JP4037649B2 - 加圧装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
-
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマ表示パネル基板（ＰＤＰ基板基板）、液晶表示基板（ＬＣＤ基板）等の部品に対して、異方性導電性フィルムテープ（ＡＣＦテープ）を含む接合シート、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ基板）を含むフィルム状部品等の部品を加圧するための、加圧装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰ基板やＬＣＤ基板等の板状部品に対してＦＰＣ基板等のフィルム部品を実装する部品実装装置は、ＡＣＦ貼付部、仮圧着部、及び本圧着部を備えている。ＡＣＦ貼付部では、板状部品に異方性導電性フィルムテープ（ＡＣＦテープ）の異方性導電性フィルム層（ＡＣＦ層）が貼り付けられる。仮圧着部では、フィルム状部品が板状部品に対して位置決めされた後、ＡＣＦ層により板状部品に仮圧着される。本圧着部では、フィルム状部品が板状部品に対して固定される。
【０００３】
図２６に示すように、ＡＣＦ貼付部では、ステージ１に載置された板状部品３に対してＡＣＦテープ５が供給される。ＡＣＦテープ５は被覆層（図示せず）が予め引き剥がれ、露出したＡＣＦ層５ａが板状部品３に対向している。また、ＡＣＦテープ５の図において左側にはＡＣＦ層５ａのみを切断して基材層５ｂを残した切込線６が設けられ、この切込線６がツール７の図において左側の縁部７ａと対応している。ツール７にはＡＣＦテープ５の基材層５ｂと当接する部分に、シリコン等の弾力性を有する材料からなる被覆層８が設けられている。また、ツール７を加熱するためのヒータが設けられている。ツール７により板状部品３に対してＡＣＦ層５ａが加熱状態で加圧され、それによってＡＣＦ層５ａが板状部品３に貼り付けられる。ツール７が上昇してステージ１から退避した後、図示しない剥離機構により基材層５ｂが板状部品３から引き剥がされ、ＡＣＦ層５ａのみが板状部品３上に残る。
【０００４】
上記本圧着部は、仮圧着部でフィルム状部品を仮圧着済みの板状部品が載置されるステージと、フィルム状部品を板状部品に加圧するためのツールとを備えている。ＡＣＦ貼付部のツールと同様に、本圧着部のツールにも、加圧力の分布の均一化を図るために弾力性を有する材料からなる被覆層が設けられている。また、ツールはヒータを備えており、加熱状態で板状部品に対してフィルム状部品を加圧する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ＡＣＦ貼付部では、ＡＣＦ層５ａの貼り付け作業を繰り返す間に、熱及び圧力の影響で劣化した被覆層８がツール７から剥離する。この被覆層８の剥離が生じると、ＡＣＦ層５ａに作用する加圧力の分布が不均一となり、板状部品３に対してＡＣＦ層５ａを正確に貼り付けることができない。上記ツール７の縁部７ａでは加圧時に応力集中が生じるため、特に被覆層８が剥離しやすい。縁部７ａにおける被覆層８の剥離が生じると、図２７に示すように、切込６の近傍でＡＣＦ層５ａが裂け、裂けた部分９が切込線６からはみ出ることがある。また、ツール７によるＡＣＦ層５ａの貼り付けを繰り返す間に、基材層５ｂからはみ出したＡＣＦ層５ａのバインダを構成する材料等のダストがツール７に付着する。このダストも適切なＡＣＦ層５ａの貼り付けを阻害する。
【０００６】
ＡＣＦ貼付部の場合と同様に、本圧着部でも板状部品に対するフィルム状部品の本圧着を繰り返すことにより、ツールからの被覆層の剥離や、ＡＣＦ層を構成する材料等のダストの付着が発生し、板状部品に対するフィルム状部品の正確な固定を阻害する原因となる。
【０００７】
被覆層の剥離やダストの付着が生じた場合のツール交換には、いくつかの問題がある。まず、ツールを交換するには、部品実装装置の運転を停止して、作業者が手で取り扱うことができる程度にツールの温度が低下するまで待つ必要がある。また、交換後にツールとステージの平行度を高精度で調節する必要があり、この調節は煩雑で長時間を要する。さらに、ＰＤＰ基板用の大型の部品実装装置では、部品実装装置内に作業者が入ってツールの交換作業を実行する必要があり、煩雑である。
【０００８】
そこで、本発明は部品実装装置のＡＣＦ貼付部や本圧着部のようなツールにより一つの部品を他の部品に対して加圧する加圧装置において、ツールの交換頻度を大幅に低減しつつ、高精度の加圧を実行可能とすることを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、第１の部品上に配置された第２の部品を上記第１の部品に対して加圧するための加圧装置であって、上記第１の部品が載置されるステージと、上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記第１及び第２の部品に対して間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記第１の部品に対して上記第２の部品を加圧する第２の位置との間を移動するツールと、保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保護シート蓄積部と、上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収部と、上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステージを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案内部と、上記保護シートを上記保護シート案内部に沿って上記保護シート回収部へ向けて送るための保護シート送り部とを備え、上記ツールが上記第２の位置にあるときに、上記第２の部品と上記ツールとの間に介在するように上記保護シートを供給する保護シート供給部とを備え、上記保護シート回収部は、上記保護シートの他方の端部がその内部に吸い込まれる吸込槽と、基端側が上記吸込槽に接続され、上記保護シートの他方の端部を上記吸込槽内に導くための吸込経路が基端から先端まで貫通して設けられ、この吸込経路は上記先端側から長手方向中央部に向けて断面積が縮小し、上記長手方向中央部から上記基端側に向けて断面積が拡大する、吸込ノズルとを備える、加圧装置を提供する。
【００１０】
第１の発明の加圧装置では、保護シートが保護シート案内部によって保護シート蓄積部からステージを経て保護シート回収部へ案内され、かつ保護シートを保護シート送り部により保護シート回収部へ向けて送ることができる。そのため、保護シートが劣化する前に保護シート送り部により保護シートを送り、保護シートの未使用の部分をツールと対向させることにより、ツールを交換することなく均一な分布を有する加圧力で第１の部品に対して第２の部品を加圧することができる。
【００１１】
上記保護シートは、弾力性、高熱伝導性、及び耐熱性を有する材料からなる。例えば、シリコン、テフロン等の材料を含有する高熱伝導性絶縁ゴムシートを保護シートとして使用することができる。
【００１２】
吸込ノズルの吸込経路の断面を上述の形状とすることにより、吸込ノズルの先端付近や吸込経路の途中で保護シートに作用する摩擦抵抗が低減される。その結果、吸込ノズルへの吸込時に保護シートが切断されるのを防止することができる。
【００１３】
上記保護シート回収部は、上記吸込槽と上記吸込ノズルの基端とを接続するための接続管部材をさらに備え、上記接続管部材の先端に上記吸込ノズルの基端側が挿入され、上記接続管部材の基端に上記吸込槽の接続部が挿入される。上記接続管部材、上記接続部、及び上記吸込経路の基端側の内側断面の形状及び寸法が同一であることが好ましい。この場合、吸込ノズルから接続管部材及び接続部を経て吸込槽に至るまでに保護シートに作用する摩擦抵抗が低減される。その結果、吸込槽への吸引時の保護シートの切断や接続管部材内での保護シートの詰まりを防止することができる。
【００１４】
また、上記保護シート回収部は、上記吸込ノズルの先端近傍に上記保護シートの送り方向に対して蛇行して設けた複数の振れ止め部材を備え、上記保護シートはこれらの振れ止め部材に案内されて上記吸引ノズルの上記吸込経路内に導入される。これらの振れ止め部材を設けることにより、吸引ノズルの先端近傍での保護シートの振動ないしは揺れが防止され、保護シートは吸込ノズルと干渉することなく吸込経路内に案内される。その結果、吸込時に保護シートが切断されるのを防止することができる。
【００１５】
上記保護シート案内部は、上記保護シートの一方の面と対向して配置された第１の顎部と、上記保護シートの他方の面と対向して配置された基部部材と、この基部部材から離反して上記保護シートに向かう方向に弾性的に付勢された接触部材とを有する第２の顎部と、上記第１及び第２の顎部を、それらが互いに接近し上記保護シートを挟み込んで保持する第１の位置と、それらが互いに離反して上記保護シートを解放する第２の位置とに移動させる駆動機構とを有するチャックを備えることが好ましい。かかる構造のチャックであれば、保護シートは第１の顎部と第２の顎部の接触部材との間に確実に挟み込まれ、かつ第１及び第２の顎部に対して滑ることなく確実に保持される。
【００１６】
第２の発明は、板状部品上に配置された接合シートを上記板状部品に対して保護シートを介して加圧するための加圧装置であって、上記板状部品が載置されるステージと、上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記板状部品、上記接合シート、及び上記保護シートに対して間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記板状部品に対して上記保護シートを介して上記接合シートを加圧する第２の位置との間を移動するツールと、上記接合シートと上記ツールとの間に、上記保護シートを供給する保護シート供給部と、上記保護シートと上記板状部品との間に、上記保護シートの供給方向と反対向きに上記接合シートを供給する接合シート供給部とを備える、加圧装置を提供する。
【００１７】
接合シートの供給方向の設定により、保護シートに引っ張られて接合シートの位置がずれるのを防止することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係る部品実装装置を示している。この部品実装装置は、図２４に示すように、プラズマディスプレイパネル基板（ＰＤＰ基板）１１に対して、その駆動回路が形成されたフレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ基板）１２を実装するためのものである。部品実装装置は、一対のガイドレール１３に沿ってＰＤＰ基板１１をＡＣＦ貼付部１４、仮圧着部１５、及び本圧着部１６へ順に搬送する搬送部１７を備えている。これらＡＣＦ貼付部１４、仮圧着部１５、及び本圧着部１６のうち、ＡＣＦ貼付部１４及び本圧着部１６に本発明が適用されている。コントローラ１８は、後述するセンサ５１からの入力や図示しない操作盤からの指令に基づいて、ＡＣＦ貼付部１４、仮圧着部１５、及び本圧着部１６の動作を制御する。
【００１９】
図２から図６はＡＣＦ貼付部１４の正面図、図７から図９はＡＣＦ貼付部１４の平面図、図１０から図１２はＡＣＦ貼付部１４の右側面図である。ＡＣＦ貼付部１４は、ＰＤＰ基板１１が載置されるステージ１９を備えている。このステージ１９は昇降可能であり、かつ図示しない吸引機構によりＰＤＰ基板１１をその上面に解放可能に保持することができる。このステージ１９の上方には配置されたフレーム２０には、ツール２１、ツール付勢部２２、ＡＣＦテープ供給部２３、切断部２４、剥離部２５、保護テープ供給部２６、及び保護テープ冷却部２７が設けられている。フレーム２０は、固定部２８と可動部２９とを備え、可動部２９は固定部２８に対して水平方向に旋回可能である。固定部２８には、ツール２１、ツール付勢部２２、切断部２４、及び保護テープ冷却部２７と、ＡＣＦテープ供給部２３及び保護テープ供給部２６の一部とが取り付けられている。一方、可動部２９にはＡＣＦテープ供給部２３及び保護テープ供給部２６の大部分と、剥離部２５が取り付けられている。
【００２０】
上記ツール２１は、保持部材３０の下端に保持された直方体状の金属製のブロックである。ツール２１の表面は被覆層に覆われることなく露出している。また、保持部材３０はツール２１を加熱するためのヒータ３１を備えている。
【００２１】
ツール付勢部２２は、フレーム２０の固定部２８に取り付けられたモータ３２Ａを備えている。このモータ３２Ａの出力軸は鉛直方向に延びる第１ボールねじ３３に連結されている。第１ボールねじ３３は昇降ブロック３４の上端部に設けられたナット部に螺合している。また、昇降ブロック３４にはそのロッドが鉛直方向下向きに延びる第１エアシリンダ３５が取り付けられている。ツール２１の保持部材３０は加圧ブロック３６の下端に取り付けられ、加圧ブロック３６の上端はばね３７Ａにより昇降ブロック３４に連結されている。このばね３７Ａの付勢力により加圧ブロック３６が第１エアシリンダ３５のロッドの下端に当接している。モータ３２Ａにより第１ボールねじ３３が回転すると、その回転方向に応じて昇降ブロック３４が昇降し、それによって保持部材３０と共にツール２１が昇降する。また、第１エアシリンダ３５のロッドが突出位置となると加圧ブロック３６を介してツール２１に対して下向きの付勢力が作用する。一方、第１エアシリンダ３５のロッドが引込位置となるとツール２１に対する下向きの付勢力が解除される。
【００２２】
ＡＣＦテープ供給部２３は、ＰＤＰ基板１１が保持されたステージ１９の上方にＡＣＦテープを供給する。図２５に示すように、ＡＣＦテープ５は、基材層５ａ、異方性導電性フィルム層（ＡＣＦ層）５ｂ、及び被覆層５ｃを備えている。ＡＣＦ層はバインダ５ｄと、このバインダ５ｄに含有された複数の導電性粒子５ｅとを備えている。バインダ５ｄは、加熱されると軟化して冷却されると硬化することにより、２個の部材を接続することができる。また、ＡＣＦ層５ｂは導電性粒子５ｅの存在により加圧方向にのみ導電性を生じる。
【００２３】
ＡＣＦテープ供給部２３は、ＡＣＦテープ５の一方の端部を送り出し可能に蓄積したＡＣＦテープ蓄積部３８と、ＡＣＦテープ５の他方の端部を回収するＡＣＦテープ回収部３９とを備えている。また、ＡＣＦテープ供給部２３は、ＡＣＦテープ蓄積部３８からステージ１９の上方を経てＡＣＦテープ回収部３９にＡＣＦテープ５を案内するＡＣＦテープ案内部４０を備えている。このＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦ貼付部１４を正面から見たときに大略Ｕ字状を呈するようにＡＣＦテープ５を案内する。さらに、ＡＣＦテープ供給部２３は、ＡＣＦテープ案内部４０に沿ってＡＣＦテープ蓄積部３８からＡＣＦテープ回収部３９へ向けてＡＣＦテープ５を送るためのＡＣＦテープ送り部４１を備えている。
【００２４】
ＡＣＦテープ蓄積部３８は、ＡＣＦテープ５を多数回巻き付けたＡＣＦテープ用リール４２を備えている。図７に示すように、ＡＣＦテープ用リール４２は、フレーム２０の可動部２９に回転可能に軸支されたリールシャフト４３の先端に固定されている。このリールシャフト４３の基端側はクラッチ４４を介してモータ３２Ｂの出力軸に連結されている。モータ３２ＢによりＡＣＦテープ用リール４２が図１において矢印で示す方向に回転すると、ＡＣＦテープ用リール４２からＡＣＦテープ５が巻き出される。可動部２９のＡＣＦテープ用リール４２の近傍には、ＡＣＦテープ用リール４２の交換時に使用するチャック４５Ａ（図２に図示する。）が取り付けられている。
【００２５】
ＡＣＦテープ回収部３９は真空ポンプ４６に接続された吸込槽４７を備えている。この吸込槽４７の口金４８にはチューブ４９の基端が接続されている。また、チューブ４９の先端には吸込ノズル５０が接続されている。ＡＣＦテープ５は吸込ノズル５０からチューブ４９及び口金４８を経て吸込槽４７に吸い込まれる。さらに、ＡＣＦテープ回収部３９は、吸込ノズル５０の先端付近にＡＣＦテープ５の切断を検出するための一対のセンサ５１Ａ，５１Ｂを備えている。
【００２６】
ＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦ層５ｂがステージ１９上のＰＤＰ基板１１と対向するように、ＡＣＦテープ５を案内する。まず、ＡＣＦテープ案内部４０は、フレーム２０の可動部２９に取り付けられた固定のガイドローラ５２Ａ〜５２Ｈを備えている。これらのガイドローラ５２Ａ〜５２Ｈのうち、５個のガイドローラ５２Ａ〜５２ＥがＡＣＦテープ５の基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂを案内するためのものであり、残りの３個のガイドローラ５２Ｆ〜５２Ｈが分岐点５３においてＡＣＦ層５ｂから剥離した被覆層５ｃを案内するためのものである。
【００２７】
また、ＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦテープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ蓄積部３８側に設けられた可動アーム５４Ａと、ＡＣＦテープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ回収部３９側に設けられた可動アーム５４Ｂとを備えている。これら可動アーム５４Ａ，５４Ｂは、フレーム２０の可動部２９に対して鉛直方向に移動可能であり、それぞればねにより可動部２９に連結されている。また、可動アーム５４Ａ，５４Ｂの下端位置を規制する規制ピン５５が可動部２９に取り付けられている。これら可動アーム５４Ａ，５４Ｂにも、それぞれガイドローラ５２Ｉ〜５２Ｋが取り付けられている。可動アーム５４Ａの上端は、昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５６Ａにより押し下げられるようになっている。可動アーム５４Ｂは、昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５６Ｂの下端に取り付けられた中間ロッド５７により押し下げられるようになっている。これらのプッシュロッド５６Ａ，５６Ｂの上端側は昇降ブロック３４の内部に収容されており、ばねにより鉛直方向下向きに弾性的に付勢されている。中間ロッド５７にはチャック４５Ｂが取り付けられている。このチャック４５Ｂは、ＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを加圧する際に、ＡＣＦテープ５のＡＣＦテープ回収部３９側を固定するために設けられている。
【００２８】
ＡＣＦテープ案内部４０は、張力付与機構５８を備えている。この張力付与機構５８は、ＡＣＦテープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ蓄積部３８側の可動部２９に設けられた鉛直方向のガイド溝５９Ａと、錘体６０Ａとを備えている。この錘体６０Ａには基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂを案内するガイドローラ５２Ｌと、被覆層５ｃを案内するガイドローラ５２Ｍとが取り付けられている。また、錘体６０Ａはガイド溝５９Ａ上を移動自在であり、それ自体の自重による鉛直方向下向きの力が作用している。基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂは、錘体６０Ａのガイドローラ５２Ｌによって、下向きから上向に送り方向が反転されるように案内されており、錘体６０Ａの自重により張力が付与されている。錘体６０Ａは水平方向に延びる突片６１Ａを備えている。また、ガイド溝５９Ａに沿ってフレーム２０の固定部２８に３個のセンサ５１Ｃ〜５１Ｅが配設されている。これらのセンサ５１Ｃ〜５１Ｅによりガイド溝５９Ａ上の錘体６０Ａの位置を検出できる。
【００２９】
被覆層５ｃは錘体６０Ａのガイドローラ５２Ｍから可動部２９上の固定のガイドローラ５２Ｇ，５２Ｈを経て、被覆層回収部６２により回収される。この被覆層回収部６２は、真空ポンプ４６に接続された吸込槽６３、この吸込槽６３の口金６４に基端が接続されたチューブ６５、及びチューブ６５の先端に取り付けられた吸込ノズル６６を備えている。基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂから分離された被覆層５ｃは、吸込ノズル６６からチューブ６５、及び口金６４を経て吸込槽６３に回収される。
【００３０】
ＡＣＦテープ送り部４１は、フレーム２０の固定部２８に取り付けられたモータ３２Ｃを備えている。このモータ３２Ｃの出力軸は鉛直方向に延びる第２ボールねじ６７に連結されている。この第２ボールねじ６７は固定部２８に対して鉛直方向に移動自在である引きブロック６８のナット部に螺合している。この引きブロック６８には、開閉可能なチャック４５Ｃが取り付けられている。
【００３１】
図１５に詳細に示す切断部２４は、ステージ１９の上方領域に対して侵入及び退避可能であり、かつ開閉可能な一対の切断アーム６９Ａ，６９Ｂを備えている。下側の切断アーム６９ＡはＡＣＦ層５ｂを切断するためのブレード７０を備えているが、上側の切断アーム６９Ｂはブレード７０を備えていない。これらの切断アーム６９Ａ，６９Ｂを閉じると、ブレード７０によりＡＣＦテープ５のＡＣＦ層５ｂは切断されるが基材層５ａは切断されることなく残り、切込線６が形成される。
【００３２】
剥離部２５は、可動アーム５４Ｂの下端に水平方向に移動可能に取り付けられた剥離アーム７１を備えている。この剥離アーム７１の先端には一対のガイドローラ５２Ｌ，５２Ｍが取り付けられている。一方、剥離アーム７１の基端は第２エアシリンダ７２に連結されている。この第２エアシリンダ７２のロッドの位置に応じて剥離アーム７１が水平方向に移動する。
【００３３】
保護テープ供給部２６は、ツール１０の下側に保護テープ１０を供給する。保護テープ１０は、熱伝導性及び耐熱性が良好で弾力性を有するテープ材である。例えば、シリコンやテフロンを含有する高熱伝導性絶縁ゴムシートを保護テープ１０として使用することができる。
【００３４】
保護テープ供給部２６は、保護テープ１０の一方の端部を送り出し可能に蓄積した保護テープ蓄積部７３と、保護テープ１０の他方の端部を回収する保護テープ回収部７４とを備えている。また、保護テープ供給部２６は、保護テープ蓄積部７３からステージ１９の上方を経て保護テープ回収部７４に保護テープ１０を案内する保護テープ案内部７５を備えている。この保護テープ案内部７５は、ＡＣＦ貼付部１４を正面から見たときに大略Ｕ字状を呈し、かつステージ１９上のＰＤＰ基板１１とツール２１との間に介在するように、保護テープ１０を案内する。さらに、保護テープ供給部２６は保護テープ案内部７５に沿って保護テープ蓄積部７３から保護テープ回収部７４へ向けて保護テープ１０を送るための保護テープ送り部７６を備えている。
【００３５】
保護テープ蓄積部７３は、保護テープ１０を多数回巻き付けた保護テープ用リール７７を備えている。図７に示すように、保護テープ用リール７７は、フレーム２０の可動部２９に回転可能に軸支されたリールシャフト４３の先端に固定されている。このリールシャフト４３の基端側はクラッチ４４を介してモータ３２Ｄの出力軸に連結されている。モータ３２Ｄにより保護テープ用リール７７が図２において矢印で示す方向に回転すると、保護テープ用リール７７から保護テープ１０が巻き出される。可動部２９の保護テープ用リール７７の近傍には、保護テープ用リール７７の交換時に使用するチャック４５Ｄが取り付けられている。
【００３６】
図１３に詳細に示すように、保護テープ回収部７４は真空ポンプ４６に接続された吸込槽７８を備えている。この吸込槽７８の口金７９にはチューブ８０（接続管部材）の基端が接続されている。また、チューブ８０の先端には吸込ノズル８１が接続されている。保護テープ１０は吸込ノズル８１からチューブ８０及び口金７９を経て吸込槽７８に吸い込まれる。さらに、保護テープ回収部７４は吸込ノズル８１の先端付近に、ＡＣＦテープ５の切断を検出するための一対のセンサ５１Ｆ，５１Ｇを備えている。
【００３７】
吸込ノズル８１には、保護テープ１０を吸込槽７８内に導くための吸込経路８２が基端から先端まで貫通して設けられている。この吸込経路８２は、先端から長手方向中央部分に向けて連続的に縮径し、長手方向中央部から基端側に向けて連続的に拡径している。この断面形状により吸込ノズル８１の先端付近や吸込経路８２の途中で保護テープ１０に作用する摩擦抵抗が低減され、その結果、吸込ノズル８１への吸込時に保護テープ１０が切断されるのを防止することができる。
【００３８】
チューブ８０は、外層８３と内層８４からなる二重構造である。チューブ８０の先端付近には内層８４がなく、外層８３に対して吸込ノズル８１が挿入されている。同様に、チューブ８０の基端付近には内層８４がなく、外層８３に対して口金７９が挿入されている。そして、チューブ８０の内層８４の内径、口金７９の内径、及び吸込経路８２の基端側の内径を同一径としている。また、内層８４の先端付近は最先端部に向けて連続的に拡径するテーパ状である。同様に、口金７９の先端付近も最先端部に向けて連続的に拡径するテーパ状である。このように吸込ノズル８１、チューブ８０、及び口金７９の内側断面の形状及び寸法を一定とし、かつ可能な限り凹凸をなくし、保護テープ１０に作用する摩擦抵抗を低減している。その結果、吸込槽７８への吸込時の保護テープ１０の切断やチューブ８０内での保護テープ１０の詰まりを防止することができる。
【００３９】
吸込ノズル８１の先端近傍には、保護シートの送り方向に対して蛇行して配置された３個の振れ止めピン８５が設けられている。保護テープ１０はこれらの振れ止めピン８５に案内されて蛇行しつつ吸込ノズル８１の吸込経路８２へ導入される。従って、吸込ノズル８１の先端近傍での保護テープ１０の振動ないしは揺れが防止され、保護テープ１０は保護テープ吸引ノズル８１と干渉することなく吸込経路８２内に案内される。その結果、吸引時に保護テープ１０が切断されるのを防止することができる。
【００４０】
保護テープ案内部７５は、ステージ１９上でＡＣＦテープ５とＡＣＦツール２１の間を通るように保護テープ１０を案内する。まず、保護テープ案内部７５は、フレーム２０の可動部２９に取り付けられた固定のガイドローラ５２Ｎ，５２Ｐを備えている。また、保護テープ案内部７５は、保護テープ１０の送り方向でステージ１９よりも保護テープ蓄積部７３側に設けられた可動アーム５４Ｃと、保護テープ１０の送り方向でステージ１９よりも保護テープ回収部７４側に設けられた可動アーム５４Ｄとを備えている。これらの可動アーム５４Ｃ，５４Ｄの先端にも保護テープ１０を案内するためのガイドローラ５２Ｑ，５２Ｒが取り付けられている。また、これら可動アーム５４Ｃ，５４Ｄは、フレーム２０の可動部２９に対して鉛直方向に移動可能であり、それぞればねにより可動部２９に連結されている。さらに、可動アーム５４Ｃ，５４Ｄの下端位置を規制する規制ピン５５が可動部２９に取り付けられている。可動アーム５４Ｃ，５４Ｄの上端は昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄにより押し下げられるようになっている。プッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄの上端側は昇降ブロック３４の内部に収容されており、ばねにより鉛直方向下向きに弾性的に付勢されている。
【００４１】
可動アーム５４Ｄの先端付近には引き上げピン８６（保護シートガイド部材）が固定されている。後に詳述するように、この引き上げピン８６はツール２１がＡＣＦ層５ｂをＰＤＰ基板１１に対して加圧する際に、ツール２１の図において左側の縁部２１ａに密接するように保護テープ１０を案内する（図１６参照）。
【００４２】
固定部２８にチャック４５Ｅが取り付けられている。このチャック４５ＥはＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを加圧する際に保護テープ１０の保護テープ回収部７４側を固定するためのものである。
【００４３】
保護テープ案内部７５は、張力付与機構８７を備えている。この張力付与機構８７は、保護テープ１０の送り方向でステージ１９よりも保護テープ蓄積部７３側の可動部２９に設けられた鉛直方向のガイド溝５９Ｂと、錘体６０Ｂとを備えている。この錘体６０Ｂには保護テープ１０を案内するガイドローラ５２Ｓが取り付けられている。また、錘体６０Ｂはガイド溝５９Ｂ上を移動自在であり、それ自体の自重による鉛直方向下向きの力が作用している。保護テープ１０は下向きから上向に送り方向が反転されるように錘体６０Ｂのガイドローラ５２Ｓに案内されており、錘体６０Ｂの自重により張力が付与されている。錘体６０Ｂは水平方向に延びる突片６１Ｂを備えている。また、ガイド溝５９Ｂに沿ってフレーム２０の固定部２８に３個のセンサ５１Ｈ〜５１Ｊが配設されている。これらのセンサ５１Ｈ〜５１Ｊによりガイド溝５９Ｂ上の錘体６０Ｂの位置を検出できる。
【００４４】
ガイドローラ５２Ｐの外周には検出片８８が等角度間隔で設けられている。また、このガイドローラ５２Ｐの近傍にセンサ５１Ｋが取り付けられている。ガイドローラ５２の回転によりセンサ５１Ｋを通過する検出片８８を計数することにより、保護テープ蓄積部７３から送り出された保護テープ１０の長さが測定される。
【００４５】
保護テープ送り部７６は、フレーム２０の固定部２８に取り付けられたピンチローラ機構８９を備えている。このピンチローラ機構８９は図示しないモータにより回転駆動される駆動ローラ９０と、従動ローラ９１とを備えている。従動ローラ９１は基端が回転可能に固定部２８に支持され、先端がばねにより駆動ローラ９０に向けて弾性的に付勢された旋回レバー９２に取り付けられている。そのため、保護テープ１０は駆動ローラ９０と従動ローラ９１の間に挟み込まれており、駆動ローラ９０が図示の方向に回転すると保護テープ回収部７４に向けて送られる。
【００４６】
また、アクチュエータ（図示せず。）によって旋回レバー９２を反時計方向に回転させて従動ローラ９１を駆動ローラ９０から離反させると、ピンチローラ機構８９から保護テープ１０を抜き出すことができる。図において矢印で示すように、ＡＣＦテープ送り部７６によるＡＣＦテープ５の送り方向と、保護テープ送り部７６による保護テープ１０の送り方向は反対向きである。
【００４７】
ピンチローラ機構８９と保護テープ回収部７４との間には、接続部検出用のセンサ５１Ｌが配設されている。
【００４８】
上記チャック４５Ａ〜４５Ｅについて、保護テープ案内部７５が備えるチャック４５Ｅを例として図１４を参照して説明する。チャック４５Ｅは、保護テープ１０の異なる面とそれぞれ対向する顎部９３Ａ，９３Ｂを備えている。一方の顎部９３Ａは単一の部材からなり、保護テープ１０と対向する面が平面である。他方の顎部９３Ｂは、基部部材９４と、接触部材９５とを備えている。スライドシャフト９６の一端に接触部材９５が固定されており、スライドシャフト９６の他端は基部部材９４に設けられたスライド孔９７に挿通されている。また、基部部材９４と接触部材９５の間にはばね３７Ｂが設けられている。このばね３７Ｂにより、接触部材９５には基部部材９４から離反して保護シートに向かう方向に弾性的な付勢力が作用している。基部部材９４には接触部材９５と点接触的に接触するための突部９８が設けられている。顎部９３Ａ，９３Ｂはエアシリンダを含む駆動機構により駆動され、互いに接近して保護テープ１０を挟み込んで保持する位置と、互いに離反して保護テープ１０の保持を解除する位置とに移動可能である。
【００４９】
顎部９３Ａ，９３Ｂが互いに接近すると、最初に顎部９３Ａと顎部９３Ｂの接触部材９５が保護テープ１０の異なる面にそれぞれ接触する。顎部９３Ａ，９３Ｂがさらに接近すると、ばね３７Ｂの弾性的な付勢力に抗して接触部材９５に対して基部部材９４が接近し、それによって突部９８が接触部材９５に当接する。顎部９３Ａ，９３Ｂがさらに接近することにより、突部９８に押された接触部材９５と顎部９３Ａとの間に保護シートが挟み込まれる。従って、顎部９３Ａと顎部９３Ｂの接触部材９５との間に保護シートが確実に挟み込まれ、かつ保護シートは顎部９３Ａ，Ｂに対して滑ることなく確実に保持される。ただし、チャック４５Ａ〜４５Ｅの構造は、図１４に示すものに限定されず、ＡＣＦテープ５や保護テープ１０を解放可能に保持できるものであればよい。リール交換時に使用するチャック４５Ａ，４５Ｄは手動で開閉するものであってもよい。
【００５０】
保護テープ冷却部２７は、図１５に示すように、保護テープ１０に冷却用の空気を噴射するための冷却ノズル９９と、この冷却ノズル９９に対して空気を供給するブロワ１００とを備えている。冷却ノズル９９の位置及び向きは、ツール２１がステージ１９と間隔を隔てて対向する位置にあるときに、ツール２１の図において左側の縁部２１ａ、すなわちＡＣＦテープ５の切込線６と対応する部分に向けて空気を噴射するように設定されている。
【００５１】
次に、ＡＣＦ貼付部１４の動作を説明する。図２及び図３と図１５とは、ツール２１によりＡＣＦ層５ｂをＰＤＰ基板１１に加圧する前の状態を示している。ツール２１はステージ１９、ＰＤＰ基板１１、及びＡＣＦテープ５の上方に間隔を隔てて位置している。ＡＣＦテープ送り部４１は、ＡＣＦ層５ｂの先端がＡＣＦツール２１の図において右側の縁部２１ｂと対応する位置に達するように、ＡＣＦテープ５をＡＣＦテープ回収部３９に向けて送る。また、チャック４５Ｂが閉じてＡＣＦテープ５（基材層５ａ）を固定し、チャック４５Ｅが閉じて保護テープ１０を固定する。ＡＣＦテープ５のＡＣＦ層５ｂはステージ１９上のＰＤＰ基板１１と間隔を隔てて対向している。切断部２４の切断アーム６９Ａ，６９Ｂがステージ１９の上方に進出し、切込線６を形成する。
【００５２】
保護テープ１０はＡＣＦテープ５の上方に間隔を隔てて配置されている。また、保護テープ１０はその上方に位置するツール２１と間隔を隔てて対向しており、保護テープ１０はＡＣＦテープ５と接触していない。ツール２１と保護テープ１０との間に間隔を設けることにより、ツール２１から保護テープ１０への熱の伝達を抑制している。また、この間隔を設けることにより、保護テープ１０が周囲の空気との熱交換により自然冷却され、それによって保護テープ１０の過度の温度上昇が防止される。ツール２１が図３及び図３と図１５とで示すようにステージ１９から離れた位置にあるときには、ヒータ３１による加熱を停止している。これによってもＡＣＦツール２１から保護テープ１０に伝わる熱を低減され、保護テープ１０の温度上昇が防止される。また、保護テープ冷却部２７の冷却ノズル９９から保護テープ１０に対して空気を噴射している。この空気の噴射により保護テープ１０と周囲の空気との熱交換が一層促進され、保護テープ１０の温度上昇が防止される。
【００５３】
次に、モータ３２Ａにより第１ボールねじ３３が回転駆動されて昇降ブロック３４が降下し、さらに第１エアシリンダ３６のロッドが突出位置となり、ツール２１がＰＤＰ基板１１へ向けて降下する。また、昇降ブロック３４の降下に伴ってプッシュロッド５６Ａ〜５６Ｄによって可動アーム５４Ａ〜５４Ｄがばねの付勢力に抗して押し下げられるため、ＡＣＦテープ５及び保護テープ１０もステージ１９上のＰＤＰ基板１１に向けて降下する。そのため、図４及び図１６に示すように、ツール２１がステージ１９に向けて付勢され、ツール２１によりＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦテープ５のＡＣＦ層５ｂが加圧される。ツール２１とＡＣＦテープ５との間には、弾力性を有する保護テープ１０が介在している。そのため、ツール２１からＡＣＦ層５ｂに対して均一な分布の加圧力が作用し、ＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを正確に貼り付けることができる。ＡＣＦツール２１による加圧力は例えば５０〜１００N/cm2であり、加圧時の温度は例えば６０〜７０℃程度である。
【００５４】
ＡＣＦ層５ｂの切込線６と対応するツール２１の図において左側の縁部２１ａでは、引き上げピン８６が保護テープ１０をステージ１９から離反する方向（図において上方）へ案内し、縁部２１ａに対して保護テープ１０を密接させている。そのため、切込線６の付近でもＡＣＦツール２１からＡＣＦ層５ｂに作用する加圧力の分布が均一であり、ＡＣＦ層５ｂの切断等の不具合を防止することができる。
【００５５】
ＡＣＦテープ５は、図において右側がチャック４５Ｂにより保持される一方、左側は上下動可能な錘体６０Ａが備えるガイドローラ５２Ｌで案内されているため、ＡＣＦツール２１の降下に伴い図１５において矢印で示すように右向きに送られる。これに対して、保護テープ１０は、図において左側がチャック４５Ｄにより保持される一方、右側は上下動可能な錘体６０Ｂが備えるガイドローラ５２Ｓで案内されているため、ツール２１の降下に伴い図１５において矢印で示すように左向きに送られる。仮に、ツール２１降下時のＡＣＦテープ５の送り方向と保護テープ１０の送り方向とが同一方向であると、ＡＣＦテープ５と保護テープ１０との間の摩擦力により、ＡＣＦテープ５が保護テープ１０に引っ張られて必要以上に送られ、それによってＡＣＦ層５ｂの先端及び切込線６のＰＤＰ基板１１に対する位置がずれるおそれがある。しかし、本実施形態では、ＡＣＦテープ５の送り方向と保護テープ１０の送り方向とを反対方向としているため、ＡＣＦツール２１の降下時にＡＣＦテープ５が保護テープ１０に引っ張られて必要以上に送られるのを防止することができる。従って、ＡＣＦ層５ｂの先端及び切込線６のＰＤＰ基板１１に対する位置にずれがが防止される。
【００５６】
次に、第１エアシリンダ３６のロッドが引込位置となると共に、モータ３２Ａにより第１ボールねじ３３が回転駆動されて昇降ブロック３４が上昇する。その結果、図５及び図１７に示すように、ツール２１が上昇してステージ１９から離れる。また、昇降ブロック３４の上昇によりプッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄが可動アーム５４Ｃ，５４Ｄを押し下げる力が低下するため、可動アーム５４Ｃ，５４Ｄが上昇し、保護テープ１０もステージ１９から離れる。一方、ＡＣＦ層５ｂがＰＤＰ基板１１に貼り付いているため、昇降ブロック３４が上昇しても可動アーム５４Ａ，５４Ｂは上昇せず、ＡＣＦテープ５はＰＤＰ基板１１上に保持されている。
【００５７】
ツール２１が上昇してステージ１９から離れるとヒータ３１により加熱が停止される。また、ツール２１がステージ１９から離れると、冷却ノズル９９からの空気の噴射が開始される。ＡＣＦ層５ｂの切込線６と対応するツール２１の縁部２１ａではＡＣＦ層５ｂをＰＤＰ基板１１に加圧する際に応力集中が生じる。従って、保護テープ１０のツール２１に対応する部分は、他の部分と比較して大きな圧力が作用し、劣化が生じやすい。これに対して、本実施形態では、冷却ノズル９９から保護テープ１０のツール２１の縁部２１ａに対応する部分に空気を噴射しているため、この部分での保護テープ１０の劣化を効果的に防止することができる。
【００５８】
次に、第２エアシリンダ７２のロッドが突出位置となり、それによって図６及び図１８に示すように、剥離アーム７１が図において左向きに水平移動する。そのため、剥離アーム７１の先端に取り付けられたガイドローラ５２Ｌ，５２Ｍにより、ＡＣＦテープ５の基材層５ａのみがＰＤＰ基板１１から引き剥がされる。その結果、ＡＣＦ層５ｂの先端から切込線６に対応する部分がＰＤＰ基板１１に残る。その後、昇降ブロック３４が上昇して図２及び図３と図１５とに示す初期位置に戻り、ＰＤＰ基板１１に対するＡＣＦ層５ｂの貼り付けが完了する。ＡＣＦ貼付部１４は以上の動作を繰り返し実行する。
【００５９】
新たにＡＣＦ層５ｂの貼り付けを実行するには、ＡＣＦテープ５を送る必要がある。このＡＣＦテープ５の送りは以下のように実行される。まず、チャック４５ＣによりＡＣＦテープ５を保持する一方、チャック４５ＢによるＡＣＦテープ５の保持を解除する。次に、モータ３２ＢによりＡＣＦテープ用リール４２を回転させ、ＡＣＦテープ５を一定の長さだけ送り出す。この送り出すＡＣＦテープ５の長さは、ＡＣＦ層５ｂの先端（前回のＡＣＦ層５ｂの貼り付け時に形成した切込線６）がツール２１の右側の縁部２１ｂ付近に位置するように設定される。次に、モータ３２Ｃにより第２ボールねじ６７を回転駆動して引きブロック６８を上昇させる。引きブロック６８の上昇により、ＡＣＦテープ５がＡＣＦテープ回収部３０へ送られ、吸込槽４７に回収される。
【００６０】
コントローラ１８は、上記ＡＣＦ貼付部１４がＰＤＰ基板１１に対するＡＣＦ層５ｂの貼り付けを実行した回数、すなわちステージ１９に向けて付勢されたツール２１がＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを加圧した回数を計数している。また、貼り付けの実行回数が予め定められた回数（限界回数）に達したことをコントローラ１８が検出すると、保護テープ供給部２６は保護テープ１０を保護テープ蓄積部７３から保護テープ回収部７４へ向けて送り、未使用の保護テープ１０をツール２１に供給する。
【００６１】
保護テープ１０の送りは、図２及び図３と図１５とに示すようにツール２１がステージ１９から間隔を隔てた位置にあるときに実行される。まず、チャック４５Ｅによる保護テープ１０の保持を解除する。次に、モータ３２Ｄにより保護テープ用リール７７を回転させて保護テープ１０を所定長さだけ送り出す。この送り出す保護テープ１０の長さは、１回の送り動作によりツール２１の下端面が保護テープ１０の未使用の部分と対向するように設定される。保護テープ用リール７７から送り出された保護テープ１０の長さはセンサ５１を通過する検出片８８の数により計測される。次に、ピンチローラ機構８９の駆動ローラ９０が回転し、保護テープ１０を保護テープ回収部７４へ向けて送る。保護テープ回収部７４へ送られた保護テープ１０は吸込槽７８に回収される。
【００６２】
本実施形態では、上記のように限界回数毎にツール２１に未使用の保護テープ１０を供給するため、熱や圧力の影響による劣化が進行していない保護テープ１０を使用してＡＣＦ層５ｂの貼り付けを行うことができる。従って、正確なＡＣＦ層５ｂの貼り付けを安定して繰り返すことができる。また、ツールに被覆層を設ける場合（図２６参照）と比較すると、ツール２１の交換が不要ないしはその頻度が大きく低減されるため、メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。
【００６３】
上記のように限界回数のＡＣＦ層５ｂの貼り付けを行う度に、保護テープ用リール７７から新たな保護テープ１０が送り出される。１個の保護テープ用リール７７の保護テープ１０が消費された場合には、以下の手順で新しい保護テープ用リール７７と交換する。
【００６４】
まず、図１９に示すように、チャック４５Ｄにより保護テープ１０を保持した後、保護テープ用リール７７付近で保護テープ１０を切断する。次に、図３０に示すように、保護テープ用リール７７をＡＣＦ貼付部１４から取り外す。また、新品の保護テープ用リール７７を取り付け、この保護テープ用リール７７に巻回された保護テープ１０の先端を、チャック４５Ｄにより保持されている前の保護テープ用リール７７の端部に接続する。この保護テープ１０の接続方法には種々の方法がある。例えば、図２２（Ａ）に示すように、短い接続用テープ１０１に２本の保護テープ１０をそれぞれ接着し、それによって接続部１０２を形成することができる。また、図３２（Ｂ）に示すように超音波溶着１０３により２本の保護テープ１０の接続部１０２を形成することができる。
【００６５】
２本の接続テープ１０の接続部１０２は、ＡＣＦ層５ｂの加圧に使用しないことが好ましい。すなわち、仮に接続部１０２を介在させてＡＣＦツール２１によりＡＣＦ層５ｂを加圧すると、接続部１０２には凹凸があるため、ＡＣＦ層５ｂに作用する加圧力の分布を均一とするのは困難である。そのため、保護テープ用リール７７を交換した場合には、ＡＣＦ層５ｂの貼り付けを再開する前に、少なくとも接続部１０２がステージ１９上を通過するまで保護テープ１０を保護テープ回収部７４に向けて送る必要がある。
【００６６】
本実施形態では、接続部検出用のセンサ５１Ｌにより接続部１０２が検出されるまで、保護テープ送り部７６が保護テープ回収部７４に向けて保護テープ１０を送る。接続部検出用のセンサ５１Ｌとしては、例えば磁気、色彩、又は段差を検知可能なものを使用することができる。センサ５１Ｌが磁気を検知する場合には、接続テープ（図３２（Ａ）参照）として磁性テープを使用すればよい。また、センサ５１Ｌが色彩を検知する場合に、接続用テープ１０１を保護テープ１０と異なる色に着色したり、超音波溶着１０３を行った部分（図２２（Ｂ）参照）を保護テープ１０と異なる色に着色すればよい。さらに、センサ５１Ｌが段差を検出可能であれば、接続用テープ１０１と保護テープ１０によって形成される段差や、超音波溶着１０３のために２本の保護テープ１０を重ねた部分の段差が検出される。
【００６７】
フレーム２０の構造について図７及び図１０を参照して説明する。まず、固定部２８は鉛直方向に間隔をあけて対向する一対のブラケット１０４を備えている。これらのブラケット１０４に鉛直方向に延びる旋回シャフト１０５が固定されている。旋回シャフト１０５には旋回ブロック１０６が回動可能に支持されている。旋回ブロック１０６には２本の支持シャフト１０７が貫通し、これらの支持シャフト１０７の先端に可動部２９が固定されている。旋回ブロック１０６と可動部２９の間にはばね３７Ｃが配設され、これらのばね３７Ｃは旋回ブロック１０６と可動部２９をそれらが互いに離反する方向に弾性的に付勢している。旋回ブロック１０６にはハンドル１０８により操作可能なカム１０９が設けられている。このカム１０９と対応するカムフォロア１１０（ローラ）は支持シャフト１０７の基端に固定された抜け止め板１１１から延びる駆動アーム１１２に設けられている。また、ブラケット１０４を貫通して旋回ブロック１０６のピン孔１１３に差し込まれた係止ピン１１４が設けられている。
【００６８】
次に、フレーム２０の反転旋回の手順を説明する。まず、図７及び図１０に示す状態で、ハンドル１０８を操作してカム１０９を回転させる。カムフォロア１１０がカム１０９のカム面に追従するため、ばね３７Ｃの付勢力により可動部２９が水平移動し、図８及び図１１に示すように可動部２９が固定部２８から離れる。次に、係止ピン１１４をピン孔１１３から抜き出し、ブラケット１０４と旋回ブロック１０６の連結を解除する。その後、図９及び図１２に示すように支軸シャフト回りに可動部２９を平面視で１８０°旋回させる。図１に概略的に示すように、通常時にはＡＣＦテープ供給部２３や保護テープ供給部２６はガイドレール１３と対向しているが、可動部２９を旋回して反転させるとこれらは部品実装装置の外側を向く。従って、作業者Ｍは、部品実装装置内に入ることなく、ＡＣＦテープ用リール４２や保護テープ用リール７７の交換作業を行うことができる。
【００６９】
次に、仮圧着部１５について説明する。仮圧着部１５は、ＡＣＦ貼付部１４でＡＣＦ層５ｂを貼り付け済みのＰＤＰ基板１１に対して、ＦＰＣ供給部１１５から供給されたＦＰＣ基板１２を位置決めする。また、仮圧着部１５は、位置決め後にＦＰＣ基板１２をＰＤＰ基板１１に対して加熱状態で加圧し、ＡＣＦ層５ｂによってＰＤＰ基板１１に対してＦＰＣ基板１２を仮圧着する。仮圧着の加圧力は例えば５０〜１００N/cm2であり、加圧時の温度は例えば６０〜７０℃程度である。
【００７０】
次に、本圧着部１６について説明する。図２３に示すように、本圧着部１６は仮圧着部１５でＦＰＣ基板１２を仮圧着済みのＰＤＰ基板１１が載置されるステージ１９を備えている。このステージ１９は昇降可能であり、かつ図示しない吸引機構によりＰＤＰ基板１１をその上面に解放可能に保持することができる。このステージ１９の上方に配置されたフレーム２０には、ツール２１、ツール付勢部２２、保護テープ供給部２６、及び保護テープ冷却部２７が設けられている。本圧着部１６の構造は、ＡＣＦ供給部を備えていない点を除いてＡＣＦ貼付部１４と同様の構造であり、図２３において図２及び図３と同一に要素には同一の符号を付している。
【００７１】
図２３に示すように、ツール２１がステージ１９から間隔を隔てた位置にあるときに、ＦＰＣ基板１２を仮圧着済みのＰＤＰ基板１１が仮圧着部１５からステージ１９に供給される。次に、ツール付勢部２２によりツール２１が降下し、ステージ１９に向けて付勢される。また、プッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄにより可動アーム５４Ｃ，５４Ｄが降下することにより、ツール２１と共に保護テープ１０も降下する。ステージ１９に向けて付勢されたツール２１により、ＰＤＰ基板１１に貼り付けられたＡＣＦ層５ｂに対してＦＰＣ基板１２が加熱状態で加圧される。ツール２１とＦＰＣ基板１２との間には、弾力性を有する保護テープ１０が介在している。そのため、ツール２１からＦＰＣ基板１２に対して均一な分布の加圧力が作用し、ＡＣＦ層５ｂによりＰＤＰ基板１１に対してＦＰＣ基板１２を正確に固定することができる。本圧着ツール２１による加圧力は例えば３００〜４００N/cm2であり、加圧時の温度は例えば１８０〜２００℃程度である。
【００７２】
コントローラ１８は、上記本圧着部１６がＰＤＰ基板１１に対するＦＰＣ基板１２を実行した回数を計数する。この回数が限界回数に達したことをコントローラ１８が検出すると、保護テープ送り部７６が保護テープ蓄積部７３から保護テープ回収部７４に向けて保護テープ１０を送り、未使用の保護テープ１０をツール２１に供給する。従って、本圧着部１６は熱や圧力による劣化が進行していない保護テープ１０を使用して本圧着を実行することができる。また、ツールに被覆層を設ける場合と異なり、ツール２１の交換が不要となるため、メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。本圧着部１６のその他の作動はＡＣＦ貼付部１４と同様である。
【００７３】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、本発明の装置及び方法は、ＰＤＰ基板１１以外の部品（例えば、液晶表示基板（ＬＣＤ基板）、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ素子）、又は通常のプリント基板）に対してＡＣＦテープを含む種々の接合テープを加圧して貼り付けるために使用することができる。また、本発明の装置及び方法は、ＦＰＣ基板１２以外の部品（例えばテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）のような可撓性を有する部品、）を他の部品について実装するために使用することができる。
【００７４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明では、保護シートが保護シート案内部によって保護シート蓄積部からステージを経て保護シート回収部へ案内され、かつ保護シートを保護シート送り部により保護シート回収部へ向けて送ることができる。そのため、保護シートが劣化する前に保護シート送り部により保護シートを送り、保護シートの未使用の部分をツールと対向させることにより、ツールを交換することなく均一な分布を有する加圧力で第１の部品に対して第２の部品を加圧することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態に係る部品実装装置を示す部分平面図である。
【図２】 ツールがステージから離反した位置（第１の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分正面図である。
【図３】 ツールがステージから離反した位置（第１の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分正面図である。
【図４】 ツールがステージに対して付勢された位置（第２の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図５】 ＡＣＦ層がＰＤＰ基板に貼り付けられたときのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図６】 基材層をＰＤＰ基板から引き剥がすときのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図７】 ＡＣＦ貼付部の平面図である。
【図８】 フレームの可動部が固定部から離れた状態でのＡＣＦ貼付部の平面図である。
【図９】 フレームの可動部が固定部に対して旋回した状態でのＡＣＦ貼付部の平面図である。
【図１０】 ＡＣＦ貼付部の右側面図である。
【図１１】 フレームの可動部が固定部から離れた状態でのＡＣＦ貼付部の右側面図である。
【図１２】 フレームの可動部が固定部に対して旋回した状態でのＡＣＦ貼付部の右側面図である。
【図１３】 保護テープ回収部を示す部分断面側面図である。
【図１４】 チャックを示す横断面図である。
【図１５】 ツールがステージから離反した位置（第１の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１６】 ツールがステージに対して付勢された位置（第２の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１７】 ＡＣＦ層がＰＤＰ基板に貼付られたときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１８】 基材層をＰＤＰ基板から引き剥がすときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１９】 保護テープの交換作業を説明するためのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図２０】 保護テープの交換作業を説明するためのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図２１】 保護テープの交換作業を説明するためのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図２２】 （Ａ）及び（Ｂ）は保護テープの接続の一例を示す部分側面図である。
【図２３】 本圧着部を示す正面図である。
【図２４】 ＰＤＰ基板基板とそれに実装されたＦＰＣ基板を示す斜視図である。
【図２５】 ＡＣＦテープを示す側面図である。
【図２６】 従来のＡＣＦ貼付装置の一例を示す正面図である。
【図２７】 従来のＡＣＦ貼付装置における問題を説明するための部分概略平面図である。
【符号の説明】
１１ ＰＤＰ基板
１２ ＦＰＣ基板
１４ ＡＣＦ貼付部
１５ 仮圧着部
１６ 本圧着部
１７ 搬送部
１８ コントローラ
１９ 基板ステージ
２０ フレーム
２１ ツール
２２ ツール付勢部
２３ ＡＣＦテープ供給部
２４ 切断部
２５ 剥離部
２６ 保護テープ供給部
２７ 保護テープ冷却部
２８ 固定フレーム
２９ 可動フレーム
３０ 保持部材
３１ ヒータ
３８ ＡＣＦテープ蓄積部
３９ ＡＣＦテープ回収部
４０ ＡＣＦテープ案内部
４１ ＡＣＦテープ送り部
４２ ＡＣＦテープ用リール
４７，７８ 吸込槽
４８，７９ 口金
４９，８０ チューブ
５０ 吸込ノズル
６２ 被覆層回収部
７３ 保護テープ蓄積部
７４ 保護テープ回収部
７５ 保護テープ案内部
７６ 保護テープ送り部
７７ 保護テープ用リール
８２ 吸込経路
８３ 外層
８４ 内層
８５ 振れ止めピン
８６ 引き上げピン
９３Ａ，９３Ｂ 顎部
９４ 基部部材
９５ 接触部材
９９ 冷却ノズル
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【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマ表示パネル基板（ＰＤＰ基板基板）、液晶表示基板（ＬＣＤ基板）等の部品に対して、異方性導電性フィルムテープ（ＡＣＦテープ）を含む接合シート、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ基板）を含むフィルム状部品等の部品を加圧するための、加圧装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰ基板やＬＣＤ基板等の板状部品に対してＦＰＣ基板等のフィルム部品を実装する部品実装装置は、ＡＣＦ貼付部、仮圧着部、及び本圧着部を備えている。ＡＣＦ貼付部では、板状部品に異方性導電性フィルムテープ（ＡＣＦテープ）の異方性導電性フィルム層（ＡＣＦ層）が貼り付けられる。仮圧着部では、フィルム状部品が板状部品に対して位置決めされた後、ＡＣＦ層により板状部品に仮圧着される。本圧着部では、フィルム状部品が板状部品に対して固定される。
【０００３】
図２６に示すように、ＡＣＦ貼付部では、ステージ１に載置された板状部品３に対してＡＣＦテープ５が供給される。ＡＣＦテープ５は被覆層（図示せず）が予め引き剥がれ、露出したＡＣＦ層５ａが板状部品３に対向している。また、ＡＣＦテープ５の図において左側にはＡＣＦ層５ａのみを切断して基材層５ｂを残した切込線６が設けられ、この切込線６がツール７の図において左側の縁部７ａと対応している。ツール７にはＡＣＦテープ５の基材層５ｂと当接する部分に、シリコン等の弾力性を有する材料からなる被覆層８が設けられている。また、ツール７を加熱するためのヒータが設けられている。ツール７により板状部品３に対してＡＣＦ層５ａが加熱状態で加圧され、それによってＡＣＦ層５ａが板状部品３に貼り付けられる。ツール７が上昇してステージ１から退避した後、図示しない剥離機構により基材層５ｂが板状部品３から引き剥がされ、ＡＣＦ層５ａのみが板状部品３上に残る。
【０００４】
上記本圧着部は、仮圧着部でフィルム状部品を仮圧着済みの板状部品が載置されるステージと、フィルム状部品を板状部品に加圧するためのツールとを備えている。ＡＣＦ貼付部のツールと同様に、本圧着部のツールにも、加圧力の分布の均一化を図るために弾力性を有する材料からなる被覆層が設けられている。また、ツールはヒータを備えており、加熱状態で板状部品に対してフィルム状部品を加圧する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ＡＣＦ貼付部では、ＡＣＦ層５ａの貼り付け作業を繰り返す間に、熱及び圧力の影響で劣化した被覆層８がツール７から剥離する。この被覆層８の剥離が生じると、ＡＣＦ層５ａに作用する加圧力の分布が不均一となり、板状部品３に対してＡＣＦ層５ａを正確に貼り付けることができない。上記ツール７の縁部７ａでは加圧時に応力集中が生じるため、特に被覆層８が剥離しやすい。縁部７ａにおける被覆層８の剥離が生じると、図２７に示すように、切込６の近傍でＡＣＦ層５ａが裂け、裂けた部分９が切込線６からはみ出ることがある。また、ツール７によるＡＣＦ層５ａの貼り付けを繰り返す間に、基材層５ｂからはみ出したＡＣＦ層５ａのバインダを構成する材料等のダストがツール７に付着する。このダストも適切なＡＣＦ層５ａの貼り付けを阻害する。
【０００６】
ＡＣＦ貼付部の場合と同様に、本圧着部でも板状部品に対するフィルム状部品の本圧着を繰り返すことにより、ツールからの被覆層の剥離や、ＡＣＦ層を構成する材料等のダストの付着が発生し、板状部品に対するフィルム状部品の正確な固定を阻害する原因となる。
【０００７】
被覆層の剥離やダストの付着が生じた場合のツール交換には、いくつかの問題がある。まず、ツールを交換するには、部品実装装置の運転を停止して、作業者が手で取り扱うことができる程度にツールの温度が低下するまで待つ必要がある。また、交換後にツールとステージの平行度を高精度で調節する必要があり、この調節は煩雑で長時間を要する。さらに、ＰＤＰ基板用の大型の部品実装装置では、部品実装装置内に作業者が入ってツールの交換作業を実行する必要があり、煩雑である。
【０００８】
そこで、本発明は部品実装装置のＡＣＦ貼付部や本圧着部のようなツールにより一つの部品を他の部品に対して加圧する加圧装置において、ツールの交換頻度を大幅に低減しつつ、高精度の加圧を実行可能とすることを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、第１の部品上に配置された第２の部品を上記第１の部品に対して加圧するための加圧装置であって、上記第１の部品が載置されるステージと、上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記第１及び第２の部品に対して間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記第１の部品に対して上記第２の部品を加圧する第２の位置との間を移動するツールと、保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保護シート蓄積部と、上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収部と、上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステージを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案内部と、上記保護シートを上記保護シート案内部に沿って上記保護シート回収部へ向けて送るための保護シート送り部とを備え、上記ツールが上記第２の位置にあるときに、上記第２の部品と上記ツールとの間に介在するように上記保護シートを供給する保護シート供給部とを備え、上記保護シート回収部は、上記保護シートの他方の端部がその内部に吸い込まれる吸込槽と、基端側が上記吸込槽に接続され、上記保護シートの他方の端部を上記吸込槽内に導くための吸込経路が基端から先端まで貫通して設けられ、この吸込経路は上記先端側から長手方向中央部に向けて断面積が縮小し、上記長手方向中央部から上記基端側に向けて断面積が拡大する、吸込ノズルとを備える、加圧装置を提供する。
【００１０】
第１の発明の加圧装置では、保護シートが保護シート案内部によって保護シート蓄積部からステージを経て保護シート回収部へ案内され、かつ保護シートを保護シート送り部により保護シート回収部へ向けて送ることができる。そのため、保護シートが劣化する前に保護シート送り部により保護シートを送り、保護シートの未使用の部分をツールと対向させることにより、ツールを交換することなく均一な分布を有する加圧力で第１の部品に対して第２の部品を加圧することができる。
【００１１】
上記保護シートは、弾力性、高熱伝導性、及び耐熱性を有する材料からなる。例えば、シリコン、テフロン等の材料を含有する高熱伝導性絶縁ゴムシートを保護シートとして使用することができる。
【００１２】
吸込ノズルの吸込経路の断面を上述の形状とすることにより、吸込ノズルの先端付近や吸込経路の途中で保護シートに作用する摩擦抵抗が低減される。その結果、吸込ノズルへの吸込時に保護シートが切断されるのを防止することができる。
【００１３】
上記保護シート回収部は、上記吸込槽と上記吸込ノズルの基端とを接続するための接続管部材をさらに備え、上記接続管部材の先端に上記吸込ノズルの基端側が挿入され、上記接続管部材の基端に上記吸込槽の接続部が挿入される。上記接続管部材、上記接続部、及び上記吸込経路の基端側の内側断面の形状及び寸法が同一であることが好ましい。この場合、吸込ノズルから接続管部材及び接続部を経て吸込槽に至るまでに保護シートに作用する摩擦抵抗が低減される。その結果、吸込槽への吸引時の保護シートの切断や接続管部材内での保護シートの詰まりを防止することができる。
【００１４】
また、上記保護シート回収部は、上記吸込ノズルの先端近傍に上記保護シートの送り方向に対して蛇行して設けた複数の振れ止め部材を備え、上記保護シートはこれらの振れ止め部材に案内されて上記吸引ノズルの上記吸込経路内に導入される。これらの振れ止め部材を設けることにより、吸引ノズルの先端近傍での保護シートの振動ないしは揺れが防止され、保護シートは吸込ノズルと干渉することなく吸込経路内に案内される。その結果、吸込時に保護シートが切断されるのを防止することができる。
【００１５】
上記保護シート案内部は、上記保護シートの一方の面と対向して配置された第１の顎部と、上記保護シートの他方の面と対向して配置された基部部材と、この基部部材から離反して上記保護シートに向かう方向に弾性的に付勢された接触部材とを有する第２の顎部と、上記第１及び第２の顎部を、それらが互いに接近し上記保護シートを挟み込んで保持する第１の位置と、それらが互いに離反して上記保護シートを解放する第２の位置とに移動させる駆動機構とを有するチャックを備えることが好ましい。かかる構造のチャックであれば、保護シートは第１の顎部と第２の顎部の接触部材との間に確実に挟み込まれ、かつ第１及び第２の顎部に対して滑ることなく確実に保持される。
【００１６】
第２の発明は、板状部品上に配置された接合シートを上記板状部品に対して保護シートを介して加圧するための加圧装置であって、上記板状部品が載置されるステージと、上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記板状部品、上記接合シート、及び上記保護シートに対して間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記板状部品に対して上記保護シートを介して上記接合シートを加圧する第２の位置との間を移動するツールと、上記接合シートと上記ツールとの間に、上記保護シートを供給する保護シート供給部と、上記保護シートと上記板状部品との間に、上記保護シートの供給方向と反対向きに上記接合シートを供給する接合シート供給部とを備える、加圧装置を提供する。
【００１７】
接合シートの供給方向の設定により、保護シートに引っ張られて接合シートの位置がずれるのを防止することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係る部品実装装置を示している。この部品実装装置は、図２４に示すように、プラズマディスプレイパネル基板（ＰＤＰ基板）１１に対して、その駆動回路が形成されたフレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ基板）１２を実装するためのものである。部品実装装置は、一対のガイドレール１３に沿ってＰＤＰ基板１１をＡＣＦ貼付部１４、仮圧着部１５、及び本圧着部１６へ順に搬送する搬送部１７を備えている。これらＡＣＦ貼付部１４、仮圧着部１５、及び本圧着部１６のうち、ＡＣＦ貼付部１４及び本圧着部１６に本発明が適用されている。コントローラ１８は、後述するセンサ５１からの入力や図示しない操作盤からの指令に基づいて、ＡＣＦ貼付部１４、仮圧着部１５、及び本圧着部１６の動作を制御する。
【００１９】
図２から図６はＡＣＦ貼付部１４の正面図、図７から図９はＡＣＦ貼付部１４の平面図、図１０から図１２はＡＣＦ貼付部１４の右側面図である。ＡＣＦ貼付部１４は、ＰＤＰ基板１１が載置されるステージ１９を備えている。このステージ１９は昇降可能であり、かつ図示しない吸引機構によりＰＤＰ基板１１をその上面に解放可能に保持することができる。このステージ１９の上方には配置されたフレーム２０には、ツール２１、ツール付勢部２２、ＡＣＦテープ供給部２３、切断部２４、剥離部２５、保護テープ供給部２６、及び保護テープ冷却部２７が設けられている。フレーム２０は、固定部２８と可動部２９とを備え、可動部２９は固定部２８に対して水平方向に旋回可能である。固定部２８には、ツール２１、ツール付勢部２２、切断部２４、及び保護テープ冷却部２７と、ＡＣＦテープ供給部２３及び保護テープ供給部２６の一部とが取り付けられている。一方、可動部２９にはＡＣＦテープ供給部２３及び保護テープ供給部２６の大部分と、剥離部２５が取り付けられている。
【００２０】
上記ツール２１は、保持部材３０の下端に保持された直方体状の金属製のブロックである。ツール２１の表面は被覆層に覆われることなく露出している。また、保持部材３０はツール２１を加熱するためのヒータ３１を備えている。
【００２１】
ツール付勢部２２は、フレーム２０の固定部２８に取り付けられたモータ３２Ａを備えている。このモータ３２Ａの出力軸は鉛直方向に延びる第１ボールねじ３３に連結されている。第１ボールねじ３３は昇降ブロック３４の上端部に設けられたナット部に螺合している。また、昇降ブロック３４にはそのロッドが鉛直方向下向きに延びる第１エアシリンダ３５が取り付けられている。ツール２１の保持部材３０は加圧ブロック３６の下端に取り付けられ、加圧ブロック３６の上端はばね３７Ａにより昇降ブロック３４に連結されている。このばね３７Ａの付勢力により加圧ブロック３６が第１エアシリンダ３５のロッドの下端に当接している。モータ３２Ａにより第１ボールねじ３３が回転すると、その回転方向に応じて昇降ブロック３４が昇降し、それによって保持部材３０と共にツール２１が昇降する。また、第１エアシリンダ３５のロッドが突出位置となると加圧ブロック３６を介してツール２１に対して下向きの付勢力が作用する。一方、第１エアシリンダ３５のロッドが引込位置となるとツール２１に対する下向きの付勢力が解除される。
【００２２】
ＡＣＦテープ供給部２３は、ＰＤＰ基板１１が保持されたステージ１９の上方にＡＣＦテープを供給する。図２５に示すように、ＡＣＦテープ５は、基材層５ａ、異方性導電性フィルム層（ＡＣＦ層）５ｂ、及び被覆層５ｃを備えている。ＡＣＦ層はバインダ５ｄと、このバインダ５ｄに含有された複数の導電性粒子５ｅとを備えている。バインダ５ｄは、加熱されると軟化して冷却されると硬化することにより、２個の部材を接続することができる。また、ＡＣＦ層５ｂは導電性粒子５ｅの存在により加圧方向にのみ導電性を生じる。
【００２３】
ＡＣＦテープ供給部２３は、ＡＣＦテープ５の一方の端部を送り出し可能に蓄積したＡＣＦテープ蓄積部３８と、ＡＣＦテープ５の他方の端部を回収するＡＣＦテープ回収部３９とを備えている。また、ＡＣＦテープ供給部２３は、ＡＣＦテープ蓄積部３８からステージ１９の上方を経てＡＣＦテープ回収部３９にＡＣＦテープ５を案内するＡＣＦテープ案内部４０を備えている。このＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦ貼付部１４を正面から見たときに大略Ｕ字状を呈するようにＡＣＦテープ５を案内する。さらに、ＡＣＦテープ供給部２３は、ＡＣＦテープ案内部４０に沿ってＡＣＦテープ蓄積部３８からＡＣＦテープ回収部３９へ向けてＡＣＦテープ５を送るためのＡＣＦテープ送り部４１を備えている。
【００２４】
ＡＣＦテープ蓄積部３８は、ＡＣＦテープ５を多数回巻き付けたＡＣＦテープ用リール４２を備えている。図７に示すように、ＡＣＦテープ用リール４２は、フレーム２０の可動部２９に回転可能に軸支されたリールシャフト４３の先端に固定されている。このリールシャフト４３の基端側はクラッチ４４を介してモータ３２Ｂの出力軸に連結されている。モータ３２ＢによりＡＣＦテープ用リール４２が図１において矢印で示す方向に回転すると、ＡＣＦテープ用リール４２からＡＣＦテープ５が巻き出される。可動部２９のＡＣＦテープ用リール４２の近傍には、ＡＣＦテープ用リール４２の交換時に使用するチャック４５Ａ（図２に図示する。）が取り付けられている。
【００２５】
ＡＣＦテープ回収部３９は真空ポンプ４６に接続された吸込槽４７を備えている。この吸込槽４７の口金４８にはチューブ４９の基端が接続されている。また、チューブ４９の先端には吸込ノズル５０が接続されている。ＡＣＦテープ５は吸込ノズル５０からチューブ４９及び口金４８を経て吸込槽４７に吸い込まれる。さらに、ＡＣＦテープ回収部３９は、吸込ノズル５０の先端付近にＡＣＦテープ５の切断を検出するための一対のセンサ５１Ａ，５１Ｂを備えている。
【００２６】
ＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦ層５ｂがステージ１９上のＰＤＰ基板１１と対向するように、ＡＣＦテープ５を案内する。まず、ＡＣＦテープ案内部４０は、フレーム２０の可動部２９に取り付けられた固定のガイドローラ５２Ａ〜５２Ｈを備えている。これらのガイドローラ５２Ａ〜５２Ｈのうち、５個のガイドローラ５２Ａ〜５２ＥがＡＣＦテープ５の基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂを案内するためのものであり、残りの３個のガイドローラ５２Ｆ〜５２Ｈが分岐点５３においてＡＣＦ層５ｂから剥離した被覆層５ｃを案内するためのものである。
【００２７】
また、ＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦテープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ蓄積部３８側に設けられた可動アーム５４Ａと、ＡＣＦテープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ回収部３９側に設けられた可動アーム５４Ｂとを備えている。これら可動アーム５４Ａ，５４Ｂは、フレーム２０の可動部２９に対して鉛直方向に移動可能であり、それぞればねにより可動部２９に連結されている。また、可動アーム５４Ａ，５４Ｂの下端位置を規制する規制ピン５５が可動部２９に取り付けられている。これら可動アーム５４Ａ，５４Ｂにも、それぞれガイドローラ５２Ｉ〜５２Ｋが取り付けられている。可動アーム５４Ａの上端は、昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５６Ａにより押し下げられるようになっている。可動アーム５４Ｂは、昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５６Ｂの下端に取り付けられた中間ロッド５７により押し下げられるようになっている。これらのプッシュロッド５６Ａ，５６Ｂの上端側は昇降ブロック３４の内部に収容されており、ばねにより鉛直方向下向きに弾性的に付勢されている。中間ロッド５７にはチャック４５Ｂが取り付けられている。このチャック４５Ｂは、ＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを加圧する際に、ＡＣＦテープ５のＡＣＦテープ回収部３９側を固定するために設けられている。
【００２８】
ＡＣＦテープ案内部４０は、張力付与機構５８を備えている。この張力付与機構５８は、ＡＣＦテープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ蓄積部３８側の可動部２９に設けられた鉛直方向のガイド溝５９Ａと、錘体６０Ａとを備えている。この錘体６０Ａには基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂを案内するガイドローラ５２Ｌと、被覆層５ｃを案内するガイドローラ５２Ｍとが取り付けられている。また、錘体６０Ａはガイド溝５９Ａ上を移動自在であり、それ自体の自重による鉛直方向下向きの力が作用している。基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂは、錘体６０Ａのガイドローラ５２Ｌによって、下向きから上向に送り方向が反転されるように案内されており、錘体６０Ａの自重により張力が付与されている。錘体６０Ａは水平方向に延びる突片６１Ａを備えている。また、ガイド溝５９Ａに沿ってフレーム２０の固定部２８に３個のセンサ５１Ｃ〜５１Ｅが配設されている。これらのセンサ５１Ｃ〜５１Ｅによりガイド溝５９Ａ上の錘体６０Ａの位置を検出できる。
【００２９】
被覆層５ｃは錘体６０Ａのガイドローラ５２Ｍから可動部２９上の固定のガイドローラ５２Ｇ，５２Ｈを経て、被覆層回収部６２により回収される。この被覆層回収部６２は、真空ポンプ４６に接続された吸込槽６３、この吸込槽６３の口金６４に基端が接続されたチューブ６５、及びチューブ６５の先端に取り付けられた吸込ノズル６６を備えている。基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂから分離された被覆層５ｃは、吸込ノズル６６からチューブ６５、及び口金６４を経て吸込槽６３に回収される。
【００３０】
ＡＣＦテープ送り部４１は、フレーム２０の固定部２８に取り付けられたモータ３２Ｃを備えている。このモータ３２Ｃの出力軸は鉛直方向に延びる第２ボールねじ６７に連結されている。この第２ボールねじ６７は固定部２８に対して鉛直方向に移動自在である引きブロック６８のナット部に螺合している。この引きブロック６８には、開閉可能なチャック４５Ｃが取り付けられている。
【００３１】
図１５に詳細に示す切断部２４は、ステージ１９の上方領域に対して侵入及び退避可能であり、かつ開閉可能な一対の切断アーム６９Ａ，６９Ｂを備えている。下側の切断アーム６９ＡはＡＣＦ層５ｂを切断するためのブレード７０を備えているが、上側の切断アーム６９Ｂはブレード７０を備えていない。これらの切断アーム６９Ａ，６９Ｂを閉じると、ブレード７０によりＡＣＦテープ５のＡＣＦ層５ｂは切断されるが基材層５ａは切断されることなく残り、切込線６が形成される。
【００３２】
剥離部２５は、可動アーム５４Ｂの下端に水平方向に移動可能に取り付けられた剥離アーム７１を備えている。この剥離アーム７１の先端には一対のガイドローラ５２Ｌ，５２Ｍが取り付けられている。一方、剥離アーム７１の基端は第２エアシリンダ７２に連結されている。この第２エアシリンダ７２のロッドの位置に応じて剥離アーム７１が水平方向に移動する。
【００３３】
保護テープ供給部２６は、ツール１０の下側に保護テープ１０を供給する。保護テープ１０は、熱伝導性及び耐熱性が良好で弾力性を有するテープ材である。例えば、シリコンやテフロンを含有する高熱伝導性絶縁ゴムシートを保護テープ１０として使用することができる。
【００３４】
保護テープ供給部２６は、保護テープ１０の一方の端部を送り出し可能に蓄積した保護テープ蓄積部７３と、保護テープ１０の他方の端部を回収する保護テープ回収部７４とを備えている。また、保護テープ供給部２６は、保護テープ蓄積部７３からステージ１９の上方を経て保護テープ回収部７４に保護テープ１０を案内する保護テープ案内部７５を備えている。この保護テープ案内部７５は、ＡＣＦ貼付部１４を正面から見たときに大略Ｕ字状を呈し、かつステージ１９上のＰＤＰ基板１１とツール２１との間に介在するように、保護テープ１０を案内する。さらに、保護テープ供給部２６は保護テープ案内部７５に沿って保護テープ蓄積部７３から保護テープ回収部７４へ向けて保護テープ１０を送るための保護テープ送り部７６を備えている。
【００３５】
保護テープ蓄積部７３は、保護テープ１０を多数回巻き付けた保護テープ用リール７７を備えている。図７に示すように、保護テープ用リール７７は、フレーム２０の可動部２９に回転可能に軸支されたリールシャフト４３の先端に固定されている。このリールシャフト４３の基端側はクラッチ４４を介してモータ３２Ｄの出力軸に連結されている。モータ３２Ｄにより保護テープ用リール７７が図２において矢印で示す方向に回転すると、保護テープ用リール７７から保護テープ１０が巻き出される。可動部２９の保護テープ用リール７７の近傍には、保護テープ用リール７７の交換時に使用するチャック４５Ｄが取り付けられている。
【００３６】
図１３に詳細に示すように、保護テープ回収部７４は真空ポンプ４６に接続された吸込槽７８を備えている。この吸込槽７８の口金７９にはチューブ８０（接続管部材）の基端が接続されている。また、チューブ８０の先端には吸込ノズル８１が接続されている。保護テープ１０は吸込ノズル８１からチューブ８０及び口金７９を経て吸込槽７８に吸い込まれる。さらに、保護テープ回収部７４は吸込ノズル８１の先端付近に、ＡＣＦテープ５の切断を検出するための一対のセンサ５１Ｆ，５１Ｇを備えている。
【００３７】
吸込ノズル８１には、保護テープ１０を吸込槽７８内に導くための吸込経路８２が基端から先端まで貫通して設けられている。この吸込経路８２は、先端から長手方向中央部分に向けて連続的に縮径し、長手方向中央部から基端側に向けて連続的に拡径している。この断面形状により吸込ノズル８１の先端付近や吸込経路８２の途中で保護テープ１０に作用する摩擦抵抗が低減され、その結果、吸込ノズル８１への吸込時に保護テープ１０が切断されるのを防止することができる。
【００３８】
チューブ８０は、外層８３と内層８４からなる二重構造である。チューブ８０の先端付近には内層８４がなく、外層８３に対して吸込ノズル８１が挿入されている。同様に、チューブ８０の基端付近には内層８４がなく、外層８３に対して口金７９が挿入されている。そして、チューブ８０の内層８４の内径、口金７９の内径、及び吸込経路８２の基端側の内径を同一径としている。また、内層８４の先端付近は最先端部に向けて連続的に拡径するテーパ状である。同様に、口金７９の先端付近も最先端部に向けて連続的に拡径するテーパ状である。このように吸込ノズル８１、チューブ８０、及び口金７９の内側断面の形状及び寸法を一定とし、かつ可能な限り凹凸をなくし、保護テープ１０に作用する摩擦抵抗を低減している。その結果、吸込槽７８への吸込時の保護テープ１０の切断やチューブ８０内での保護テープ１０の詰まりを防止することができる。
【００３９】
吸込ノズル８１の先端近傍には、保護シートの送り方向に対して蛇行して配置された３個の振れ止めピン８５が設けられている。保護テープ１０はこれらの振れ止めピン８５に案内されて蛇行しつつ吸込ノズル８１の吸込経路８２へ導入される。従って、吸込ノズル８１の先端近傍での保護テープ１０の振動ないしは揺れが防止され、保護テープ１０は保護テープ吸引ノズル８１と干渉することなく吸込経路８２内に案内される。その結果、吸引時に保護テープ１０が切断されるのを防止することができる。
【００４０】
保護テープ案内部７５は、ステージ１９上でＡＣＦテープ５とＡＣＦツール２１の間を通るように保護テープ１０を案内する。まず、保護テープ案内部７５は、フレーム２０の可動部２９に取り付けられた固定のガイドローラ５２Ｎ，５２Ｐを備えている。また、保護テープ案内部７５は、保護テープ１０の送り方向でステージ１９よりも保護テープ蓄積部７３側に設けられた可動アーム５４Ｃと、保護テープ１０の送り方向でステージ１９よりも保護テープ回収部７４側に設けられた可動アーム５４Ｄとを備えている。これらの可動アーム５４Ｃ，５４Ｄの先端にも保護テープ１０を案内するためのガイドローラ５２Ｑ，５２Ｒが取り付けられている。また、これら可動アーム５４Ｃ，５４Ｄは、フレーム２０の可動部２９に対して鉛直方向に移動可能であり、それぞればねにより可動部２９に連結されている。さらに、可動アーム５４Ｃ，５４Ｄの下端位置を規制する規制ピン５５が可動部２９に取り付けられている。可動アーム５４Ｃ，５４Ｄの上端は昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄにより押し下げられるようになっている。プッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄの上端側は昇降ブロック３４の内部に収容されており、ばねにより鉛直方向下向きに弾性的に付勢されている。
【００４１】
可動アーム５４Ｄの先端付近には引き上げピン８６（保護シートガイド部材）が固定されている。後に詳述するように、この引き上げピン８６はツール２１がＡＣＦ層５ｂをＰＤＰ基板１１に対して加圧する際に、ツール２１の図において左側の縁部２１ａに密接するように保護テープ１０を案内する（図１６参照）。
【００４２】
固定部２８にチャック４５Ｅが取り付けられている。このチャック４５ＥはＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを加圧する際に保護テープ１０の保護テープ回収部７４側を固定するためのものである。
【００４３】
保護テープ案内部７５は、張力付与機構８７を備えている。この張力付与機構８７は、保護テープ１０の送り方向でステージ１９よりも保護テープ蓄積部７３側の可動部２９に設けられた鉛直方向のガイド溝５９Ｂと、錘体６０Ｂとを備えている。この錘体６０Ｂには保護テープ１０を案内するガイドローラ５２Ｓが取り付けられている。また、錘体６０Ｂはガイド溝５９Ｂ上を移動自在であり、それ自体の自重による鉛直方向下向きの力が作用している。保護テープ１０は下向きから上向に送り方向が反転されるように錘体６０Ｂのガイドローラ５２Ｓに案内されており、錘体６０Ｂの自重により張力が付与されている。錘体６０Ｂは水平方向に延びる突片６１Ｂを備えている。また、ガイド溝５９Ｂに沿ってフレーム２０の固定部２８に３個のセンサ５１Ｈ〜５１Ｊが配設されている。これらのセンサ５１Ｈ〜５１Ｊによりガイド溝５９Ｂ上の錘体６０Ｂの位置を検出できる。
【００４４】
ガイドローラ５２Ｐの外周には検出片８８が等角度間隔で設けられている。また、このガイドローラ５２Ｐの近傍にセンサ５１Ｋが取り付けられている。ガイドローラ５２の回転によりセンサ５１Ｋを通過する検出片８８を計数することにより、保護テープ蓄積部７３から送り出された保護テープ１０の長さが測定される。
【００４５】
保護テープ送り部７６は、フレーム２０の固定部２８に取り付けられたピンチローラ機構８９を備えている。このピンチローラ機構８９は図示しないモータにより回転駆動される駆動ローラ９０と、従動ローラ９１とを備えている。従動ローラ９１は基端が回転可能に固定部２８に支持され、先端がばねにより駆動ローラ９０に向けて弾性的に付勢された旋回レバー９２に取り付けられている。そのため、保護テープ１０は駆動ローラ９０と従動ローラ９１の間に挟み込まれており、駆動ローラ９０が図示の方向に回転すると保護テープ回収部７４に向けて送られる。
【００４６】
また、アクチュエータ（図示せず。）によって旋回レバー９２を反時計方向に回転させて従動ローラ９１を駆動ローラ９０から離反させると、ピンチローラ機構８９から保護テープ１０を抜き出すことができる。図において矢印で示すように、ＡＣＦテープ送り部７６によるＡＣＦテープ５の送り方向と、保護テープ送り部７６による保護テープ１０の送り方向は反対向きである。
【００４７】
ピンチローラ機構８９と保護テープ回収部７４との間には、接続部検出用のセンサ５１Ｌが配設されている。
【００４８】
上記チャック４５Ａ〜４５Ｅについて、保護テープ案内部７５が備えるチャック４５Ｅを例として図１４を参照して説明する。チャック４５Ｅは、保護テープ１０の異なる面とそれぞれ対向する顎部９３Ａ，９３Ｂを備えている。一方の顎部９３Ａは単一の部材からなり、保護テープ１０と対向する面が平面である。他方の顎部９３Ｂは、基部部材９４と、接触部材９５とを備えている。スライドシャフト９６の一端に接触部材９５が固定されており、スライドシャフト９６の他端は基部部材９４に設けられたスライド孔９７に挿通されている。また、基部部材９４と接触部材９５の間にはばね３７Ｂが設けられている。このばね３７Ｂにより、接触部材９５には基部部材９４から離反して保護シートに向かう方向に弾性的な付勢力が作用している。基部部材９４には接触部材９５と点接触的に接触するための突部９８が設けられている。顎部９３Ａ，９３Ｂはエアシリンダを含む駆動機構により駆動され、互いに接近して保護テープ１０を挟み込んで保持する位置と、互いに離反して保護テープ１０の保持を解除する位置とに移動可能である。
【００４９】
顎部９３Ａ，９３Ｂが互いに接近すると、最初に顎部９３Ａと顎部９３Ｂの接触部材９５が保護テープ１０の異なる面にそれぞれ接触する。顎部９３Ａ，９３Ｂがさらに接近すると、ばね３７Ｂの弾性的な付勢力に抗して接触部材９５に対して基部部材９４が接近し、それによって突部９８が接触部材９５に当接する。顎部９３Ａ，９３Ｂがさらに接近することにより、突部９８に押された接触部材９５と顎部９３Ａとの間に保護シートが挟み込まれる。従って、顎部９３Ａと顎部９３Ｂの接触部材９５との間に保護シートが確実に挟み込まれ、かつ保護シートは顎部９３Ａ，Ｂに対して滑ることなく確実に保持される。ただし、チャック４５Ａ〜４５Ｅの構造は、図１４に示すものに限定されず、ＡＣＦテープ５や保護テープ１０を解放可能に保持できるものであればよい。リール交換時に使用するチャック４５Ａ，４５Ｄは手動で開閉するものであってもよい。
【００５０】
保護テープ冷却部２７は、図１５に示すように、保護テープ１０に冷却用の空気を噴射するための冷却ノズル９９と、この冷却ノズル９９に対して空気を供給するブロワ１００とを備えている。冷却ノズル９９の位置及び向きは、ツール２１がステージ１９と間隔を隔てて対向する位置にあるときに、ツール２１の図において左側の縁部２１ａ、すなわちＡＣＦテープ５の切込線６と対応する部分に向けて空気を噴射するように設定されている。
【００５１】
次に、ＡＣＦ貼付部１４の動作を説明する。図２及び図３と図１５とは、ツール２１によりＡＣＦ層５ｂをＰＤＰ基板１１に加圧する前の状態を示している。ツール２１はステージ１９、ＰＤＰ基板１１、及びＡＣＦテープ５の上方に間隔を隔てて位置している。ＡＣＦテープ送り部４１は、ＡＣＦ層５ｂの先端がＡＣＦツール２１の図において右側の縁部２１ｂと対応する位置に達するように、ＡＣＦテープ５をＡＣＦテープ回収部３９に向けて送る。また、チャック４５Ｂが閉じてＡＣＦテープ５（基材層５ａ）を固定し、チャック４５Ｅが閉じて保護テープ１０を固定する。ＡＣＦテープ５のＡＣＦ層５ｂはステージ１９上のＰＤＰ基板１１と間隔を隔てて対向している。切断部２４の切断アーム６９Ａ，６９Ｂがステージ１９の上方に進出し、切込線６を形成する。
【００５２】
保護テープ１０はＡＣＦテープ５の上方に間隔を隔てて配置されている。また、保護テープ１０はその上方に位置するツール２１と間隔を隔てて対向しており、保護テープ１０はＡＣＦテープ５と接触していない。ツール２１と保護テープ１０との間に間隔を設けることにより、ツール２１から保護テープ１０への熱の伝達を抑制している。また、この間隔を設けることにより、保護テープ１０が周囲の空気との熱交換により自然冷却され、それによって保護テープ１０の過度の温度上昇が防止される。ツール２１が図３及び図３と図１５とで示すようにステージ１９から離れた位置にあるときには、ヒータ３１による加熱を停止している。これによってもＡＣＦツール２１から保護テープ１０に伝わる熱を低減され、保護テープ１０の温度上昇が防止される。また、保護テープ冷却部２７の冷却ノズル９９から保護テープ１０に対して空気を噴射している。この空気の噴射により保護テープ１０と周囲の空気との熱交換が一層促進され、保護テープ１０の温度上昇が防止される。
【００５３】
次に、モータ３２Ａにより第１ボールねじ３３が回転駆動されて昇降ブロック３４が降下し、さらに第１エアシリンダ３６のロッドが突出位置となり、ツール２１がＰＤＰ基板１１へ向けて降下する。また、昇降ブロック３４の降下に伴ってプッシュロッド５６Ａ〜５６Ｄによって可動アーム５４Ａ〜５４Ｄがばねの付勢力に抗して押し下げられるため、ＡＣＦテープ５及び保護テープ１０もステージ１９上のＰＤＰ基板１１に向けて降下する。そのため、図４及び図１６に示すように、ツール２１がステージ１９に向けて付勢され、ツール２１によりＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦテープ５のＡＣＦ層５ｂが加圧される。ツール２１とＡＣＦテープ５との間には、弾力性を有する保護テープ１０が介在している。そのため、ツール２１からＡＣＦ層５ｂに対して均一な分布の加圧力が作用し、ＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを正確に貼り付けることができる。ＡＣＦツール２１による加圧力は例えば５０〜１００N/cm2であり、加圧時の温度は例えば６０〜７０℃程度である。
【００５４】
ＡＣＦ層５ｂの切込線６と対応するツール２１の図において左側の縁部２１ａでは、引き上げピン８６が保護テープ１０をステージ１９から離反する方向（図において上方）へ案内し、縁部２１ａに対して保護テープ１０を密接させている。そのため、切込線６の付近でもＡＣＦツール２１からＡＣＦ層５ｂに作用する加圧力の分布が均一であり、ＡＣＦ層５ｂの切断等の不具合を防止することができる。
【００５５】
ＡＣＦテープ５は、図において右側がチャック４５Ｂにより保持される一方、左側は上下動可能な錘体６０Ａが備えるガイドローラ５２Ｌで案内されているため、ＡＣＦツール２１の降下に伴い図１５において矢印で示すように右向きに送られる。これに対して、保護テープ１０は、図において左側がチャック４５Ｄにより保持される一方、右側は上下動可能な錘体６０Ｂが備えるガイドローラ５２Ｓで案内されているため、ツール２１の降下に伴い図１５において矢印で示すように左向きに送られる。仮に、ツール２１降下時のＡＣＦテープ５の送り方向と保護テープ１０の送り方向とが同一方向であると、ＡＣＦテープ５と保護テープ１０との間の摩擦力により、ＡＣＦテープ５が保護テープ１０に引っ張られて必要以上に送られ、それによってＡＣＦ層５ｂの先端及び切込線６のＰＤＰ基板１１に対する位置がずれるおそれがある。しかし、本実施形態では、ＡＣＦテープ５の送り方向と保護テープ１０の送り方向とを反対方向としているため、ＡＣＦツール２１の降下時にＡＣＦテープ５が保護テープ１０に引っ張られて必要以上に送られるのを防止することができる。従って、ＡＣＦ層５ｂの先端及び切込線６のＰＤＰ基板１１に対する位置にずれがが防止される。
【００５６】
次に、第１エアシリンダ３６のロッドが引込位置となると共に、モータ３２Ａにより第１ボールねじ３３が回転駆動されて昇降ブロック３４が上昇する。その結果、図５及び図１７に示すように、ツール２１が上昇してステージ１９から離れる。また、昇降ブロック３４の上昇によりプッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄが可動アーム５４Ｃ，５４Ｄを押し下げる力が低下するため、可動アーム５４Ｃ，５４Ｄが上昇し、保護テープ１０もステージ１９から離れる。一方、ＡＣＦ層５ｂがＰＤＰ基板１１に貼り付いているため、昇降ブロック３４が上昇しても可動アーム５４Ａ，５４Ｂは上昇せず、ＡＣＦテープ５はＰＤＰ基板１１上に保持されている。
【００５７】
ツール２１が上昇してステージ１９から離れるとヒータ３１により加熱が停止される。また、ツール２１がステージ１９から離れると、冷却ノズル９９からの空気の噴射が開始される。ＡＣＦ層５ｂの切込線６と対応するツール２１の縁部２１ａではＡＣＦ層５ｂをＰＤＰ基板１１に加圧する際に応力集中が生じる。従って、保護テープ１０のツール２１に対応する部分は、他の部分と比較して大きな圧力が作用し、劣化が生じやすい。これに対して、本実施形態では、冷却ノズル９９から保護テープ１０のツール２１の縁部２１ａに対応する部分に空気を噴射しているため、この部分での保護テープ１０の劣化を効果的に防止することができる。
【００５８】
次に、第２エアシリンダ７２のロッドが突出位置となり、それによって図６及び図１８に示すように、剥離アーム７１が図において左向きに水平移動する。そのため、剥離アーム７１の先端に取り付けられたガイドローラ５２Ｌ，５２Ｍにより、ＡＣＦテープ５の基材層５ａのみがＰＤＰ基板１１から引き剥がされる。その結果、ＡＣＦ層５ｂの先端から切込線６に対応する部分がＰＤＰ基板１１に残る。その後、昇降ブロック３４が上昇して図２及び図３と図１５とに示す初期位置に戻り、ＰＤＰ基板１１に対するＡＣＦ層５ｂの貼り付けが完了する。ＡＣＦ貼付部１４は以上の動作を繰り返し実行する。
【００５９】
新たにＡＣＦ層５ｂの貼り付けを実行するには、ＡＣＦテープ５を送る必要がある。このＡＣＦテープ５の送りは以下のように実行される。まず、チャック４５ＣによりＡＣＦテープ５を保持する一方、チャック４５ＢによるＡＣＦテープ５の保持を解除する。次に、モータ３２ＢによりＡＣＦテープ用リール４２を回転させ、ＡＣＦテープ５を一定の長さだけ送り出す。この送り出すＡＣＦテープ５の長さは、ＡＣＦ層５ｂの先端（前回のＡＣＦ層５ｂの貼り付け時に形成した切込線６）がツール２１の右側の縁部２１ｂ付近に位置するように設定される。次に、モータ３２Ｃにより第２ボールねじ６７を回転駆動して引きブロック６８を上昇させる。引きブロック６８の上昇により、ＡＣＦテープ５がＡＣＦテープ回収部３０へ送られ、吸込槽４７に回収される。
【００６０】
コントローラ１８は、上記ＡＣＦ貼付部１４がＰＤＰ基板１１に対するＡＣＦ層５ｂの貼り付けを実行した回数、すなわちステージ１９に向けて付勢されたツール２１がＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを加圧した回数を計数している。また、貼り付けの実行回数が予め定められた回数（限界回数）に達したことをコントローラ１８が検出すると、保護テープ供給部２６は保護テープ１０を保護テープ蓄積部７３から保護テープ回収部７４へ向けて送り、未使用の保護テープ１０をツール２１に供給する。
【００６１】
保護テープ１０の送りは、図２及び図３と図１５とに示すようにツール２１がステージ１９から間隔を隔てた位置にあるときに実行される。まず、チャック４５Ｅによる保護テープ１０の保持を解除する。次に、モータ３２Ｄにより保護テープ用リール７７を回転させて保護テープ１０を所定長さだけ送り出す。この送り出す保護テープ１０の長さは、１回の送り動作によりツール２１の下端面が保護テープ１０の未使用の部分と対向するように設定される。保護テープ用リール７７から送り出された保護テープ１０の長さはセンサ５１を通過する検出片８８の数により計測される。次に、ピンチローラ機構８９の駆動ローラ９０が回転し、保護テープ１０を保護テープ回収部７４へ向けて送る。保護テープ回収部７４へ送られた保護テープ１０は吸込槽７８に回収される。
【００６２】
本実施形態では、上記のように限界回数毎にツール２１に未使用の保護テープ１０を供給するため、熱や圧力の影響による劣化が進行していない保護テープ１０を使用してＡＣＦ層５ｂの貼り付けを行うことができる。従って、正確なＡＣＦ層５ｂの貼り付けを安定して繰り返すことができる。また、ツールに被覆層を設ける場合（図２６参照）と比較すると、ツール２１の交換が不要ないしはその頻度が大きく低減されるため、メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。
【００６３】
上記のように限界回数のＡＣＦ層５ｂの貼り付けを行う度に、保護テープ用リール７７から新たな保護テープ１０が送り出される。１個の保護テープ用リール７７の保護テープ１０が消費された場合には、以下の手順で新しい保護テープ用リール７７と交換する。
【００６４】
まず、図１９に示すように、チャック４５Ｄにより保護テープ１０を保持した後、保護テープ用リール７７付近で保護テープ１０を切断する。次に、図３０に示すように、保護テープ用リール７７をＡＣＦ貼付部１４から取り外す。また、新品の保護テープ用リール７７を取り付け、この保護テープ用リール７７に巻回された保護テープ１０の先端を、チャック４５Ｄにより保持されている前の保護テープ用リール７７の端部に接続する。この保護テープ１０の接続方法には種々の方法がある。例えば、図２２（Ａ）に示すように、短い接続用テープ１０１に２本の保護テープ１０をそれぞれ接着し、それによって接続部１０２を形成することができる。また、図３２（Ｂ）に示すように超音波溶着１０３により２本の保護テープ１０の接続部１０２を形成することができる。
【００６５】
２本の接続テープ１０の接続部１０２は、ＡＣＦ層５ｂの加圧に使用しないことが好ましい。すなわち、仮に接続部１０２を介在させてＡＣＦツール２１によりＡＣＦ層５ｂを加圧すると、接続部１０２には凹凸があるため、ＡＣＦ層５ｂに作用する加圧力の分布を均一とするのは困難である。そのため、保護テープ用リール７７を交換した場合には、ＡＣＦ層５ｂの貼り付けを再開する前に、少なくとも接続部１０２がステージ１９上を通過するまで保護テープ１０を保護テープ回収部７４に向けて送る必要がある。
【００６６】
本実施形態では、接続部検出用のセンサ５１Ｌにより接続部１０２が検出されるまで、保護テープ送り部７６が保護テープ回収部７４に向けて保護テープ１０を送る。接続部検出用のセンサ５１Ｌとしては、例えば磁気、色彩、又は段差を検知可能なものを使用することができる。センサ５１Ｌが磁気を検知する場合には、接続テープ（図３２（Ａ）参照）として磁性テープを使用すればよい。また、センサ５１Ｌが色彩を検知する場合に、接続用テープ１０１を保護テープ１０と異なる色に着色したり、超音波溶着１０３を行った部分（図２２（Ｂ）参照）を保護テープ１０と異なる色に着色すればよい。さらに、センサ５１Ｌが段差を検出可能であれば、接続用テープ１０１と保護テープ１０によって形成される段差や、超音波溶着１０３のために２本の保護テープ１０を重ねた部分の段差が検出される。
【００６７】
フレーム２０の構造について図７及び図１０を参照して説明する。まず、固定部２８は鉛直方向に間隔をあけて対向する一対のブラケット１０４を備えている。これらのブラケット１０４に鉛直方向に延びる旋回シャフト１０５が固定されている。旋回シャフト１０５には旋回ブロック１０６が回動可能に支持されている。旋回ブロック１０６には２本の支持シャフト１０７が貫通し、これらの支持シャフト１０７の先端に可動部２９が固定されている。旋回ブロック１０６と可動部２９の間にはばね３７Ｃが配設され、これらのばね３７Ｃは旋回ブロック１０６と可動部２９をそれらが互いに離反する方向に弾性的に付勢している。旋回ブロック１０６にはハンドル１０８により操作可能なカム１０９が設けられている。このカム１０９と対応するカムフォロア１１０（ローラ）は支持シャフト１０７の基端に固定された抜け止め板１１１から延びる駆動アーム１１２に設けられている。また、ブラケット１０４を貫通して旋回ブロック１０６のピン孔１１３に差し込まれた係止ピン１１４が設けられている。
【００６８】
次に、フレーム２０の反転旋回の手順を説明する。まず、図７及び図１０に示す状態で、ハンドル１０８を操作してカム１０９を回転させる。カムフォロア１１０がカム１０９のカム面に追従するため、ばね３７Ｃの付勢力により可動部２９が水平移動し、図８及び図１１に示すように可動部２９が固定部２８から離れる。次に、係止ピン１１４をピン孔１１３から抜き出し、ブラケット１０４と旋回ブロック１０６の連結を解除する。その後、図９及び図１２に示すように支軸シャフト回りに可動部２９を平面視で１８０°旋回させる。図１に概略的に示すように、通常時にはＡＣＦテープ供給部２３や保護テープ供給部２６はガイドレール１３と対向しているが、可動部２９を旋回して反転させるとこれらは部品実装装置の外側を向く。従って、作業者Ｍは、部品実装装置内に入ることなく、ＡＣＦテープ用リール４２や保護テープ用リール７７の交換作業を行うことができる。
【００６９】
次に、仮圧着部１５について説明する。仮圧着部１５は、ＡＣＦ貼付部１４でＡＣＦ層５ｂを貼り付け済みのＰＤＰ基板１１に対して、ＦＰＣ供給部１１５から供給されたＦＰＣ基板１２を位置決めする。また、仮圧着部１５は、位置決め後にＦＰＣ基板１２をＰＤＰ基板１１に対して加熱状態で加圧し、ＡＣＦ層５ｂによってＰＤＰ基板１１に対してＦＰＣ基板１２を仮圧着する。仮圧着の加圧力は例えば５０〜１００N/cm2であり、加圧時の温度は例えば６０〜７０℃程度である。
【００７０】
次に、本圧着部１６について説明する。図２３に示すように、本圧着部１６は仮圧着部１５でＦＰＣ基板１２を仮圧着済みのＰＤＰ基板１１が載置されるステージ１９を備えている。このステージ１９は昇降可能であり、かつ図示しない吸引機構によりＰＤＰ基板１１をその上面に解放可能に保持することができる。このステージ１９の上方に配置されたフレーム２０には、ツール２１、ツール付勢部２２、保護テープ供給部２６、及び保護テープ冷却部２７が設けられている。本圧着部１６の構造は、ＡＣＦ供給部を備えていない点を除いてＡＣＦ貼付部１４と同様の構造であり、図２３において図２及び図３と同一に要素には同一の符号を付している。
【００７１】
図２３に示すように、ツール２１がステージ１９から間隔を隔てた位置にあるときに、ＦＰＣ基板１２を仮圧着済みのＰＤＰ基板１１が仮圧着部１５からステージ１９に供給される。次に、ツール付勢部２２によりツール２１が降下し、ステージ１９に向けて付勢される。また、プッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄにより可動アーム５４Ｃ，５４Ｄが降下することにより、ツール２１と共に保護テープ１０も降下する。ステージ１９に向けて付勢されたツール２１により、ＰＤＰ基板１１に貼り付けられたＡＣＦ層５ｂに対してＦＰＣ基板１２が加熱状態で加圧される。ツール２１とＦＰＣ基板１２との間には、弾力性を有する保護テープ１０が介在している。そのため、ツール２１からＦＰＣ基板１２に対して均一な分布の加圧力が作用し、ＡＣＦ層５ｂによりＰＤＰ基板１１に対してＦＰＣ基板１２を正確に固定することができる。本圧着ツール２１による加圧力は例えば３００〜４００N/cm2であり、加圧時の温度は例えば１８０〜２００℃程度である。
【００７２】
コントローラ１８は、上記本圧着部１６がＰＤＰ基板１１に対するＦＰＣ基板１２を実行した回数を計数する。この回数が限界回数に達したことをコントローラ１８が検出すると、保護テープ送り部７６が保護テープ蓄積部７３から保護テープ回収部７４に向けて保護テープ１０を送り、未使用の保護テープ１０をツール２１に供給する。従って、本圧着部１６は熱や圧力による劣化が進行していない保護テープ１０を使用して本圧着を実行することができる。また、ツールに被覆層を設ける場合と異なり、ツール２１の交換が不要となるため、メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。本圧着部１６のその他の作動はＡＣＦ貼付部１４と同様である。
【００７３】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、本発明の装置及び方法は、ＰＤＰ基板１１以外の部品（例えば、液晶表示基板（ＬＣＤ基板）、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ素子）、又は通常のプリント基板）に対してＡＣＦテープを含む種々の接合テープを加圧して貼り付けるために使用することができる。また、本発明の装置及び方法は、ＦＰＣ基板１２以外の部品（例えばテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）のような可撓性を有する部品、）を他の部品について実装するために使用することができる。
【００７４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明では、保護シートが保護シート案内部によって保護シート蓄積部からステージを経て保護シート回収部へ案内され、かつ保護シートを保護シート送り部により保護シート回収部へ向けて送ることができる。そのため、保護シートが劣化する前に保護シート送り部により保護シートを送り、保護シートの未使用の部分をツールと対向させることにより、ツールを交換することなく均一な分布を有する加圧力で第１の部品に対して第２の部品を加圧することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態に係る部品実装装置を示す部分平面図である。
【図２】 ツールがステージから離反した位置（第１の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分正面図である。
【図３】 ツールがステージから離反した位置（第１の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分正面図である。
【図４】 ツールがステージに対して付勢された位置（第２の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図５】 ＡＣＦ層がＰＤＰ基板に貼り付けられたときのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図６】 基材層をＰＤＰ基板から引き剥がすときのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図７】 ＡＣＦ貼付部の平面図である。
【図８】 フレームの可動部が固定部から離れた状態でのＡＣＦ貼付部の平面図である。
【図９】 フレームの可動部が固定部に対して旋回した状態でのＡＣＦ貼付部の平面図である。
【図１０】 ＡＣＦ貼付部の右側面図である。
【図１１】 フレームの可動部が固定部から離れた状態でのＡＣＦ貼付部の右側面図である。
【図１２】 フレームの可動部が固定部に対して旋回した状態でのＡＣＦ貼付部の右側面図である。
【図１３】 保護テープ回収部を示す部分断面側面図である。
【図１４】 チャックを示す横断面図である。
【図１５】 ツールがステージから離反した位置（第１の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１６】 ツールがステージに対して付勢された位置（第２の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１７】 ＡＣＦ層がＰＤＰ基板に貼付られたときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１８】 基材層をＰＤＰ基板から引き剥がすときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。
【図１９】 保護テープの交換作業を説明するためのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図２０】 保護テープの交換作業を説明するためのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図２１】 保護テープの交換作業を説明するためのＡＣＦ貼付部の正面図である。
【図２２】 （Ａ）及び（Ｂ）は保護テープの接続の一例を示す部分側面図である。
【図２３】 本圧着部を示す正面図である。
【図２４】 ＰＤＰ基板基板とそれに実装されたＦＰＣ基板を示す斜視図である。
【図２５】 ＡＣＦテープを示す側面図である。
【図２６】 従来のＡＣＦ貼付装置の一例を示す正面図である。
【図２７】 従来のＡＣＦ貼付装置における問題を説明するための部分概略平面図である。
【符号の説明】
１１ ＰＤＰ基板
１２ ＦＰＣ基板
１４ ＡＣＦ貼付部
１５ 仮圧着部
１６ 本圧着部
１７ 搬送部
１８ コントローラ
１９ 基板ステージ
２０ フレーム
２１ ツール
２２ ツール付勢部
２３ ＡＣＦテープ供給部
２４ 切断部
２５ 剥離部
２６ 保護テープ供給部
２７ 保護テープ冷却部
２８ 固定フレーム
２９ 可動フレーム
３０ 保持部材
３１ ヒータ
３８ ＡＣＦテープ蓄積部
３９ ＡＣＦテープ回収部
４０ ＡＣＦテープ案内部
４１ ＡＣＦテープ送り部
４２ ＡＣＦテープ用リール
４７，７８ 吸込槽
４８，７９ 口金
４９，８０ チューブ
５０ 吸込ノズル
６２ 被覆層回収部
７３ 保護テープ蓄積部
７４ 保護テープ回収部
７５ 保護テープ案内部
７６ 保護テープ送り部
７７ 保護テープ用リール
８２ 吸込経路
８３ 外層
８４ 内層
８５ 振れ止めピン
８６ 引き上げピン
９３Ａ，９３Ｂ 顎部
９４ 基部部材
９５ 接触部材
９９ 冷却ノズル
Claims (5)
- 第１の部品上に配置された第２の部品を上記第１の部品に対して加圧するための加圧装置であって、
上記第１の部品が載置されるステージと、
上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記第１及び第２の部品に対して間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記第１の部品に対して上記第２の部品を加圧する第２の位置との間を移動するツールと、
保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保護シート蓄積部と、上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収部と、上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステージを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案内部と、上記保護シートを上記保護シート案内部に沿って上記保護シート回収部へ向けて送るための保護シート送り部とを備え、上記ツールが上記第２の位置にあるときに、上記第２の部品と上記ツールとの間に介在するように上記保護シートを供給する保護シート供給部と
を備え、
上記保護シート回収部は、
上記保護シートの他方の端部がその内部に吸い込まれる吸込槽と、
基端側が上記吸込槽に接続され、上記保護シートの他方の端部を上記吸込槽内に導くための吸込経路が基端から先端まで貫通して設けられ、この吸込経路は上記先端側から長手方向中央部に向けて断面積が縮小し、上記長手方向中央部から上記基端側に向けて断面積が拡大する、吸込ノズルと
を備える、加圧装置。 - 上記保護シート回収部は、
上記吸込槽と上記吸込ノズルの基端とを接続するための接続管部材をさらに備え、
上記接続管部材の先端に上記吸込ノズルの基端側が挿入され、
上記接続管部材の基端に上記吸込槽の接続部が挿入され、
上記接続管部材、上記接続部、及び上記吸込経路の基端側の内側断面の形状及び寸法が同一である、請求項１に記載の加圧装置。 - 上記保護シート回収部は、
上記吸込ノズルの先端近傍に上記保護シートの送り方向に対して蛇行して設けた複数の振れ止め部材を備え、
上記保護シートはこれらの振れ止め部材に案内されて上記吸引ノズルの上記吸込経路内に導入される、請求項１又は請求項２に記載の加圧装置。 - 上記保護シート案内部は、
上記保護シートの一方の面と対向して配置された第１の顎部と、
上記保護シートの他方の面と対向して配置された基部部材と、この基部部材から離反して上記保護シートに向かう方向に弾性的に付勢された接触部材とを有する第２の顎部と、
上記第１及び第２の顎部を、それらが互いに接近し上記保護シートを挟み込んで保持する第１の位置と、それらが互いに離反して上記保護シートを解放する第２の位置とに移動させる、駆動機構とを有するチャックを備える、請求項３に記載の加圧装置。 - 板状部品上に配置された接合シートを上記板状部品に対して保護シートを介して加圧するための加圧装置であって、
上記板状部品が載置されるステージと、
上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の上記板状部品、上記接合シート、及び上記保護シートに対して間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記板状部品に対して上記保護シートを介して上記接合シートを加圧する第２の位置との間を移動するツールと、
上記接合シートと上記ツールとの間に、上記保護シートを供給する保護シート供給部と、
上記保護シートと上記板状部品との間に、上記保護シートの供給方向と反対向きに上記接合シートを供給する接合シート供給部と
を備える、加圧装置。
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