２ 保護シート供給リール
６３Ａ，６３Ｂ 支持板
６４ 供給リール保持軸
６５ 保護シート巻取リール
６７ 保護シート送り機構
６８ ワンウェイクラッチ
６９ 被操作部
７１ エアシリンダ
７１ａ ロッド
７２ 引張ばね
７３ 保護シート案内機構
７４Ａ，７４Ｂ 案内ローラ
７６ 弛み取りローラ
７６ａ 軸
７６ｂ 雄ねじ部
８１ 弛み取り機構
８２Ａ，８２Ｂ 溝孔
８３ 錐体
８３ａ 雌ねじ孔
８４ 昇降機構

Claims (7)

1. 対象物（３）を支持するステージ（１１）と、
   前記対象物に被接合物を接合するための接合膜（７ａ）の背面にセパレータ（７ｂ）を設けた接合シート（７）を、交換可能かつ送り出し可能に蓄積する接合シート蓄積部（２１）を備え、前記接合シートを前記接合シート蓄積部から第１の送り方向（Ａ１）に送って前記対象物の予め定められた部位に供給する接合シート供給部（１２）と、
   保護シート（６１）を交換可能かつ送り出し可能に蓄積した保護シート蓄積部（１４）を備え、前記保護シートを前記保護シート蓄積部から前記第１の送り方向と交差する第２の送り方向（Ａ２）に送って前記接合シートの上方に供給する保護シート供給部（１４）と、
   前記保護シートを介してツール（５４）によって前記接合シートを加熱しつつ前記対象物に対して加圧し、前記接合膜を前記対象物に貼り付ける加熱加圧部（１３）と
   を備える接合膜貼付装置。
2. 前記接合シートは前記接合膜として異方性導電膜（７ａ）を備える異方性導電膜テープ（７）である、請求項１に記載の接合膜貼付装置。
3. 前記保護シート供給部は、
   前記保護シート蓄積部として機能する、前記保護シートを巻回した保護シート供給リール（６２）と、
   前記加熱加圧部の前記ツールを通過した前記保護シートを回収するための保護シート巻取リール（６５）と、
   前記保護シート巻取リールを回転駆動して前記保護シートを予め定められた量ずつ、あるいは前記保護シート巻取リールの回転駆動角度に応じた量ずつ巻き取らせ、それによって前記保護シートを前記第２の送り方向に送る保護シート送り部（６７）と、
   前記保護シート供給リールから前記ツールを介して前記保護シート巻取リールまで前記保護シートを案内する保護シート案内部（７３）と、
   前記保護シート案内部の前記ツールよりも前記保護シート巻取リール側に配置され、前記保護シートの対向する側部（６１ａ，６１ｂ）間に同一方向の荷重を作用させて前記保護シートの弛みを除去する弛み取り機構（８１）と
   を備える、請求項１又は請求項２に記載の接合膜貼付装置。
4. 前記弛み取り機構は、
   前記保護シート案内部の一部を構成し、下側部に前記保護シートが巻き掛けられた弛み取りローラ（７６）と、
   回転自在、かつ両端が予め定められた範囲で互いに独立して鉛直方向に移動自在に前記弛み取りローラを保持するローラ保持構造と
   を備え、
   前記弛み取りローラの自重が前記同一方向の荷重として前記保護シートに作用する、請求項３に記載の接合膜貼付装置。
5. 前記弛み取り機構は、
   前記弛み取りローラの両端に着脱可能に取り付けられた錘体（８３）をさらに備える、請求項４に記載の接合膜貼付装置。
6. 前記保護シート供給部は、前記ツールの先端に前記保護シートを常時接触させる、
   請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の接合膜貼付装置。
7. 前記保護シート供給部は、前記ツールによる前記接合シートの対象物への加熱及び加圧の開始より予め定められた時間前から、この加熱及び加圧が終了するまでの間のみ前記ツールの先端に前記保護シートを接触させる、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の接合膜貼付装置。

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