JP2003198197A - 加圧装置及び加圧方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ツールにより一つの部品を他の部品に対して
加圧する加圧装置において、ツールの交換頻度を大幅に
低減しつつ、高精度の加圧を実行可能とする。 【解決手段】 加圧装置は、ツール２１がステージ１９
上の第１の部品１１に対して第２の部品５を加圧する位
置にあるときに、第２の部品５とツール２１との間に介
在するように保護シート１０を供給する保護シート供給
部２６を備える。保護シート供給部２６は、加圧の実行
回数が予め定められた回数に達したことを検出すると、
予め定められた送り量だけ保護シート１０を送る。この
保護シートの送り量は、１回の送り動作によりツール２
１が保護シート１０の未使用の部分と対向するように設
定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ表示パネ
ル基板（ＰＤＰ基板基板）、液晶表示基板（ＬＣＤ基
板）等の部品に対して、異方性導電性フィルムテープ
（ＡＣＦテープ）を含む接合シート、フレキシブルプリ
ント基板（ＦＰＣ基板）を含むフィルム状部品等の部品
を加圧するための、加圧装置及び加圧方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】ＰＤＰ基板やＬＣＤ基板等の板状部品に
対してＦＰＣ基板等のフィルム部品を実装する部品実装
装置は、ＡＣＦ貼付部、仮圧着部、及び本圧着部を備え
ている。ＡＣＦ貼付部では、板状部品に異方性導電性フ
ィルムテープ（ＡＣＦテープ）の異方性導電性フィルム
層（ＡＣＦ層）が貼り付けられる。仮圧着部では、フィ
ルム状部品が板状部品に対して位置決めされた後、ＡＣ
Ｆ層により板状部品に仮圧着される。本圧着部では、フ
ィルム状部品が板状部品に対して固定される。

【０００３】図２６に示すように、ＡＣＦ貼付部では、
ステージ１に載置された板状部品３に対してＡＣＦテー
プ５が供給される。ＡＣＦテープ５は被覆層（図示せ
ず）が予め引き剥がれ、露出したＡＣＦ層５ａが板状部
品３に対向している。また、ＡＣＦテープ５の図におい
て左側にはＡＣＦ層５ａのみを切断して基材層５ｂを残
した切込線６が設けられ、この切込線６がツール７の図
において左側の縁部７ａと対応している。ツール７には
ＡＣＦテープ５の基材層５ｂと当接する部分に、シリコ
ン等の弾力性を有する材料からなる被覆層８が設けられ
ている。また、ツール７を加熱するためのヒータが設け
られている。ツール７により板状部品３に対してＡＣＦ
層５ａが加熱状態で加圧され、それによってＡＣＦ層５
ａが板状部品３に貼り付けられる。ツール７が上昇して
ステージ１から退避した後、図示しない剥離機構により
基材層５ｂが板状部品３から引き剥がされ、ＡＣＦ層５
ａのみが板状部品３上に残る。

【０００４】上記本圧着部は、仮圧着部でフィルム状部
品を仮圧着済みの板状部品が載置されるステージと、フ
ィルム状部品を板状部品に加圧するためのツールとを備
えている。ＡＣＦ貼付部のツールと同様に、本圧着部の
ツールにも、加圧力の分布の均一化を図るために弾力性
を有する材料からなる被覆層が設けられている。また、
ツールはヒータを備えており、加熱状態で板状部品に対
してフィルム状部品を加圧する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ＡＣＦ貼付部では、Ａ
ＣＦ層５ａの貼り付け作業を繰り返す間に、熱及び圧力
の影響で劣化した被覆層８がツール７から剥離する。こ
の被覆層８の剥離が生じると、ＡＣＦ層５ａに作用する
加圧力の分布が不均一となり、板状部品３に対してＡＣ
Ｆ層５ａを正確に貼り付けることができない。上記ツー
ル７の縁部７ａでは加圧時に応力集中が生じるため、特
に被覆層８が剥離しやすい。縁部７ａにおける被覆層８
の剥離が生じると、図２７に示すように、切込６の近傍
でＡＣＦ層５ａが裂け、裂けた部分９が切込線６からは
み出ることがある。また、ツール７によるＡＣＦ層５ａ
の貼り付けを繰り返す間に、基材層５ｂからはみ出した
ＡＣＦ層５ａのバインダを構成する材料等のダストがツ
ール７に付着する。このダストも適切なＡＣＦ層５ａの
貼り付けを阻害する。

【０００６】ＡＣＦ貼付部の場合と同様に、本圧着部で
も板状部品に対するフィルム状部品の本圧着を繰り返す
ことにより、ツールからの被覆層の剥離や、ＡＣＦ層を
構成する材料等のダストの付着が発生し、板状部品に対
するフィルム状部品の正確な固定を阻害する原因とな
る。

【０００７】被覆層の剥離やダストの付着が生じた場合
のツール交換には、いくつかの問題がある。まず、ツー
ルを交換するには、部品実装装置の運転を停止して、作
業者が手で取り扱うことができる程度にツールの温度が
低下するまで待つ必要がある。また、交換後にツールと
ステージの平行度を高精度で調節する必要があり、この
調節は煩雑で長時間を要する。さらに、ＰＤＰ基板用の
大型の部品実装装置では、部品実装装置内に作業者が入
ってツールの交換作業を実行する必要があり、煩雑であ
る。

【０００８】そこで、本発明は部品実装装置のＡＣＦ貼
付部や本圧着部のようなツールにより一つの部品を他の
部品に対して加圧する加圧装置において、ツールの交換
頻度を大幅に低減しつつ、高精度の加圧を実行可能とす
ることを課題としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、第１の部
品上に配置された第２の部品を上記第１の部品に対して
加圧するための加圧装置であって、上記第１の部品が載
置されるステージと、このステージと対向して配置さ
れ、上記ステージ上の上記第１及び第２の部品に対して
間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向
けて付勢されて上記第１の部品に対して上記第２の部品
を加圧する第２の位置との間を移動するツールと、上記
ツールが上記第２の位置にあるときに、上記第２の部品
と上記ツールとの間に介在するように保護シートを供給
する保護シート供給部とを備える、加圧装置を提供す
る。

【００１０】具体的には、上記保護シート供給部は、上
記保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保護
シート蓄積部と、上記保護シートの他方の端部を回収す
る保護シート回収部と、上記保護シートを上記保護シー
ト蓄積部から上記ステージを経て上記保護シート回収部
へ案内する保護シート案内部と、上記保護シートを上記
保護シート案内部に沿って上記保護シート回収部へ向け
て送るための保護シート送り部とを備える。

【００１１】第１の発明の加圧装置では、保護シートが
保護シート案内部によって保護シート蓄積部からステー
ジを経て保護シート回収部へ案内され、かつ保護シート
を保護シート送り部により保護シート回収部へ向けて送
ることができる。そのため、保護シートが劣化する前に
保護シート送り部により保護シートを送り、保護シート
の未使用の部分をツールと対向させることにより、ツー
ルを交換することなく均一な分布を有する加圧力で第１
の部品に対して第２の部品を加圧することができる。

【００１２】さらに具体的には上記保護シート送り部
は、上記ツールが上記第２の位置に移動して上記第１の
部材に対して上記第２の部材を加圧した回数を計数し、
この回数が予め定めた回数に達したことを検出すると、
上記ツールが上記第１の位置にあるときに、上記保護シ
ート蓄積部から上記保護シート回収部に向けて予め定め
られた送り量だけ上記保護シートを送る。上記保護シー
トの送り量は、１回の送り動作により上記ツールが上記
保護シート蓄積部から送られた保護シートの未使用の部
分と対向するように設定される。計数した加圧回数に基
づいて保護シートを送ることにより、保護シートが劣化
する前に、新たな未使用の保護シートをツールと対向さ
せることができる。

【００１３】上記保護シートは、弾力性、高熱伝導性、
及び耐熱性を有する材料からなる。例えば、シリコン、
テフロン等の材料を含有する高熱伝導性絶縁ゴムシート
を保護シートとして使用することができる。

【００１４】上記保護シート案内部は、保護シートが切
断したことを検出する保護シート切断検出部を備えてい
てもよい、上記保護シート案内部は、上記ツールが上記
第１の位置にあるときに上記保護シートが上記ツールに
対して間隔を隔てて対向するように、上記保護シートを
案内することが好ましい。第１の位置にあるツールと保
護シートとの間に間隔を設けることにより、保護シート
が周囲の空気との熱交換により自然冷却される。その結
果、保護シートの温度が過度に上昇するのを防止するこ
とができる。

【００１５】上記ツールが上記第１の位置にあるときに
は加熱機構による加熱を停止することが好ましい。第１
の位置においてツールの加熱機構を停止することによ
り、第１の位置にあるときにツールから保護シートに伝
わる熱が低減される。その結果、保護シートの温度が過
度に上昇するのを防止することができる。

【００１６】上記ツールが上記第１位置にあるときに上
記保護シートを強制的に冷却する保護シート冷却部をさ
らに備えることが好ましい。具体的には、上記保護シー
ト冷却部は、上記保護シートに冷却用の空気を吹き付け
る。保護シートに空気を吹き付けて強制的に冷却するこ
とにより、保護シートの温度上昇をより効果的に防止す
ることができる。

【００１７】上記保護シート回収部は、上記保護シート
の他方の端部がその内部に吸い込まれる吸込槽と、基端
側が上記吸込槽に接続され、上記保護シートの他方の端
部を上記吸込槽内に導くための吸込経路が基端から先端
まで貫通して設けられ、この吸込経路は上記先端側から
長手方向中央部に向けて断面積が縮小し、上記長手方向
中央部から上記基端側に向けて断面積が拡大する、吸込
ノズルとを備える。吸込ノズルの吸込経路の断面をかか
る形状とすることにより、吸込ノズルの先端付近や吸込
経路の途中で保護シートに作用する摩擦抵抗が低減され
る。その結果、吸込ノズルへの吸込時に保護シートが切
断されるのを防止することができる。

【００１８】上記保護シート回収部は、上記吸込槽と上
記吸込ノズルの基端とを接続するための接続管部材をさ
らに備え、上記接続管部材の先端に上記吸込ノズルの基
端側が挿入され、上記接続管部材の基端に上記吸込槽の
接続部が挿入される。上記接続管部材、上記接続部、及
び上記吸込経路の基端側の内側断面の形状及び寸法が同
一であることが好ましい。この場合、吸込ノズルから接
続管部材及び接続部を経て吸込槽に至るまでに保護シー
トに作用する摩擦抵抗が低減される。その結果、吸込槽
への吸引時の保護シートの切断や接続管部材内での保護
シートの詰まりを防止することができる。

【００１９】また、上記保護シート回収部は、上記吸込
ノズルの先端近傍に上記保護シートの送り方向に対して
蛇行して設けた複数の振れ止め部材を備え、上記保護シ
ートはこれらの振れ止め部材に案内されて上記吸引ノズ
ルの上記吸込経路内に導入される。これらの振れ止め部
材を設けることにより、吸引ノズルの先端近傍での保護
シートの振動ないしは揺れが防止され、保護シートは吸
込ノズルと干渉することなく吸込経路内に案内される。
その結果、吸込時に保護シートが切断されるのを防止す
ることができる。

【００２０】上記保護シート案内部は、上記保護シート
の一方の面と対向して配置された第１の顎部と、上記保
護シートの他方の面と対向して配置された基部部材と、
この基部部材から離反して上記保護シートに向かう方向
に弾性的に付勢された接触部材とを有する第２の顎部
と、上記第１及び第２の顎部を、それらが互いに接近し
上記保護シートを挟み込んで保持する第１の位置と、そ
れらが互いに離反して上記保護シートを解放する第２の
位置とに移動させる駆動機構とを有するチャックを備え
ることが好ましい。かかる構造のチャックであれば、保
護シートは第１の顎部と第２の顎部の接触部材との間に
確実に挟み込まれ、かつ第１及び第２の顎部に対して滑
ることなく確実に保持される。

【００２１】加圧装置は、接合シートの貼付装置であっ
てもよい。詳しくは、上記第１の部品は板状部品であ
り、上記第２の部品は少なくとも基材層と接合層とを有
する接合シートであり、上記基材層が上記保護シートと
対向し、上記接合層が上記板状部品と対向するように、
上記接合シートを供給する接合シート供給部をさらに備
え、上記ツールが上記第１の位置にあるときには上記保
護シートは上記接合シートと間隔を隔てて対向し、上記
ツールが上記第２の位置にあるときには上記保護シート
が上記接合シートの基材層と互いに接触する。

【００２２】上記保護シート供給部が上記保護シートを
供給する方向と、上記接合シート供給部が接合シートを
供給する方向が反対向きであることが好ましい。この供
給方向の設定により、保護シートに引っ張られて接合シ
ートの位置がずれるのを防止することができる。

【００２３】加圧装置が接合シートの貼付装置である場
合には、上記接合シートの上記接合層のみを切断して上
記基材層を残した切込線を形成する切断部を備える。上
記ツールが上記第２位置にあるときに上記ツールの上記
切込線と対応する縁部に密接するように、上記保護シー
トを上記ステージから離反する方向に案内する保護シー
トガイド部材を備えることが好ましい。この保護シート
ガイド部材を設けることにより、ツールの縁部に対して
保護シートが確実に密接し、それによってこの部分で加
圧力の分布を確実に均一にすることができる。

【００２４】上記保護シートの上記切込線に対応する部
分に保護シート冷却部が冷却用の空気を吹き付けること
が好ましい。保護シートの切込線と対応する部分にはツ
ールの縁部が当接するため、応力集中により他の部分と
比較して大きな加圧力が作用し、劣化が生じやすい。従
って、この部分に空気を吹き付けて冷却することによ
り、保護シートの劣化を効果的に防止することができ
る。

【００２５】上記接合シートは、例えば、上記接合層が
異方性導電性フィルム層からなる異方性導電性フィルム
シートである。

【００２６】加圧装置は、本圧着装置であってもよい。
詳しくは、上記第１の部材は板状部品であり、上記第２
の部品は上記板状部品に対して接合層により仮圧着され
たフィルム状部品であり、上記ツールが加熱機構を備え
る。

【００２７】第２の発明は、接合シートの基材層の一方
の面に設けられた接合層を部品に対して加圧して貼り付
けるための貼付装置であって、上記部品が載置されるス
テージと、上記部品に対して上記接合層が対向するよう
に、上記ステージに上記接合シートを供給する接合シー
ト供給部と、上記ステージと対向して配置され、上記ス
テージ上の部品及び接合シートに対して間隔を隔てて対
向する第１の位置と、上記ステージに向けて付勢され上
記部品に対して上記接合テープの接合層を加圧する第２
の位置との間を移動可能であるツールと、上記ツールが
上記第２の位置にあるときに上記接合シートと上記ツー
ルとの間に介在するように、保護シートを供給する保護
シート供給部と、上記ツールが上記第２の位置となって
上記接合テープの上記接合層を上記部品に押し付け後に
上記第１の位置に移動すると、上記基材シートを上記部
品から引き剥がして上記接合層のみを上記部品に残す剥
離部とを備える、貼付装置を提供する。

【００２８】第３の発明は、接合層により板状部品に仮
圧着されたフィルム状部品を加熱しつつ加圧して上記板
状部品に固定するための本圧着装置であって、上記板状
部品が載置されるステージと、このステージと対向して
配置され、上記ステージ上の板状部品及びフィルム状部
品に対して間隔を隔てて対向する第１の位置と、上記ス
テージに向けて付勢されて上記板状部品に対してフィル
ム状部品を加圧する第２の位置との間を移動可能であ
り、かつ加熱機構を備えるツールと、上記ツールが上記
第２の位置にあるときに上記フィルム状部品と上記ツー
ルとの間に介在するように、保護シートを供給する保護
シート供給部とを備える、本圧着装置を提供する。

【００２９】第４の発明は、第１の部品に対して第２の
部品を実装するための部品実装装置であって、上記第１
の部品が載置されるステージと、このステージ上の第１
の部品に対して、基材層の一方の面に接合層を備える接
合シートを上記接合層が対向するように供給する接合シ
ート供給部と、上記ステージと対向して配置され、上記
ステージ上の第１の部品及び接合シートに対して間隔を
隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて付
勢され上記第１の部品に対して接合シートの接合層を加
圧する第２の位置との間を移動可能であるツールと、上
記ツールが上記第２の位置にあるときに上記接合シート
と上記ツールとの間に介在するように、保護シートを供
給する保護シート供給部と、上記ツールが上記第２の位
置となって上記接合シートの上記接合層を上記第１の部
品に押し付けた後に第１の位置に移動すると、上記基材
シートを第１の部品から引き剥がして上記接合層のみを
部品に残す剥離部とを有する貼付部と、上記第２の部品
を上記第１の部品に対して位置決めし、かつ上記第２の
部品を上記第１の部品に対して第１の加圧力で加圧し、
上記接合層により仮圧着する仮圧着部と、上記第２の部
品を上記第１の部品に対して第２の加圧力で加圧し、そ
れによって上記第１の部品に対して上記第２の部品を固
定する本圧着部とを備える部品実装装置を提供する。

【００３０】第５の発明は、第１の部品に対して第２の
部品を実装するための部品実装装置であって、基材層の
一方の面に接合層を備える接合シートから、上記接合層
を上記第１の部品に対して加圧して貼り付ける貼付部
と、上記第２の部品を上記第１の部品に対して位置決め
し、かつ上記第２の部品を上記第１の部品に対して第１
の加圧力で加圧して上記接合層により仮圧着する仮圧着
部と、上記第２の部品が仮圧着された上記第１の部品が
載置されるステージと、このステージと対向して配置さ
れ、上記ステージ上の第１及び第２の部品に対して間隔
を隔てて対向する第１の位置と、上記ステージに向けて
付勢され上記第２の部品を上記第１の部品に対して第２
の加圧力で加圧し、上記第２の部品を上記第１の部品に
固定する第２の位置との間を移動するツールと、上記ツ
ールが上記第２の位置にあるときに上記第２の部材と上
記ツールとの間に介在するように、保護シートを供給す
る保護シート供給部とを有する本圧着部とを備える部品
実装装置を提供する。

【００３１】第６の発明は、部品に対して、接合シート
の基材層の一方の面に設けられた接合層を貼り付ける貼
付方法であって、上記部品をステージ上へ載置し、ツー
ルを加熱しつつ上記ステージへ向けて付勢して保護シー
トを介して接合シートを部品に加圧し、それによって上
記部品と対向するように配置された接合シートの接合層
を貼り付け、かつ、上記ツールがステージから離反した
後に上記基材層を部品から引き剥がして上記接合層のみ
を部品に残すこととを繰り返し、上記ツールが上記部品
に対して接合層を加圧した回数を計数し、この計数した
回数が予め定めた回数に達すると、上記保護シートを送
って上記ツールに保護シートの未使用の部分を対向させ
る、貼付方法を提供する。

【００３２】第７の発明は、第１の部品に対して接合層
により仮圧着された第２の部品を上記第１の部品に固定
する本圧着方法であって、上記第２の部品が仮圧着され
た上記第１の部品をステージ上へ載置し、ツールを加熱
しつつ上記ステージへ向けて付勢して保護シートを介し
て上記第２の部品を上記第１の部品に対して加圧し、そ
れによって第１の部品に対して第２の部品を固定するこ
とを繰り返し、上記ツールが上記第１の部品に対して上
記第２の部品を加圧した回数を計数し、この計数した回
数が予め定めた回数に達すると、上記保護シートを送っ
て上記ツールに保護シートの未使用の部分を対向させ
る、本圧着方法を提供する。

【００３３】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係る部
品実装装置を示している。この部品実装装置は、図２４
に示すように、プラズマディスプレイパネル基板（ＰＤ
Ｐ基板）１１に対して、その駆動回路が形成されたフレ
キシブルプリント回路基板（ＦＰＣ基板）１２を実装す
るためのものである。部品実装装置は、一対のガイドレ
ール１３に沿ってＰＤＰ基板１１をＡＣＦ貼付部１４、
仮圧着部１５、及び本圧着部１６へ順に搬送する搬送部
１７を備えている。これらＡＣＦ貼付部１４、仮圧着部
１５、及び本圧着部１６のうち、ＡＣＦ貼付部１４及び
本圧着部１６に本発明が適用されている。コントローラ
１８は、後述するセンサ５１からの入力や図示しない操
作盤からの指令に基づいて、ＡＣＦ貼付部１４、仮圧着
部１５、及び本圧着部１６の動作を制御する。

【００３４】図２から図６はＡＣＦ貼付部１４の正面
図、図７から図９はＡＣＦ貼付部１４の平面図、図１０
から図１２はＡＣＦ貼付部１４の右側面図である。ＡＣ
Ｆ貼付部１４は、ＰＤＰ基板１１が載置されるステージ
１９を備えている。このステージ１９は昇降可能であ
り、かつ図示しない吸引機構によりＰＤＰ基板１１をそ
の上面に解放可能に保持することができる。このステー
ジ１９の上方には配置されたフレーム２０には、ツール
２１、ツール付勢部２２、ＡＣＦテープ供給部２３、切
断部２４、剥離部２５、保護テープ供給部２６、及び保
護テープ冷却部２７が設けられている。フレーム２０
は、固定部２８と可動部２９とを備え、可動部２９は固
定部２８に対して水平方向に旋回可能である。固定部２
８には、ツール２１、ツール付勢部２２、切断部２４、
及び保護テープ冷却部２７と、ＡＣＦテープ供給部２３
及び保護テープ供給部２６の一部とが取り付けられてい
る。一方、可動部２９にはＡＣＦテープ供給部２３及び
保護テープ供給部２６の大部分と、剥離部２５が取り付
けられている。

【００３５】上記ツール２１は、保持部材３０の下端に
保持された直方体状の金属製のブロックである。ツール
２１の表面は被覆層に覆われることなく露出している。
また、保持部材３０はツール２１を加熱するためのヒー
タ３１を備えている。

【００３６】ツール付勢部２２は、フレーム２０の固定
部２８に取り付けられたモータ３２Ａを備えている。こ
のモータ３２Ａの出力軸は鉛直方向に延びる第１ボール
ねじ３３に連結されている。第１ボールねじ３３は昇降
ブロック３４の上端部に設けられたナット部に螺合して
いる。また、昇降ブロック３４にはそのロッドが鉛直方
向下向きに延びる第１エアシリンダ３５が取り付けられ
ている。ツール２１の保持部材３０は加圧ブロック３６
の下端に取り付けられ、加圧ブロック３６の上端はばね
３７Ａにより昇降ブロック３４に連結されている。この
ばね３７Ａの付勢力により加圧ブロック３６が第１エア
シリンダ３５のロッドの下端に当接している。モータ３
２Ａにより第１ボールねじ３３が回転すると、その回転
方向に応じて昇降ブロック３４が昇降し、それによって
保持部材３０と共にツール２１が昇降する。また、第１
エアシリンダ３５のロッドが突出位置となると加圧ブロ
ック３６を介してツール２１に対して下向きの付勢力が
作用する。一方、第１エアシリンダ３５のロッドが引込
位置となるとツール２１に対する下向きの付勢力が解除
される。

【００３７】ＡＣＦテープ供給部２３は、ＰＤＰ基板１
１が保持されたステージ１９の上方にＡＣＦテープを供
給する。図２５に示すように、ＡＣＦテープ５は、基材
層５ａ、異方性導電性フィルム層（ＡＣＦ層）５ｂ、及
び被覆層５ｃを備えている。ＡＣＦ層はバインダ５ｄ
と、このバインダ５ｄに含有された複数の導電性粒子５
ｅとを備えている。バインダ５ｄは、加熱されると軟化
して冷却されると硬化することにより、２個の部材を接
続することができる。また、ＡＣＦ層５ｂは導電性粒子
５ｅの存在により加圧方向にのみ導電性を生じる。

【００３８】ＡＣＦテープ供給部２３は、ＡＣＦテープ
５の一方の端部を送り出し可能に蓄積したＡＣＦテープ
蓄積部３８と、ＡＣＦテープ５の他方の端部を回収する
ＡＣＦテープ回収部３９とを備えている。また、ＡＣＦ
テープ供給部２３は、ＡＣＦテープ蓄積部３８からステ
ージ１９の上方を経てＡＣＦテープ回収部３９にＡＣＦ
テープ５を案内するＡＣＦテープ案内部４０を備えてい
る。このＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦ貼付部１４
を正面から見たときに大略Ｕ字状を呈するようにＡＣＦ
テープ５を案内する。さらに、ＡＣＦテープ供給部２３
は、ＡＣＦテープ案内部４０に沿ってＡＣＦテープ蓄積
部３８からＡＣＦテープ回収部３９へ向けてＡＣＦテー
プ５を送るためのＡＣＦテープ送り部４１を備えてい
る。

【００３９】ＡＣＦテープ蓄積部３８は、ＡＣＦテープ
５を多数回巻き付けたＡＣＦテープ用リール４２を備え
ている。図７に示すように、ＡＣＦテープ用リール４２
は、フレーム２０の可動部２９に回転可能に軸支された
リールシャフト４３の先端に固定されている。このリー
ルシャフト４３の基端側はクラッチ４４を介してモータ
３２Ｂの出力軸に連結されている。モータ３２Ｂにより
ＡＣＦテープ用リール４２が図１において矢印で示す方
向に回転すると、ＡＣＦテープ用リール４２からＡＣＦ
テープ５が巻き出される。可動部２９のＡＣＦテープ用
リール４２の近傍には、ＡＣＦテープ用リール４２の交
換時に使用するチャック４５Ａ（図２に図示する。）が
取り付けられている。

【００４０】ＡＣＦテープ回収部３９は真空ポンプ４６
に接続された吸込槽４７を備えている。この吸込槽４７
の口金４８にはチューブ４９の基端が接続されている。
また、チューブ４９の先端には吸込ノズル５０が接続さ
れている。ＡＣＦテープ５は吸込ノズル５０からチュー
ブ４９及び口金４８を経て吸込槽４７に吸い込まれる。
さらに、ＡＣＦテープ回収部３９は、吸込ノズル５０の
先端付近にＡＣＦテープ５の切断を検出するための一対
のセンサ５１Ａ，５１Ｂを備えている。

【００４１】ＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦ層５ｂ
がステージ１９上のＰＤＰ基板１１と対向するように、
ＡＣＦテープ５を案内する。まず、ＡＣＦテープ案内部
４０は、フレーム２０の可動部２９に取り付けられた固
定のガイドローラ５２Ａ〜５２Ｈを備えている。これら
のガイドローラ５２Ａ〜５２Ｈのうち、５個のガイドロ
ーラ５２Ａ〜５２ＥがＡＣＦテープ５の基材層５ａ及び
ＡＣＦ層５ｂを案内するためのものであり、残りの３個
のガイドローラ５２Ｆ〜５２Ｈが分岐点５３においてＡ
ＣＦ層５ｂから剥離した被覆層５ｃを案内するためのも
のである。

【００４２】また、ＡＣＦテープ案内部４０は、ＡＣＦ
テープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ
蓄積部３８側に設けられた可動アーム５４Ａと、ＡＣＦ
テープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ
回収部３９側に設けられた可動アーム５４Ｂとを備えて
いる。これら可動アーム５４Ａ，５４Ｂは、フレーム２
０の可動部２９に対して鉛直方向に移動可能であり、そ
れぞればねにより可動部２９に連結されている。また、
可動アーム５４Ａ，５４Ｂの下端位置を規制する規制ピ
ン５５が可動部２９に取り付けられている。これら可動
アーム５４Ａ，５４Ｂにも、それぞれガイドローラ５２
Ｉ〜５２Ｋが取り付けられている。可動アーム５４Ａの
上端は、昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５６
Ａにより押し下げられるようになっている。可動アーム
５４Ｂは、昇降ブロック３４が備えるプッシュロッド５
６Ｂの下端に取り付けられた中間ロッド５７により押し
下げられるようになっている。これらのプッシュロッド
５６Ａ，５６Ｂの上端側は昇降ブロック３４の内部に収
容されており、ばねにより鉛直方向下向きに弾性的に付
勢されている。中間ロッド５７にはチャック４５Ｂが取
り付けられている。このチャック４５Ｂは、ＰＤＰ基板
１１に対してＡＣＦ層５ｂを加圧する際に、ＡＣＦテー
プ５のＡＣＦテープ回収部３９側を固定するために設け
られている。

【００４３】ＡＣＦテープ案内部４０は、張力付与機構
５８を備えている。この張力付与機構５８は、ＡＣＦテ
ープ５の送り方向でステージ１９よりもＡＣＦテープ蓄
積部３８側の可動部２９に設けられた鉛直方向のガイド
溝５９Ａと、錘体６０Ａとを備えている。この錘体６０
Ａには基材層５ａ及びＡＣＦ層５ｂを案内するガイドロ
ーラ５２Ｌと、被覆層５ｃを案内するガイドローラ５２
Ｍとが取り付けられている。また、錘体６０Ａはガイド
溝５９Ａ上を移動自在であり、それ自体の自重による鉛
直方向下向きの力が作用している。基材層５ａ及びＡＣ
Ｆ層５ｂは、錘体６０Ａのガイドローラ５２Ｌによっ
て、下向きから上向に送り方向が反転されるように案内
されており、錘体６０Ａの自重により張力が付与されて
いる。錘体６０Ａは水平方向に延びる突片６１Ａを備え
ている。また、ガイド溝５９Ａに沿ってフレーム２０の
固定部２８に３個のセンサ５１Ｃ〜５１Ｅが配設されて
いる。これらのセンサ５１Ｃ〜５１Ｅによりガイド溝５
９Ａ上の錘体６０Ａの位置を検出できる。

【００４４】被覆層５ｃは錘体６０Ａのガイドローラ５
２Ｍから可動部２９上の固定のガイドローラ５２Ｇ，５
２Ｈを経て、被覆層回収部６２により回収される。この
被覆層回収部６２は、真空ポンプ４６に接続された吸込
槽６３、この吸込槽６３の口金６４に基端が接続された
チューブ６５、及びチューブ６５の先端に取り付けられ
た吸込ノズル６６を備えている。基材層５ａ及びＡＣＦ
層５ｂから分離された被覆層５ｃは、吸込ノズル６６か
らチューブ６５、及び口金６４を経て吸込槽６３に回収
される。

【００４５】ＡＣＦテープ送り部４１は、フレーム２０
の固定部２８に取り付けられたモータ３２Ｃを備えてい
る。このモータ３２Ｃの出力軸は鉛直方向に延びる第２
ボールねじ６７に連結されている。この第２ボールねじ
６７は固定部２８に対して鉛直方向に移動自在である引
きブロック６８のナット部に螺合している。この引きブ
ロック６８には、開閉可能なチャック４５Ｃが取り付け
られている。

【００４６】図１５に詳細に示す切断部２４は、ステー
ジ１９の上方領域に対して侵入及び退避可能であり、か
つ開閉可能な一対の切断アーム６９Ａ，６９Ｂを備えて
いる。下側の切断アーム６９ＡはＡＣＦ層５ｂを切断す
るためのブレード７０を備えているが、上側の切断アー
ム６９Ｂはブレード７０を備えていない。これらの切断
アーム６９Ａ，６９Ｂを閉じると、ブレード７０により
ＡＣＦテープ５のＡＣＦ層５ｂは切断されるが基材層５
ａは切断されることなく残り、切込線６が形成される。

【００４７】剥離部２５は、可動アーム５４Ｂの下端に
水平方向に移動可能に取り付けられた剥離アーム７１を
備えている。この剥離アーム７１の先端には一対のガイ
ドローラ５２Ｌ，５２Ｍが取り付けられている。一方、
剥離アーム７１の基端は第２エアシリンダ７２に連結さ
れている。この第２エアシリンダ７２のロッドの位置に
応じて剥離アーム７１が水平方向に移動する。

【００４８】保護テープ供給部２６は、ツール１０の下
側に保護テープ１０を供給する。保護テープ１０は、熱
伝導性及び耐熱性が良好で弾力性を有するテープ材であ
る。例えば、シリコンやテフロン（登録商標）を含有す
る高熱伝導性絶縁ゴムシートを保護テープ１０として使
用することができる。

【００４９】保護テープ供給部２６は、保護テープ１０
の一方の端部を送り出し可能に蓄積した保護テープ蓄積
部７３と、保護テープ１０の他方の端部を回収する保護
テープ回収部７４とを備えている。また、保護テープ供
給部２６は、保護テープ蓄積部７３からステージ１９の
上方を経て保護テープ回収部７４に保護テープ１０を案
内する保護テープ案内部７５を備えている。この保護テ
ープ案内部７５は、ＡＣＦ貼付部１４を正面から見たと
きに大略Ｕ字状を呈し、かつステージ１９上のＰＤＰ基
板１１とツール２１との間に介在するように、保護テー
プ１０を案内する。さらに、保護テープ供給部２６は保
護テープ案内部７５に沿って保護テープ蓄積部７３から
保護テープ回収部７４へ向けて保護テープ１０を送るた
めの保護テープ送り部７６を備えている。

【００５０】保護テープ蓄積部７３は、保護テープ１０
を多数回巻き付けた保護テープ用リール７７を備えてい
る。図７に示すように、保護テープ用リール７７は、フ
レーム２０の可動部２９に回転可能に軸支されたリール
シャフト４３の先端に固定されている。このリールシャ
フト４３の基端側はクラッチ４４を介してモータ３２Ｄ
の出力軸に連結されている。モータ３２Ｄにより保護テ
ープ用リール７７が図２において矢印で示す方向に回転
すると、保護テープ用リール７７から保護テープ１０が
巻き出される。可動部２９の保護テープ用リール７７の
近傍には、保護テープ用リール７７の交換時に使用する
チャック４５Ｄが取り付けられている。

【００５１】図１３に詳細に示すように、保護テープ回
収部７４は真空ポンプ４６に接続された吸込槽７８を備
えている。この吸込槽７８の口金７９にはチューブ８０
（接続管部材）の基端が接続されている。また、チュー
ブ８０の先端には吸込ノズル８１が接続されている。保
護テープ１０は吸込ノズル８１からチューブ８０及び口
金７９を経て吸込槽７８に吸い込まれる。さらに、保護
テープ回収部７４は吸込ノズル８１の先端付近に、ＡＣ
Ｆテープ５の切断を検出するための一対のセンサ５１
Ｆ，５１Ｇを備えている。

【００５２】吸込ノズル８１には、保護テープ１０を吸
込槽７８内に導くための吸込経路８２が基端から先端ま
で貫通して設けられている。この吸込経路８２は、先端
から長手方向中央部分に向けて連続的に縮径し、長手方
向中央部から基端側に向けて連続的に拡径している。こ
の断面形状により吸込ノズル８１の先端付近や吸込経路
８２の途中で保護テープ１０に作用する摩擦抵抗が低減
され、その結果、吸込ノズル８１への吸込時に保護テー
プ１０が切断されるのを防止することができる。

【００５３】チューブ８０は、外層８３と内層８４から
なる二重構造である。チューブ８０の先端付近には内層
８４がなく、外層８３に対して吸込ノズル８１が挿入さ
れている。同様に、チューブ８０の基端付近には内層８
４がなく、外層８３に対して口金７９が挿入されてい
る。そして、チューブ８０の内層８４の内径、口金７９
の内径、及び吸込経路８２の基端側の内径を同一径とし
ている。また、内層８４の先端付近は最先端部に向けて
連続的に拡径するテーパ状である。同様に、口金７９の
先端付近も最先端部に向けて連続的に拡径するテーパ状
である。このように吸込ノズル８１、チューブ８０、及
び口金７９の内側断面の形状及び寸法を一定とし、かつ
可能な限り凹凸をなくし、保護テープ１０に作用する摩
擦抵抗を低減している。その結果、吸込槽７８への吸込
時の保護テープ１０の切断やチューブ８０内での保護テ
ープ１０の詰まりを防止することができる。

【００５４】吸込ノズル８１の先端近傍には、保護シー
トの送り方向に対して蛇行して配置された３個の振れ止
めピン８５が設けられている。保護テープ１０はこれら
の振れ止めピン８５に案内されて蛇行しつつ吸込ノズル
８１の吸込経路８２へ導入される。従って、吸込ノズル
８１の先端近傍での保護テープ１０の振動ないしは揺れ
が防止され、保護テープ１０は保護テープ吸引ノズル８
１と干渉することなく吸込経路８２内に案内される。そ
の結果、吸引時に保護テープ１０が切断されるのを防止
することができる。

【００５５】保護テープ案内部７５は、ステージ１９上
でＡＣＦテープ５とＡＣＦツール２１の間を通るように
保護テープ１０を案内する。まず、保護テープ案内部７
５は、フレーム２０の可動部２９に取り付けられた固定
のガイドローラ５２Ｎ，５２Ｐを備えている。また、保
護テープ案内部７５は、保護テープ１０の送り方向でス
テージ１９よりも保護テープ蓄積部７３側に設けられた
可動アーム５４Ｃと、保護テープ１０の送り方向でステ
ージ１９よりも保護テープ回収部７４側に設けられた可
動アーム５４Ｄとを備えている。これらの可動アーム５
４Ｃ，５４Ｄの先端にも保護テープ１０を案内するため
のガイドローラ５２Ｑ，５２Ｒが取り付けられている。
また、これら可動アーム５４Ｃ，５４Ｄは、フレーム２
０の可動部２９に対して鉛直方向に移動可能であり、そ
れぞればねにより可動部２９に連結されている。さら
に、可動アーム５４Ｃ，５４Ｄの下端位置を規制する規
制ピン５５が可動部２９に取り付けられている。可動ア
ーム５４Ｃ，５４Ｄの上端は昇降ブロック３４が備える
プッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄにより押し下げられるよ
うになっている。プッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄの上端
側は昇降ブロック３４の内部に収容されており、ばねに
より鉛直方向下向きに弾性的に付勢されている。

【００５６】可動アーム５４Ｄの先端付近には引き上げ
ピン８６（保護シートガイド部材）が固定されている。
後に詳述するように、この引き上げピン８６はツール２
１がＡＣＦ層５ｂをＰＤＰ基板１１に対して加圧する際
に、ツール２１の図において左側の縁部２１ａに密接す
るように保護テープ１０を案内する（図１６参照）。

【００５７】固定部２８にチャック４５Ｅが取り付けら
れている。このチャック４５ＥはＰＤＰ基板１１に対し
てＡＣＦ層５ｂを加圧する際に保護テープ１０の保護テ
ープ回収部７４側を固定するためのものである。

【００５８】保護テープ案内部７５は、張力付与機構８
７を備えている。この張力付与機構８７は、保護テープ
１０の送り方向でステージ１９よりも保護テープ蓄積部
７３側の可動部２９に設けられた鉛直方向のガイド溝５
９Ｂと、錘体６０Ｂとを備えている。この錘体６０Ｂに
は保護テープ１０を案内するガイドローラ５２Ｓが取り
付けられている。また、錘体６０Ｂはガイド溝５９Ｂ上
を移動自在であり、それ自体の自重による鉛直方向下向
きの力が作用している。保護テープ１０は下向きから上
向に送り方向が反転されるように錘体６０Ｂのガイドロ
ーラ５２Ｓに案内されており、錘体６０Ｂの自重により
張力が付与されている。錘体６０Ｂは水平方向に延びる
突片６１Ｂを備えている。また、ガイド溝５９Ｂに沿っ
てフレーム２０の固定部２８に３個のセンサ５１Ｈ〜５
１Ｊが配設されている。これらのセンサ５１Ｈ〜５１Ｊ
によりガイド溝５９Ｂ上の錘体６０Ｂの位置を検出でき
る。

【００５９】ガイドローラ５２Ｐの外周には検出片８８
が等角度間隔で設けられている。また、このガイドロー
ラ５２Ｐの近傍にセンサ５１Ｋが取り付けられている。
ガイドローラ５２の回転によりセンサ５１Ｋを通過する
検出片８８を計数することにより、保護テープ蓄積部７
３から送り出された保護テープ１０の長さが測定され
る。

【００６０】保護テープ送り部７６は、フレーム２０の
固定部２８に取り付けられたピンチローラ機構８９を備
えている。このピンチローラ機構８９は図示しないモー
タにより回転駆動される駆動ローラ９０と、従動ローラ
９１とを備えている。従動ローラ９１は基端が回転可能
に固定部２８に支持され、先端がばねにより駆動ローラ
９０に向けて弾性的に付勢された旋回レバー９２に取り
付けられている。そのため、保護テープ１０は駆動ロー
ラ９０と従動ローラ９１の間に挟み込まれており、駆動
ローラ９０が図示の方向に回転すると保護テープ回収部
７４に向けて送られる。

【００６１】また、アクチュエータ（図示せず。）によ
って旋回レバー９２を反時計方向に回転させて従動ロー
ラ９１を駆動ローラ９０から離反させると、ピンチロー
ラ機構８９から保護テープ１０を抜き出すことができ
る。図において矢印で示すように、ＡＣＦテープ送り部
７６によるＡＣＦテープ５の送り方向と、保護テープ送
り部７６による保護テープ１０の送り方向は反対向きで
ある。

【００６２】ピンチローラ機構８９と保護テープ回収部
７４との間には、接続部検出用のセンサ５１Ｌが配設さ
れている。

【００６３】上記チャック４５Ａ〜４５Ｅについて、保
護テープ案内部７５が備えるチャック４５Ｅを例として
図１４を参照して説明する。チャック４５Ｅは、保護テ
ープ１０の異なる面とそれぞれ対向する顎部９３Ａ，９
３Ｂを備えている。一方の顎部９３Ａは単一の部材から
なり、保護テープ１０と対向する面が平面である。他方
の顎部９３Ｂは、基部部材９４と、接触部材９５とを備
えている。スライドシャフト９６の一端に接触部材９５
が固定されており、スライドシャフト９６の他端は基部
部材９４に設けられたスライド孔９７に挿通されてい
る。また、基部部材９４と接触部材９５の間にはばね３
７Ｂが設けられている。このばね３７Ｂにより、接触部
材９５には基部部材９４から離反して保護シートに向か
う方向に弾性的な付勢力が作用している。基部部材９４
には接触部材９５と点接触的に接触するための突部９８
が設けられている。顎部９３Ａ，９３Ｂはエアシリンダ
を含む駆動機構により駆動され、互いに接近して保護テ
ープ１０を挟み込んで保持する位置と、互いに離反して
保護テープ１０の保持を解除する位置とに移動可能であ
る。

【００６４】顎部９３Ａ，９３Ｂが互いに接近すると、
最初に顎部９３Ａと顎部９３Ｂの接触部材９５が保護テ
ープ１０の異なる面にそれぞれ接触する。顎部９３Ａ，
９３Ｂがさらに接近すると、ばね３７Ｂの弾性的な付勢
力に抗して接触部材９５に対して基部部材９４が接近
し、それによって突部９８が接触部材９５に当接する。
顎部９３Ａ，９３Ｂがさらに接近することにより、突部
９８に押された接触部材９５と顎部９３Ａとの間に保護
シートが挟み込まれる。従って、顎部９３Ａと顎部９３
Ｂの接触部材９５との間に保護シートが確実に挟み込ま
れ、かつ保護シートは顎部９３Ａ，Ｂに対して滑ること
なく確実に保持される。ただし、チャック４５Ａ〜４５
Ｅの構造は、図１４に示すものに限定されず、ＡＣＦテ
ープ５や保護テープ１０を解放可能に保持できるもので
あればよい。リール交換時に使用するチャック４５Ａ，
４５Ｄは手動で開閉するものであってもよい。

【００６５】保護テープ冷却部２７は、図１５に示すよ
うに、保護テープ１０に冷却用の空気を噴射するための
冷却ノズル９９と、この冷却ノズル９９に対して空気を
供給するブロワ１００とを備えている。冷却ノズル９９
の位置及び向きは、ツール２１がステージ１９と間隔を
隔てて対向する位置にあるときに、ツール２１の図にお
いて左側の縁部２１ａ、すなわちＡＣＦテープ５の切込
線６と対応する部分に向けて空気を噴射するように設定
されている。

【００６６】次に、ＡＣＦ貼付部１４の動作を説明す
る。図２及び図３と図１５とは、ツール２１によりＡＣ
Ｆ層５ｂをＰＤＰ基板１１に加圧する前の状態を示して
いる。ツール２１はステージ１９、ＰＤＰ基板１１、及
びＡＣＦテープ５の上方に間隔を隔てて位置している。
ＡＣＦテープ送り部４１は、ＡＣＦ層５ｂの先端がＡＣ
Ｆツール２１の図において右側の縁部２１ｂと対応する
位置に達するように、ＡＣＦテープ５をＡＣＦテープ回
収部３９に向けて送る。また、チャック４５Ｂが閉じて
ＡＣＦテープ５（基材層５ａ）を固定し、チャック４５
Ｅが閉じて保護テープ１０を固定する。ＡＣＦテープ５
のＡＣＦ層５ｂはステージ１９上のＰＤＰ基板１１と間
隔を隔てて対向している。切断部２４の切断アーム６９
Ａ，６９Ｂがステージ１９の上方に進出し、切込線６を
形成する。

【００６７】保護テープ１０はＡＣＦテープ５の上方に
間隔を隔てて配置されている。また、保護テープ１０は
その上方に位置するツール２１と間隔を隔てて対向して
おり、保護テープ１０はＡＣＦテープ５と接触していな
い。ツール２１と保護テープ１０との間に間隔を設ける
ことにより、ツール２１から保護テープ１０への熱の伝
達を抑制している。また、この間隔を設けることによ
り、保護テープ１０が周囲の空気との熱交換により自然
冷却され、それによって保護テープ１０の過度の温度上
昇が防止される。ツール２１が図３及び図３と図１５と
で示すようにステージ１９から離れた位置にあるときに
は、ヒータ３１による加熱を停止している。これによっ
てもＡＣＦツール２１から保護テープ１０に伝わる熱を
低減され、保護テープ１０の温度上昇が防止される。ま
た、保護テープ冷却部２７の冷却ノズル９９から保護テ
ープ１０に対して空気を噴射している。この空気の噴射
により保護テープ１０と周囲の空気との熱交換が一層促
進され、保護テープ１０の温度上昇が防止される。

【００６８】次に、モータ３２Ａにより第１ボールねじ
３３が回転駆動されて昇降ブロック３４が降下し、さら
に第１エアシリンダ３６のロッドが突出位置となり、ツ
ール２１がＰＤＰ基板１１へ向けて降下する。また、昇
降ブロック３４の降下に伴ってプッシュロッド５６Ａ〜
５６Ｄによって可動アーム５４Ａ〜５４Ｄがばねの付勢
力に抗して押し下げられるため、ＡＣＦテープ５及び保
護テープ１０もステージ１９上のＰＤＰ基板１１に向け
て降下する。そのため、図４及び図１６に示すように、
ツール２１がステージ１９に向けて付勢され、ツール２
１によりＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦテープ５のＡＣ
Ｆ層５ｂが加圧される。ツール２１とＡＣＦテープ５と
の間には、弾力性を有する保護テープ１０が介在してい
る。そのため、ツール２１からＡＣＦ層５ｂに対して均
一な分布の加圧力が作用し、ＰＤＰ基板１１に対してＡ
ＣＦ層５ｂを正確に貼り付けることができる。ＡＣＦツ
ール２１による加圧力は例えば５０〜１００N/cm²であ
り、加圧時の温度は例えば６０〜７０℃程度である。

【００６９】ＡＣＦ層５ｂの切込線６と対応するツール
２１の図において左側の縁部２１ａでは、引き上げピン
８６が保護テープ１０をステージ１９から離反する方向
（図において上方）へ案内し、縁部２１ａに対して保護
テープ１０を密接させている。そのため、切込線６の付
近でもＡＣＦツール２１からＡＣＦ層５ｂに作用する加
圧力の分布が均一であり、ＡＣＦ層５ｂの切断等の不具
合を防止することができる。

【００７０】ＡＣＦテープ５は、図において右側がチャ
ック４５Ｂにより保持される一方、左側は上下動可能な
錘体６０Ａが備えるガイドローラ５２Ｌで案内されてい
るため、ＡＣＦツール２１の降下に伴い図１５において
矢印で示すように右向きに送られる。これに対して、保
護テープ１０は、図において左側がチャック４５Ｄによ
り保持される一方、右側は上下動可能な錘体６０Ｂが備
えるガイドローラ５２Ｓで案内されているため、ツール
２１の降下に伴い図１５において矢印で示すように左向
きに送られる。仮に、ツール２１降下時のＡＣＦテープ
５の送り方向と保護テープ１０の送り方向とが同一方向
であると、ＡＣＦテープ５と保護テープ１０との間の摩
擦力により、ＡＣＦテープ５が保護テープ１０に引っ張
られて必要以上に送られ、それによってＡＣＦ層５ｂの
先端及び切込線６のＰＤＰ基板１１に対する位置がずれ
るおそれがある。しかし、本実施形態では、ＡＣＦテー
プ５の送り方向と保護テープ１０の送り方向とを反対方
向としているため、ＡＣＦツール２１の降下時にＡＣＦ
テープ５が保護テープ１０に引っ張られて必要以上に送
られるのを防止することができる。従って、ＡＣＦ層５
ｂの先端及び切込線６のＰＤＰ基板１１に対する位置に
ずれがが防止される。

【００７１】次に、第１エアシリンダ３６のロッドが引
込位置となると共に、モータ３２Ａにより第１ボールね
じ３３が回転駆動されて昇降ブロック３４が上昇する。
その結果、図５及び図１７に示すように、ツール２１が
上昇してステージ１９から離れる。また、昇降ブロック
３４の上昇によりプッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄが可動
アーム５４Ｃ，５４Ｄを押し下げる力が低下するため、
可動アーム５４Ｃ，５４Ｄが上昇し、保護テープ１０も
ステージ１９から離れる。一方、ＡＣＦ層５ｂがＰＤＰ
基板１１に貼り付いているため、昇降ブロック３４が上
昇しても可動アーム５４Ａ，５４Ｂは上昇せず、ＡＣＦ
テープ５はＰＤＰ基板１１上に保持されている。

【００７２】ツール２１が上昇してステージ１９から離
れるとヒータ３１により加熱が停止される。また、ツー
ル２１がステージ１９から離れると、冷却ノズル９９か
らの空気の噴射が開始される。ＡＣＦ層５ｂの切込線６
と対応するツール２１の縁部２１ａではＡＣＦ層５ｂを
ＰＤＰ基板１１に加圧する際に応力集中が生じる。従っ
て、保護テープ１０のツール２１に対応する部分は、他
の部分と比較して大きな圧力が作用し、劣化が生じやす
い。これに対して、本実施形態では、冷却ノズル９９か
ら保護テープ１０のツール２１の縁部２１ａに対応する
部分に空気を噴射しているため、この部分での保護テー
プ１０の劣化を効果的に防止することができる。

【００７３】次に、第２エアシリンダ７２のロッドが突
出位置となり、それによって図６及び図１８に示すよう
に、剥離アーム７１が図において左向きに水平移動す
る。そのため、剥離アーム７１の先端に取り付けられた
ガイドローラ５２Ｌ，５２Ｍにより、ＡＣＦテープ５の
基材層５ａのみがＰＤＰ基板１１から引き剥がされる。
その結果、ＡＣＦ層５ｂの先端から切込線６に対応する
部分がＰＤＰ基板１１に残る。その後、昇降ブロック３
４が上昇して図２及び図３と図１５とに示す初期位置に
戻り、ＰＤＰ基板１１に対するＡＣＦ層５ｂの貼り付け
が完了する。ＡＣＦ貼付部１４は以上の動作を繰り返し
実行する。

【００７４】新たにＡＣＦ層５ｂの貼り付けを実行する
には、ＡＣＦテープ５を送る必要がある。このＡＣＦテ
ープ５の送りは以下のように実行される。まず、チャッ
ク４５ＣによりＡＣＦテープ５を保持する一方、チャッ
ク４５ＢによるＡＣＦテープ５の保持を解除する。次
に、モータ３２ＢによりＡＣＦテープ用リール４２を回
転させ、ＡＣＦテープ５を一定の長さだけ送り出す。こ
の送り出すＡＣＦテープ５の長さは、ＡＣＦ層５ｂの先
端（前回のＡＣＦ層５ｂの貼り付け時に形成した切込線
６）がツール２１の右側の縁部２１ｂ付近に位置するよ
うに設定される。次に、モータ３２Ｃにより第２ボール
ねじ６７を回転駆動して引きブロック６８を上昇させ
る。引きブロック６８の上昇により、ＡＣＦテープ５が
ＡＣＦテープ回収部３０へ送られ、吸込槽４７に回収さ
れる。

【００７５】コントローラ１８は、上記ＡＣＦ貼付部１
４がＰＤＰ基板１１に対するＡＣＦ層５ｂの貼り付けを
実行した回数、すなわちステージ１９に向けて付勢され
たツール２１がＰＤＰ基板１１に対してＡＣＦ層５ｂを
加圧した回数を計数している。また、貼り付けの実行回
数が予め定められた回数（限界回数）に達したことをコ
ントローラ１８が検出すると、保護テープ供給部２６は
保護テープ１０を保護テープ蓄積部７３から保護テープ
回収部７４へ向けて送り、未使用の保護テープ１０をツ
ール２１に供給する。

【００７６】保護テープ１０の送りは、図２及び図３と
図１５とに示すようにツール２１がステージ１９から間
隔を隔てた位置にあるときに実行される。まず、チャッ
ク４５Ｅによる保護テープ１０の保持を解除する。次
に、モータ３２Ｄにより保護テープ用リール７７を回転
させて保護テープ１０を所定長さだけ送り出す。この送
り出す保護テープ１０の長さは、１回の送り動作により
ツール２１の下端面が保護テープ１０の未使用の部分と
対向するように設定される。保護テープ用リール７７か
ら送り出された保護テープ１０の長さはセンサ５１を通
過する検出片８８の数により計測される。次に、ピンチ
ローラ機構８９の駆動ローラ９０が回転し、保護テープ
１０を保護テープ回収部７４へ向けて送る。保護テープ
回収部７４へ送られた保護テープ１０は吸込槽７８に回
収される。

【００７７】本実施形態では、上記のように限界回数毎
にツール２１に未使用の保護テープ１０を供給するた
め、熱や圧力の影響による劣化が進行していない保護テ
ープ１０を使用してＡＣＦ層５ｂの貼り付けを行うこと
ができる。従って、正確なＡＣＦ層５ｂの貼り付けを安
定して繰り返すことができる。また、ツールに被覆層を
設ける場合（図２６参照）と比較すると、ツール２１の
交換が不要ないしはその頻度が大きく低減されるため、
メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。

【００７８】上記のように限界回数のＡＣＦ層５ｂの貼
り付けを行う度に、保護テープ用リール７７から新たな
保護テープ１０が送り出される。１個の保護テープ用リ
ール７７の保護テープ１０が消費された場合には、以下
の手順で新しい保護テープ用リール７７と交換する。

【００７９】まず、図１９に示すように、チャック４５
Ｄにより保護テープ１０を保持した後、保護テープ用リ
ール７７付近で保護テープ１０を切断する。次に、図３
０に示すように、保護テープ用リール７７をＡＣＦ貼付
部１４から取り外す。また、新品の保護テープ用リール
７７を取り付け、この保護テープ用リール７７に巻回さ
れた保護テープ１０の先端を、チャック４５Ｄにより保
持されている前の保護テープ用リール７７の端部に接続
する。この保護テープ１０の接続方法には種々の方法が
ある。例えば、図２２（Ａ）に示すように、短い接続用
テープ１０１に２本の保護テープ１０をそれぞれ接着
し、それによって接続部１０２を形成することができ
る。また、図３２（Ｂ）に示すように超音波溶着１０３
により２本の保護テープ１０の接続部１０２を形成する
ことができる。

【００８０】２本の接続テープ１０の接続部１０２は、
ＡＣＦ層５ｂの加圧に使用しないことが好ましい。すな
わち、仮に接続部１０２を介在させてＡＣＦツール２１
によりＡＣＦ層５ｂを加圧すると、接続部１０２には凹
凸があるため、ＡＣＦ層５ｂに作用する加圧力の分布を
均一とするのは困難である。そのため、保護テープ用リ
ール７７を交換した場合には、ＡＣＦ層５ｂの貼り付け
を再開する前に、少なくとも接続部１０２がステージ１
９上を通過するまで保護テープ１０を保護テープ回収部
７４に向けて送る必要がある。

【００８１】本実施形態では、接続部検出用のセンサ５
１Ｌにより接続部１０２が検出されるまで、保護テープ
送り部７６が保護テープ回収部７４に向けて保護テープ
１０を送る。接続部検出用のセンサ５１Ｌとしては、例
えば磁気、色彩、又は段差を検知可能なものを使用する
ことができる。センサ５１Ｌが磁気を検知する場合に
は、接続テープ（図３２（Ａ）参照）として磁性テープ
を使用すればよい。また、センサ５１Ｌが色彩を検知す
る場合に、接続用テープ１０１を保護テープ１０と異な
る色に着色したり、超音波溶着１０３を行った部分（図
２２（Ｂ）参照）を保護テープ１０と異なる色に着色す
ればよい。さらに、センサ５１Ｌが段差を検出可能であ
れば、接続用テープ１０１と保護テープ１０によって形
成される段差や、超音波溶着１０３のために２本の保護
テープ１０を重ねた部分の段差が検出される。

【００８２】フレーム２０の構造について図７及び図１
０を参照して説明する。まず、固定部２８は鉛直方向に
間隔をあけて対向する一対のブラケット１０４を備えて
いる。これらのブラケット１０４に鉛直方向に延びる旋
回シャフト１０５が固定されている。旋回シャフト１０
５には旋回ブロック１０６が回動可能に支持されてい
る。旋回ブロック１０６には２本の支持シャフト１０７
が貫通し、これらの支持シャフト１０７の先端に可動部
２９が固定されている。旋回ブロック１０６と可動部２
９の間にはばね３７Ｃが配設され、これらのばね３７Ｃ
は旋回ブロック１０６と可動部２９をそれらが互いに離
反する方向に弾性的に付勢している。旋回ブロック１０
６にはハンドル１０８により操作可能なカム１０９が設
けられている。このカム１０９と対応するカムフォロア
１１０（ローラ）は支持シャフト１０７の基端に固定さ
れた抜け止め板１１１から延びる駆動アーム１１２に設
けられている。また、ブラケット１０４を貫通して旋回
ブロック１０６のピン孔１１３に差し込まれた係止ピン
１１４が設けられている。

【００８３】次に、フレーム２０の反転旋回の手順を説
明する。まず、図７及び図１０に示す状態で、ハンドル
１０８を操作してカム１０９を回転させる。カムフォロ
ア１１０がカム１０９のカム面に追従するため、ばね３
７Ｃの付勢力により可動部２９が水平移動し、図８及び
図１１に示すように可動部２９が固定部２８から離れ
る。次に、係止ピン１１４をピン孔１１３から抜き出
し、ブラケット１０４と旋回ブロック１０６の連結を解
除する。その後、図９及び図１２に示すように支軸シャ
フト回りに可動部２９を平面視で１８０°旋回させる。
図１に概略的に示すように、通常時にはＡＣＦテープ供
給部２３や保護テープ供給部２６はガイドレール１３と
対向しているが、可動部２９を旋回して反転させるとこ
れらは部品実装装置の外側を向く。従って、作業者Ｍ
は、部品実装装置内に入ることなく、ＡＣＦテープ用リ
ール４２や保護テープ用リール７７の交換作業を行うこ
とができる。

【００８４】次に、仮圧着部１５について説明する。仮
圧着部１５は、ＡＣＦ貼付部１４でＡＣＦ層５ｂを貼り
付け済みのＰＤＰ基板１１に対して、ＦＰＣ供給部１１
５から供給されたＦＰＣ基板１２を位置決めする。ま
た、仮圧着部１５は、位置決め後にＦＰＣ基板１２をＰ
ＤＰ基板１１に対して加熱状態で加圧し、ＡＣＦ層５ｂ
によってＰＤＰ基板１１に対してＦＰＣ基板１２を仮圧
着する。仮圧着の加圧力は例えば５０〜１００N/cm²で
あり、加圧時の温度は例えば６０〜７０℃程度である。

【００８５】次に、本圧着部１６について説明する。図
２３に示すように、本圧着部１６は仮圧着部１５でＦＰ
Ｃ基板１２を仮圧着済みのＰＤＰ基板１１が載置される
ステージ１９を備えている。このステージ１９は昇降可
能であり、かつ図示しない吸引機構によりＰＤＰ基板１
１をその上面に解放可能に保持することができる。この
ステージ１９の上方に配置されたフレーム２０には、ツ
ール２１、ツール付勢部２２、保護テープ供給部２６、
及び保護テープ冷却部２７が設けられている。本圧着部
１６の構造は、ＡＣＦ供給部を備えていない点を除いて
ＡＣＦ貼付部１４と同様の構造であり、図２３において
図２及び図３と同一に要素には同一の符号を付してい
る。

【００８６】図２３に示すように、ツール２１がステー
ジ１９から間隔を隔てた位置にあるときに、ＦＰＣ基板
１２を仮圧着済みのＰＤＰ基板１１が仮圧着部１５から
ステージ１９に供給される。次に、ツール付勢部２２に
よりツール２１が降下し、ステージ１９に向けて付勢さ
れる。また、プッシュロッド５６Ｃ，５６Ｄにより可動
アーム５４Ｃ，５４Ｄが降下することにより、ツール２
１と共に保護テープ１０も降下する。ステージ１９に向
けて付勢されたツール２１により、ＰＤＰ基板１１に貼
り付けられたＡＣＦ層５ｂに対してＦＰＣ基板１２が加
熱状態で加圧される。ツール２１とＦＰＣ基板１２との
間には、弾力性を有する保護テープ１０が介在してい
る。そのため、ツール２１からＦＰＣ基板１２に対して
均一な分布の加圧力が作用し、ＡＣＦ層５ｂによりＰＤ
Ｐ基板１１に対してＦＰＣ基板１２を正確に固定するこ
とができる。本圧着ツール２１による加圧力は例えば３
００〜４００N/cm²であり、加圧時の温度は例えば１８
０〜２００℃程度である。

【００８７】コントローラ１８は、上記本圧着部１６が
ＰＤＰ基板１１に対するＦＰＣ基板１２を実行した回数
を計数する。この回数が限界回数に達したことをコント
ローラ１８が検出すると、保護テープ送り部７６が保護
テープ蓄積部７３から保護テープ回収部７４に向けて保
護テープ１０を送り、未使用の保護テープ１０をツール
２１に供給する。従って、本圧着部１６は熱や圧力によ
る劣化が進行していない保護テープ１０を使用して本圧
着を実行することができる。また、ツールに被覆層を設
ける場合と異なり、ツール２１の交換が不要となるた
め、メンテナンス性及び生産効率が大幅に改善される。
本圧着部１６のその他の作動はＡＣＦ貼付部１４と同様
である。

【００８８】本発明は上記実施形態に限定されるもので
はなく種々の変形が可能である。例えば、本発明の装置
及び方法は、ＰＤＰ基板１１以外の部品（例えば、液晶
表示基板（ＬＣＤ基板）、エレクトロルミネッセンス素
子（ＥＬ素子）、又は通常のプリント基板）に対してＡ
ＣＦテープを含む種々の接合テープを加圧して貼り付け
るために使用することができる。また、本発明の装置及
び方法は、ＦＰＣ基板１２以外の部品（例えばテープキ
ャリアパッケージ（ＴＣＰ）のような可撓性を有する部
品、）を他の部品について実装するために使用すること
ができる。

【００８９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
では、保護シートが保護シート案内部によって保護シー
ト蓄積部からステージを経て保護シート回収部へ案内さ
れ、かつ保護シートを保護シート送り部により保護シー
ト回収部へ向けて送ることができる。そのため、保護シ
ートが劣化する前に保護シート送り部により保護シート
を送り、保護シートの未使用の部分をツールと対向させ
ることにより、ツールを交換することなく均一な分布を
有する加圧力で第１の部品に対して第２の部品を加圧す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態に係る部品実装装置を示す
部分平面図である。

【図２】 ツールがステージから離反した位置（第１の
位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分正面図である。

【図３】 ツールがステージから離反した位置（第１の
位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分正面図である。

【図４】 ツールがステージに対して付勢された位置
（第２の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の正面図であ
る。

【図５】 ＡＣＦ層がＰＤＰ基板に貼り付けられたとき
のＡＣＦ貼付部の正面図である。

【図６】 基材層をＰＤＰ基板から引き剥がすときのＡ
ＣＦ貼付部の正面図である。

【図７】 ＡＣＦ貼付部の平面図である。

【図８】 フレームの可動部が固定部から離れた状態で
のＡＣＦ貼付部の平面図である。

【図９】 フレームの可動部が固定部に対して旋回した
状態でのＡＣＦ貼付部の平面図である。

【図１０】 ＡＣＦ貼付部の右側面図である。

【図１１】 フレームの可動部が固定部から離れた状態
でのＡＣＦ貼付部の右側面図である。

【図１２】 フレームの可動部が固定部に対して旋回し
た状態でのＡＣＦ貼付部の右側面図である。

【図１３】 保護テープ回収部を示す部分断面側面図で
ある。

【図１４】 チャックを示す横断面図である。

【図１５】 ツールがステージから離反した位置（第１
の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図で
ある。

【図１６】 ツールがステージに対して付勢された位置
（第２の位置）にあるときのＡＣＦ貼付部の部分拡大正
面図である。

【図１７】 ＡＣＦ層がＰＤＰ基板に貼付られたときの
ＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。

【図１８】 基材層をＰＤＰ基板から引き剥がすときの
ＡＣＦ貼付部の部分拡大正面図である。

【図１９】 保護テープの交換作業を説明するためのＡ
ＣＦ貼付部の正面図である。

【図２０】 保護テープの交換作業を説明するためのＡ
ＣＦ貼付部の正面図である。

【図２１】 保護テープの交換作業を説明するためのＡ
ＣＦ貼付部の正面図である。

【図２２】 （Ａ）及び（Ｂ）は保護テープの接続の一
例を示す部分側面図である。

【図２３】 本圧着部を示す正面図である。

【図２４】 ＰＤＰ基板基板とそれに実装されたＦＰＣ
基板を示す斜視図である。

【図２５】 ＡＣＦテープを示す側面図である。

【図２６】 従来のＡＣＦ貼付装置の一例を示す正面図
である。

【図２７】 従来のＡＣＦ貼付装置における問題を説明
するための部分概略平面図である。

【符号の説明】

１１ ＰＤＰ基板 １２ ＦＰＣ基板 １４ ＡＣＦ貼付部 １５ 仮圧着部 １６ 本圧着部 １７ 搬送部 １８ コントローラ １９ 基板ステージ ２０ フレーム ２１ ツール ２２ ツール付勢部 ２３ ＡＣＦテープ供給部 ２４ 切断部 ２５ 剥離部 ２６ 保護テープ供給部 ２７ 保護テープ冷却部 ２８ 固定フレーム ２９ 可動フレーム ３０ 保持部材 ３１ ヒータ ３８ ＡＣＦテープ蓄積部 ３９ ＡＣＦテープ回収部 ４０ ＡＣＦテープ案内部 ４１ ＡＣＦテープ送り部 ４２ ＡＣＦテープ用リール ４７，７８ 吸込槽 ４８，７９ 口金 ４９，８０ チューブ ５０ 吸込ノズル ６２ 被覆層回収部 ７３ 保護テープ蓄積部 ７４ 保護テープ回収部 ７５ 保護テープ案内部 ７６ 保護テープ送り部 ７７ 保護テープ用リール ８２ 吸込経路 ８３ 外層 ８４ 内層 ８５ 振れ止めピン ８６ 引き上げピン ９３Ａ，９３Ｂ 顎部 ９４ 基部部材 ９５ 接触部材 ９９ 冷却ノズル

フロントページの続き (72)発明者 吉村 義一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5E313 AA11 AA12 AA15 CC05 DD01 DD31 EE38 EE50 5E319 AA01 AC01 AC03 BB16 CC03 CC61 CD04 CD15 CD25 GG15 5E344 AA02 AA22 BB02 BB04 CD04 DD06 DD16 EE11 EE21 5G435 AA06 AA17 BB06 BB12 KK10

Claims (35)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の部品上に配置された第２の部品を
   上記第１の部品に対して加圧するための加圧装置であっ
   て、 上記第１の部品が載置されるステージと、 このステージと対向して配置され、上記ステージ上の上
   記第１及び第２の部品に対して間隔を隔てて対向する第
   １の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記第１
   の部品に対して上記第２の部品を加圧する第２の位置と
   の間を移動するツールと、 上記ツールが上記第２の位置にあるときに、上記第２の
   部品と上記ツールとの間に介在するように保護シートを
   供給する保護シート供給部とを備える、加圧装置。
2. 【請求項２】 上記保護シート供給部は、 上記保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保
   護シート蓄積部と、 上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収
   部と、 上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステー
   ジを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案
   内部と、 上記保護シートを上記保護シート案内部に沿って上記保
   護シート回収部へ向けて送るための保護シート送り部と
   を備える、請求項１に記載の加圧装置。
3. 【請求項３】 上記保護シート送り部は、上記ツールが
   上記第２の位置に移動して上記第１の部材に対して上記
   第２の部材を加圧した回数を計数し、この回数が予め定
   めた回数に達したことを検出すると、上記ツールが上記
   第１の位置にあるときに、上記保護シート蓄積部から上
   記保護シート回収部に向けて予め定められた送り量だけ
   上記保護シートを送る、請求項２に記載の加圧装置。
4. 【請求項４】 上記保護シートの送り量は、１回の送り
   動作により上記ツールが上記保護シート蓄積部から送ら
   れた保護シートの未使用の部分と対向するように設定さ
   れている、請求項３に記載の加圧装置。
5. 【請求項５】 上記保護シートは、弾力性、高熱伝導
   性、及び耐熱性を有する材料からなる、請求項１から請
   求項４のいずれか１項に記載の加圧装置。
6. 【請求項６】 上記保護シート案内部は、保護シートが
   切断したことを検出する保護シート切断検出部を備え
   る、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の加圧
   装置。
7. 【請求項７】 上記保護シート案内部は、上記ツールが
   上記第１の位置にあるときに上記保護シートが上記ツー
   ルに対して間隔を隔てて対向するように、上記保護シー
   トを案内する、請求項２から請求項６のいずれか１項に
   記載の加圧装置。
8. 【請求項８】 上記ツールは加熱機構を備え、この加熱
   機構は上記ツールが上記第１の位置にあるときに加熱を
   停止する、請求項７に記載の加圧装置。
9. 【請求項９】 上記ツールが上記第１位置にあるときに
   上記保護シートを強制的に冷却する保護シート冷却部を
   さらに備える、請求項７又は請求項８に記載の加圧装
   置。
10. 【請求項１０】 上記保護シート冷却部は、上記保護シ
    ートに冷却用の空気を吹き付ける、請求項９に記載の加
    圧装置。
11. 【請求項１１】 上記保護シート回収部は、 上記保護シートの他方の端部がその内部に吸い込まれる
    吸込槽と、 基端側が上記吸込槽に接続され、上記保護シートの他方
    の端部を上記吸込槽内に導くための吸込経路が基端から
    先端まで貫通して設けられ、この吸込経路は上記先端側
    から長手方向中央部に向けて断面積が縮小し、上記長手
    方向中央部から上記基端側に向けて断面積が拡大する、
    吸込ノズルとを備える、請求項２に記載の加圧装置。
12. 【請求項１２】 上記保護シート案内部の回収部は、 上記吸込槽と上記吸込ノズルの基端とを接続するための
    接続管部材をさらに備え、 上記接続管部材の先端に上記吸込ノズルの基端側が挿入
    され、 上記接続管部材の基端に上記吸込槽の接続部が挿入さ
    れ、 上記接続管部材、上記接続部、及び上記吸込経路の基端
    側の内側断面の形状及び寸法が同一である、請求項１１
    に記載の加圧装置。
13. 【請求項１３】 上記保護シート回収部は、 上記吸込ノズルの先端近傍に上記保護シートの送り方向
    に対して蛇行して設けた複数の振れ止め部材を備え、 上記保護シートはこれらの振れ止め部材に案内されて上
    記吸引ノズルの上記吸込経路内に導入される、請求項１
    １又は請求項１２に記載の加圧装置。
14. 【請求項１４】 上記保護シート案内部は、 上記保護シートの一方の面と対向して配置された第１の
    顎部と、 上記保護シートの他方の面と対向して配置された基部部
    材と、この基部部材から離反して上記保護シートに向か
    う方向に弾性的に付勢された接触部材とを有する第２の
    顎部と、 上記第１及び第２の顎部を、それらが互いに接近し上記
    保護シートを挟み込んで保持する第１の位置と、それら
    が互いに離反して上記保護シートを解放する第２の位置
    とに移動させる、駆動機構とを有するチャックを備え
    る、請求項１３に記載の加圧装置。
15. 【請求項１５】 上記第１の部品は板状部品であり、上
    記第２の部品は少なくとも基材層と接合層とを有する接
    合シートであり、 上記基材層が上記保護シートと対向し、上記接合層が上
    記板状部品と対向するように、上記接合シートを供給す
    る接合シート供給部をさらに備え、 上記ツールが上記第１の位置にあるときには上記保護シ
    ートは上記接合シートと間隔を隔てて対向し、上記ツー
    ルが上記第２の位置にあるときには上記保護シートが上
    記接合シートの基材層と互いに接触する、請求項１から
    請求項１４のいずれか１項に記載の加圧装置。
16. 【請求項１６】 上記保護シート供給部が上記保護シー
    トを供給する方向と、上記接合シート供給部が接合シー
    トを供給する方向が反対向きである、請求項１５に記載
    の加圧装置。
17. 【請求項１７】 上記接合シートの上記接合層のみを切
    断して上記基材層を残した切込線を形成する切断部と、 上記ツールが上記第２位置にあるときに上記ツールの上
    記切込線と対応する縁部に密接するように、上記保護シ
    ートを上記ステージから離反する方向に案内する保護シ
    ートガイド部材とを備える、請求項１５又は請求項１６
    に記載の加圧装置。
18. 【請求項１８】 上記第１の部品は板状部品であり、上
    記第２の部品は少なくとも基材層と接合層とを有する接
    合シートであり、 上記基材層が上記保護シートと対向し、上記接合層が上
    記板状部品と対向するように、上記接合シートを供給す
    る接合シート供給部と、 上記接合シートの上記接続層のみを切断して上記基材層
    を残した切込線を形成する切断部とをさらに備え、 上記ツールが上記第１の位置にあるときには上記保護シ
    ートは上記接合シートと間隔を隔てて対向し、上記ツー
    ルが上記第２の位置にあるときには上記保護シートが上
    記接合シートの基材層と互いに接触し、 上記保護シートの上記切込線に対応する部分に保護シー
    ト冷却部が冷却用の空気を吹き付ける、請求項１から請
    求項１４のいずれか１項に記載の加圧装置。
19. 【請求項１９】 上記接合シートは、上記接合層が異方
    性導電性フィルム層からなる異方性導電性フィルムシー
    トである、請求項１５から請求項１８のいずれか１項に
    記載の加圧装置。
20. 【請求項２０】 上記第１の部材は板状部品であり、上
    記第２の部品は上記板状部品に対して接合層により仮圧
    着されたフィルム状部品であり、 上記ツールが加熱機構を備える、請求項１から請求項１
    ４のいずれか１項に記載の加圧装置。
21. 【請求項２１】 接合シートの基材層の一方の面に設け
    られた接合層を部品に対して加圧して貼り付けるための
    貼付装置であって、 上記部品が載置されるステージと、 上記部品に対して上記接合層が対向するように、上記ス
    テージに上記接合シートを供給する接合シート供給部
    と、 上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の部
    品及び接合シートに対して間隔を隔てて対向する第１の
    位置と、上記ステージに向けて付勢され上記部品に対し
    て上記接合シートの接合層を加圧する第２の位置との間
    を移動可能であるツールと、 上記ツールが上記第２の位置にあるときに上記接合シー
    トと上記ツールとの間に介在するように、保護シートを
    供給する保護シート供給部と、 上記ツールが上記第２の位置となって上記接合シートの
    上記接合層を上記部品に押し付け後に上記第１の位置に
    移動すると、上記基材シートを上記部品から引き剥がし
    て上記接合層のみを上記部品に残す剥離部とを備える、
    貼付装置。
22. 【請求項２２】 上記保護シート供給部は、 上記保護シートの一方の端部を送りだし可能に蓄えた保
    護シート蓄積部と、 上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収
    部と、 上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステー
    ジを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案
    内部と、 上記ツールが上記第２の位置に移動して上記部品に対し
    て上記接合層を加圧した回数を計数し、この回数が予め
    定めた回数に達したことを検出すると、上記ツールが上
    記第１の位置にあるときに、上記蓄積部から上記回収部
    に向けて予め定められた送り量だけ上記保護シートを送
    る保護シート送り部とを備える、請求項２１に記載の貼
    付装置。
23. 【請求項２３】 上記保護シートの送り量は、１回の送
    り動作により上記ツールが上記保護シート蓄積部から送
    られた保護シートの未使用の部分と対向するように設定
    される、請求項２２に記載の貼付装置。
24. 【請求項２４】 上記接合シートの上記接合層のみを切
    断して上記基材層を残した切込線を形成する切断部と、 上記保護シートの上記切込線に対応する部分に冷却用の
    空気を吹き付ける、保護シート冷却部とをさらに備え
    る、請求項２１から請求項２３のいずれか１項に記載の
    加圧装置。
25. 【請求項２５】 接合層により板状部品に仮圧着された
    フィルム状部品を加熱しつつ加圧して上記板状部品に固
    定するための本圧着装置であって、 上記板状部品が載置されるステージと、 このステージと対向して配置され、上記ステージ上の板
    状部品及びフィルム状部品に対して間隔を隔てて対向す
    る第１の位置と、上記ステージに向けて付勢されて上記
    板状部品に対してフィルム状部品を加圧する第２の位置
    との間を移動可能であり、かつ加熱機構を備えるツール
    と、 上記ツールが上記第２の位置にあるときに上記フィルム
    状部品と上記ツールとの間に介在するように、保護シー
    トを供給する保護シート供給部とを備える、本圧着装
    置。
26. 【請求項２６】 上記保護シート供給部は、 上記保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保
    護シート蓄積部と、 上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収
    部と、 上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステー
    ジを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案
    内部と、 上記ツールが上記第２の位置に移動して上記板状部品に
    対して上記フィルム状部品を加圧した回数を計数し、こ
    の回数が予め定めた回数に達したことを検出すると、上
    記ツールが上記第１の位置にあるときに、上記保護シー
    ト蓄積部から上記保護シート回収部に向けて予め定めら
    れた送り量だけ上記保護シートを送る保護シート送り部
    とを備える、請求項２５に記載の本圧着装置。
27. 【請求項２７】 上記保護シートの送り量は、１回の送
    り動作により上記ツールが上記保護シート蓄積部から送
    られた保護シートの未使用の部分と対向するように設定
    される、請求項２６に記載の本圧着装置。
28. 【請求項２８】 第１の部品に対して第２の部品を実装
    するための部品実装装置であって、 上記第１の部品が載置されるステージと、 このステージ上の第１の部品に対して、基材層の一方の
    面に接合層を備える接合シートを上記接合層が対向する
    ように供給する接合シート供給部と、 上記ステージと対向して配置され、上記ステージ上の第
    １の部品及び接合シートに対して間隔を隔てて対向する
    第１の位置と、上記ステージに向けて付勢され上記第１
    の部品に対して接合シートの接合層を加圧する第２の位
    置との間を移動可能であるツールと、 上記ツールが上記第２の位置にあるときに上記接合シー
    トと上記ツールとの間に介在するように、保護シートを
    供給する保護シート供給部と、 上記ツールが上記第２の位置となって上記接合シートの
    上記接合層を上記第１の部品に押し付けた後に第１の位
    置に移動すると、上記基材シートを第１の部品から引き
    剥がして上記接合層のみを部品に残す剥離部とを有する
    貼付部と、 上記第２の部品を上記第１の部品に対して位置決めし、
    かつ上記第２の部品を上記第１の部品に対して第１の加
    圧力で加圧し、上記接合層により仮圧着する仮圧着部
    と、 上記第２の部品を上記第１の部品に対して第２の加圧力
    で加圧し、それによって上記第１の部品に対して上記第
    ２の部品を固定する本圧着部とを備える部品実装装置。
29. 【請求項２９】 上記貼付部の保護シート供給部は、 上記保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保
    護シート蓄積部と、 上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収
    部と、 上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステー
    ジを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案
    内部と、 上記ツールが上記第２の位置に移動して上記第１の部品
    に対して上記接合テープを加圧した回数を計数し、この
    回数が予め定めた回数に達したことを検出すると、上記
    ツールが上記第１の位置にあるときに、上記保護シート
    蓄積部から上記保護シート回収部に向けて予め定められ
    た送り量だけ上記保護シートを送る保護シート送り部と
    を備える、請求項２８に記載の部品実装装置。
30. 【請求項３０】 上記保護シートの送り量は、１回の送
    り動作により上記ツールが上記保護シート蓄積部から送
    られた保護シートの未使用の部分と対向するように設定
    される、請求項２９に記載の部品実装装置。
31. 【請求項３１】 第１の部品に対して第２の部品を実装
    するための部品実装装置であって、 基材層の一方の面に接合層を備える接合シートから、上
    記接合層を上記第１の部品に対して加圧して貼り付ける
    貼付部と、 上記第２の部品を上記第１の部品に対して位置決めし、
    かつ上記第２の部品を上記第１の部品に対して第１の加
    圧力で加圧して上記接合層により仮圧着する仮圧着部
    と、 上記第２の部品が仮圧着された上記第１の部品が載置さ
    れるステージと、 このステージと対向して配置され、上記ステージ上の第
    １及び第２の部品に対して間隔を隔てて対向する第１の
    位置と、上記ステージに向けて付勢され上記第２の部品
    を上記第１の部品に対して第２の加圧力で加圧し、上記
    第２の部品を上記第１の部品に固定する第２の位置との
    間を移動するツールと、 上記ツールが上記第２の位置にあるときに上記第２の部
    材と上記ツールとの間に介在するように、保護シートを
    供給する保護シート供給部とを有する本圧着部とを備え
    る部品実装装置。
32. 【請求項３２】 上記本圧着部の上記保護シート供給部
    は、 上記保護シートの一方の端部を送り出し可能に蓄えた保
    護シート蓄積部と、 上記保護シートの他方の端部を回収する保護シート回収
    部と、 上記保護シートを上記保護シート蓄積部から上記ステー
    ジを経て上記保護シート回収部へ案内する保護シート案
    内部と、 上記ツールが上記第２の位置に移動して上記第１の部品
    に対して上記第２の部品を加圧した回数を計数し、この
    回数が予め定めた回数に達したことを検出すると、上記
    ツールが上記第１の位置にあるときに、上記保護シート
    蓄積部から上記保護シート回収部に向けて予め定められ
    た送り量だけ上記保護シートを送る保護シート送り部と
    を備える、請求項３１に記載の部品実装装置。
33. 【請求項３３】 上記保護シートの送り量は、１回の送
    り動作により上記ツールが上記保護シート蓄積部から送
    られた保護シートの未使用の部分と対向するように設定
    される、請求項３２に記載の部品実装装置。
34. 【請求項３４】 部品に対して、接合シートの基材層の
    一方の面に設けられた接合層を貼り付ける貼付方法であ
    って、 上記部品をステージ上へ載置し、ツールを加熱しつつ上
    記ステージへ向けて付勢して保護シートを介して接合シ
    ートを部品に加圧し、それによって上記部品と対向する
    ように配置された接合シートの接合層を貼り付け、か
    つ、上記ツールがステージから離反した後に上記基材層
    を部品から引き剥がして上記接合層のみを部品に残すこ
    ととを繰り返し、 上記ツールが上記部品に対して接合層を加圧した回数を
    計数し、 この計数した回数が予め定めた回数に達すると、上記保
    護シートを送って上記ツールに保護シートの未使用の部
    分を対向させる、 貼付方法。
35. 【請求項３５】 第１の部品に対して接合層により仮圧
    着された第２の部品を上記第１の部品に固定する本圧着
    方法であって、 上記第２の部品が仮圧着された上記第１の部品をステー
    ジ上へ載置し、ツールを加熱しつつ上記ステージへ向け
    て付勢して保護シートを介して上記第２の部品を上記第
    １の部品に対して加圧し、それによって第１の部品に対
    して第２の部品を固定することを繰り返し、 上記ツールが上記第１の部品に対して上記第２の部品を
    加圧した回数を計数し、 この計数した回数が予め定めた回数に達すると、上記保
    護シートを送って上記ツールに保護シートの未使用の部
    分を対向させる、 本圧着方法。