JP4037649B2 - 加圧装置 - Google Patents
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Description
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【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマ表示パネル基板(PDP基板基板)、液晶表示基板(LCD基板)等の部品に対して、異方性導電性フィルムテープ(ACFテープ)を含む接合シート、フレキシブルプリント基板(FPC基板)を含むフィルム状部品等の部品を加圧するための、加圧装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
PDP基板やLCD基板等の板状部品に対してFPC基板等のフィルム部品を実装する部品実装装置は、ACF貼付部、仮圧着部、及び本圧着部を備えている。ACF貼付部では、板状部品に異方性導電性フィルムテープ(ACFテープ)の異方性導電性フィルム層(ACF層)が貼り付けられる。仮圧着部では、フィルム状部品が板状部品に対して位置決めされた後、ACF層により板状部品に仮圧着される。本圧着部では、フィルム状部品が板状部品に対して固定される。
【0003】
図26に示すように、ACF貼付部では、ステージ1に載置された板状部品3に対してACFテープ5が供給される。ACFテープ5は被覆層(図示せず)が予め引き剥がれ、露出したACF層5aが板状部品3に対向している。また、ACFテープ5の図において左側にはACF層5aのみを切断して基材層5bを残した切込線6が設けられ、この切込線6がツール7の図において左側の縁部7aと対応している。ツール7にはACFテープ5の基材層5bと当接する部分に、シリコン等の弾力性を有する材料からなる被覆層8が設けられている。また、ツール7を加熱するためのヒータが設けられている。ツール7により板状部品3に対してACF層5aが加熱状態で加圧され、それによってACF層5aが板状部品3に貼り付けられる。ツール7が上昇してステージ1から退避した後、図示しない剥離機構により基材層5bが板状部品3から引き剥がされ、ACF層5aのみが板状部品3上に残る。
【0004】
上記本圧着部は、仮圧着部でフィルム状部品を仮圧着済みの板状部品が載置されるステージと、フィルム状部品を板状部品に加圧するためのツールとを備えている。ACF貼付部のツールと同様に、本圧着部のツールにも、加圧力の分布の均一化を図るために弾力性を有する材料からなる被覆層が設けられている。また、ツールはヒータを備えており、加熱状態で板状部品に対してフィルム状部品を加圧する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ACF貼付部では、ACF層5aの貼り付け作業を繰り返す間に、熱及び圧力の影響で劣化した被覆層8がツール7から剥離する。この被覆層8の剥離が生じると、ACF層5aに作用する加圧力の分布が不均一となり、板状部品3に対してACF層5aを正確に貼り付けることができない。上記ツール7の縁部7aでは加圧時に応力集中が生じるため、特に被覆層8が剥離しやすい。縁部7aにおける被覆層8の剥離が生じると、図27に示すように、切込6の近傍でACF層5aが裂け、裂けた部分9が切込線6からはみ出ることがある。また、ツール7によるACF層5aの貼り付けを繰り返す間に、基材層5bからはみ出したACF層5aのバインダを構成する材料等のダストがツール7に付着する。このダストも適切なACF層5aの貼り付けを阻害する。
【0006】
ACF貼付部の場合と同様に、本圧着部でも板状部品に対するフィルム状部品の本圧着を繰り返すことにより、ツールからの被覆層の剥離や、ACF層を構成する材料等のダストの付着が発生し、板状部品に対するフィルム状部品の正確な固定を阻害する原因となる。
【0007】
被覆層の剥離やダストの付着が生じた場合のツール交換には、いくつかの問題がある。まず、ツールを交換するには、部品実装装置の運転を停止して、作業者が手で取り扱うことができる程度にツールの温度が低下するまで待つ必要がある。また、交換後にツールとステージの平行度を高精度で調節する必要があり、この調節は煩雑で長時間を要する。さらに、PDP基板用の大型の部品実装装置では、部品実装装置内に作業者が入ってツールの交換作業を実行する必要があり、煩雑である。
【0008】
そこで、本発明は部品実装装置のACF貼付部や本圧着部のようなツールにより一つの部品を他の部品に対して加圧する加圧装置において、ツールの交換頻度を大幅に低減しつつ、高精度の加圧を実行可能とすることを課題としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、第1の部品上に配置された第2の部品を上記第1の部品に対して加圧するための加圧装置であって、上記第1の部品が載置されるステージと、上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記第1及び第2の部品に対して間隔を隔てて対向する第1の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記第1の部品に対して上記第2の部品を加圧する第2の位置との間を移動するツールと、保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保護シート蓄積部と、上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収部と、上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステージを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案内部と、上記保護シートを上記保護シート案内部に沿って上記保護シート回収部へ向けて送るための保護シート送り部とを備え、上記ツールが上記第2の位置にあるときに、上記第2の部品と上記ツールとの間に介在するように上記保護シートを供給する保護シート供給部とを備え、上記保護シート回収部は、上記保護シートの他方の端部がその内部に吸い込まれる吸込槽と、基端側が上記吸込槽に接続され、上記保護シートの他方の端部を上記吸込槽内に導くための吸込経路が基端から先端まで貫通して設けられ、この吸込経路は上記先端側から長手方向中央部に向けて断面積が縮小し、上記長手方向中央部から上記基端側に向けて断面積が拡大する、吸込ノズルとを備える、加圧装置を提供する。
【0010】
第1の発明の加圧装置では、保護シートが保護シート案内部によって保護シート蓄積部からステージを経て保護シート回収部へ案内され、かつ保護シートを保護シート送り部により保護シート回収部へ向けて送ることができる。そのため、保護シートが劣化する前に保護シート送り部により保護シートを送り、保護シートの未使用の部分をツールと対向させることにより、ツールを交換することなく均一な分布を有する加圧力で第1の部品に対して第2の部品を加圧することができる。
【0011】
上記保護シートは、弾力性、高熱伝導性、及び耐熱性を有する材料からなる。例えば、シリコン、テフロン等の材料を含有する高熱伝導性絶縁ゴムシートを保護シートとして使用することができる。
【0012】
吸込ノズルの吸込経路の断面を上述の形状とすることにより、吸込ノズルの先端付近や吸込経路の途中で保護シートに作用する摩擦抵抗が低減される。その結果、吸込ノズルへの吸込時に保護シートが切断されるのを防止することができる。
【0013】
上記保護シート回収部は、上記吸込槽と上記吸込ノズルの基端とを接続するための接続管部材をさらに備え、上記接続管部材の先端に上記吸込ノズルの基端側が挿入され、上記接続管部材の基端に上記吸込槽の接続部が挿入される。上記接続管部材、上記接続部、及び上記吸込経路の基端側の内側断面の形状及び寸法が同一であることが好ましい。この場合、吸込ノズルから接続管部材及び接続部を経て吸込槽に至るまでに保護シートに作用する摩擦抵抗が低減される。その結果、吸込槽への吸引時の保護シートの切断や接続管部材内での保護シートの詰まりを防止することができる。
【0014】
また、上記保護シート回収部は、上記吸込ノズルの先端近傍に上記保護シートの送り方向に対して蛇行して設けた複数の振れ止め部材を備え、上記保護シートはこれらの振れ止め部材に案内されて上記吸引ノズルの上記吸込経路内に導入される。これらの振れ止め部材を設けることにより、吸引ノズルの先端近傍での保護シートの振動ないしは揺れが防止され、保護シートは吸込ノズルと干渉することなく吸込経路内に案内される。その結果、吸込時に保護シートが切断されるのを防止することができる。
【0015】
上記保護シート案内部は、上記保護シートの一方の面と対向して配置された第1の顎部と、上記保護シートの他方の面と対向して配置された基部部材と、この基部部材から離反して上記保護シートに向かう方向に弾性的に付勢された接触部材とを有する第2の顎部と、上記第1及び第2の顎部を、それらが互いに接近し上記保護シートを挟み込んで保持する第1の位置と、それらが互いに離反して上記保護シートを解放する第2の位置とに移動させる駆動機構とを有するチャックを備えることが好ましい。かかる構造のチャックであれば、保護シートは第1の顎部と第2の顎部の接触部材との間に確実に挟み込まれ、かつ第1及び第2の顎部に対して滑ることなく確実に保持される。
【0016】
第2の発明は、板状部品上に配置された接合シートを上記板状部品に対して保護シートを介して加圧するための加圧装置であって、上記板状部品が載置されるステージと、上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記板状部品、上記接合シート、及び上記保護シートに対して間隔を隔てて対向する第1の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記板状部品に対して上記保護シートを介して上記接合シートを加圧する第2の位置との間を移動するツールと、上記接合シートと上記ツールとの間に、上記保護シートを供給する保護シート供給部と、上記保護シートと上記板状部品との間に、上記保護シートの供給方向と反対向きに上記接合シートを供給する接合シート供給部とを備える、加圧装置を提供する。
【0017】
接合シートの供給方向の設定により、保護シートに引っ張られて接合シートの位置がずれるのを防止することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態に係る部品実装装置を示している。この部品実装装置は、図24に示すように、プラズマディスプレイパネル基板(PDP基板)11に対して、その駆動回路が形成されたフレキシブルプリント回路基板(FPC基板)12を実装するためのものである。部品実装装置は、一対のガイドレール13に沿ってPDP基板11をACF貼付部14、仮圧着部15、及び本圧着部16へ順に搬送する搬送部17を備えている。これらACF貼付部14、仮圧着部15、及び本圧着部16のうち、ACF貼付部14及び本圧着部16に本発明が適用されている。コントローラ18は、後述するセンサ51からの入力や図示しない操作盤からの指令に基づいて、ACF貼付部14、仮圧着部15、及び本圧着部16の動作を制御する。
【0019】
図2から図6はACF貼付部14の正面図、図7から図9はACF貼付部14の平面図、図10から図12はACF貼付部14の右側面図である。ACF貼付部14は、PDP基板11が載置されるステージ19を備えている。このステージ19は昇降可能であり、かつ図示しない吸引機構によりPDP基板11をその上面に解放可能に保持することができる。このステージ19の上方には配置されたフレーム20には、ツール21、ツール付勢部22、ACFテープ供給部23、切断部24、剥離部25、保護テープ供給部26、及び保護テープ冷却部27が設けられている。フレーム20は、固定部28と可動部29とを備え、可動部29は固定部28に対して水平方向に旋回可能である。固定部28には、ツール21、ツール付勢部22、切断部24、及び保護テープ冷却部27と、ACFテープ供給部23及び保護テープ供給部26の一部とが取り付けられている。一方、可動部29にはACFテープ供給部23及び保護テープ供給部26の大部分と、剥離部25が取り付けられている。
【0020】
上記ツール21は、保持部材30の下端に保持された直方体状の金属製のブロックである。ツール21の表面は被覆層に覆われることなく露出している。また、保持部材30はツール21を加熱するためのヒータ31を備えている。
【0021】
ツール付勢部22は、フレーム20の固定部28に取り付けられたモータ32Aを備えている。このモータ32Aの出力軸は鉛直方向に延びる第1ボールねじ33に連結されている。第1ボールねじ33は昇降ブロック34の上端部に設けられたナット部に螺合している。また、昇降ブロック34にはそのロッドが鉛直方向下向きに延びる第1エアシリンダ35が取り付けられている。ツール21の保持部材30は加圧ブロック36の下端に取り付けられ、加圧ブロック36の上端はばね37Aにより昇降ブロック34に連結されている。このばね37Aの付勢力により加圧ブロック36が第1エアシリンダ35のロッドの下端に当接している。モータ32Aにより第1ボールねじ33が回転すると、その回転方向に応じて昇降ブロック34が昇降し、それによって保持部材30と共にツール21が昇降する。また、第1エアシリンダ35のロッドが突出位置となると加圧ブロック36を介してツール21に対して下向きの付勢力が作用する。一方、第1エアシリンダ35のロッドが引込位置となるとツール21に対する下向きの付勢力が解除される。
【0022】
ACFテープ供給部23は、PDP基板11が保持されたステージ19の上方にACFテープを供給する。図25に示すように、ACFテープ5は、基材層5a、異方性導電性フィルム層(ACF層)5b、及び被覆層5cを備えている。ACF層はバインダ5dと、このバインダ5dに含有された複数の導電性粒子5eとを備えている。バインダ5dは、加熱されると軟化して冷却されると硬化することにより、2個の部材を接続することができる。また、ACF層5bは導電性粒子5eの存在により加圧方向にのみ導電性を生じる。
【0023】
ACFテープ供給部23は、ACFテープ5の一方の端部を送り出し可能に蓄積したACFテープ蓄積部38と、ACFテープ5の他方の端部を回収するACFテープ回収部39とを備えている。また、ACFテープ供給部23は、ACFテープ蓄積部38からステージ19の上方を経てACFテープ回収部39にACFテープ5を案内するACFテープ案内部40を備えている。このACFテープ案内部40は、ACF貼付部14を正面から見たときに大略U字状を呈するようにACFテープ5を案内する。さらに、ACFテープ供給部23は、ACFテープ案内部40に沿ってACFテープ蓄積部38からACFテープ回収部39へ向けてACFテープ5を送るためのACFテープ送り部41を備えている。
【0024】
ACFテープ蓄積部38は、ACFテープ5を多数回巻き付けたACFテープ用リール42を備えている。図7に示すように、ACFテープ用リール42は、フレーム20の可動部29に回転可能に軸支されたリールシャフト43の先端に固定されている。このリールシャフト43の基端側はクラッチ44を介してモータ32Bの出力軸に連結されている。モータ32BによりACFテープ用リール42が図1において矢印で示す方向に回転すると、ACFテープ用リール42からACFテープ5が巻き出される。可動部29のACFテープ用リール42の近傍には、ACFテープ用リール42の交換時に使用するチャック45A(図2に図示する。)が取り付けられている。
【0025】
ACFテープ回収部39は真空ポンプ46に接続された吸込槽47を備えている。この吸込槽47の口金48にはチューブ49の基端が接続されている。また、チューブ49の先端には吸込ノズル50が接続されている。ACFテープ5は吸込ノズル50からチューブ49及び口金48を経て吸込槽47に吸い込まれる。さらに、ACFテープ回収部39は、吸込ノズル50の先端付近にACFテープ5の切断を検出するための一対のセンサ51A,51Bを備えている。
【0026】
ACFテープ案内部40は、ACF層5bがステージ19上のPDP基板11と対向するように、ACFテープ5を案内する。まず、ACFテープ案内部40は、フレーム20の可動部29に取り付けられた固定のガイドローラ52A〜52Hを備えている。これらのガイドローラ52A〜52Hのうち、5個のガイドローラ52A〜52EがACFテープ5の基材層5a及びACF層5bを案内するためのものであり、残りの3個のガイドローラ52F〜52Hが分岐点53においてACF層5bから剥離した被覆層5cを案内するためのものである。
【0027】
また、ACFテープ案内部40は、ACFテープ5の送り方向でステージ19よりもACFテープ蓄積部38側に設けられた可動アーム54Aと、ACFテープ5の送り方向でステージ19よりもACFテープ回収部39側に設けられた可動アーム54Bとを備えている。これら可動アーム54A,54Bは、フレーム20の可動部29に対して鉛直方向に移動可能であり、それぞればねにより可動部29に連結されている。また、可動アーム54A,54Bの下端位置を規制する規制ピン55が可動部29に取り付けられている。これら可動アーム54A,54Bにも、それぞれガイドローラ52I〜52Kが取り付けられている。可動アーム54Aの上端は、昇降ブロック34が備えるプッシュロッド56Aにより押し下げられるようになっている。可動アーム54Bは、昇降ブロック34が備えるプッシュロッド56Bの下端に取り付けられた中間ロッド57により押し下げられるようになっている。これらのプッシュロッド56A,56Bの上端側は昇降ブロック34の内部に収容されており、ばねにより鉛直方向下向きに弾性的に付勢されている。中間ロッド57にはチャック45Bが取り付けられている。このチャック45Bは、PDP基板11に対してACF層5bを加圧する際に、ACFテープ5のACFテープ回収部39側を固定するために設けられている。
【0028】
ACFテープ案内部40は、張力付与機構58を備えている。この張力付与機構58は、ACFテープ5の送り方向でステージ19よりもACFテープ蓄積部38側の可動部29に設けられた鉛直方向のガイド溝59Aと、錘体60Aとを備えている。この錘体60Aには基材層5a及びACF層5bを案内するガイドローラ52Lと、被覆層5cを案内するガイドローラ52Mとが取り付けられている。また、錘体60Aはガイド溝59A上を移動自在であり、それ自体の自重による鉛直方向下向きの力が作用している。基材層5a及びACF層5bは、錘体60Aのガイドローラ52Lによって、下向きから上向に送り方向が反転されるように案内されており、錘体60Aの自重により張力が付与されている。錘体60Aは水平方向に延びる突片61Aを備えている。また、ガイド溝59Aに沿ってフレーム20の固定部28に3個のセンサ51C〜51Eが配設されている。これらのセンサ51C〜51Eによりガイド溝59A上の錘体60Aの位置を検出できる。
【0029】
被覆層5cは錘体60Aのガイドローラ52Mから可動部29上の固定のガイドローラ52G,52Hを経て、被覆層回収部62により回収される。この被覆層回収部62は、真空ポンプ46に接続された吸込槽63、この吸込槽63の口金64に基端が接続されたチューブ65、及びチューブ65の先端に取り付けられた吸込ノズル66を備えている。基材層5a及びACF層5bから分離された被覆層5cは、吸込ノズル66からチューブ65、及び口金64を経て吸込槽63に回収される。
【0030】
ACFテープ送り部41は、フレーム20の固定部28に取り付けられたモータ32Cを備えている。このモータ32Cの出力軸は鉛直方向に延びる第2ボールねじ67に連結されている。この第2ボールねじ67は固定部28に対して鉛直方向に移動自在である引きブロック68のナット部に螺合している。この引きブロック68には、開閉可能なチャック45Cが取り付けられている。
【0031】
図15に詳細に示す切断部24は、ステージ19の上方領域に対して侵入及び退避可能であり、かつ開閉可能な一対の切断アーム69A,69Bを備えている。下側の切断アーム69AはACF層5bを切断するためのブレード70を備えているが、上側の切断アーム69Bはブレード70を備えていない。これらの切断アーム69A,69Bを閉じると、ブレード70によりACFテープ5のACF層5bは切断されるが基材層5aは切断されることなく残り、切込線6が形成される。
【0032】
剥離部25は、可動アーム54Bの下端に水平方向に移動可能に取り付けられた剥離アーム71を備えている。この剥離アーム71の先端には一対のガイドローラ52L,52Mが取り付けられている。一方、剥離アーム71の基端は第2エアシリンダ72に連結されている。この第2エアシリンダ72のロッドの位置に応じて剥離アーム71が水平方向に移動する。
【0033】
保護テープ供給部26は、ツール10の下側に保護テープ10を供給する。保護テープ10は、熱伝導性及び耐熱性が良好で弾力性を有するテープ材である。例えば、シリコンやテフロンを含有する高熱伝導性絶縁ゴムシートを保護テープ10として使用することができる。
【0034】
保護テープ供給部26は、保護テープ10の一方の端部を送り出し可能に蓄積した保護テープ蓄積部73と、保護テープ10の他方の端部を回収する保護テープ回収部74とを備えている。また、保護テープ供給部26は、保護テープ蓄積部73からステージ19の上方を経て保護テープ回収部74に保護テープ10を案内する保護テープ案内部75を備えている。この保護テープ案内部75は、ACF貼付部14を正面から見たときに大略U字状を呈し、かつステージ19上のPDP基板11とツール21との間に介在するように、保護テープ10を案内する。さらに、保護テープ供給部26は保護テープ案内部75に沿って保護テープ蓄積部73から保護テープ回収部74へ向けて保護テープ10を送るための保護テープ送り部76を備えている。
【0035】
保護テープ蓄積部73は、保護テープ10を多数回巻き付けた保護テープ用リール77を備えている。図7に示すように、保護テープ用リール77は、フレーム20の可動部29に回転可能に軸支されたリールシャフト43の先端に固定されている。このリールシャフト43の基端側はクラッチ44を介してモータ32Dの出力軸に連結されている。モータ32Dにより保護テープ用リール77が図2において矢印で示す方向に回転すると、保護テープ用リール77から保護テープ10が巻き出される。可動部29の保護テープ用リール77の近傍には、保護テープ用リール77の交換時に使用するチャック45Dが取り付けられている。
【0036】
図13に詳細に示すように、保護テープ回収部74は真空ポンプ46に接続された吸込槽78を備えている。この吸込槽78の口金79にはチューブ80(接続管部材)の基端が接続されている。また、チューブ80の先端には吸込ノズル81が接続されている。保護テープ10は吸込ノズル81からチューブ80及び口金79を経て吸込槽78に吸い込まれる。さらに、保護テープ回収部74は吸込ノズル81の先端付近に、ACFテープ5の切断を検出するための一対のセンサ51F,51Gを備えている。
【0037】
吸込ノズル81には、保護テープ10を吸込槽78内に導くための吸込経路82が基端から先端まで貫通して設けられている。この吸込経路82は、先端から長手方向中央部分に向けて連続的に縮径し、長手方向中央部から基端側に向けて連続的に拡径している。この断面形状により吸込ノズル81の先端付近や吸込経路82の途中で保護テープ10に作用する摩擦抵抗が低減され、その結果、吸込ノズル81への吸込時に保護テープ10が切断されるのを防止することができる。
【0038】
チューブ80は、外層83と内層84からなる二重構造である。チューブ80の先端付近には内層84がなく、外層83に対して吸込ノズル81が挿入されている。同様に、チューブ80の基端付近には内層84がなく、外層83に対して口金79が挿入されている。そして、チューブ80の内層84の内径、口金79の内径、及び吸込経路82の基端側の内径を同一径としている。また、内層84の先端付近は最先端部に向けて連続的に拡径するテーパ状である。同様に、口金79の先端付近も最先端部に向けて連続的に拡径するテーパ状である。このように吸込ノズル81、チューブ80、及び口金79の内側断面の形状及び寸法を一定とし、かつ可能な限り凹凸をなくし、保護テープ10に作用する摩擦抵抗を低減している。その結果、吸込槽78への吸込時の保護テープ10の切断やチューブ80内での保護テープ10の詰まりを防止することができる。
【0039】
吸込ノズル81の先端近傍には、保護シートの送り方向に対して蛇行して配置された3個の振れ止めピン85が設けられている。保護テープ10はこれらの振れ止めピン85に案内されて蛇行しつつ吸込ノズル81の吸込経路82へ導入される。従って、吸込ノズル81の先端近傍での保護テープ10の振動ないしは揺れが防止され、保護テープ10は保護テープ吸引ノズル81と干渉することなく吸込経路82内に案内される。その結果、吸引時に保護テープ10が切断されるのを防止することができる。
【0040】
保護テープ案内部75は、ステージ19上でACFテープ5とACFツール21の間を通るように保護テープ10を案内する。まず、保護テープ案内部75は、フレーム20の可動部29に取り付けられた固定のガイドローラ52N,52Pを備えている。また、保護テープ案内部75は、保護テープ10の送り方向でステージ19よりも保護テープ蓄積部73側に設けられた可動アーム54Cと、保護テープ10の送り方向でステージ19よりも保護テープ回収部74側に設けられた可動アーム54Dとを備えている。これらの可動アーム54C,54Dの先端にも保護テープ10を案内するためのガイドローラ52Q,52Rが取り付けられている。また、これら可動アーム54C,54Dは、フレーム20の可動部29に対して鉛直方向に移動可能であり、それぞればねにより可動部29に連結されている。さらに、可動アーム54C,54Dの下端位置を規制する規制ピン55が可動部29に取り付けられている。可動アーム54C,54Dの上端は昇降ブロック34が備えるプッシュロッド56C,56Dにより押し下げられるようになっている。プッシュロッド56C,56Dの上端側は昇降ブロック34の内部に収容されており、ばねにより鉛直方向下向きに弾性的に付勢されている。
【0041】
可動アーム54Dの先端付近には引き上げピン86(保護シートガイド部材)が固定されている。後に詳述するように、この引き上げピン86はツール21がACF層5bをPDP基板11に対して加圧する際に、ツール21の図において左側の縁部21aに密接するように保護テープ10を案内する(図16参照)。
【0042】
固定部28にチャック45Eが取り付けられている。このチャック45EはPDP基板11に対してACF層5bを加圧する際に保護テープ10の保護テープ回収部74側を固定するためのものである。
【0043】
保護テープ案内部75は、張力付与機構87を備えている。この張力付与機構87は、保護テープ10の送り方向でステージ19よりも保護テープ蓄積部73側の可動部29に設けられた鉛直方向のガイド溝59Bと、錘体60Bとを備えている。この錘体60Bには保護テープ10を案内するガイドローラ52Sが取り付けられている。また、錘体60Bはガイド溝59B上を移動自在であり、それ自体の自重による鉛直方向下向きの力が作用している。保護テープ10は下向きから上向に送り方向が反転されるように錘体60Bのガイドローラ52Sに案内されており、錘体60Bの自重により張力が付与されている。錘体60Bは水平方向に延びる突片61Bを備えている。また、ガイド溝59Bに沿ってフレーム20の固定部28に3個のセンサ51H〜51Jが配設されている。これらのセンサ51H〜51Jによりガイド溝59B上の錘体60Bの位置を検出できる。
【0044】
ガイドローラ52Pの外周には検出片88が等角度間隔で設けられている。また、このガイドローラ52Pの近傍にセンサ51Kが取り付けられている。ガイドローラ52の回転によりセンサ51Kを通過する検出片88を計数することにより、保護テープ蓄積部73から送り出された保護テープ10の長さが測定される。
【0045】
保護テープ送り部76は、フレーム20の固定部28に取り付けられたピンチローラ機構89を備えている。このピンチローラ機構89は図示しないモータにより回転駆動される駆動ローラ90と、従動ローラ91とを備えている。従動ローラ91は基端が回転可能に固定部28に支持され、先端がばねにより駆動ローラ90に向けて弾性的に付勢された旋回レバー92に取り付けられている。そのため、保護テープ10は駆動ローラ90と従動ローラ91の間に挟み込まれており、駆動ローラ90が図示の方向に回転すると保護テープ回収部74に向けて送られる。
【0046】
また、アクチュエータ(図示せず。)によって旋回レバー92を反時計方向に回転させて従動ローラ91を駆動ローラ90から離反させると、ピンチローラ機構89から保護テープ10を抜き出すことができる。図において矢印で示すように、ACFテープ送り部76によるACFテープ5の送り方向と、保護テープ送り部76による保護テープ10の送り方向は反対向きである。
【0047】
ピンチローラ機構89と保護テープ回収部74との間には、接続部検出用のセンサ51Lが配設されている。
【0048】
上記チャック45A〜45Eについて、保護テープ案内部75が備えるチャック45Eを例として図14を参照して説明する。チャック45Eは、保護テープ10の異なる面とそれぞれ対向する顎部93A,93Bを備えている。一方の顎部93Aは単一の部材からなり、保護テープ10と対向する面が平面である。他方の顎部93Bは、基部部材94と、接触部材95とを備えている。スライドシャフト96の一端に接触部材95が固定されており、スライドシャフト96の他端は基部部材94に設けられたスライド孔97に挿通されている。また、基部部材94と接触部材95の間にはばね37Bが設けられている。このばね37Bにより、接触部材95には基部部材94から離反して保護シートに向かう方向に弾性的な付勢力が作用している。基部部材94には接触部材95と点接触的に接触するための突部98が設けられている。顎部93A,93Bはエアシリンダを含む駆動機構により駆動され、互いに接近して保護テープ10を挟み込んで保持する位置と、互いに離反して保護テープ10の保持を解除する位置とに移動可能である。
【0049】
顎部93A,93Bが互いに接近すると、最初に顎部93Aと顎部93Bの接触部材95が保護テープ10の異なる面にそれぞれ接触する。顎部93A,93Bがさらに接近すると、ばね37Bの弾性的な付勢力に抗して接触部材95に対して基部部材94が接近し、それによって突部98が接触部材95に当接する。顎部93A,93Bがさらに接近することにより、突部98に押された接触部材95と顎部93Aとの間に保護シートが挟み込まれる。従って、顎部93Aと顎部93Bの接触部材95との間に保護シートが確実に挟み込まれ、かつ保護シートは顎部93A,Bに対して滑ることなく確実に保持される。ただし、チャック45A〜45Eの構造は、図14に示すものに限定されず、ACFテープ5や保護テープ10を解放可能に保持できるものであればよい。リール交換時に使用するチャック45A,45Dは手動で開閉するものであってもよい。
【0050】
保護テープ冷却部27は、図15に示すように、保護テープ10に冷却用の空気を噴射するための冷却ノズル99と、この冷却ノズル99に対して空気を供給するブロワ100とを備えている。冷却ノズル99の位置及び向きは、ツール21がステージ19と間隔を隔てて対向する位置にあるときに、ツール21の図において左側の縁部21a、すなわちACFテープ5の切込線6と対応する部分に向けて空気を噴射するように設定されている。
【0051】
次に、ACF貼付部14の動作を説明する。図2及び図3と図15とは、ツール21によりACF層5bをPDP基板11に加圧する前の状態を示している。ツール21はステージ19、PDP基板11、及びACFテープ5の上方に間隔を隔てて位置している。ACFテープ送り部41は、ACF層5bの先端がACFツール21の図において右側の縁部21bと対応する位置に達するように、ACFテープ5をACFテープ回収部39に向けて送る。また、チャック45Bが閉じてACFテープ5(基材層5a)を固定し、チャック45Eが閉じて保護テープ10を固定する。ACFテープ5のACF層5bはステージ19上のPDP基板11と間隔を隔てて対向している。切断部24の切断アーム69A,69Bがステージ19の上方に進出し、切込線6を形成する。
【0052】
保護テープ10はACFテープ5の上方に間隔を隔てて配置されている。また、保護テープ10はその上方に位置するツール21と間隔を隔てて対向しており、保護テープ10はACFテープ5と接触していない。ツール21と保護テープ10との間に間隔を設けることにより、ツール21から保護テープ10への熱の伝達を抑制している。また、この間隔を設けることにより、保護テープ10が周囲の空気との熱交換により自然冷却され、それによって保護テープ10の過度の温度上昇が防止される。ツール21が図3及び図3と図15とで示すようにステージ19から離れた位置にあるときには、ヒータ31による加熱を停止している。これによってもACFツール21から保護テープ10に伝わる熱を低減され、保護テープ10の温度上昇が防止される。また、保護テープ冷却部27の冷却ノズル99から保護テープ10に対して空気を噴射している。この空気の噴射により保護テープ10と周囲の空気との熱交換が一層促進され、保護テープ10の温度上昇が防止される。
【0053】
次に、モータ32Aにより第1ボールねじ33が回転駆動されて昇降ブロック34が降下し、さらに第1エアシリンダ36のロッドが突出位置となり、ツール21がPDP基板11へ向けて降下する。また、昇降ブロック34の降下に伴ってプッシュロッド56A〜56Dによって可動アーム54A〜54Dがばねの付勢力に抗して押し下げられるため、ACFテープ5及び保護テープ10もステージ19上のPDP基板11に向けて降下する。そのため、図4及び図16に示すように、ツール21がステージ19に向けて付勢され、ツール21によりPDP基板11に対してACFテープ5のACF層5bが加圧される。ツール21とACFテープ5との間には、弾力性を有する保護テープ10が介在している。そのため、ツール21からACF層5bに対して均一な分布の加圧力が作用し、PDP基板11に対してACF層5bを正確に貼り付けることができる。ACFツール21による加圧力は例えば50〜100N/cm2であり、加圧時の温度は例えば60〜70℃程度である。
【0054】
ACF層5bの切込線6と対応するツール21の図において左側の縁部21aでは、引き上げピン86が保護テープ10をステージ19から離反する方向(図において上方)へ案内し、縁部21aに対して保護テープ10を密接させている。そのため、切込線6の付近でもACFツール21からACF層5bに作用する加圧力の分布が均一であり、ACF層5bの切断等の不具合を防止することができる。
【0055】
ACFテープ5は、図において右側がチャック45Bにより保持される一方、左側は上下動可能な錘体60Aが備えるガイドローラ52Lで案内されているため、ACFツール21の降下に伴い図15において矢印で示すように右向きに送られる。これに対して、保護テープ10は、図において左側がチャック45Dにより保持される一方、右側は上下動可能な錘体60Bが備えるガイドローラ52Sで案内されているため、ツール21の降下に伴い図15において矢印で示すように左向きに送られる。仮に、ツール21降下時のACFテープ5の送り方向と保護テープ10の送り方向とが同一方向であると、ACFテープ5と保護テープ10との間の摩擦力により、ACFテープ5が保護テープ10に引っ張られて必要以上に送られ、それによってACF層5bの先端及び切込線6のPDP基板11に対する位置がずれるおそれがある。しかし、本実施形態では、ACFテープ5の送り方向と保護テープ10の送り方向とを反対方向としているため、ACFツール21の降下時にACFテープ5が保護テープ10に引っ張られて必要以上に送られるのを防止することができる。従って、ACF層5bの先端及び切込線6のPDP基板11に対する位置にずれがが防止される。
【0056】
次に、第1エアシリンダ36のロッドが引込位置となると共に、モータ32Aにより第1ボールねじ33が回転駆動されて昇降ブロック34が上昇する。その結果、図5及び図17に示すように、ツール21が上昇してステージ19から離れる。また、昇降ブロック34の上昇によりプッシュロッド56C,56Dが可動アーム54C,54Dを押し下げる力が低下するため、可動アーム54C,54Dが上昇し、保護テープ10もステージ19から離れる。一方、ACF層5bがPDP基板11に貼り付いているため、昇降ブロック34が上昇しても可動アーム54A,54Bは上昇せず、ACFテープ5はPDP基板11上に保持されている。
【0057】
ツール21が上昇してステージ19から離れるとヒータ31により加熱が停止される。また、ツール21がステージ19から離れると、冷却ノズル99からの空気の噴射が開始される。ACF層5bの切込線6と対応するツール21の縁部21aではACF層5bをPDP基板11に加圧する際に応力集中が生じる。従って、保護テープ10のツール21に対応する部分は、他の部分と比較して大きな圧力が作用し、劣化が生じやすい。これに対して、本実施形態では、冷却ノズル99から保護テープ10のツール21の縁部21aに対応する部分に空気を噴射しているため、この部分での保護テープ10の劣化を効果的に防止することができる。
【0058】
次に、第2エアシリンダ72のロッドが突出位置となり、それによって図6及び図18に示すように、剥離アーム71が図において左向きに水平移動する。そのため、剥離アーム71の先端に取り付けられたガイドローラ52L,52Mにより、ACFテープ5の基材層5aのみがPDP基板11から引き剥がされる。その結果、ACF層5bの先端から切込線6に対応する部分がPDP基板11に残る。その後、昇降ブロック34が上昇して図2及び図3と図15とに示す初期位置に戻り、PDP基板11に対するACF層5bの貼り付けが完了する。ACF貼付部14は以上の動作を繰り返し実行する。
【0059】
新たにACF層5bの貼り付けを実行するには、ACFテープ5を送る必要がある。このACFテープ5の送りは以下のように実行される。まず、チャック45CによりACFテープ5を保持する一方、チャック45BによるACFテープ5の保持を解除する。次に、モータ32BによりACFテープ用リール42を回転させ、ACFテープ5を一定の長さだけ送り出す。この送り出すACFテープ5の長さは、ACF層5bの先端(前回のACF層5bの貼り付け時に形成した切込線6)がツール21の右側の縁部21b付近に位置するように設定される。次に、モータ32Cにより第2ボールねじ67を回転駆動して引きブロック68を上昇させる。引きブロック68の上昇により、ACFテープ5がACFテープ回収部30へ送られ、吸込槽47に回収される。
【0060】
コントローラ18は、上記ACF貼付部14がPDP基板11に対するACF層5bの貼り付けを実行した回数、すなわちステージ19に向けて付勢されたツール21がPDP基板11に対してACF層5bを加圧した回数を計数している。また、貼り付けの実行回数が予め定められた回数(限界回数)に達したことをコントローラ18が検出すると、保護テープ供給部26は保護テープ10を保護テープ蓄積部73から保護テープ回収部74へ向けて送り、未使用の保護テープ10をツール21に供給する。
【0061】
保護テープ10の送りは、図2及び図3と図15とに示すようにツール21がステージ19から間隔を隔てた位置にあるときに実行される。まず、チャック45Eによる保護テープ10の保持を解除する。次に、モータ32Dにより保護テープ用リール77を回転させて保護テープ10を所定長さだけ送り出す。この送り出す保護テープ10の長さは、1回の送り動作によりツール21の下端面が保護テープ10の未使用の部分と対向するように設定される。保護テープ用リール77から送り出された保護テープ10の長さはセンサ51を通過する検出片88の数により計測される。次に、ピンチローラ機構89の駆動ローラ90が回転し、保護テープ10を保護テープ回収部74へ向けて送る。保護テープ回収部74へ送られた保護テープ10は吸込槽78に回収される。
【0062】
本実施形態では、上記のように限界回数毎にツール21に未使用の保護テープ10を供給するため、熱や圧力の影響による劣化が進行していない保護テープ10を使用してACF層5bの貼り付けを行うことができる。従って、正確なACF層5bの貼り付けを安定して繰り返すことができる。また、ツールに被覆層を設ける場合(図26参照)と比較すると、ツール21の交換が不要ないしはその頻度が大きく低減されるため、メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。
【0063】
上記のように限界回数のACF層5bの貼り付けを行う度に、保護テープ用リール77から新たな保護テープ10が送り出される。1個の保護テープ用リール77の保護テープ10が消費された場合には、以下の手順で新しい保護テープ用リール77と交換する。
【0064】
まず、図19に示すように、チャック45Dにより保護テープ10を保持した後、保護テープ用リール77付近で保護テープ10を切断する。次に、図30に示すように、保護テープ用リール77をACF貼付部14から取り外す。また、新品の保護テープ用リール77を取り付け、この保護テープ用リール77に巻回された保護テープ10の先端を、チャック45Dにより保持されている前の保護テープ用リール77の端部に接続する。この保護テープ10の接続方法には種々の方法がある。例えば、図22(A)に示すように、短い接続用テープ101に2本の保護テープ10をそれぞれ接着し、それによって接続部102を形成することができる。また、図32(B)に示すように超音波溶着103により2本の保護テープ10の接続部102を形成することができる。
【0065】
2本の接続テープ10の接続部102は、ACF層5bの加圧に使用しないことが好ましい。すなわち、仮に接続部102を介在させてACFツール21によりACF層5bを加圧すると、接続部102には凹凸があるため、ACF層5bに作用する加圧力の分布を均一とするのは困難である。そのため、保護テープ用リール77を交換した場合には、ACF層5bの貼り付けを再開する前に、少なくとも接続部102がステージ19上を通過するまで保護テープ10を保護テープ回収部74に向けて送る必要がある。
【0066】
本実施形態では、接続部検出用のセンサ51Lにより接続部102が検出されるまで、保護テープ送り部76が保護テープ回収部74に向けて保護テープ10を送る。接続部検出用のセンサ51Lとしては、例えば磁気、色彩、又は段差を検知可能なものを使用することができる。センサ51Lが磁気を検知する場合には、接続テープ(図32(A)参照)として磁性テープを使用すればよい。また、センサ51Lが色彩を検知する場合に、接続用テープ101を保護テープ10と異なる色に着色したり、超音波溶着103を行った部分(図22(B)参照)を保護テープ10と異なる色に着色すればよい。さらに、センサ51Lが段差を検出可能であれば、接続用テープ101と保護テープ10によって形成される段差や、超音波溶着103のために2本の保護テープ10を重ねた部分の段差が検出される。
【0067】
フレーム20の構造について図7及び図10を参照して説明する。まず、固定部28は鉛直方向に間隔をあけて対向する一対のブラケット104を備えている。これらのブラケット104に鉛直方向に延びる旋回シャフト105が固定されている。旋回シャフト105には旋回ブロック106が回動可能に支持されている。旋回ブロック106には2本の支持シャフト107が貫通し、これらの支持シャフト107の先端に可動部29が固定されている。旋回ブロック106と可動部29の間にはばね37Cが配設され、これらのばね37Cは旋回ブロック106と可動部29をそれらが互いに離反する方向に弾性的に付勢している。旋回ブロック106にはハンドル108により操作可能なカム109が設けられている。このカム109と対応するカムフォロア110(ローラ)は支持シャフト107の基端に固定された抜け止め板111から延びる駆動アーム112に設けられている。また、ブラケット104を貫通して旋回ブロック106のピン孔113に差し込まれた係止ピン114が設けられている。
【0068】
次に、フレーム20の反転旋回の手順を説明する。まず、図7及び図10に示す状態で、ハンドル108を操作してカム109を回転させる。カムフォロア110がカム109のカム面に追従するため、ばね37Cの付勢力により可動部29が水平移動し、図8及び図11に示すように可動部29が固定部28から離れる。次に、係止ピン114をピン孔113から抜き出し、ブラケット104と旋回ブロック106の連結を解除する。その後、図9及び図12に示すように支軸シャフト回りに可動部29を平面視で180°旋回させる。図1に概略的に示すように、通常時にはACFテープ供給部23や保護テープ供給部26はガイドレール13と対向しているが、可動部29を旋回して反転させるとこれらは部品実装装置の外側を向く。従って、作業者Mは、部品実装装置内に入ることなく、ACFテープ用リール42や保護テープ用リール77の交換作業を行うことができる。
【0069】
次に、仮圧着部15について説明する。仮圧着部15は、ACF貼付部14でACF層5bを貼り付け済みのPDP基板11に対して、FPC供給部115から供給されたFPC基板12を位置決めする。また、仮圧着部15は、位置決め後にFPC基板12をPDP基板11に対して加熱状態で加圧し、ACF層5bによってPDP基板11に対してFPC基板12を仮圧着する。仮圧着の加圧力は例えば50〜100N/cm2であり、加圧時の温度は例えば60〜70℃程度である。
【0070】
次に、本圧着部16について説明する。図23に示すように、本圧着部16は仮圧着部15でFPC基板12を仮圧着済みのPDP基板11が載置されるステージ19を備えている。このステージ19は昇降可能であり、かつ図示しない吸引機構によりPDP基板11をその上面に解放可能に保持することができる。このステージ19の上方に配置されたフレーム20には、ツール21、ツール付勢部22、保護テープ供給部26、及び保護テープ冷却部27が設けられている。本圧着部16の構造は、ACF供給部を備えていない点を除いてACF貼付部14と同様の構造であり、図23において図2及び図3と同一に要素には同一の符号を付している。
【0071】
図23に示すように、ツール21がステージ19から間隔を隔てた位置にあるときに、FPC基板12を仮圧着済みのPDP基板11が仮圧着部15からステージ19に供給される。次に、ツール付勢部22によりツール21が降下し、ステージ19に向けて付勢される。また、プッシュロッド56C,56Dにより可動アーム54C,54Dが降下することにより、ツール21と共に保護テープ10も降下する。ステージ19に向けて付勢されたツール21により、PDP基板11に貼り付けられたACF層5bに対してFPC基板12が加熱状態で加圧される。ツール21とFPC基板12との間には、弾力性を有する保護テープ10が介在している。そのため、ツール21からFPC基板12に対して均一な分布の加圧力が作用し、ACF層5bによりPDP基板11に対してFPC基板12を正確に固定することができる。本圧着ツール21による加圧力は例えば300〜400N/cm2であり、加圧時の温度は例えば180〜200℃程度である。
【0072】
コントローラ18は、上記本圧着部16がPDP基板11に対するFPC基板12を実行した回数を計数する。この回数が限界回数に達したことをコントローラ18が検出すると、保護テープ送り部76が保護テープ蓄積部73から保護テープ回収部74に向けて保護テープ10を送り、未使用の保護テープ10をツール21に供給する。従って、本圧着部16は熱や圧力による劣化が進行していない保護テープ10を使用して本圧着を実行することができる。また、ツールに被覆層を設ける場合と異なり、ツール21の交換が不要となるため、メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。本圧着部16のその他の作動はACF貼付部14と同様である。
【0073】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、本発明の装置及び方法は、PDP基板11以外の部品(例えば、液晶表示基板(LCD基板)、エレクトロルミネッセンス素子(EL素子)、又は通常のプリント基板)に対してACFテープを含む種々の接合テープを加圧して貼り付けるために使用することができる。また、本発明の装置及び方法は、FPC基板12以外の部品(例えばテープキャリアパッケージ(TCP)のような可撓性を有する部品、)を他の部品について実装するために使用することができる。
【0074】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明では、保護シートが保護シート案内部によって保護シート蓄積部からステージを経て保護シート回収部へ案内され、かつ保護シートを保護シート送り部により保護シート回収部へ向けて送ることができる。そのため、保護シートが劣化する前に保護シート送り部により保護シートを送り、保護シートの未使用の部分をツールと対向させることにより、ツールを交換することなく均一な分布を有する加圧力で第1の部品に対して第2の部品を加圧することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る部品実装装置を示す部分平面図である。
【図2】 ツールがステージから離反した位置(第1の位置)にあるときのACF貼付部の部分正面図である。
【図3】 ツールがステージから離反した位置(第1の位置)にあるときのACF貼付部の部分正面図である。
【図4】 ツールがステージに対して付勢された位置(第2の位置)にあるときのACF貼付部の正面図である。
【図5】 ACF層がPDP基板に貼り付けられたときのACF貼付部の正面図である。
【図6】 基材層をPDP基板から引き剥がすときのACF貼付部の正面図である。
【図7】 ACF貼付部の平面図である。
【図8】 フレームの可動部が固定部から離れた状態でのACF貼付部の平面図である。
【図9】 フレームの可動部が固定部に対して旋回した状態でのACF貼付部の平面図である。
【図10】 ACF貼付部の右側面図である。
【図11】 フレームの可動部が固定部から離れた状態でのACF貼付部の右側面図である。
【図12】 フレームの可動部が固定部に対して旋回した状態でのACF貼付部の右側面図である。
【図13】 保護テープ回収部を示す部分断面側面図である。
【図14】 チャックを示す横断面図である。
【図15】 ツールがステージから離反した位置(第1の位置)にあるときのACF貼付部の部分拡大正面図である。
【図16】 ツールがステージに対して付勢された位置(第2の位置)にあるときのACF貼付部の部分拡大正面図である。
【図17】 ACF層がPDP基板に貼付られたときのACF貼付部の部分拡大正面図である。
【図18】 基材層をPDP基板から引き剥がすときのACF貼付部の部分拡大正面図である。
【図19】 保護テープの交換作業を説明するためのACF貼付部の正面図である。
【図20】 保護テープの交換作業を説明するためのACF貼付部の正面図である。
【図21】 保護テープの交換作業を説明するためのACF貼付部の正面図である。
【図22】 (A)及び(B)は保護テープの接続の一例を示す部分側面図である。
【図23】 本圧着部を示す正面図である。
【図24】 PDP基板基板とそれに実装されたFPC基板を示す斜視図である。
【図25】 ACFテープを示す側面図である。
【図26】 従来のACF貼付装置の一例を示す正面図である。
【図27】 従来のACF貼付装置における問題を説明するための部分概略平面図である。
【符号の説明】
11 PDP基板
12 FPC基板
14 ACF貼付部
15 仮圧着部
16 本圧着部
17 搬送部
18 コントローラ
19 基板ステージ
20 フレーム
21 ツール
22 ツール付勢部
23 ACFテープ供給部
24 切断部
25 剥離部
26 保護テープ供給部
27 保護テープ冷却部
28 固定フレーム
29 可動フレーム
30 保持部材
31 ヒータ
38 ACFテープ蓄積部
39 ACFテープ回収部
40 ACFテープ案内部
41 ACFテープ送り部
42 ACFテープ用リール
47,78 吸込槽
48,79 口金
49,80 チューブ
50 吸込ノズル
62 被覆層回収部
73 保護テープ蓄積部
74 保護テープ回収部
75 保護テープ案内部
76 保護テープ送り部
77 保護テープ用リール
82 吸込経路
83 外層
84 内層
85 振れ止めピン
86 引き上げピン
93A,93B 顎部
94 基部部材
95 接触部材
99 冷却ノズル
Claims (5)
- 第1の部品上に配置された第2の部品を上記第1の部品に対して加圧するための加圧装置であって、
上記第1の部品が載置されるステージと、
上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記第1及び第2の部品に対して間隔を隔てて対向する第1の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記第1の部品に対して上記第2の部品を加圧する第2の位置との間を移動するツールと、
保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保護シート蓄積部と、上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収部と、上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステージを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案内部と、上記保護シートを上記保護シート案内部に沿って上記保護シート回収部へ向けて送るための保護シート送り部とを備え、上記ツールが上記第2の位置にあるときに、上記第2の部品と上記ツールとの間に介在するように上記保護シートを供給する保護シート供給部と
を備え、
上記保護シート回収部は、
上記保護シートの他方の端部がその内部に吸い込まれる吸込槽と、
基端側が上記吸込槽に接続され、上記保護シートの他方の端部を上記吸込槽内に導くための吸込経路が基端から先端まで貫通して設けられ、この吸込経路は上記先端側から長手方向中央部に向けて断面積が縮小し、上記長手方向中央部から上記基端側に向けて断面積が拡大する、吸込ノズルと
を備える、加圧装置。 - 上記保護シート回収部は、
上記吸込槽と上記吸込ノズルの基端とを接続するための接続管部材をさらに備え、
上記接続管部材の先端に上記吸込ノズルの基端側が挿入され、
上記接続管部材の基端に上記吸込槽の接続部が挿入され、
上記接続管部材、上記接続部、及び上記吸込経路の基端側の内側断面の形状及び寸法が同一である、請求項1に記載の加圧装置。 - 上記保護シート回収部は、
上記吸込ノズルの先端近傍に上記保護シートの送り方向に対して蛇行して設けた複数の振れ止め部材を備え、
上記保護シートはこれらの振れ止め部材に案内されて上記吸引ノズルの上記吸込経路内に導入される、請求項1又は請求項2に記載の加圧装置。 - 上記保護シート案内部は、
上記保護シートの一方の面と対向して配置された第1の顎部と、
上記保護シートの他方の面と対向して配置された基部部材と、この基部部材から離反して上記保護シートに向かう方向に弾性的に付勢された接触部材とを有する第2の顎部と、
上記第1及び第2の顎部を、それらが互いに接近し上記保護シートを挟み込んで保持する第1の位置と、それらが互いに離反して上記保護シートを解放する第2の位置とに移動させる、駆動機構とを有するチャックを備える、請求項3に記載の加圧装置。 - 板状部品上に配置された接合シートを上記板状部品に対して保護シートを介して加圧するための加圧装置であって、
上記板状部品が載置されるステージと、
上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記板状部品、上記接合シート、及び上記保護シートに対して間隔を隔てて対向する第1の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記板状部品に対して上記保護シートを介して上記接合シートを加圧する第2の位置との間を移動するツールと、
上記接合シートと上記ツールとの間に、上記保護シートを供給する保護シート供給部と、
上記保護シートと上記板状部品との間に、上記保護シートの供給方向と反対向きに上記接合シートを供給する接合シート供給部と
を備える、加圧装置。
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